JP3781421B2 - 位置決め方法および位置決め本体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体露光装置、電子線描画装置、精密計測機等の組立において、ウエハ、マスク、被測定物等を搭載するための高重量のステージ装置を迅速かつ精密に位置決めをすることのできる位置決め方法および位置決め本体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造のための露光装置、電子線描画装置、精密計測機等の組立においては、露光光学系等に対して、ウエハ、マスク、被測定物等を載置するためのステージ装置を迅速かつ精密に位置決めすることが必要である。
【0003】
従来の位置決め装置としては、例えば、特開平5−109871号公報に開示されたように、半導体露光装置、液晶表示素子等を製造するための露光装置、加工装置、検査装置に搭載されるガラスプレート等基板のプリアライメント等を行うものがある。これは、図9に示すように、2方向の押圧ローラー104D、104Eによってホルダー103上の基板Pを基準ローラー104A、104B、104Cに対して押圧してプリアライメントを行うに当り、位置決めの際の押圧ローラー104D、104Eによる押圧力を小さくして、基板Pの機械的歪み(変形)を回避するために、位置決め完了の信号を発生するセンサー125を用いる。
【0004】
また、特開平7−308834号公報には、図10に示すように、ガイドレール212a〜212dを可動台218および固定台219に固定し、ボール211上に可動台218を支持して移動させる移動テーブルが開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記の位置決め装置は比較的軽量な基板の位置決めに用いるものであり、重量物であるステージ装置の位置決めに転用するのは難しい。詳しく説明すると、図9の装置ではホルダー上で押圧ローラーによって重量物を移動させると設置面がこすれて傷付くおそれがあり、また、摩擦抵抗が大きいために確実に3個の基準ローラーへ押し付けるのが困難で、片当たり状態になりやすい。
【0006】
また後者の装置は、可動台を位置決め対象である重量物と考えると、位置決め後もボールで支持されるので剛性が低く、高精度な位置決めには適用できない。
【0007】
本発明は、上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、露光装置、電子線描画装置、精密計測機等の本体装置の組立において、高重量のステージ装置をそれを載置すべきベースに対して迅速かつ安全に、しかも高精度で位置決めすることのできる位置決め方法および位置決め本体装置を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の位置決め方法は、被加工物または被測定物を搭載するためのステージ装置を、本体装置の位置決め台と補助台上に延在する転動ガイドによって補助台から位置決め台へ移動させる工程と、位置決め台へ移動したステージ装置をリフト手段によって上昇させて転動ガイドを抜き取る工程と、転動ガイドを抜き取った位置決め台上にステージ装置を下降させ、静圧軸受手段によって静圧支持しながら基準部材に突き当てて位置決めする工程を有することを特徴とする。
【0009】
本発明の位置決め本体装置は、被加工物または被測定物を搭載するためのステージ装置を位置決めする基準部材および支持面を有する位置決め台と、前記位置決め台の前記支持面の延長部を形成する移動面を有する補助台と、前記支持面および前記移動面上で前記ステージ装置を移動自在に支持する転動ガイドと、前記ステージ装置と前記支持面との間を非接触に維持するための静圧軸受手段と、前記ステージ装置を前記支持面から上昇させるためのリフト手段とを有し、前記転動ガイドが、前記支持面および前記移動面に着脱自在に配設された下側ガイド板と、前記ステージ装置の下面に着脱自在に配設された上側ガイド板と、前記下側ガイド板と前記上側ガイド板の間に転動自在に保持される複数の転動体を備えていることを特徴とする。
【0010】
【作用】
補助台の移動面上にステージ装置を搬入し、転動ガイドによって露光装置等の本体装置の位置決め台の支持面上に移動させたのち、ステージ装置をリフト手段によって持ち上げて転動ガイドを抜き取り、次いで前記支持面上にステージ装置を下降させる。ステージ装置を基準部材に当接して位置決めするときは、静圧軸受手段によってステージ装置を支持面から浮上させる。
【0011】
移動面から支持面までステージ装置を移送するときは、転動ガイドによってステージ装置の重量を支持するため、高重量のステージ装置であっても軽く移動させることができる。
【0012】
支持面上で基準部材によってステージ装置を位置決めする際には、転動ガイドを抜き取ったうえで静圧軸受手段によってステージ装置を非接触で支持し、高精度な位置決めを効率的に行うことができる。
【0013】
このようにして、被加工物や被測定物を搭載するためのステージ装置の位置決めを迅速かつ高精度に行い、露光装置等の組立効率を大幅に改善することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0015】
図1は第1の実施の形態を示す。これは、露光装置、電子線描画装置、精密計測機等の位置決め部を構成するもので、この位置決め本体装置の固定台であるベース1と、ベース1上において、被加工物または被測定物であるウエハ等基板を支持するためのステージ装置2を位置決めする位置決め台3と、ステージ装置2と位置決め台3の間に着脱自在に配設される転動ガイドである一対のガイド4を有する。各ガイド4は、転動体である複数のローラー41と、各ローラー41を保持する穴を有する板状のリテーナ42と、ローラー41の下側に当接される下側ガイド板43と、同じくローラー41の上側に当接される上側ガイド板44を有し、上側ガイド板44はステージ装置2の下面に設けられた案内溝2aに着脱自在に嵌合され、下側ガイド板43は位置決め台3の上面に設けられた案内溝3aに着脱自在に嵌合する。
【0016】
位置決め台3上には、X方向およびY方向にステージ装置2を位置決めするための基準部材31〜33が立設され、ステージ装置2の裏面は位置決め台3の支持面(上面)に当接自在な基準面を構成する。
【0017】
ステージ装置2は位置決め台3の上面に対向する静圧軸受手段である静圧軸受5を有し、ベース1に対してステージ装置2を持ち上げて各ガイド4を引き抜いた後、後述するように基準部材31〜33にステージ装置2を当接して位置決めするときに、静圧軸受5によってステージ装置2を位置決め台3から浮上させる。
【0018】
図2に示すように、ベース1の端面には着脱自在な補助ベース6が当接され、補助ベース6上には補助台7が搭載されており、補助台7の上面は、位置決め台3の支持面の延長部である移動面を構成している。下側ガイド板43は位置決め台3の案内溝3aから補助台7上の案内溝7a内に延びており、補助台7上に載置したステージ装置2をローラー41の転動によってベース1上の位置決め台3まで軽く移動させることができる。このときのステージ装置2の移動量Lに対してガイド4はL/2だけ移動する。従って、ガイド4の最小必要長さは〔ステージ装置2の長さ+移動量L/2〕以上となる。
【0019】
また、補助台7は位置決め台3に対して高さ、傾きが略同一となるよう調整されている。上側ガイド板44はステージ装置2と一緒に移動し、下側ガイド板43は位置決め台3と補助台7との繋ぎ目を覆うようにほぼ全長に渡って取り付けられる。下側ガイド板43が位置決め台3と補助台7の繋ぎ目を覆っているので、段差、傾きがあってもローラー41は引っ掛ることなく通過することが可能である。
【0020】
ステージ装置2が位置決め台3の基準部材32、33の近傍まで移動した状態で、図3に示すように、ステージ装置2のネジブロック10を貫通するリフト手段であるネジ11によってステージ装置2を持ち上げて、両ガイド4を抜き取り、補助台7および補助ベース6を取りはずしたのち、再びネジ11を縮めてステージ装置2を位置決め台3に着座させる。このとき、上下のガイド板43、44をガイド4とともに抜き取ってもよい。次いで、静圧軸受5に図示しない配管より圧縮空気を供給すると、圧縮空気は位置決め台3に向かって噴射されステージ装置2は位置決め台3から浮上し、静圧によって非接触支持される。この状態でステージ装置2をXY方向に移動し各基準部材31〜33に突き当てて、図5に示すように位置決めを行う。
【0021】
静圧軸受5によってステージ装置2が浮上するので、スティックスリップのような挙動も示さず、非常に軽く、わずかな力で正確にしかも迅速にステージ装置2を基準部材31〜33へ突き当てて位置決めすることができる。
【0022】
なお、ステージ装置2を位置決め台3から持ち上げるためのネジ11に替えて、図4に示すリフト手段であるシリンダ機構を用いてもよい。これは、ベース1内にシリンダ20を埋め込み、ピストン21をステージ装置2の下面に当接して持ち上げるものである。
【0023】
図5の(a)、(b)および図6は、ステージ装置2がX方向とY方向に位置決めされ、基準部材31〜33に当接された位置決め完了の状態をそれぞれ平面図、立面図および断面図で示す。
【0024】
一般に、高精度計測機や半導体露光装置等は恒温チャンバーや真空チャンバー内に設置されている。補助台7をこれらチャンバーの外部に突出するよう構成すれば、補助台7へステージ装置2を搭載する作業にクレーン等の搬送装置を使用することが可能となる。
【0025】
このような位置決め本体装置を用いることで、半導体露光装置、描画装置等の組立作業性を向上させ、メンテナンスコストの低減等にも貢献できる。
【0026】
図7は第2の実施の形態を示す。これは第1の実施の形態の位置決め台3とベース1との間に3個の支持部材であるスペーサ34を介在させたもので、3個のスペーサ34は、ステージ装置2および位置決め台3の重心位置を中心とした略3等分の位置に配され、位置決め台3を3点支持する。また、静圧軸受5は各スペーサ34に重なる位置に配置される。このように、位置決め台3を3点支持することで、ステージ装置2も実質的に3点支持され、ステージ装置2の過拘束による変形を防止することができる。また、静圧軸受5が上記支持点に配置されることにより、圧縮空気の噴射による位置決め台3の変形を最小に抑えることができる。ガイドおよび補助台等については第1の実施の形態と同様であるので説明は省略する。
【0027】
図8は第2の実施の形態の一変形例を示す。これはベース1と位置決め台3との間にスペーサ34および突き当て部材35を設けたものである。突き当て部材35は、位置決め台3を支持しているスペーサ34よりも高さ寸法が微小量だけ低くなるように構成されており、ステージ装置2を補助台7から位置決め台3へ移動するとき、位置決め台3の変形量を所定量以下に抑える効果がある。
【0028】
上記の実施の形態において、ローラー41は転動体としてボールで構成されてもよい。この場合は、リテーナ42と案内溝2a、3a等の許す範囲内で、平面上を2次元的にステージ装置2を移動可能となる。
【0029】
また、補助台7を支持する補助ベース6は自立する構成でもよい。
【0030】
ステージ装置2を持ち上げるリフト手段であるネジ11はベース1に組み込まれていてもよい。
【0031】
また、シリンダ20はステージ装置2に配設されていてもよい。
【0032】
また、静圧軸受5は位置決め台3の支持面側に構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態による位置決め本体装置を示すもので、(a)はその平面図、(b)は(a)のA−A線からみた立面図である。
【図2】図1の装置を示す断面図である。
【図3】位置決め台からステージ装置を上昇させるリフト手段を説明する図である。
【図4】位置決め台からステージ装置を上昇させる別のリフト手段を説明する図である。
【図5】ステージ装置を位置決め台上でXY方向に位置決めした状態を示すもので、(a)はその平面図、(b)は立面図である。
【図6】図5の装置を示す断面図である。
【図7】第2の実施の形態を示すもので、(a)はその平面図、(b)は立面図である。
【図8】第2の実施の形態の一変形例を示すもので、(a)はその平面図、(b)は立面図である。
【図9】一従来例を説明する図である。
【図10】別の従来例を説明する図である。
【符号の説明】
1 ベース
2 ステージ装置
2a、3a、7a 案内溝
3 位置決め台
4 ガイド
5 静圧軸受
6 補助ベース
7 補助台
10 ネジブロック
11 ネジ
20 シリンダ
21 ピストン
31〜33 基準部材
34 スペーサ
35 突き当て部材
41 ローラー
42 リテーナ
43 下側ガイド板
44 上側ガイド板
Claims (4)
- 被加工物または被測定物を搭載するためのステージ装置を、本体装置の位置決め台と補助台上に延在する転動ガイドによって補助台から位置決め台へ移動させる工程と、位置決め台へ移動したステージ装置をリフト手段によって上昇させて転動ガイドを抜き取る工程と、転動ガイドを抜き取った位置決め台上にステージ装置を下降させ、静圧軸受手段によって静圧支持しながら基準部材に突き当てて位置決めする工程を有する位置決め方法。
- 転動ガイドの抜き取りとともに補助台を除去することを特徴とする請求項1記載の位置決め方法。
- 被加工物または被測定物を搭載するためのステージ装置を位置決めする基準部材および支持面を有する位置決め台と、前記位置決め台の前記支持面の延長部を形成する移動面を有する補助台と、前記支持面および前記移動面上で前記ステージ装置を移動自在に支持する転動ガイドと、前記ステージ装置と前記支持面との間を非接触に維持するための静圧軸受手段と、前記ステージ装置を前記支持面から上昇させるためのリフト手段とを有し、
前記転動ガイドが、前記支持面および前記移動面に着脱自在に配設された下側ガイド板と、前記ステージ装置の下面に着脱自在に配設された上側ガイド板と、前記下側ガイド板と前記上側ガイド板の間に転動自在に保持される複数の転動体を備えていることを特徴とする位置決め本体装置。 - 位置決め台が、固定台上の3個の支持部材によって3点支持され、各支持部材の位置に対応するように3個の静圧軸受手段が配設されていることを特徴とする請求項3記載の位置決め本体装置。
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