JP2018129163A - 試料移動装置及び電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
1−1.電子顕微鏡の構成
まず、本発明の第1の実施の形態例(以下、「本例」という。)にかかる電子顕微鏡について図1を参照して説明する。
図1は、本例のカートリッジ保持装置を示す概略構成図である。
次に、図2及び図3を参照して試料移動装置1の構成について説明する。
図2は、試料移動装置1を示す断面図である。
図3に示すように、蓋部材7には、供給孔7aと、排出孔7bが設けられている。供給孔7a及び排出孔7bは、蓋部材7を貫通し、容器部6の内部と連通している。供給孔7aには、タンク側接続部材16を介して供給配管8が接続されている。そして、供給配管8は、蓋部材7の供給孔7aを介して容器部6の内部と連通する。また、排出孔7bには、タンク側接続部材18を介して排出配管9が接続されている。排出配管9は、蓋部材7の排出孔7bを介して容器部6の内部と連通する。
次に、上述した構成を有する試料移動装置1における試料ホルダー5の設置方法について説明する。
まず、試料ホルダー5に接続された冷却タンク20の容器部6に液体窒素を充填する。このとき、蓋部材7は、容器部6から取り外されており、筐体10内に配置されている。また、蓋部材7には、予め供給配管8及び排出配管9が接続されている。
次に、図4を参照して本発明の試料移動装置の第2の実施の形態例について説明する。
図4は、第2の実施の形態例にかかる試料移動装置の断面図である。
次に、図5及び図6を参照して本発明の試料移動装置の第3の実施の形態例について説明する。
図5は、第3の実施の形態例にかかる試料移動装置の断面図、図6は、第3の実施の形態例にかかる試料移動装置の蓋部材を拡大して示す断面図である。
Claims (7)
- 試料を保持する保持部を有する試料ホルダーと、
前記試料ホルダーに設けられ、前記試料を冷却するための液体窒素を収容する冷却タンクと、
前記試料ホルダー及び前記冷却タンクを収容し、開口部を有する筐体と、
前記開口部を開閉可能に密閉するカバーと、
前記冷却タンクに接続され、前記冷却タンクの内部と連通する排出配管と、を備え、
前記排出配管は、
前記冷却タンクから気化した前記液体窒素を排出する排出口を有し、
前記排出口は、前記筐体の外側に配置される
試料移動装置。 - 前記排出口は、前記筐体における上下方向の下部に配置される
請求項1に記載の試料移動装置。 - 前記冷却タンクは、
前記試料ホルダーに設けられ、前記液体窒素を収容する容器部と、
前記容器部に設けた口部の開口を密閉する蓋部材と、を有し、
前記蓋部材は、前記排出配管が接続され、前記冷却タンクの内部と連通する排出孔を有する
請求項1又は2に記載の試料移動装置。 - 前記冷却タンクに接続され、前記冷却タンクの内部と連通し、かつ前記冷却タンクに充填する前記液体窒素が通る供給配管を備え、
前記供給配管における前記液体窒素を供給する供給口は、前記筐体の外側に配置される
請求項1〜3のいずれか1項に記載の試料移動装置。 - 前記冷却タンクの内部の温度を検知する第1温度センサ及び第2温度センサを備え、
前記第2温度センサの検知部は、前記第1温度センサの検知部よりも前記冷却タンクの内部における上下方向の上部に配置される
請求項4に記載の試料移動装置。 - 前記供給配管の前記供給口に接続され、前記冷却タンクに供給する前記液体窒素が貯蔵された貯蔵タンクと、
前記排出配管の前記排出口に接続された真空ポンプと、
前記筐体の外側において、前記排出配管と前記真空ポンプの間に配置された電磁弁と、
を備えた請求項4又は5に記載の試料移動装置。 - 鏡筒と、
前記鏡筒の内部に配置され、電子線を放出する電子線源と、
前記電子線が照射される試料を移動可能に保持する試料移動装置と、を備え、
前記試料移動装置は、
前記試料を保持する保持部を有する試料ホルダーと、
前記試料ホルダーに設けられ、前記試料を冷却するための液体窒素を収容する冷却タンクと、
前記試料ホルダー及び前記冷却タンクを収容し、開口部を有する筐体と、
前記開口部を開閉可能に密閉するカバーと、
前記冷却タンクに接続され、前記冷却タンクの内部と連通する排出配管と、を備え、
前記排出配管は、
前記冷却タンクから気化した前記液体窒素を排出する排出口を有し、
前記排出口は、前記筐体の外側に配置される
電子顕微鏡。
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