JP2014222172A - 内部欠陥測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
複数個のセンサ基板を備えた内部欠陥測定装置においてセンサ基板間の角度を調節する作業の負担を抑制した内部欠陥測定装置を提供する。
【解決手段】
強磁性体でつくられた円弧状断面を有する構造体９の外面に、平板状の探傷面を有する複数個のセンサ基板１ａ〜１ｅを対向させ、前記探傷面に励磁コイル及び磁束検出手段を配設し、前記構造体９の内部欠陥を低周波電磁誘導法を用いて前記構造体９の外面から測定する内部欠陥測定装置であって、隣接するセンサ基板１ａ〜１ｅどうしを互いに回動可能に連結した内部欠陥測定装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、水配管、ガス配管、空気配管などの強磁性体で作られたパイプ状形状を有する構造体の内部欠陥を、低周波電磁誘導法を用いて構造体の外面から測定し、評価する内部欠陥測定装置に関するものである。

強磁性体で作られた構造体の内部欠陥を検出しこれを評価しようとすると、直接構造体の内部を測定することが難しい場合や、また、測定できるとしても多大な手間や費用がかかる場合が多い。そこで近年、構造体を外面から測定して内部欠陥を検出し、これを評価できる方法が用いられるとともに、それらの方法の中でも特に、探触子をあてる面の錆やごみなどの異物或いは塗膜を除去する必要のない低周波電磁誘導法が多く用いられている。

低周波電磁誘導法は、図７に示すように、励磁コイル２１や鉄心２２を用いて構造体の外壁９ａに磁路を形成し、内部欠陥Ｋの位置で発生する漏れ磁束を、鋼管の外面から離間させた検出コイル２３で検出することで、内部欠陥Ｋの位置、大きさ及び深さといった状態を、定量的かつ高精度に測定することを目指したものである。

低周波電磁誘導法を用いた内部欠陥検出技術としては、例えば特許文献１及び非特許文献１に記載の技術がある。しかし、特許文献１及び非特許文献１に記載の技術では多チャンネルを構成する複数個の検出コイルが、一枚の平板状のセンサ基板に配設されているため、この平板状のセンサ基板を、円弧状に湾曲した構造体の外面に対向させると、検出コイルと構造体の外面との距離（リフトオフ量）が、検出コイルの間で夫々異なることとなる。よって検出コイルの感度が低下するとともに、これら複数個の検出コイルから出力される測定値のばらつきが大きくなる。こうした測定値を用いて処理された測定結果は誤差が大きくなるため、十分な測定精度を確保できないという問題が生じていた。

そこで特許文献２では、複数個の検出モジュール（センサ基板）に各々検出コイルを配設した上で、これらの各検出モジュールを長板状の連結部材で略円弧状に連結するとともに、この連結部材の長さや連結部材における検出モジュールの取り付け位置を変更可能に構成する。そして隣接する検出モジュール間の角度を調節し、複数個の検出モジュールを構造体の曲率に合わせて撓ませ、複数個の検出コイルを可能な限り、構造体の外面に近接させる技術が開示されている。

特開２０１０−０５４２９２号公報 特開２０１０−０４８６２４号公報

ＪＦＥ技報 Ｎｏ．１１（２００６年４月）Ｐ．２３〜２５ 設備の健全性評価技術−架空配管・埋設配管の診断−

しかし特許文献２の技術では、構造体の曲率に合わせて、連結部材の長さや連結部材上でのセンサ基板の取り付け位置をその都度変更して、隣接するセンサ基板間の角度を調節するため、センサ基板の数が多くなるほどその角度を調節する作業の負担が大きくなる。また、一旦ある曲率に合わせて上記角度を調節しても、その後異なる曲率を有する構造体の内部欠陥を測定するときには、再度この角度を調節しなければならず、調節作業の負担がさらに増加する。
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、複数個のセンサ基板を備えた内部欠陥測定装置においてセンサ基板間の角度を調節する作業の負担を抑制した内部欠陥測定装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のある態様は、強磁性体でつくられた円弧状断面を有する構造体の外面に、平板状の探傷面を有する複数個のセンサ基板を対向させ、前記探傷面に励磁コイル及び磁束検出手段を配設し、前記構造体の内部欠陥を低周波電磁誘導法を用いて前記構造体の外面から測定する内部欠陥測定装置であって、隣接するセンサ基板どうしを互いに回動可能に連結したこととした。

また、前記隣接するセンサ基板どうしを、ヒンジを用いて互いに回動可能に連結してもよい。これにより、簡易な構成で隣接するセンサ基板どうしを回動可能に連結できる。
また、前記連結された隣接するセンサ基板間に、当該センサ基板間の角度を保持する固定部材をさらに設けてもよい。これにより、一旦調節した隣接するセンサ基板間の角度を保持するため、内部欠陥を測定する作業中にセンサ基板が所望の配置から変位することを防止できる。

また、前記センサ基板に、前記構造体の外面上を移動可能とする車輪をさらに設けてもよい。これにより、内部欠陥測定装置の移動が容易となり、内部欠陥測定装置の操作性が向上する。
また、前記一つのセンサ基板は複数個の磁束検出手段を有するものとし、当該各々の磁束検出手段の出力を、前記構造体の曲率又は前記構造体の厚さに基づいて補正する補正手段をさらに有することとしてもよい。これにより、リフトオフ量の違いから生じる測定精度のばらつきを抑制し、より精密に測定できる。

従って本発明のある態様に係る内部欠陥測定装置は、隣接するセンサ基板間の角度を調節自在に連結する構成とされているので、複数個のセンサ基板の探傷面を、円弧状断面を有する構造体の外面に対向させるだけで、その構造体の曲率に応じて略円弧状に撓んだ一連のセンサ基板を構成し、各々の探傷面の曲率が略同じとなる。そのため、センサ基板間の角度をひとつひとつ個別に調整する必要がないとともに、異なる曲率を有する構造体に対応する場合でも、その角度を容易に変更できる。よって、センサ基板間の角度を調節する作業の負担を抑制するとともに、円弧状断面を有する構造体に対して汎用性の高い内部欠陥測定装置を提供することができる。

本発明の実施形態に係る内部欠陥測定装置を説明する概略斜視図である。 本発明の実施形態に係る内部欠陥測定装置を平面視した一部破断図である。 図２におけるIII−III線断面図である。 本発明の実施形態に係る内部欠陥測定装置を説明するブロック図である。 内部欠陥測定装置の使用状態を示す図である。 内部欠陥測定装置の使用状態を示す図である。 本発明の実施形態に係る低周波電磁誘導法の原理を説明する図である。

本発明の実施形態に係る内部欠陥測定装置は、鋼管の外面上を走査して、孔食と呼ばれる、鋼管の外壁の内部に生じる欠陥の位置、大きさ及び深さといった状態を、低周波電磁誘導法を用いて鋼管の外面から測定するために用いられる。以下、その構成を、図面を参照して説明する。なお、図中に示された内部欠陥測定装置を構成する各装置や部材の形状、大きさ又は比率は適宜簡略化及び誇張して示されている。

（構成）
本発明の実施形態に係る内部欠陥測定装置は、図１、図２に示すように、鋼管９の外面に対向させる５枚のセンサ基板１ａ〜１ｅから構成されるセンサ基板組立体１を有し、５枚のセンサ基板１ａ〜１ｅは、図２に示すように、連結部材であるヒンジ２によって左右方向に連結されている。５枚のセンサ基板１ａ〜１ｅの内４枚のセンサ基板１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅは磁束検出用のセンサ基板であり、残る１枚のセンサ基板１ａは前記４枚のセンサ基板１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅに関する位置を検出するために用いられる位置検出用のセンサ基板である。

まず、ひとつのセンサ基板の構成を、図３に示す磁束検出用のセンサ基板１ｃを用いて説明する。センサ基板１ｃは、図３に示すように、鋼管９より遠い位置で水平に設けられる平板状の天板１１並びに鋼管９に近い位置で天板１１に平行に配置される平板状の底板１２を各々有する。この底板１２の下面（鋼管側の面）が本発明の探傷面に相当する。また、天板１１と底板１２との間に各々立設される前板１３並びに後板１４、及びこれらの板１３、１４の左右両側面に各々配設された矩形状の右側板１５並びに左側板１６を各々有する。そして、これらの板１３、１４、１５、１６によって囲まれた空間が、センサ基板１ｃの中央部に形成されている。なお、これらの板はいずれも鋼製材料で形成されているが、材料はこれに限定されるものではなく樹脂等他の材料を用いて形成されてもよい。またセンサ基板１ｃは、この形成された空間の前後に、右側板１５と左側板１６との間に取り付けられた車軸１８を有する。この車軸１８には車輪１７が軸着され、この一組の車輪１７、１７はセンサ基板１ｃを鋼管９の外面上で前後方向に移動可能に支持する。

なお、ここまで説明したセンサ基板１ｃの構成は、位置検出用と磁束検出用とで共通する。次に、位置検出用と磁束検出用のセンサ基板で互いに相違する構成に関して各々説明する。
位置検出用のセンサ基板１ａには、図２に示すように、ロータリエンコーダ１９が上記空間内に配設され、このロータリエンコーダ１９は、磁束検出用のセンサ基板１ｂ〜１ｅに設けられた検出コイル２３（後出）が鋼管９の外面上で移動する距離を測定する。ロータリエンコーダ１９はケーブル（不図示）によって制御装置７と接続され、測定された前記移動距離は、図４に示すように、検出コイル２３の座標信号として制御装置７へ出力される。

磁束検出用のセンサ基板１ｂ〜１ｅには、図３に示すように、鋼管９の外壁９ａを磁化するための磁路を有する断面略コ字状の鉄心２２と、その鉄心２２に巻かれた励磁コイル２１とが上記空間内で底板１２上に配設される。励磁コイル２１はケーブル（不図示）によって制御装置７と接続され、励磁信号が励磁コイル２１に印加されると、鉄心２２を用いて鋼管９の外壁９ａに磁路を形成する。

また磁束検出手段である検出コイル２３が、図２に示すように、底板１２上の左右方向に４つ配置される。これら４つの検出コイル２３は上記両端の検出コイル２３を含めて互いに等間隔で配置されるとともにこれらの内、両端の検出コイル２３は左側板１６又は右側板１５に各々近接配置される。尚、磁束検出手段は検出コイル２３に限定されるものではなく、漏れ磁束を検出できるものであれば感磁素子など他の素子が用いられてよい。検出コイル２３は、ケーブル（不図示）によって後述するプリアンプ６に接続されており、磁路からの漏れ磁束を測定する。そして、図４に示すように、測定された漏れ磁束に基づいて、本発明の出力に相当する探傷信号をプリアンプ６へ出力する。

これら５枚のセンサ基板１ａ〜１ｅは、図５、図６に示すように、例えば鋼製材料で形成された平形のヒンジ２によって、隣接するセンサ基板どうしが回動可能に軸止される。具体的には、例えば、図２に示すように、一つのヒンジ２ａが一つのセンサ基板１ａの左側板１６ａと、このセンサ基板１ａの左側に位置するセンサ基板１ｂの右側板１５ｂとを各々連結する。また他のヒンジ２ｂが上記一つのセンサ基板１の左側に位置するセンサ基板１ｂの左側板１６ｂと、このセンサ基板１ｂの左側に位置するセンサ基板１ｃの右側板１５ｃとを各々連結する。５枚のセンサ基板１の内最右端のセンサ基板１ａ及び最左端のセンサ基板１ｅ以外の各々のセンサ基板１ｂ、１ｃ、１ｄは、上記のようにヒンジ２を左右の側板１５、１６に夫々備える。また最右端のセンサ基板１ａ及び最左端のセンサ基板１ｅは、隣接するセンサ基板１が存在する片側の側板にのみヒンジ２を備える。そしてヒンジ２の軸２ｂは、図５、図６に示すように、左右の側板１５、１６の下端の高さで水平に取り付けられている。

このようにセンサ基板組立体１は、各々のセンサ基板の底板１２の下面（探傷面）を鋼管９の外面に対向して、隣接するセンサ基板どうしを互いに回動可能に軸止されて構成される。尚、ヒンジの材質及び形状は、必要な剛性を備えていればよいし、ヒンジの軸２ｂを用いずに可撓製素材を用いて回動可能に形成されたものであってもよい。また、隣接するセンサ基板間に配設されるヒンジ２の数も一つに限定されず複数個配設されてよい。

センサ基板組立体１は、このような連結構造で５枚全てのセンサ基板が左右方向に連結されているので、センサ基板組立体１を、ある外径（曲率）を有する鋼管９の外面上に上方から対向させると、センサ基板組立体１は、図５に示すように、鋼管９の外径に対応して略円弧状に撓んだ構成となる。一方、センサ基板組立体１を異なる外径の鋼管９の内部欠陥の測定に用いる場合でも、同様にその鋼管９の外面上に上方から対向させるだけで、図６に示すように、その異なる外径に対応して略円弧状に撓ませることができる。よって、隣接するセンサ基板間の角度をひとつひとつ個別に調整する必要がなく、鋼管９の外面に一回対向させればその角度を容易に調節できる。

センサ基板組立体１は、図５、図６に示すように、固定部材３によって、隣接するセンサ基板どうしの相対位置を任意の位置で固定される。固定部材３は、隣接するセンサ基板の天板１１の前面の位置でこれら２つのセンサ基板の間に張り渡された長板３ａと、その長板３ａの両端部に形成された長孔（不図示）を用いて、長板３ａとセンサ基板とを締結するボルト３ｂとを有する。こうした構成により固定部材３は、隣接するセンサ基板間の角度を保持し、一旦調節されたセンサ基板間の角度が、作業中の偶発的なトラブルによって変更されることを防止できる。

センサ基板組立体１は、図１に示すように、支持部材５によって支持される。支持部材４は、鋼製材料からなる一枚の板状部材から折り曲げ形成され、その底部４ａが、センサ基板組立体１の中央に配置されたセンサ基板１ｃの天板１１に固着される。また支持部材５は、底部４ａの両側から鉛直方向に略９０度の角度で立ち上がるように形成された２つの側部４ｂと、底部４ａの後端側から鉛直方向に略９０度の角度で立ち上がるように形成された垂直部４ｃとを有する。

取手５は、垂直部４ｃの後面側の上端に水平に取り付けられ、本実施形態に係る内部欠陥測定装置を移動させるために用いられる。また特に、鋼管９の外面上で特に重点的に内部欠陥を測定したい場合や、センサ基板組立体１を対向させる位置を修正するような微細な作業を行う場合に用いられることで作業効率を向上させる。
またセンサ基板組立体１の各々のセンサ基板１ａ〜１ｅには、各センサ基板１ａ〜１ｅへ励磁信号を出力する制御装置７（図２参照）が、また各センサ基板１ａ〜１ｅからの出力を増幅させるプリアンプ６が、各々ケーブル（不図示）によって接続される。

プリアンプ６は、図３に示すように、鋼管側に配設された車輪６ａを有し、支持部材４の後面側に取り付けられ、さらにケーブル８によって制御装置７に接続される（図２参照）。上記した検出コイル２３からの探傷信号の値は、通常そのままでは、内部欠陥か否かを判断するには小さい場合が多いので、一旦プリアンプ６で増幅され、増幅された探傷信号は制御装置７へ出力される。制御装置７は、プリアンプ６から入力された探傷信号に対して、補正手段として所定の補正値を加算する。この補正の方法については後で説明する。

（使用方法）
次に、本実施形態に係る内部欠陥測定装置の使用方法の一例を、水平方向に延伸する鋼管を測定対象に用いて説明する。
まず、作業者は取手５を把持し内部欠陥測定装置を持ち上げる。このとき内部欠陥測定装置は、センサ基板組立体１の中央に配置されたセンサ基板１ｃを中心として左右側に２つのセンサ基板が各々懸垂する状態となる。この状態のまま、内部欠陥測定装置を鋼管９の一端側の外面の上方へ移動させる。

次に、内部欠陥測定装置を下降させ、左右側に懸垂したセンサ基板の内最下方のセンサ基板（図２中、最右端のセンサ基板１ａ及び最左端のセンサ基板１ｅ）の車輪１７を、鋼管９の一端側の外面に当接させる。さらに続けて内部欠陥測定装置を降下させ続け、最下方のセンサ基板１ａ、１ｅは、各々の車輪１７を鋼管９の外面に当接させつつ鋼管９の周方向へ摺動させる。さらに続けて内部欠陥測定装置を下降させ続けて、最下方のセンサ基板１ａ、１ｅのひとつ上方のセンサ基板１ｂ、１ｄを、同様に鋼管９の外面上で摺動させる。そして内部欠陥測定装置を、上記中央配置されたセンサ基板１ｃの車輪１７が鋼管９の外面に当接するまで下降させる。この下降した位置を作業開始位置とする。この時点で、センサ基板組立体１は、鋼管９の外面に対応して略円弧状に撓み、隣接するセンサ基板間の角度が、この鋼管９の外径に応じて調節される。そして５つのセンサ基板１ａ〜１ｅが鋼管９の外面に対向配置される。このように本実施形態は、センサ基板組立体１の各々の探傷面を、鋼管９の外面に対向させるだけで、鋼管９の外径に応じて略円弧状に撓んだ一連のセンサ基板を構成し、各々のセンサ基板が有する探傷面の曲率が略同じとなる。

次に、固定部材３のボルト３ｂを締結して、隣接するセンサ基板間の角度を固定する。その後、励磁コイル２１に励磁信号を流すとともに検出コイル２３から探傷信号を出力させる。この状態のまま内部欠陥測定装置を鋼管９の長さ方向に水平に平行移動させ、鋼管９の他端側に到達するまで移動させる。この到達した位置を作業停止位置とする。すなわち、４つの磁束検出用のセンサ基板１ｂ〜１ｅの周方向に連結された長さに対応する鋼管９の弧の部分の長さを維持しながら、この周方向の長さを鋼管９の長さ方向に走査することとなる。

次に、内部欠陥測定装置を、４つの磁束検出用のセンサ基板１ｂ〜１ｅが未だ走査していない位置に配置されるように、作業停止位置から鋼管９の周方向に移動させる。この位置が次の作業開始位置となる。この作業開始位置から先ほどと反対方向に内部欠陥測定装置を平行移動させ、上記と同様に走査する。このように内部欠陥測定装置を鋼管の両端部の間で往復させ、この鋼管の外面全てを走査させる。

尚、上記説明では、水平方向に延伸した鋼管９を用いたが、鋼管９が鉛直方向に延伸していてもよい。この場合、作業開始前における、内部欠陥測定装置を鋼管９の外面に当接させる動作を以下のように行う。まず取手５を把持して内部欠陥測定装置を取り上げ、センサ基板組立体１の中央配置されたセンサ基板１ｃを水平方向から鋼管９に近接させて外面に対向させる。このとき中央配置されたセンサ基板１ｃ以外のセンサ基板１ａ、１ｂ、１ｄ、１ｅには水平方向の力が生じないので、必ずしも鋼管９側に屈曲しない。しかし、ここで内部欠陥測定装置に励磁電流を流すと、励磁電流から生じる磁力の吸引力により、中央配置されたセンサ基板１ｃ以外のセンサ基板１ａ、１ｂ、１ｄ、１ｅは、鋼管９の外面に当接する。そして全てのセンサ基板間の角度が調節された後の動作は、上記と同様に行う。このように、本実施形態に係る内部欠陥測定装置を使用すれば、鋼管の延伸方向に関わらず内部欠陥を測定することができる。

（補正方法）
次に、検出コイル２３から出力された探傷信号の補正方法について説明する。
上記したように、本実施形態では、多チャンネルを構成する複数個の検出コイル２３が一枚の平板状のセンサ基板に配設されている。そのため、この一枚のセンサ基板が円弧状に湾曲した構造体の外面に対向する場合、各検出コイル２３のリフトオフ量が夫々異なり、測定値のばらつきが大きくなる。このばらつきの要因として、隣接する検出コイル２３の間隔、測定対象である鋼管９の曲率及び鋼管９の外壁９ａの厚さが挙げられる。

そこで作業者は、内部欠陥測定装置を測定対象である鋼管９の外面に対向させる前に、まずパソコン等外部の入力装置を用いて、図４に示すように、隣接する検出コイル２３の間隔、鋼管９の外径及び／又は鋼管９の外壁９ａの厚さを、制御装置７に入力する。制御装置７は、これら入力された値を用いて各検出コイル２３のリフトオフ量を算出する。

次に、制御装置７は算出されたリフトオフ量に基づいて、リフトオフ量毎に予め設定された補正値を格納した補正値テーブル（不図示）から、所定の補正値を選択する。そしてこれをプリアンプ６から入力された探傷信号に加算する。そして制御装置７は、補正値が加算された探傷信号を、上記ロータリエンコーダ１９から入力された検出コイル２３の座標信号と組み合わせて、鋼管９の内部欠陥の位置、大きさ、深さ等の状態を解析処理する。そして解析処理された測定結果を、制御装置７に接続された表示装置に出力して作業者に表示する。尚、補正の方法は上記した方法に限られるものでなく、情報処理の分野において通常用いられる他の方法が採用されてよい。

（効果）
本実施形態に係る内部欠陥測定装置は、一枚のセンサ基板に４つの検出コイルが鋼管の周方向に対応する左右方向に等間隔で配置される。また４つの検出コイルの内両端部に配置された検出コイルは、センサ基板の左右の側板に各々近接配置されることで、そのセンサ基板に隣接するセンサ基板に最も近接する。そのため、センサ基板組立体が略円弧状に撓んだときに隣接するセンサ基板間で角度が生じ、隣接するセンサ基板の端部側に配置された各々の検出コイルの間隔が拡大するが、この間隔を最小に抑えることができる。よって、内部欠陥測定装置が備える複数個の検出コイル全体で測定値のばらつきを抑制するので、内部欠陥測定装置の測定精度を向上できる。

また本実施形態に係る内部欠陥測定装置は、複数個のセンサ基板に車輪が設けられ、センサ基板組立体を鋼管の外面上で移動可能とするため、内部欠陥測定装置の操作性を向上できる。またこの車輪が鋼管の外面に当接することによって、センサ基板の底板の下面（探傷面）と鋼管の外面との間を離間させるため、検出コイルを鋼管の外面から離間する。よって本実施形態に係る内部欠陥測定装置を、速やかに低周波電磁誘導法を行うための構成とすることができる。

また本実施形態に係る内部欠陥測定装置は、一つのセンサ基板の中に設けられた多チャンネルを構成する複数個の検出コイルから出力される探傷信号を補正して、測定精度のばらつきを抑制するので、鋼管の内部欠陥をより精密に測定することができる。
また本実施形態に係る内部欠陥測定装置は、工場や建築物等の設備において多用される鋼管の内部欠陥を測定するため、これらの設備の補修・点検に有利な効果を奏する。

（その他）
本発明に係る内部欠陥測定装置は、上記した本実施形態に係る構成に限定されるものではなく、例えば、センサ基板が有する車輪を、３６０度自在に回転可能とすることで、センサ基板を鋼管の外面上で前後左右に移動自在な構成とし、内部欠陥測定装置の操作性を向上させる態様としてもよい。

また、センサ基板とプリアンプとを支持部材で一体化することなく、プリアンプをセンサ基板から分離する態様としてもよい。この場合、作業者の手元で移動させる必要がある部分の重量が軽減するため、内部欠陥測定装置の操作性を向上できる。これに加え、さらに取手をプリアンプ側ではなくセンサ基板側、すなわち本実施形態における取り付け位置と前後反対の位置に取り付けてもよい。この場合、上記したプリアンプをセンサ基板から分離する構成と併せ、内部欠陥測定装置の前後方向の長さを短縮できるので、内部欠陥測定装置の操作性の向上とともに保管や運送時の収納性を向上できる。

１ センサ基板組立体
１ａ〜１ｅ センサ基板
２ ヒンジ
２ａ ヒンジの板
２ｂ ヒンジの軸
３ 固定部材
３ａ 長板
３ｂ ボルト
７ 制御装置
９ 鋼管
９ａ 外壁
１１ 天板
１２ 底板
１３ 前板
１４ 後板
１５ 右側板
１６ 左側板
２１ 励磁コイル
２２ 鉄心
２３ 検出コイル
Ｋ 内部欠陥（孔食）

Claims (5)

1. 強磁性体でつくられた円弧状断面を有する構造体の外面に、平板状の探傷面を有する複数個のセンサ基板を対向させ、前記探傷面に励磁コイル及び磁束検出手段を配設し、前記構造体の内部欠陥を低周波電磁誘導法を用いて前記構造体の外面から測定する内部欠陥測定装置であって、
   隣接するセンサ基板どうしを互いに回動可能に連結したことを特徴とする内部欠陥測定装置。
2. 前記隣接するセンサ基板どうしを、ヒンジを用いて互いに回動可能に連結したことを特徴とする請求項１に記載の内部欠陥測定装置。
3. 前記連結された隣接するセンサ基板間に、当該センサ基板間の角度を保持する固定部材をさらに設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の内部欠陥測定装置。
4. 前記センサ基板に、前記構造体の外面上を移動可能とする車輪をさらに設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の内部欠陥測定装置。
5. 前記一つのセンサ基板は複数個の磁束検出手段を有するものとし、
   当該各々の磁束検出手段の出力を、前記構造体の曲率又は前記構造体の厚さに基づいて補正する補正手段をさらに有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の内部欠陥測定装置。
   
   

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