JP2014516810A - 真空グリッパ装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】真空移送システムに適用されるグリッパ装置を提供すること。
【解決手段】本発明の装置は、中央に排出通路を有する胴体の側面下端部から前記排出通路の下端吸入口側につながる供給通路を含む。特に、前記胴体の下部には、前記供給通路の端部にラウンド(R)を提供して圧縮空気を排出通路において上向きにのみ移動させる案内ガイドが提供される。したがって、圧縮空気の少ない一部でも、下側のパッド部に流れ込む不要な流れが生じず、結果として迅速かつ効率的な対象物の吸着が行われるという効果がある。
【選択図】図4

Description

本発明は、真空グリッパ装置に係り、特に、主に真空移送システムに適用されるグリッパ装置に関する。
真空移送システムとは、高速で供給される圧縮空気を用いてグリッパの内部空間を排気することにより、その空間に真空および負圧を発生させ、その発生した負圧によって対象物が把持されると、ロボットメカニズム(Robotic mechanism)を作動させて対象物を所定の位置に移送させる構造のことをいう。本発明は、この種のシステムに適用されるグリッパ装置に関する。
伝統的に、真空グリッパは、中央にホールが設けられた胴体と、内部に排気空間を有するパッドとを含んでなる。前記パッドは胴体の下端部に結合する。この際、前記ホールと排気空間とは互いに連通する。真空移送システムにおいて、前記ホールには真空エジェクター(ejector)ポンプが連結され、高速の圧縮空気が前記ポンプを通過するとき、前記排気空間内の空気が前記ホールおよびポンプを経由して外部へ排出される。
上述したようなグリッパは、対象物の条件によって単独で、或いは複数の組み合わせで用いられるもので、グリップパワー(grip−power)が良いという長所がある。ところが、このグリッパを用いるためには、エジェクターポンプを別に備えなければならないので、システムの構築および動作が複雑になる短所がある。
図1は韓国公開特許第2011−19881号に開示された「セルピッカー(cell−picker)」を示す。前記ピッカーは、中央の供給通路2および前記供給通路2の下部から外方に延長された排出通路3を有する胴体1と、前記胴体1の下部に嵌合され、孔4を介して前記排出通路3に連通する吸着プレート5とを含んでなる。
高速の圧縮空気が供給通路2を介して下向きに供給され、続いて幅の狭い排出通路3を通過するとき、プレート5の内部空間の空気が前記孔4を介して排出通路3に吸入された後、圧縮空気と共に外部へ排出される(矢印○a参照)。そうすると、プレート5の内部空間に真空および負圧が発生し、これにより対象物がプレート5の底面に吸着されるのである(矢印○b参照)。
このピッカーにおいて、前記胴体1は真空エジェクターとしての機能を行う。よって、このピッカーを用いることにより、システムの構成を単純化することができるという長所がある。また、上記特許の明細書の記載によれば、前記ピッカーは比較的薄い軽量の対象物、例えば太陽電池の真空グリップに効果的に適用できるのである。ところが、ここには以下の重要な問題がある。
第一に、供給される圧縮空気の少なくとも一部が孔4を介して直接プレート5の内部に流れ込むが、これにより、使用される圧縮空気の量に比べて、得られる真空および負圧が弱い問題、真空到達速度が遅い問題、対象物に対する吸引力が弱い問題などがあり、開示されたピッカーではこれらの問題を解決することが可能な設計が構造的に不可能であると思われる。
第二に、供給される圧縮空気が、出来る限り狭く設計された排出通路3を通過しながらプレート5から排気され、これにより、実際の実現が難しく、不純物により通路が詰まってしまうという問題があり、もし排出通路3を拡張しようとすると、前述した第一の問題がさらに大きくなるので、開示されたピッカー構造ではこの問題も解決することができないと思われる。
図2は米国特許公開US2010/25905号に開示された「真空グリッパ」(vacuum gripper)を示す。開示されたグリッパは、前記ピッカーと比較して「inlet」と「outlet」が入れ替わっているだけであり、互いに類似した構成を持つ。
高速の圧縮空気が胴体6の下端部外側の狭い供給通路7を介して供給され、続いて中央の排出通路8を上向きに通過するとき、プレート5の内部空間の空気が排出通路8に吸入された後、圧縮空気と共に外部へ排出される(矢印○c参照)。そうすると、プレート5の内部空間Sに真空および負圧が発生し、これにより対象物がプレート5の底面に吸着されるのである(矢印○d参照)。
このグリッパにおいて、前記胴体6は、真空エジェクターとしての機能を行う。よって、このグリッパを用いることによりシステム構成を単純化することができるという長所がある。ところが、この構造においても、前記ピッカーと同様に、供給される圧縮空気の少なくとも一部が直接プレート5の内部に流れ込む。
上記特許の明細書の記載によれば、前記供給通路7と排出通路8とが接する胴体6の下端のスリーブ部分をラウンド(R)処理することにより、圧縮空気は排出通路8を上向きに移動することになる。ところが、圧縮空気流は実際前記ラウンドRによって拡散するだけであり、一方向、すなわち上向きに完全には誘導されないうえ、前記内部空間Sに負圧が形成されてからは不要な逆流空気流(矢印○e参照)が著しく発生する。
したがって、このグリッパにおいても、前述したピッカーの非効率の問題点がそのまま露出するのである。
本発明は、前述した従来の真空グリッパの問題点を解決するために提案されたものである。本発明の目的は、薄くて軽い対象物の安定な移送に適するように使用できる真空グリッパ装置を提供することにある。本発明の他の目的は、不要な空気流の形成を防止することにより、負圧の発生および対象物の把持を効率的かつ迅速に行うことが可能なグリッパ装置を提供することにある。
本発明のグリッパ装置は、下面の吸入口から内部の排出通路を介して側面または上面の排出口につながる排出ライン、および側面下部の流入口から供給通路を介して前記吸入口側につながる供給ラインを含む胴体と;前記胴体の下部に結合し、中心通孔の縁部が立ち上がり、前記吸入口の内側に同軸的に配置されることにより、前記供給ラインの端部の下部で上向きの傾斜またはラウンドを提供するリング状のエアガイドと;前記ガイドの下部に配置され、内部の排気空間と前記胴体の排出通路とが前記通孔および吸入口を介して互いに連通する吸着パッド部と;を含んでなる。
好ましくは、前記排出通路は、吸入口に比べて拡大した内側空間を有する。一方、前記供給通路は、口径が漸次拡張する形態で形成されるか、或いはこの形態を構成するための内蔵ノズルを含む。
本発明のグリッパ装置によれば、高速の圧縮空気は排出通路を上向きに移動しながら吸入口側に圧力降下を起こし、これによりパッド部の内部空間が排気される。特に、前記ガイドが圧縮空気の方向性を強制的に決定することにより、圧縮空気の少ない一部でも下側のパッド部に向かう不要な流れが生じない。よって、従来のグリッパに比べて、本発明のグリッパ装置は、負圧の発生および対象物の把持を効率的かつ迅速に行うことができるという効果がある。
従来のグリッパの断面図である。 従来の他のグリッパの断面図である。 本発明に係るグリッパ装置の斜視図である。 図3の「A−A」線に沿った断面図である。 本発明に係るグリッパ装置の作用を説明するための図である。
以上記載された、或いは記載されていない本発明の特徴および効果は、以下に添付図面を参照して説明する実施例の記載によってさらに明白になるであろう。図3以下の図面において、本発明のグリッパ装置は符号100で表示される。
図3および図4を参照すると、本発明に係るグリッパ装置100は、胴体10、エアガイド20および吸着パッド部30を含んでなる。前記ガイド20は胴体10の下部に螺合されており、前記パッド部30はガイド20の下部にボルト34で締結されている。但し、あたりまえであるが、本発明はこのような締結方式に限定されるものではない。
前記胴体10は圧縮空気の供給ラインと排出ラインを全て含む。
まず、前記排出ラインは、胴体10の下面の吸入口11から内部中央の排出通路12を通過し、続いて側面または上面の排出ポート13につながる一連のエアラインである。図示の如く、前記排出通路12は吸入口11側に比べて漸次拡張した内側空間を有する。
前記供給ラインは、胴体10の側面下部の流入口14から側壁供給通路15を通過し、続いて前記排出ラインの吸入口11側につながる一連のエアラインである。好ましくは、前記供給通路15は、口径が漸次拡張する形態で形成されるか、或いはこの形態を構成するために内部に取り付けられた一つ以上のノズル16を含む。
前記胴体10において各開口13、14の数または位置、各通路12、15の形態または口径などは、全体グリッパ装置100の規模、重さ、対象物の種類などによって様々かつ自由に設計できる。また、前記各通路12、15の漸進拡張形態は単位時間当たりの流速と流量を向上させるための設計であって、単純一字型の通路に比べて、グリッパ装置100における到達可能な真空度および速度を向上させる。
前記ガイド20は、中心に通孔21が設けられたリング状の部材であり、前記胴体10の供給ラインおよび排出ラインと有機的に配置される。具体的に、前記ガイド20は、通孔21の縁部が立ち上がり、前記吸入口11の内側に同軸的に配置されることにより、前記供給ラインの端部の下部で上向きの傾斜またはラウンドRを提供する。言い換えれば、前記供給ラインは、ガイド20から提供されたラウンドRによってその端部が上向きに反り上がって排出通路12につながるのである。
このようなガイド20および供給ラインの形態は、空気流の流れを完全に強制するということからみて、図2において単に胴体6の下端のスリーブ部分をラウンド(R)処理して空気流を拡散させるのとは相当な違いがある。
符号22は、上側の供給通路15と下側の排気空間31とを連通させるためにガイド20に設けられた小さなホールである。排気は中央の大きなホールである吸入口11だけでなく、この小さなホール22を介しても行われるが、これにより、排気の速度および排気による真空レベルが向上するという長所が生ずる。
前記パッド部30は、内部に排気空間31を有する通常の吸着パッドであればいずれも適用可能である。前記パッド部30は、胴体10およびガイド20の下部に締結される。この際、内部の排気空間31と前記胴体10の排出通路12とは通孔21および吸入口11を介して互いに連通する。符号34は、前記吸着パッド部30をガイド20の下部に締結させるために提供されたボルトである。
本実施例において、前記パッド部30は、多数の吸着ホール32が設けられた下部プレート33を含む。この吸着ホール32は前記排気空間31と一体に連結されて一つの空間を形成する。
上述したような吸着プレート33は、非常に薄くて変形し易い材質の対象物、または少しの損傷も許容されない対象物を安全に吸着させるために適用できる。一方、前記プレート33は、対象物が直接接触する面であるから、好ましくは、固形化された状態で材質が硬く静電気を起こさないものと知られているPEEK(polyetheretherketone)またはPOM(polyoxymethylene)樹脂で成形される。
図5を参照すると、本発明の真空グリッパ装置100は高速の圧縮空気によって作動する。まず、圧縮空気は、胴体10の流入口14および供給通路15から供給され、ガイド20のラウンドRにぶつかり、排出通路12を上向きに経由(矢印○1参照)した後、排出口13を介して外部へ排出される(矢印○3参照)。
ここで特記すべきことは、前記供給された圧縮空気は胴体10の下部に結合したガイド20によって全て排出通路12を上向きに通過して外部へ排出されることである。すなわち、本発明では、ガイド20が圧縮空気の方向性を強制的に予め「上向き」に決定することにより、圧縮空気の少ない一部でも、下方に配置されたパッド部30の内部の排気空間31を流れる余地がなくなるのである。
このように圧縮空気が供給および排出される過程で、前記排出通路12の吸入口11およびホール22の部分で集中的に圧力降下が発生する。これにより、パッド部30の排気空間31内の空気が通孔21および吸入口11を介して排出通路12側に誘引され(矢印○2参照)、排出口13を介して圧縮空気と共に外部へ排出される(矢印○3参照)。排気の面では吸入口11を介しての排気が主な作用ではあるが、本実施例では前記ホール22を介しても同時に排気が行われる。
付け加えると、ホール22を介しての一次排気空気は圧縮空気に合流され、これにより吸入口11の部分ではさらに多くの吸入エネルギーが作用する。よって、前記ホール22はエネルギー効率の面で相当な意味がある。
100 真空グリッパ装置
10 胴体
11 吸入口
12 排出通路
13 排出口
14 流入口
15 供給通路
16 ノズル
20 エアガイド
21 通孔
22 ホール
30 吸着パッド部
31 排気空間
32 吸着ホール
33 プレート
34 ボルト

Claims (5)

  1. 下面の吸入口から内部の排出通路を介して側面または上面の排出口につながる排出ライン、および側面下部の流入口から供給通路を介して前記吸入口側につながる供給ラインを含む胴体と;
    前記胴体の下部に結合し、中心通孔の縁部が立ち上がり、前記吸入口の内側に同軸的に配置されることにより、前記供給ラインの端部の下部で上向きの傾斜またはラウンドを提供するリング状のエアガイドと;
    前記ガイドの下部に配置され、内部の排気空間と前記胴体の排出通路とが前記通孔および吸入口を介して互いに連通する吸着パッド部と;を含んでなる、真空グリッパ装置。
  2. 前記供給通路は、口径が漸次拡張する形態で形成されるか、或いはこの形態を構成するための内蔵ノズルを含むことを特徴とする、請求項1に記載の真空グリッパ装置。
  3. 前記ガイドは、前記供給通路と排気空間とを連通させるホールが設けられたことを特徴とする、請求項1に記載の真空グリッパ装置。
  4. 前記パッド部は多数の吸着ホールが設けられた下部プレートを含み、前記吸着ホールは前記排気空間と一体に連結されて一つの空間を形成することを特徴とする、請求項1に記載の真空グリッパ装置。
  5. 前記プレートはPEEK(polyetheretherketone)またはPOM(polyoxymethylene)樹脂で成形されたことを特徴とする、請求項4に記載の真空グリッパ装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017212889A1 (ja) * 2016-06-08 2017-12-14 株式会社ハーモテック 旋回流形成体及び吸引装置
WO2018110121A1 (ja) * 2016-12-16 2018-06-21 株式会社ハーモテック 邪魔板
JP2021519222A (ja) * 2018-04-22 2021-08-10 ゼンロボティクス オイ 廃棄物選別ガントリロボット
US11660762B2 (en) 2018-05-11 2023-05-30 Mp Zenrobotics Oy Waste sorting robot

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101303708B1 (ko) 2013-04-19 2013-09-03 (주)메티스 차단커버가 구비된 웨이퍼 반송용 로봇핸드
KR101303706B1 (ko) * 2013-04-19 2013-09-10 (주)메티스 웨이퍼 반송용 로봇핸드
CN104385285B (zh) * 2013-11-13 2016-07-20 杭州孚亚科技有限公司 吸附器
CN105081418A (zh) * 2014-05-16 2015-11-25 哈尔滨飞机工业集团有限责任公司 一种主桨旋翼泡沫数控加工方法
CN105599995A (zh) * 2016-01-26 2016-05-25 中塑联新材料科技湖北有限公司 一种一次性塑料杯或塑料碗捡装机
KR200481224Y1 (ko) * 2016-04-12 2016-09-01 (주)세명 진공흡착장치용 흡착홀더
DE102017203939A1 (de) 2017-03-09 2018-09-13 Cevotec Gmbh Legestempel
US11227787B2 (en) * 2017-07-14 2022-01-18 Industrial Technology Research Institute Transfer support and transfer module
EP3665110B1 (en) 2017-08-10 2022-01-26 Kongsberg Precision Cutting Systems Belgium BV Vacuum lifter
TWI634969B (zh) * 2017-11-10 2018-09-11 大銀微系統股份有限公司 真空吸附平台
CN108167294B (zh) * 2018-01-25 2023-10-31 深圳市固诺泰科技有限公司 一种用于点胶、穿排线及保压的自动生产线
CN108598034A (zh) * 2018-05-22 2018-09-28 中国电子科技集团公司第二研究所 大尺寸硅片非接触式吸取机构
CN108715308A (zh) * 2018-07-03 2018-10-30 芜湖新世纪净化器材有限责任公司 一种pp棉滤芯运送夹具
US11167421B2 (en) 2018-08-10 2021-11-09 Miso Robotics, Inc. Robotic kitchen assistant including universal utensil gripping assembly
US11260679B2 (en) 2018-12-21 2022-03-01 Kateeva, Inc. Gripping for print substrates
US20200269434A1 (en) * 2019-02-26 2020-08-27 Miso Robotics, Inc. Jawless gripper enhanced robotic kitchen system for food assembly
CN110202603B (zh) * 2019-07-01 2022-11-11 深圳市周大福珠宝制造有限公司 一种真空吸盘以及吸盘本体的制造方法
DE102019134651A1 (de) * 2019-12-17 2021-06-17 Khs Gmbh Etiketthaltevorrichtung für eine Behälteretikettiermaschine und Verfahren zum Halten eines Etikettabschnitts beim Etikettieren eines Behälters
CN111070142B (zh) * 2020-01-03 2021-05-07 大连理工大学 一种圆环类微小零件自动对准装配夹具
CN113772169B (zh) * 2021-09-24 2022-09-27 佛山松标智能装备有限公司 一种真空吸盘的设计方法
KR102615105B1 (ko) 2022-02-14 2023-12-19 하비스탕스 주식회사 경량 진공 그리퍼 및 그 제작방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6458486A (en) * 1987-08-28 1989-03-06 Nippon Denso Co Attraction type chuck device
US20030141673A1 (en) * 2002-01-25 2003-07-31 Applied Materials, Inc. Rotary vacuum-chuck with venturi formed at base of rotating shaft
JP2006327730A (ja) * 2005-05-24 2006-12-07 Denso Corp ワークの保持方法および保持装置
JP2008034723A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Shin Etsu Polymer Co Ltd 半導体ウェーハ用接触部品
JP2010030782A (ja) * 2008-07-30 2010-02-12 J Schmalz Gmbh 空圧作動式領域真空グリッパー

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3568959A (en) * 1969-04-09 1971-03-09 Leland F Blaff Vacuum cup type work gripping means
US3716307A (en) * 1971-10-06 1973-02-13 Kms Ind Inc Venturi head for vacuum systems
DE2453753C3 (de) * 1974-11-13 1982-05-27 M.A.N.- Roland Druckmaschinen AG, 6050 Offenbach Bogenbremse
US4184292A (en) * 1978-03-24 1980-01-22 Revlon, Inc. Vacuum chuck
JPS60125089U (ja) * 1984-01-27 1985-08-23 株式会社 妙徳 気体送給弁
FR2591138B1 (fr) * 1985-12-10 1988-04-08 Recif Sa Procede de fabrication d'embouts pour pipettes a vide notamment et les embouts obtenus par la mise en oeuvre du procede.
US5580112A (en) * 1995-05-10 1996-12-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Vacuum pencil having a short tip with an abutment means
JPH10167470A (ja) 1996-12-02 1998-06-23 Kiyoyuki Horii 非接触保持方法とその装置
JP4491340B2 (ja) * 2004-12-28 2010-06-30 株式会社コガネイ 搬送装置
US7540309B2 (en) * 2005-07-11 2009-06-02 Delaware Capital Formation, Inc. Auto-release vacuum device
KR101139371B1 (ko) * 2005-08-04 2012-06-28 엘아이지에이디피 주식회사 기판 클램핑 장치, 이송장치 및 그 검사장치
KR100859835B1 (ko) * 2008-05-13 2008-09-23 한국뉴매틱(주) 비접촉식 진공패드
JP2010123970A (ja) * 2008-11-24 2010-06-03 Sfa Engineering Corp 基板移送装置
KR100968437B1 (ko) 2009-11-17 2010-07-07 한국뉴매틱(주) 비접촉식 진공패드

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6458486A (en) * 1987-08-28 1989-03-06 Nippon Denso Co Attraction type chuck device
US20030141673A1 (en) * 2002-01-25 2003-07-31 Applied Materials, Inc. Rotary vacuum-chuck with venturi formed at base of rotating shaft
JP2006327730A (ja) * 2005-05-24 2006-12-07 Denso Corp ワークの保持方法および保持装置
JP2008034723A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Shin Etsu Polymer Co Ltd 半導体ウェーハ用接触部品
JP2010030782A (ja) * 2008-07-30 2010-02-12 J Schmalz Gmbh 空圧作動式領域真空グリッパー

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017212889A1 (ja) * 2016-06-08 2017-12-14 株式会社ハーモテック 旋回流形成体及び吸引装置
JP2017217733A (ja) * 2016-06-08 2017-12-14 株式会社ハーモテック 旋回流形成体及び吸引装置
US11008180B2 (en) 2016-06-08 2021-05-18 Harmotec Co., Ltd. Swirl flow-forming body and suction device
WO2018110121A1 (ja) * 2016-12-16 2018-06-21 株式会社ハーモテック 邪魔板
JP2018098450A (ja) * 2016-12-16 2018-06-21 株式会社ハーモテック 邪魔板
JP2021519222A (ja) * 2018-04-22 2021-08-10 ゼンロボティクス オイ 廃棄物選別ガントリロボット
US11851292B2 (en) 2018-04-22 2023-12-26 Mp Zenrobotics Oy Waste sorting gantry robot
US11660762B2 (en) 2018-05-11 2023-05-30 Mp Zenrobotics Oy Waste sorting robot

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