JP2014521976A - 改良型低温試料ホルダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像形成及び解析のための改良された低温試料ホルダは、幅広い範囲の非常に大きな傾斜角度での画像形成を容易にする。引込式試料ホルダの先端部が、移送中に試料を保護する。デュワー瓶は、ホルダの軸に対して固定傾斜角度に位置し、大きな傾斜角度及び容器内に存在する液体窒素量と無関係に試料を継続的に冷却するように最適に設計される。デュワー瓶のネック部は、窒素気泡が閉じ込められることを低減し、その形状は、傾斜角度が大きい場合に液体窒素が流出することを防止するように設計される。試料ホルダは、試料ホルダ本体内部のシールド環境内の試料を完全に密閉する引込式先端部を有する。冷却及び試料移送機構は、熱ドリフトを低減し、デュワー瓶内に存在する液体窒素の蒸発、並びに他の環境的な影響の両方によって生成される振動の悪影響を低減する。
【選択図】図1
Description
202 ハウジング
207 ネック部
209 開口部
210 中央バレル
212 前面バレル
502 電気コネクタ
504 バルブ
Claims (41)
- 試料を受け取り、冷却し、画像形成装置及び解析装置の少なくとも1つにおいて該試料を位置決めする低温試料ホルダであって、該ホルダは、
前記試料を受け取り、支持するためのリセプタクルと、
液体冷却媒体のための集積点を有し、該液体冷却媒体を収納するためのリザーバと、
前記液体冷却媒体及び前記リセプタクルに対し熱的に接続され、前記リザーバ内における液体冷却媒体の収納量及び前記リザーバの空間的方向とは無関係に前記集積点において前記液体冷却媒体と近接接触する熱伝導体と、
前記画像形成装置及び解析装置の前記少なくとも1つ内における予め選定された位置に前記試料を位置決めするための、前記リザーバと前記リセプタクルとの間に取り付けられた細長いバレルと、
を備える、低温試料ホルダ。 - 前記リザーバは断面が円形である、請求項1に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバは形状が円筒形である、請求項2に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバは更に、弧状セクションを備え、前記集積点が該弧状セクション上に位置する、請求項3に記載の低温試料ホルダ。
- 前記円筒形リザーバは、前記円筒形リザーバの中心に位置する中心軸を有し、前記細長いバレルは、長手方向軸を有し、前記リザーバの前記中心軸は、前記細長いバレルの前記長手方向軸から20度変位している、請求項3に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバの前記少なくとも1つの弧状セクションは、前記円筒形リザーバの壁部によって形成される、請求項4に記載の低温試料ホルダ。
- 前記試料ホルダは、前記細長いバレルの長手方向軸周りに回転して、前記試料を画像形成装置及び解析装置の前記少なくとも1つに対して傾斜するように変位させるように構成された、請求項1に記載の低温試料ホルダ。
- 前記ホルダは、直立位置からプラス又はマイナス90度までの範囲で回転するようになった、請求項7に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバは更に、前記液体冷却媒体を受け、前記ホルダの前記長手方向軸に沿った回転中に該液体冷却媒体を収納する少なくとも1つの傾斜壁を備える、請求項7に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバは、形状が円筒形であり、前記冷却媒体を導入するための開口部を備え、前記少なくとも1つの傾斜壁は、前記円筒形リザーバの壁部及び前記開口部から延びている、請求項9に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルと前記液体冷却媒体とは、前記バレル内に延びる熱伝導体により熱的に接続されるようになった、請求項1に記載の低温試料ホルダ。
- 前記熱伝導体は更に、少なくとも1つの可撓性部材を備える、請求項11に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバは、真空空間によって前記ハウジングから分離されている、請求項1に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバは、前記リザーバと前記ハウジングとの間の熱伝導を最小にする細長いコネクタのみを介して前記ハウジング内に取り付けられている、請求項1に記載の低温試料ホルダ。
- 前記細長いコネクタは更に、曲りくねった渦巻状経路を備える、請求項14に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルは、前記バレルから熱的に遮断されている、請求項1に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルは、前記バレル内に摺動可能に取り付けられ、前記バレルから熱的に遮断されている、請求項1に記載の低温試料ホルダ。
- 前記摺動可能に取り付けられたリセプタクルは、作動モードにおいて前記バレルの外に伸長し、非作動モードにおいて前記バレル内に引き込まれるようにされた、請求項17に記載の低温試料ホルダ。
- 独立に準備された試料を、受け取り、支持し、画像形成装置及び解析装置の少なくとも1つにおいて位置決めする低温試料ホルダであって、該ホルダは、
液体冷却媒体の保管のためのリザーバと、
前記独立に準備された試料を受け取り、前記液体冷却媒体に対し熱的に接続された状態で支持するためのリセプタクルと、
前記画像形成装置内の予め選定された位置に前記試料を位置決めするための、前記リザーバと前記リセプタクルとの間に取り付けられた細長いバレルと、
を備え、前記リセプタクルは、前記細長いバレル内に摺動可能に取り付けられ、作動モードにおいて前記バレルの外に伸長し、非作動モードにおいて前記バレル内に引き込まれるようになった、
低温試料ホルダ。 - 前記試料ホルダは、前記細長いバレルの長手方向軸周りに回転して、前記試料を前記画像形成装置及び解析装置の前記少なくとも1つに対して傾斜するように変位させるようになっている、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記ホルダは、直立位置からプラス又はマイナス90度まで回転するようになった、請求項7に記載の低温試料ホルダ。
- 前記細長バレルと前記リセプタクルとの間に介在する弾性部材を更に備える、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記弾性部材はばねから構成される、請求項22に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルは、構成部材から構成され、前記弾性部材は、前記リセプタクルの構成部材間の接触力を増加させて、前記リセプタクル構成部材間の熱移動を改善するようにされた、請求項22に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルは更に、固定ハウジング内に取り付けられた摺動可能カートリッジを備える、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記摺動可能カートリッジと前記固定ハウジングとの間に介在する弾性部材を更に備える、請求項25に記載の低温試料ホルダ。
- 前記弾性部材は、ばねから構成される、請求項26に記載の低温試料ホルダ。
- 前記弾性部材は、前記摺動可能カートリッジと前記固定ハウジングとの間の接触力を増加させ、前記摺動可能カートリッジと前記固定ハウジングとの間の熱移動を改善するようになった、請求項26に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルと前記リザーバとは、前記バレル内に延びる熱伝導体により熱的に接続されるようになった、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記熱伝導体は更に、少なくとも1つの可撓性部材を備える、請求項29に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルに対し熱的に接続された温度センサを更に備える、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルは、前記細長いバレルから熱的に遮断されている、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リセプタクルは、固定ハウジング内に取り付けられた摺動可能カートリッジ上に位置決めされており、該ハウジングは、前記細長いバレルから前記ハウジングを熱的及び振動的に遮断する複数の遮断部材の間に位置させられている、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記細長いバレル内に取り付けられ、前記細長いバレル内の摺動可能カートリッジの遠方への変位のために前記摺動可能カートリッジと物理的に接触する操作アームを更に備える、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記細長いバレル内に摺動可能に取り付けられた操作アームを更に備え、該操作アームは、前記摺動可能カートリッジと物理的に接触し、前記カートリッジを、前記作動モードにおいて前記バレルに対し外方に伸長させ、前記非作動モードにおいて前記バレル内に引き込ませるようになった、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
- 前記操作アームは、前記摺動可能カートリッジの受け入れ用スロット内に摺動可能に配置されている、請求項34に記載の低温試料ホルダ。
- 前記操作アームは、前記リセプタクルから熱的及び振動的に遮断されている、請求項34に記載の低温試料ホルダ。
- 前記操作アームは更に、前記操作アームを変位させるための制御組立体を備える、請求項34に記載の低温試料ホルダ。
- 前記操作組立体は、前記ホルダ内の真空環境と外気との間のバリアを構成し、該バリアは、シールされた回転制御部を備える、請求項37に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバは更に、前記液体冷却媒体を前記リザーバ内の特定の位置に保持するための吸着媒体及び吸着性材料の一つを備える、請求項1に記載の低温試料ホルダ。
- 前記リザーバは更に、前記液体冷却媒体を前記リザーバ内の特定の位置に保持するための吸着媒体及び吸着性材料の一つを備える、請求項19に記載の低温試料ホルダ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161515359P | 2011-08-05 | 2011-08-05 | |
US61/515,359 | 2011-08-05 | ||
PCT/US2012/048716 WO2013022626A1 (en) | 2011-08-05 | 2012-07-27 | Improved cryogenic specimen holder |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014521976A true JP2014521976A (ja) | 2014-08-28 |
JP6008965B2 JP6008965B2 (ja) | 2016-10-19 |
Family
ID=47668802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014525040A Expired - Fee Related JP6008965B2 (ja) | 2011-08-05 | 2012-07-27 | 改良型低温試料ホルダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9010202B2 (ja) |
EP (1) | EP2739395A4 (ja) |
JP (1) | JP6008965B2 (ja) |
WO (1) | WO2013022626A1 (ja) |
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- 2012-07-27 EP EP12821766.8A patent/EP2739395A4/en not_active Withdrawn
- 2012-07-27 JP JP2014525040A patent/JP6008965B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-07-27 WO PCT/US2012/048716 patent/WO2013022626A1/en active Application Filing
- 2012-07-27 US US13/560,647 patent/US9010202B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9010202B2 (en) | 2015-04-21 |
US20130014528A1 (en) | 2013-01-17 |
WO2013022626A1 (en) | 2013-02-14 |
EP2739395A1 (en) | 2014-06-11 |
EP2739395A4 (en) | 2015-06-03 |
JP6008965B2 (ja) | 2016-10-19 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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