JP2014232773A - 静電保持装置および静電保持装置からの保持対象物の離脱方法 - Google Patents
静電保持装置および静電保持装置からの保持対象物の離脱方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014232773A JP2014232773A JP2013112120A JP2013112120A JP2014232773A JP 2014232773 A JP2014232773 A JP 2014232773A JP 2013112120 A JP2013112120 A JP 2013112120A JP 2013112120 A JP2013112120 A JP 2013112120A JP 2014232773 A JP2014232773 A JP 2014232773A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostatic chuck
- holding
- electrostatic
- wafer
- held
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】静電保持装置2は、変形可能に構成され、保持対象物WFを静電気によって引き付ける静電チャック21と、静電チャック21を支持するテーブル本体22と、静電チャック21を引って保持対象物WFに対して当該静電チャック21を滑らせることで、当該静電チャック21と保持対象物WFとの密着を解除する密着解除手段23とを備えている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載の静電チャックステージ(静電保持装置)は、静電チャックの内電極および外電極の上面を覆う誘電体膜と、内電極と外電極との空隙から等間隔で突き出る複数のリフトピンとを備え、誘電体膜の抵抗率を1011〜1012Ωcmまたは1017Ωcm以上にすることや、複数のリフトピンを配置した円の半径のウエハ(保持対象物)の半径に対する比率を所定の比率にすることで、残留吸着力を小さくし、保持対象物を静電チャックから離脱しやすいようになっている。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
また、第1、第2実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
テーブル本体22は、上面が開口された略箱状の下ケース22Aと、この下ケース22Aの内側底面に設けられたテーブル22Bとを備えている。
密着解除手段23は、下ケース22Aの内側底面において、テーブル22B周りに90度間隔で設けられた4体の駆動機器としての直動モータ23Aと、各直動モータ23Aの出力軸23Bに支持されるとともに、テーブル22B上面を覆う第1静電チャック21の外縁部が固定支持された閉ループ状の支持部材23Cとを備えている。
移動抑制手段24は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウエハWFや接着シートASを吸着保持可能な保持面24Aを有する支持プレート24Bと、支持プレート24Bを移動させる駆動機器としての図示しない多関節ロボットとを備えている。
第2静電チャック34は、第1静電チャック21と同等の電極34Aと変形部材34Bとを備えている。
第1および第2加減圧手段35、36は、それぞれ配管35A、36Aを介して第1および第2密閉空間SP1、SP2に連通され、第1および第2密閉空間SP1、SP2をそれぞれ加圧可能な加圧ポンプやタービン等の加圧手段と、第1および第2密閉空間SP1、SP2をそれぞれ減圧可能な減圧ポンプ、真空エジェクタ、開閉弁等の減圧手段とを有する第1および第2圧力調整手段35B、36Bを備えている。
先ず、図1中実線で示すように、上ケース33が下ケース22Aから離れた状態で、移動抑制手段24が図示しない多関節ロボットを駆動し、支持プレート24Bで吸着保持した接着シートASを上ケース33の第2静電チャック34に当接させると、押圧手段3が第2静電チャック34を駆動し、接着シートASを引き付けて保持する。また、移動抑制手段24が図示しない多関節ロボットを駆動し、支持プレート24Bで吸着保持したウエハWFを第1静電チャック21に当接させると、静電保持装置2が第1静電チャック21を駆動し、ウエハWFを引き付けて保持する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図1、2に示すように、第2実施形態のシート貼付装置1Aは、第1実施形態のシート貼付装置1に対し、静電保持装置2の代わりに、ウエハWFを静電気によって引き付ける静電チャックとしての第1静電チャック21C(図1、2中二点鎖線で図示)と、第1静電チャック21Cを支持するテーブル本体22と、変形可能に構成されるとともに、第1静電チャック21CとウエハWFとの間に配置された変形部材25と、変形部材25を引っ張ってウエハWFに対して当該変形部材25を滑らせることで、当該変形部材25とウエハWFとの密着を解除する密着解除手段23とを備えている静電保持装置2Aを設けた点が相違する。変形部材25は、第1実施形態の第1静電チャック21と同様に、テーブル24上面を覆うように、その外縁部が支持部材23Cに支持されている。第1静電チャック21Cは、正、負の電荷を発生させてクーロン力によってウエハWFを引き付ける電極からなり、テーブル22Bの表面、裏面または内部に保持されている。
なお、シート貼付装置1Aの動作については、変形部材25を間に挟んで第1静電チャック21Cの駆動によりウエハWFを引き付けて保持し、密着解除手段23の駆動により変形部材25を引っ張ってウエハWFに対して当該変形部材25を滑らせることで、当該変形部材25とウエハWFとの密着を解除すること以外は、第1実施形態のシート貼付装置1の動作と同様であるため、説明を省略する。
さらに、密着解除手段23としては、第1静電チャック21の外縁部における互いに離れた複数箇所を固定支持する略円弧板状、略多角形状、略円板状の支持部材を適用してもよい。
また、例えば、第1静電チャック21の図1中右側の外縁部をテーブル22Bの上面や側面あるいは下ケース22Aの内側底面や内側側面に固定するとともに、他の箇所を上記略円弧板状等の支持部材で固定支持し、当該支持部材を直動モータ23Aで下降させることで、第1静電チャック21を引っ張ってもよい。なお、これらの場合、上記略円弧板状等の支持部材を昇降させる直動モータ23Aは、1体であってもよいし、2体以上であってもよい。
さらに、密着解除手段23としては、直動モータ23Aおよび支持部材23Cの代わりに、テーブル22Bを下ケース22Aに対して昇降させる駆動機器としての直動モータを設け、第1静電チャック21の外縁部における一部分または複数の離れた箇所をテーブル22Bの上面や側面に固定するとともに、他の箇所を下ケース22Aの内側底面や内側側面に固定し、テーブル22Bを直動モータで上昇させることで、第1静電チャック21を引っ張ってもよい。
また、密着解除手段23が第1静電チャック21の外縁部を下方に引っ張ったが、水平方向に引っ張るようにしてもよい。
そして、上述の密着解除手段23の変形例を適宜組み合わせてもよいし、第2実施形態に適用してもよい。
また、各実施形態において、移動抑制手段24を設けなくてもよく、この場合人手で接着シートASやウエハWFを搬送することができる。
さらに、第2静電チャック34および第2加減圧手段36の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって接着シートASを吸着保持可能な保持テーブルを設けてもよい。
また、第1静電チャック21および変形部材25は、弾性変形可能なものや塑性変形可能なものであってもよく、変形した後に完全に元の形状に戻らないものであってもよい。
さらに、テーブル22Bを設けなくてもよく、この場合、第1静電チャック21Cは、下ケース22Aの表面や内部に配置するとともに、直動モータ23Aを上昇させることで、第1静電チャック21を引っ張るようにすればよい。
また、第1実施形態の静電保持装置2に第2実施形態の第1静電チャック21Cを追加した構成としてもよい。
また、静電保持装置2、2Aは、シート貼付装置1、1A以外に塗布装置、検査装置等の他の装置に採用してもよい。静電保持装置2、2Aを塗布装置や検査装置に採用することで、保持対象物としての被塗布物や被検査物を容易に離脱することができ、効率を落とすことなく塗布や検査を行うことができる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
21、21C…第1静電チャック(静電チャック)
22…テーブル本体
23…密着解除手段
25…変形部材
WF…ウエハ(保持対象物)
Claims (4)
- 変形可能に構成され、保持対象物を静電気によって引き付ける静電チャックと、
前記静電チャックを支持するテーブル本体と、
前記静電チャックを引っ張って前記保持対象物に対して当該静電チャックを滑らせることで、当該静電チャックと前記保持対象物との密着を解除する密着解除手段とを備えていることを特徴とする静電保持装置。 - 保持対象物を静電気によって引き付ける静電チャックと、
前記静電チャックを支持するテーブル本体と、
変形可能に構成されるとともに、前記静電チャックと前記保持対象物との間に配置された変形部材と、
前記変形部材を引っ張って前記保持対象物に対して当該変形部材を滑らせることで、当該変形部材と前記保持対象物との密着を解除する密着解除手段とを備えていることを特徴とする静電保持装置。 - 変形可能に構成された静電チャックによって保持対象物を引き付けて保持する工程と、
前記静電チャックを引っ張って前記保持対象物に対して当該静電チャックを滑らせることで、当該静電チャックと前記保持対象物との密着を解除する工程とを備えていることを特徴とする静電保持装置からの保持対象物の離脱方法。 - 変形可能に構成された変形部材を間に挟んで静電チャックによって保持対象物を引き付けて保持する工程と、
前記変形部材を引っ張って前記保持対象物に対して当該変形部材を滑らせることで、当該変形部材と前記保持対象物との密着を解除する工程とを備えていることを特徴とする静電保持装置からの保持対象物の離脱方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013112120A JP6154665B2 (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 静電保持装置および静電保持装置からの保持対象物の離脱方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013112120A JP6154665B2 (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 静電保持装置および静電保持装置からの保持対象物の離脱方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014232773A true JP2014232773A (ja) | 2014-12-11 |
JP6154665B2 JP6154665B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=52125997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013112120A Active JP6154665B2 (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 静電保持装置および静電保持装置からの保持対象物の離脱方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6154665B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06326177A (ja) * | 1993-05-17 | 1994-11-25 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の離脱方法 |
JPH10144779A (ja) * | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Fujitsu Ltd | 静電チャック |
JP2000164682A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体チップの取出方法 |
WO2005109489A1 (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | ワーク除電方法及びその装置 |
JP4043506B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2008-02-06 | ||
JP2010098289A (ja) * | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 静電チャック及びこれを備えた基板接合装置 |
-
2013
- 2013-05-28 JP JP2013112120A patent/JP6154665B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06326177A (ja) * | 1993-05-17 | 1994-11-25 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の離脱方法 |
JPH10144779A (ja) * | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Fujitsu Ltd | 静電チャック |
JP2000164682A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体チップの取出方法 |
WO2005109489A1 (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | ワーク除電方法及びその装置 |
JP4043506B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2008-02-06 | ||
JP2010098289A (ja) * | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 静電チャック及びこれを備えた基板接合装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6154665B2 (ja) | 2017-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106469658B (zh) | 片材粘附装置及粘附方法 | |
TWI583555B (zh) | Sheet Adhesive Device and Paste Method | |
JP2019188629A (ja) | 積層体製造装置とこの装置を用いた積層体の製造方法 | |
JP6251041B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6559032B2 (ja) | 支持装置および支持方法 | |
JP6154665B2 (ja) | 静電保持装置および静電保持装置からの保持対象物の離脱方法 | |
JP6226563B2 (ja) | 静電保持装置および静電保持装置からの保持対象物の離脱方法 | |
JP6476027B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 | |
JP6204765B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP6965309B2 (ja) | 押圧装置および押圧方法 | |
JP6297869B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6145326B2 (ja) | 支持装置および支持方法 | |
JP2016039260A (ja) | シート剥離装置および剥離方法並びに剥離開始部形成装置 | |
JP6251090B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6297841B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6170787B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP5795521B2 (ja) | 支持装置 | |
JP6134228B2 (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
JP2016039261A (ja) | シート剥離装置および剥離方法並びに剥離開始部形成装置 | |
JP6130264B2 (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
JP6220706B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
TW202147417A (zh) | 薄片剝離方法與薄片剝離裝置,及分割方法與分割裝置 | |
JP6145287B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP6189123B2 (ja) | 搬送方法及び搬送装置 | |
JP2019036691A (ja) | シート貼付装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6154665 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |