JPH07308834A - 移動テーブル - Google Patents
移動テーブルInfo
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- JPH07308834A JPH07308834A JP12572694A JP12572694A JPH07308834A JP H07308834 A JPH07308834 A JP H07308834A JP 12572694 A JP12572694 A JP 12572694A JP 12572694 A JP12572694 A JP 12572694A JP H07308834 A JPH07308834 A JP H07308834A
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- Japan
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- movable table
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/08—Protective coverings for parts of machine tools; Splash guards
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高精度の移動テーブルを低価格で実現する。
【構成】 所定位置に固定された固定台19における平
面状に形成された上面部に、所定数の鋼製のボール11
を2列に直列に配置する。ボール11の配置列を保持す
るためのリテナーにガイドされて一軸方向において前後
に移動可能な可動台18をボール11の上に搭載して移
動せしめる。 【効果】 磨耗によるガタが著しく減少するとともに、
高度の加工精度が要求される部品点数が少なくなって、
構成が簡易で低価格でありながら、長期にわたり高い精
度を維持することができる移動テーブルが実現できる。
面状に形成された上面部に、所定数の鋼製のボール11
を2列に直列に配置する。ボール11の配置列を保持す
るためのリテナーにガイドされて一軸方向において前後
に移動可能な可動台18をボール11の上に搭載して移
動せしめる。 【効果】 磨耗によるガタが著しく減少するとともに、
高度の加工精度が要求される部品点数が少なくなって、
構成が簡易で低価格でありながら、長期にわたり高い精
度を維持することができる移動テーブルが実現できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は移動テーブルに関する。
より具体的には、たとえば測定装置で被測定物を測定位
置まで移動せしめるための移動テーブルにおいて、構成
が簡易で低価格でありながら、高い精度を長期にわたり
維持することができる移動テーブルを提供せんとするも
のである。
より具体的には、たとえば測定装置で被測定物を測定位
置まで移動せしめるための移動テーブルにおいて、構成
が簡易で低価格でありながら、高い精度を長期にわたり
維持することができる移動テーブルを提供せんとするも
のである。
【0002】
【従来の技術】移動テーブルは、測定装置で用いられる
移動テーブルを例にとると、被測定物を搭載して設定さ
れた所望の位置まで移動せしめるための一軸方向におい
て前後に移動可能な可動台と、可動台を支えるための所
定位置に固定された固定台とを、主要な構成要素として
いる。そこで、従来の移動テーブルにおける可動台を移
動せしめるための機構の原理について、図6を用いて説
明する。ここで、図6は、従来の移動テーブルの概略的
な構成概念を示す斜視図であり、一部を省略して図示し
ている。
移動テーブルを例にとると、被測定物を搭載して設定さ
れた所望の位置まで移動せしめるための一軸方向におい
て前後に移動可能な可動台と、可動台を支えるための所
定位置に固定された固定台とを、主要な構成要素として
いる。そこで、従来の移動テーブルにおける可動台を移
動せしめるための機構の原理について、図6を用いて説
明する。ここで、図6は、従来の移動テーブルの概略的
な構成概念を示す斜視図であり、一部を省略して図示し
ている。
【0003】図6において、被測定物などを搭載して一
軸方向において前後に移動可能な可動台58の下面部に
は、可動台58の移動をガイドするための、それぞれ断
面V字状に形成された溝部を有する2つのガイド・レー
ル52a,52bが、溝部どうしが向き合うようにして
平行に固着されている。また、図示されてはいない固定
具により所定位置に固定された固定台59の上面部に
は、同じく可動台58の移動をガイドするための、各ガ
イド・レール52a,52bの溝部と同一形状の溝部を
それぞれ有する各ガイド・レール53a,53bが、各
ガイド・レール53a,53bの溝部と各ガイド・レー
ル52a,52bの溝部とがそれぞれ向き合うように平
行に固着されている。そして、双方の各ガイド・レール
53a,52b,53a,53bの溝部が向き合うこと
によりそれぞれ形成される空隙部S内に、可動台58の
移動を滑らかにするための所定数の鋼製の同一径のボー
ル51が収容されている。
軸方向において前後に移動可能な可動台58の下面部に
は、可動台58の移動をガイドするための、それぞれ断
面V字状に形成された溝部を有する2つのガイド・レー
ル52a,52bが、溝部どうしが向き合うようにして
平行に固着されている。また、図示されてはいない固定
具により所定位置に固定された固定台59の上面部に
は、同じく可動台58の移動をガイドするための、各ガ
イド・レール52a,52bの溝部と同一形状の溝部を
それぞれ有する各ガイド・レール53a,53bが、各
ガイド・レール53a,53bの溝部と各ガイド・レー
ル52a,52bの溝部とがそれぞれ向き合うように平
行に固着されている。そして、双方の各ガイド・レール
53a,52b,53a,53bの溝部が向き合うこと
によりそれぞれ形成される空隙部S内に、可動台58の
移動を滑らかにするための所定数の鋼製の同一径のボー
ル51が収容されている。
【0004】しかし、ボール51径や断面V字状の溝部
の仕上がり寸法にバラツキが生ずることもある。このよ
うなバラツキは、上方からの荷重に対する剛性を弱めた
り、ガタが生ずる原因となる。そこで、この従来例で
は、各ボール51は、空隙部Sが許容する大きさよりは
僅かに大きい径のものを用いて、各ボール51を挟む各
ガイド・レール53a,52b,53a,53bのそれ
ぞれに、外部側より各ボール51側に向けて強い圧力を
与えて締め付けるようにしている。そこで、適宜の駆動
装置を用いて可動台58を移動せしめれば、可動台58
は所望とする位置まで移動することになる。
の仕上がり寸法にバラツキが生ずることもある。このよ
うなバラツキは、上方からの荷重に対する剛性を弱めた
り、ガタが生ずる原因となる。そこで、この従来例で
は、各ボール51は、空隙部Sが許容する大きさよりは
僅かに大きい径のものを用いて、各ボール51を挟む各
ガイド・レール53a,52b,53a,53bのそれ
ぞれに、外部側より各ボール51側に向けて強い圧力を
与えて締め付けるようにしている。そこで、適宜の駆動
装置を用いて可動台58を移動せしめれば、可動台58
は所望とする位置まで移動することになる。
【0005】図7は、図6を用いて説明した原理に基づ
く、測定装置において被測定物を測定位置まで移動せし
めるための移動テーブルの従来例の構成を示すものであ
る。ここで、図7(a)は従来例の構成を示す一部を切
欠いた斜視図、図7(b)は図7(a)のA−A線に沿
う断面図である。
く、測定装置において被測定物を測定位置まで移動せし
めるための移動テーブルの従来例の構成を示すものであ
る。ここで、図7(a)は従来例の構成を示す一部を切
欠いた斜視図、図7(b)は図7(a)のA−A線に沿
う断面図である。
【0006】図7(a)において、鋼材からなる可動台
68の下面部に平行にそれぞれ固着された各ガイド・レ
ール62a,62b、および鋼材からなる固定台69の
上面部に同じく平行にそれぞれ固着された鋼材からなる
各ガイド・レール63a,63には、それぞれ断面V字
状の溝部が設けられている。そして、それぞれの溝部が
向き合うことによって形成される空隙部内には、図7
(b)に示すように、所定数の鋼製のボール61が相互
に接触しながら列をなして収容されている。
68の下面部に平行にそれぞれ固着された各ガイド・レ
ール62a,62b、および鋼材からなる固定台69の
上面部に同じく平行にそれぞれ固着された鋼材からなる
各ガイド・レール63a,63には、それぞれ断面V字
状の溝部が設けられている。そして、それぞれの溝部が
向き合うことによって形成される空隙部内には、図7
(b)に示すように、所定数の鋼製のボール61が相互
に接触しながら列をなして収容されている。
【0007】図8は、図7(b)のB−B線に沿う部分
拡大断面図である。図8において、各ガイド・レール6
2a,62bおよび各ガイド・レール63a,63b
は、可動台68をボール61を介して滑らかに移動せし
めるために、それぞれの平行度P1,P2が厳密に確保
されるように可動台68の下面部および固定台69の上
面部にそれぞれ固着されている。
拡大断面図である。図8において、各ガイド・レール6
2a,62bおよび各ガイド・レール63a,63b
は、可動台68をボール61を介して滑らかに移動せし
めるために、それぞれの平行度P1,P2が厳密に確保
されるように可動台68の下面部および固定台69の上
面部にそれぞれ固着されている。
【0008】また、上方からの荷重に対して強度の剛性
を得るために、ボール61を挟む各ガイド・レール62
a,62b,63a,63bのそれぞれに対して、外部
側よりボール61側に向けて強い圧力を与えて締め付け
るようにしている。その結果、上方からの荷重は、それ
ぞれ矢印A〜Dで示す断面V字状の溝部の各面にかかる
ことになる。
を得るために、ボール61を挟む各ガイド・レール62
a,62b,63a,63bのそれぞれに対して、外部
側よりボール61側に向けて強い圧力を与えて締め付け
るようにしている。その結果、上方からの荷重は、それ
ぞれ矢印A〜Dで示す断面V字状の溝部の各面にかかる
ことになる。
【0009】そこで、以上のように構成された移動テー
ブルにより被測定物を測定位置まで移動せしめる場合
は、モータ71(図7)により駆動される送りねじ72
を介して、可動台68を所望の位置まで移動せしめ、測
定が終了すれば、可動台68をホーム・ポジションまで
戻すことになる。
ブルにより被測定物を測定位置まで移動せしめる場合
は、モータ71(図7)により駆動される送りねじ72
を介して、可動台68を所望の位置まで移動せしめ、測
定が終了すれば、可動台68をホーム・ポジションまで
戻すことになる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図7に
示した従来例によると、一方の対をなす各ガイド・レー
ル62a,63aと他方の対をなす各ガイド・レール6
2b,63bによりそれぞれ挟まれたボール61のみを
介して、上部の可動台68が下部の固定台69と連結さ
れているために、その連結部分にかかる上方からの荷重
に対する剛性が必ずしも十分ではないという解決すべき
課題があった。
示した従来例によると、一方の対をなす各ガイド・レー
ル62a,63aと他方の対をなす各ガイド・レール6
2b,63bによりそれぞれ挟まれたボール61のみを
介して、上部の可動台68が下部の固定台69と連結さ
れているために、その連結部分にかかる上方からの荷重
に対する剛性が必ずしも十分ではないという解決すべき
課題があった。
【0011】また、上方からの荷重に対する剛性を得る
ために、ボール61を挟む各ガイド・レール62a,6
2b,63a,63bのそれぞれに対して、外部側より
ボール61側に向けて強い圧力を与えて締め付けるよう
にしている。その結果、各ガイド・レール62a,62
b,63a,63bとボール61との摺動抵抗が極めて
大きい。そのために、各ガイド・レール62a,62
b,63a,63bとくに図8において矢印A〜Dで示
した断面V字状の溝部の各面の磨耗度が大きくなる結
果、ガタが生じて精度を低下せしめる一方で、このよう
なガタを防止して精度を維持するためにはコスト高にな
るという課題とともに、上記摺動抵抗故に可動台68の
移動には大きな駆動力を必要とするという解決すべき課
題があった。
ために、ボール61を挟む各ガイド・レール62a,6
2b,63a,63bのそれぞれに対して、外部側より
ボール61側に向けて強い圧力を与えて締め付けるよう
にしている。その結果、各ガイド・レール62a,62
b,63a,63bとボール61との摺動抵抗が極めて
大きい。そのために、各ガイド・レール62a,62
b,63a,63bとくに図8において矢印A〜Dで示
した断面V字状の溝部の各面の磨耗度が大きくなる結
果、ガタが生じて精度を低下せしめる一方で、このよう
なガタを防止して精度を維持するためにはコスト高にな
るという課題とともに、上記摺動抵抗故に可動台68の
移動には大きな駆動力を必要とするという解決すべき課
題があった。
【0012】そのうえ、各ガイド・レール62a,62
b,63a,63bにおける断面V字状の溝部を高い精
度で加工しないとガタが生ずるとともに、各ガイド・レ
ール62a,62b間および各ガイド・レール63a,
63b間の各平行度P1,P2(図8)を厳密に確保し
なければならないことから、高い加工精度さらには組立
精度が要求される結果、コスト高になってしまうという
解決すべき課題もあった。
b,63a,63bにおける断面V字状の溝部を高い精
度で加工しないとガタが生ずるとともに、各ガイド・レ
ール62a,62b間および各ガイド・レール63a,
63b間の各平行度P1,P2(図8)を厳密に確保し
なければならないことから、高い加工精度さらには組立
精度が要求される結果、コスト高になってしまうという
解決すべき課題もあった。
【0013】さらに、可動台68に固着された各ガイド
・レール62a,62bと固定台69に固着された各ガ
イド・レール63a,63bが、ボール61を介して強
固に連結されているために、可動台68と固定台69と
を容易に分離することができない。したがって、上下方
向における揺動を小さくすることはできるものの、可動
台68を取り外して内部を修理したり、各ガイド・レー
ル62a,62b,63a,63bを研磨することなど
が困難であり、長期の製品寿命を期待することができな
いという未解決の課題もあった。
・レール62a,62bと固定台69に固着された各ガ
イド・レール63a,63bが、ボール61を介して強
固に連結されているために、可動台68と固定台69と
を容易に分離することができない。したがって、上下方
向における揺動を小さくすることはできるものの、可動
台68を取り外して内部を修理したり、各ガイド・レー
ル62a,62b,63a,63bを研磨することなど
が困難であり、長期の製品寿命を期待することができな
いという未解決の課題もあった。
【0014】
【課題を解決するための手段】そこで、上記各課題を解
決するために、本発明はなされたものである。そのため
に、本発明では、上面部が平面状に形成された固定台の
上面部に少なくとも2列に直列に配置された所定数の鋼
製のボールを配置するとともに、ボールの配置列を保持
するためのリテナーを配置する。そして、リテナーにガ
イドされて一軸方向において前後に移動可能な可動台を
鋼製のボールの上に搭載して移動せしめるようにした。
決するために、本発明はなされたものである。そのため
に、本発明では、上面部が平面状に形成された固定台の
上面部に少なくとも2列に直列に配置された所定数の鋼
製のボールを配置するとともに、ボールの配置列を保持
するためのリテナーを配置する。そして、リテナーにガ
イドされて一軸方向において前後に移動可能な可動台を
鋼製のボールの上に搭載して移動せしめるようにした。
【0015】また、固定台の上面部に可動台を吸引する
ための磁石を配置し、さらには、可動台および固定台を
それぞれ断面L字状に形成して、これらを重合するよう
に配置するとともに、可動台の1つの側面と対向する固
定台の垂直面に可動台を吸引するための磁石を配置する
ようにもした。
ための磁石を配置し、さらには、可動台および固定台を
それぞれ断面L字状に形成して、これらを重合するよう
に配置するとともに、可動台の1つの側面と対向する固
定台の垂直面に可動台を吸引するための磁石を配置する
ようにもした。
【0016】
【作用】以上のように構成したから、上方からの荷重に
対して強度の剛性が得られる一方で、可動台の移動を妨
げる摩擦抵抗が転がり抵抗のみとなって磨耗度が小さく
なり、長期にわたり高い精度を維持することができるよ
うになった。また、加工および組立も極めて容易に行な
えるようになった。
対して強度の剛性が得られる一方で、可動台の移動を妨
げる摩擦抵抗が転がり抵抗のみとなって磨耗度が小さく
なり、長期にわたり高い精度を維持することができるよ
うになった。また、加工および組立も極めて容易に行な
えるようになった。
【0017】
【実施例】本発明による移動テーブルにおける可動台を
移動せしめるための移動機構の原理について、図1を用
いて説明する。ここで、図1は、本発明による移動テー
ブルの概略的な構成概念を示す斜視図であり、一部を省
略して図示している。
移動せしめるための移動機構の原理について、図1を用
いて説明する。ここで、図1は、本発明による移動テー
ブルの概略的な構成概念を示す斜視図であり、一部を省
略して図示している。
【0018】図1において、図示されてはいない固定具
により所定位置に固定された固定台19における平面状
に形成された上面部の両端付近には、2列に直列に配置
された所定数の鋼製の同一径のボール11の転がりをガ
イドするための、ボール11の転がり面が平面状に形成
された各ガイド・レール12c,12dが、固定台19
の長手方向に沿って固定台19に埋め込むようにして平
行に配設されている。同様に、可動台18の下面部の両
端付近には、ボール11の転がり面が平面状に形成され
た各ガイド・レール12a,12bが、稼動台18の長
手方向に沿って可動台18に埋め込むようにして平行に
配設されている。
により所定位置に固定された固定台19における平面状
に形成された上面部の両端付近には、2列に直列に配置
された所定数の鋼製の同一径のボール11の転がりをガ
イドするための、ボール11の転がり面が平面状に形成
された各ガイド・レール12c,12dが、固定台19
の長手方向に沿って固定台19に埋め込むようにして平
行に配設されている。同様に、可動台18の下面部の両
端付近には、ボール11の転がり面が平面状に形成され
た各ガイド・レール12a,12bが、稼動台18の長
手方向に沿って可動台18に埋め込むようにして平行に
配設されている。
【0019】そして、可動台18の各ガイド・レール1
2a,12bと固定台19の各ガイド・レール12c,
12dとにより各ボール11を挟むようにして、可動台
18が各ボール11の上に搭載される。そこで、適宜の
駆動手段を用いて可動台18を移動せしめれば、可動台
18は所望の位置まで移動することになる。
2a,12bと固定台19の各ガイド・レール12c,
12dとにより各ボール11を挟むようにして、可動台
18が各ボール11の上に搭載される。そこで、適宜の
駆動手段を用いて可動台18を移動せしめれば、可動台
18は所望の位置まで移動することになる。
【0020】図2は、図1を用いて説明した原理に基づ
く、本発明による測定装置における移動テーブルの一実
施例の構成を示すものである。ここで、図2(a)は、
本実施例における移動テーブルの一部を切欠いた斜視
図、図2(b)は、図2(a)に示した移動テーブルの
可動台を取り外した状態を示す平面図であり、図7にお
ける構成要素に対応するものについては、図7で用いた
符号と同じ符号を付している。
く、本発明による測定装置における移動テーブルの一実
施例の構成を示すものである。ここで、図2(a)は、
本実施例における移動テーブルの一部を切欠いた斜視
図、図2(b)は、図2(a)に示した移動テーブルの
可動台を取り外した状態を示す平面図であり、図7にお
ける構成要素に対応するものについては、図7で用いた
符号と同じ符号を付している。
【0021】図2(a)において、鋼材からなる固定台
29の上面部の両端付近に平行に配設された各ガイド・
レール22c,22d、および鋼材からなる可動台28
の下面部の両端付近に平行に配設された各ガイド・レー
ル22a,22bには、各ボール21の転がりによる磨
耗を防ぐために、焼き入れをした鋼材を用いている。そ
して、各ボール21はそれぞれの直列の配置列を保持す
るためのリテナー23に保持されて各ガイド・レール2
2c,22d上を転がり、各ボール21の上に搭載され
た可動台28は、リテナー23にガイドされて一軸方向
において前後に移動する。なお、各ガイド・レール22
a〜22dは、その上端部が可動台28の下面部および
固定台29の上面部よりは若干露出するように配設した
方が、各ガイド・レール22a〜22dにおけるボール
21の転がり面を研磨する場合の便宜を考慮すれば望ま
しい。
29の上面部の両端付近に平行に配設された各ガイド・
レール22c,22d、および鋼材からなる可動台28
の下面部の両端付近に平行に配設された各ガイド・レー
ル22a,22bには、各ボール21の転がりによる磨
耗を防ぐために、焼き入れをした鋼材を用いている。そ
して、各ボール21はそれぞれの直列の配置列を保持す
るためのリテナー23に保持されて各ガイド・レール2
2c,22d上を転がり、各ボール21の上に搭載され
た可動台28は、リテナー23にガイドされて一軸方向
において前後に移動する。なお、各ガイド・レール22
a〜22dは、その上端部が可動台28の下面部および
固定台29の上面部よりは若干露出するように配設した
方が、各ガイド・レール22a〜22dにおけるボール
21の転がり面を研磨する場合の便宜を考慮すれば望ま
しい。
【0022】各ボール21のそれぞれの配置列を保持す
るためのリテナー23は、図2(b)に示されるよう
に、平面形状がコ字状に形成された板材である。そし
て、各ボール21の径よりは若干小さいの径の多くの孔
部がリテナー23の両腕部に設けられ、これらの孔部に
各ボール21が嵌め込まれるようにしてその直列の配置
列が保持される。なお、図2(b)では、各光センサ2
6a,26bの図示は省略している。
るためのリテナー23は、図2(b)に示されるよう
に、平面形状がコ字状に形成された板材である。そし
て、各ボール21の径よりは若干小さいの径の多くの孔
部がリテナー23の両腕部に設けられ、これらの孔部に
各ボール21が嵌め込まれるようにしてその直列の配置
列が保持される。なお、図2(b)では、各光センサ2
6a,26bの図示は省略している。
【0023】このリテナー23は、図2(a)に示すよ
うに、可動台28の下面部の両端付近および固定台29
の上面部の両端付近にそれぞれ長手方向に沿って設けら
れた断面コ字状の溝部に嵌め込まれた、断面凸字状のガ
イド板24a,24bに接触しながらガイドされて各ボ
ール21の転がりに伴い移動する。
うに、可動台28の下面部の両端付近および固定台29
の上面部の両端付近にそれぞれ長手方向に沿って設けら
れた断面コ字状の溝部に嵌め込まれた、断面凸字状のガ
イド板24a,24bに接触しながらガイドされて各ボ
ール21の転がりに伴い移動する。
【0024】図2(a)において、可動台28は、図7
に示した従来例における可動台68が固定台69と強固
に連結されているのとは異なり、各ボール21の上に単
に搭載されているだけである。そこで、固定台29に円
板状の同一径の磁石25を固定台29に埋め込むように
して配置して、その吸引力により可動台28の揺動と離
脱を防ぐようにしている。なお、磁石25の吸引力が、
可動台28の移動に影響を与えることはない。
に示した従来例における可動台68が固定台69と強固
に連結されているのとは異なり、各ボール21の上に単
に搭載されているだけである。そこで、固定台29に円
板状の同一径の磁石25を固定台29に埋め込むように
して配置して、その吸引力により可動台28の揺動と離
脱を防ぐようにしている。なお、磁石25の吸引力が、
可動台28の移動に影響を与えることはない。
【0025】本実施例では、図2(b)に示すように、
送りねじ72を挟むようにして4個の磁石25が配置さ
れている。これらの磁石25は、図3に示すように、磁
石25の上面部と1点鎖線で示す可動台28の下面部と
の間に僅かな間隙をもたせるようにして配置されてい
る。間隙の幅は、0.2〜0.5ミリメートルが好ましい。磁
石25の大きさおよび個数は、可動台28の大きさに応
じて適宜設定ればよい。なお、図3では、光センサ26
bの図示は省略した。
送りねじ72を挟むようにして4個の磁石25が配置さ
れている。これらの磁石25は、図3に示すように、磁
石25の上面部と1点鎖線で示す可動台28の下面部と
の間に僅かな間隙をもたせるようにして配置されてい
る。間隙の幅は、0.2〜0.5ミリメートルが好ましい。磁
石25の大きさおよび個数は、可動台28の大きさに応
じて適宜設定ればよい。なお、図3では、光センサ26
bの図示は省略した。
【0026】図2(a)において、固定台29の1つの
側面には、それぞれ発光素子と受光素子が対向してなる
2個の光センサ26a,26bが、図示されはいない取
付具により取り付けられている。また、可動台28の1
つの側面には、各光センサ26a,26bにおける受光
素子への発光素子からの射出光を遮断するための遮光片
27が取り付けられている。そして、可動台28の前後
動に伴い移動する遮光片27によりオン・オフが切り換
えられる各光センサ26a,26bからの信号に基づい
て、モータ71の駆動が制御される。
側面には、それぞれ発光素子と受光素子が対向してなる
2個の光センサ26a,26bが、図示されはいない取
付具により取り付けられている。また、可動台28の1
つの側面には、各光センサ26a,26bにおける受光
素子への発光素子からの射出光を遮断するための遮光片
27が取り付けられている。そして、可動台28の前後
動に伴い移動する遮光片27によりオン・オフが切り換
えられる各光センサ26a,26bからの信号に基づい
て、モータ71の駆動が制御される。
【0027】一方の光センサ26aは、被測定物を搭載
して測定位置に向けて移動する可動台28が停止する位
置を検出するためのものであり、他方の光センサ26b
は、測定が終了した場合に可動台28が戻るホーム・ポ
ジションを検出するためのものである。
して測定位置に向けて移動する可動台28が停止する位
置を検出するためのものであり、他方の光センサ26b
は、測定が終了した場合に可動台28が戻るホーム・ポ
ジションを検出するためのものである。
【0028】以上のように構成された本実施例における
移動テーブルの可動台28に被測定物を搭載して、これ
を測定位置まで移動せしめる場合は、モータ71と連動
する送りねじ72の駆動のもとに、可動台28は測定位
置に向けて移動する。この場合、本願出願人の実験によ
ると、40ミリメートルの前後動で生ずるガタが0.5マイ
クロメートルであり、図7に示した従来例で同価格程度
のものが、同じ40ミリメートルの前後動で生ずるガタが
2〜3マイクロメートルであるのに対して、極めて良好
な結果を得た。
移動テーブルの可動台28に被測定物を搭載して、これ
を測定位置まで移動せしめる場合は、モータ71と連動
する送りねじ72の駆動のもとに、可動台28は測定位
置に向けて移動する。この場合、本願出願人の実験によ
ると、40ミリメートルの前後動で生ずるガタが0.5マイ
クロメートルであり、図7に示した従来例で同価格程度
のものが、同じ40ミリメートルの前後動で生ずるガタが
2〜3マイクロメートルであるのに対して、極めて良好
な結果を得た。
【0029】以上説明した本実施例における可動台28
は、前述したように、固定台29とは連結されておら
ず、各ボール21の上に搭載されているだけである。そ
のために、固定台29の上面部に磁石25を配置して、
その吸引力により可動台28の離脱を防止しているので
あるが、ときには可動台28が離脱することも考えられ
る。そこで、たとえば、図4に示すように、断面L字状
に形成された4個のガード部材31a〜31dを、固定
台29の四隅に取付ければ、可動台28の離脱を一層確
実に防止することができる。
は、前述したように、固定台29とは連結されておら
ず、各ボール21の上に搭載されているだけである。そ
のために、固定台29の上面部に磁石25を配置して、
その吸引力により可動台28の離脱を防止しているので
あるが、ときには可動台28が離脱することも考えられ
る。そこで、たとえば、図4に示すように、断面L字状
に形成された4個のガード部材31a〜31dを、固定
台29の四隅に取付ければ、可動台28の離脱を一層確
実に防止することができる。
【0030】図5は、本発明の他の実施例の概略的な構
成概念を示す、一部を切欠いた斜視図であり、一部を省
略して図示している。また、図2における構成要素に対
応するものについては、図2で用いた符号と同じ符号を
付した。
成概念を示す、一部を切欠いた斜視図であり、一部を省
略して図示している。また、図2における構成要素に対
応するものについては、図2で用いた符号と同じ符号を
付した。
【0031】図5において、図2に示した実施例と異な
るところを説明する。図2に示した実施例における各ガ
イド板24a,24bが、前後に移動するリテナー23
との接触抵抗により磨耗した場合、可動台28に幅方向
におけるガタが生じてしまうこともあり得る。そこで、
本実施例では、可動台48および固定台49をそれぞれ
断面L字状に形成したうえで、これらが重合するように
配置する。そして、可動台48の1つの側面と対向する
固定台49の垂直面に、円板状の各磁石25を埋め込む
ようにして配置している。また、固定台49の1つの側
面およびこれに対向する可動台48の垂直面に、それぞ
れガイド・レール42a,42bを配設して、図5では
図示されてはいないリテナーによりその配置列が保持さ
れた各ボール41が各ガイド・レール42a,42bに
ガイドされて転がるようにしている。このように構成す
れば、各磁石45の吸引力により可動台48の幅方向に
おけるガタを防ぐことが可能となる。その他の構成要素
は、図2に示した実施例と同じである。
るところを説明する。図2に示した実施例における各ガ
イド板24a,24bが、前後に移動するリテナー23
との接触抵抗により磨耗した場合、可動台28に幅方向
におけるガタが生じてしまうこともあり得る。そこで、
本実施例では、可動台48および固定台49をそれぞれ
断面L字状に形成したうえで、これらが重合するように
配置する。そして、可動台48の1つの側面と対向する
固定台49の垂直面に、円板状の各磁石25を埋め込む
ようにして配置している。また、固定台49の1つの側
面およびこれに対向する可動台48の垂直面に、それぞ
れガイド・レール42a,42bを配設して、図5では
図示されてはいないリテナーによりその配置列が保持さ
れた各ボール41が各ガイド・レール42a,42bに
ガイドされて転がるようにしている。このように構成す
れば、各磁石45の吸引力により可動台48の幅方向に
おけるガタを防ぐことが可能となる。その他の構成要素
は、図2に示した実施例と同じである。
【0032】以上においては、測定装置において被測定
物を測定位置まで移動せしめるための移動テーブルを例
に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定される
ものではなく、その他にも、たとえば工作機械において
被加工物を所定位置まで移動せしめるための移動テーブ
ルについても、本発明は適用され得るものである。
物を測定位置まで移動せしめるための移動テーブルを例
に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定される
ものではなく、その他にも、たとえば工作機械において
被加工物を所定位置まで移動せしめるための移動テーブ
ルについても、本発明は適用され得るものである。
【0033】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によるならば、可動台が固定台に2列に直列に配置され
たボールの上に搭載されているので、上方からの荷重に
対して強度の剛性を有する。
によるならば、可動台が固定台に2列に直列に配置され
たボールの上に搭載されているので、上方からの荷重に
対して強度の剛性を有する。
【0034】また、移動テーブルを移動せしめる場合、
従来例では各ボールとこれを挟む各ガイド・レールとの
間に大きな摺動抵抗があるのに対して、本発明における
可動台の移動を妨げる摩擦抵抗は、各ガイド・レールに
ガイドされて転がる各ボールの転がり抵抗だけである。
したがって、各ガイド・レールの磨耗度を小さくおさえ
ることができ、高い精度を長期にわたり維持することが
可能となる。しかも、小さい力で可動台を移動せしめる
ことができるので、それだけ可動台を移動せしめるため
の駆動装置も出力が小さいもので足りることになる。
従来例では各ボールとこれを挟む各ガイド・レールとの
間に大きな摺動抵抗があるのに対して、本発明における
可動台の移動を妨げる摩擦抵抗は、各ガイド・レールに
ガイドされて転がる各ボールの転がり抵抗だけである。
したがって、各ガイド・レールの磨耗度を小さくおさえ
ることができ、高い精度を長期にわたり維持することが
可能となる。しかも、小さい力で可動台を移動せしめる
ことができるので、それだけ可動台を移動せしめるため
の駆動装置も出力が小さいもので足りることになる。
【0035】さらに、本発明による移動テーブルでは、
従来例のガイド・レールにおける断面V字状の溝部を形
成するような加工工程は必要ではなく、ガイド・レール
を含む各部の加工工程においては平面加工だけで足り、
したがって面精度だけを考慮すればよい。すなわち、加
工が容易であり、高精度を要する部品点数が少ないこと
から、高い精度の移動テーブルを低価格で実現すること
ができる。しかも、高い組立精度も要求されないから、
組立も容易である。
従来例のガイド・レールにおける断面V字状の溝部を形
成するような加工工程は必要ではなく、ガイド・レール
を含む各部の加工工程においては平面加工だけで足り、
したがって面精度だけを考慮すればよい。すなわち、加
工が容易であり、高精度を要する部品点数が少ないこと
から、高い精度の移動テーブルを低価格で実現すること
ができる。しかも、高い組立精度も要求されないから、
組立も容易である。
【0036】そのうえ、可動台を取り外すことができる
ことから、内部の修理やガイド・レールの研磨なども簡
単に行なうことが可能であり、より長期の製品寿命を確
保することができる。また、可動台と固定台との間隙
は、ほぼボール径分あれば充分なので、移動テーブルの
薄型化も可能である。したがって、本発明によってもた
らされる効果は、実用上極めて大きい。
ことから、内部の修理やガイド・レールの研磨なども簡
単に行なうことが可能であり、より長期の製品寿命を確
保することができる。また、可動台と固定台との間隙
は、ほぼボール径分あれば充分なので、移動テーブルの
薄型化も可能である。したがって、本発明によってもた
らされる効果は、実用上極めて大きい。
【図1】本発明による移動テーブルにおける移動機構の
原理を説明するための原理説明図である。
原理を説明するための原理説明図である。
【図2】本発明の一実施例の構成を示す、一部を切欠い
た斜視図である。
た斜視図である。
【図3】図2のA−A線に沿う断面図である。
【図4】図2に示した実施例における固定台にガード部
材を取付けた様子を示す斜視図である。
材を取付けた様子を示す斜視図である。
【図5】本発明の他の実施例の構成概念を示す、一部を
切欠いた斜視図である。
切欠いた斜視図である。
【図6】従来の移動テーブルの移動機構の原理を説明す
るための原理説明図である。
るための原理説明図である。
【図7】従来例の構成を示す、一部を切欠いた斜視図で
ある。
ある。
【図8】図7のB−B線に沿う部分拡大断面図である。
11,21,31,41,51,61 ボール 12a〜12d,22a〜22d,42a,42b,5
2a,52b,53a,53b,62a,62b,63
a,63b ガイド・レール 18,28,48,58,68 可動台 19,29,49,59,69 固定台 26a,26b 光センサ 27 遮光片 31a〜31d ガード部材 71 モータ 72 送りねじ
2a,52b,53a,53b,62a,62b,63
a,63b ガイド・レール 18,28,48,58,68 可動台 19,29,49,59,69 固定台 26a,26b 光センサ 27 遮光片 31a〜31d ガード部材 71 モータ 72 送りねじ
Claims (3)
- 【請求項1】 上面部が平面状に形成され所定位置に固
定された固定台手段(19,29)と、 前記固定台手段に少なくとも2列に直列に配置された所
定数の鋼製のボール(11,21)と、 前記少なくとも2列に直列に配置された所定数の鋼製の
ボールの配置列を保持するためのリテナー手段(23)
と、 前記少なくとも2列に直列に配置された所定数の鋼製の
ボールの上に搭載され前記リテナー手段にガイドされて
一軸方向において前後に移動可能な可動台手段(18,
28)と、 を具備した移動テーブル。 - 【請求項2】 前記固定台手段の上面部に前記可動台手
段を吸引するための磁石(25)が配置されたものであ
る請求項1記載の移動テーブル。 - 【請求項3】 所定位置に固定された断面L字状の固定
台手段(49)と、 前記固定台手段に少なくとも2列に直列に配置された所
定数の鋼製のボール(21)と、 前記少なくとも2列に直列に配置された所定数の鋼製の
ボールの配置列を保持するためのリテナー手段(23)
と、 前記少なくとも2列に直列に配置された所定数の鋼製の
ボールの上に前記固定台手段と重合されるように搭載さ
れ前記リテナー手段にガイドされて一軸方向において前
後に移動可能な断面L字状の可動台手段(48)と、 前記可動台手段の1つの側面と対向する前記固定台手段
の垂直面に配置された前記可動台手段を吸引するための
磁石(45)と、 を具備した移動テーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12572694A JPH07308834A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | 移動テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12572694A JPH07308834A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | 移動テーブル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07308834A true JPH07308834A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=14917262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12572694A Pending JPH07308834A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | 移動テーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07308834A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7184129B2 (en) | 2003-07-23 | 2007-02-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning method, and positioning apparatus |
JP2015038472A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-26 | 株式会社平出精密 | ステージ装置 |
CN105465174A (zh) * | 2016-01-18 | 2016-04-06 | 苏州艾力光电科技有限公司 | 一种耐磨直线导轨 |
JP2016205592A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社トプコン | スライドガイドユニット及び測量装置 |
-
1994
- 1994-05-16 JP JP12572694A patent/JPH07308834A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7184129B2 (en) | 2003-07-23 | 2007-02-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning method, and positioning apparatus |
JP2015038472A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-26 | 株式会社平出精密 | ステージ装置 |
JP2016205592A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社トプコン | スライドガイドユニット及び測量装置 |
CN105465174A (zh) * | 2016-01-18 | 2016-04-06 | 苏州艾力光电科技有限公司 | 一种耐磨直线导轨 |
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