JP2014220272A - 発光ダイオードの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】GaNを主成分とするp型半導体層と金属酸化物層との間の接触抵抗を小さくして発光ダイオードの発光効率を向上させる技術を提供する。【解決手段】本発明は、真空中でマグネトロンスパッタリング法によってGaNを主成分とするp型半導体層の表面に透明電極層として金属酸化物層を形成する工程を有する。当該スパッタリング工程において、金属酸化物ターゲットの表面における平行磁場強度が600G以上となるように維持した状態で、当該金属酸化物ターゲットに対し、直流電界と高周波電界を重畳して印加することにより250V以下の放電電圧でスパッタリングを行う。【選択図】 図4
Description
本発明は、発光ダイオードの技術分野に関し、特に、GaNを主成分とするp型半導体層上に透明電極層を有する発光ダイオードの製造技術に関する。
発光ダイオード(LED)は、pn接合を基本にし、孔と電子とが再結合して放出する光を利用している。
近年では高寿命、高効率な発光素子として、液晶用バックライトや照明の用途で普及が進んでいる。
近年では高寿命、高効率な発光素子として、液晶用バックライトや照明の用途で普及が進んでいる。
特にGaN系LEDはバンドギャップが大きいため、青紫半導体レーザーや青色の発光ダイオードに用いられている。
このようなGaN系LEDでは、GaNを主成分とするp型半導体層上にITO等の金属酸化物からなる透明電極層を形成するものが知られているが、LEDの発光効率を向上させるため、このp型半導体層と金属酸化物層との間の接触抵抗を小さくすることが求められている。
このようなGaN系LEDでは、GaNを主成分とするp型半導体層上にITO等の金属酸化物からなる透明電極層を形成するものが知られているが、LEDの発光効率を向上させるため、このp型半導体層と金属酸化物層との間の接触抵抗を小さくすることが求められている。
本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、GaNを主成分とするp型半導体層と金属酸化物層との間の接触抵抗を小さくして発光ダイオードの発光効率を向上させる技術を提供することにある。
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意努力を重ねた結果、GaNを主成分とするp型半導体層の表面にスパッタリングによって金属酸化物層を形成する際、金属酸化物ターゲット表面における平行磁場強度を特定の値となるように維持した状態で、当該金属酸化物ターゲットに対し、直流電界と高周波電界を重畳して印加してスパッタリングを行うことによって、GaNを主成分とするp型半導体層と金属酸化物層との間の接触抵抗を小さくしうることを見い出し、本発明を完成するに至った。
かかる知見に基づいてなされた本発明は、GaNを主成分とするn型半導体層と、前記n型半導体層の片面側に位置するGaNを主成分とするp型半導体層と、前記p型半導体層の前記n型半導体層に対して反対側に位置する透明電極層とが基板上に設けられ、前記p型半導体層と前記n型半導体層との間に電圧が印加された場合に動作電流が流れて発光する発光ダイオードを製造する方法であって、真空中でマグネトロンスパッタリング法によって前記GaNを主成分とするp型半導体層の表面に前記透明電極層として金属酸化物層を形成する工程を有し、当該スパッタリング工程において、金属酸化物ターゲットの表面における平行磁場強度が600G以上となるように維持した状態で、当該金属酸化物ターゲットに対し、直流電界と高周波電界を重畳して印加することにより250V以下の放電電圧でスパッタリングを行う発光ダイオードの製造方法である。
本発明では、前記金属酸化物ターゲットがITOからなる場合にも効果的である。
本発明では、前記金属酸化物ターゲットがITOからなる場合にも効果的である。
本発明によれば、スパッタリングの際にGaNを主成分とするp型半導体層に対するダメージを減少させることができるので、当該p型半導体層と金属酸化物層との間の接触抵抗を小さくすることができ、その結果、発光ダイオードの発光効率を向上させることができる。
図1は、本発明によって製造される発光ダイオードの構成を示す断面図である。
図1に示すように、この発光ダイオード1は、基板13上に、GaNを主成分とするn型半導体層15と、GaNを主成分とするp型半導体層17とが配置されて構成されている。
図1に示すように、この発光ダイオード1は、基板13上に、GaNを主成分とするn型半導体層15と、GaNを主成分とするp型半導体層17とが配置されて構成されている。
ここで、「GaNを主成分とする」、の意味は、Gaの原子数とNの原子数の合計数が、全原子の50原子%よりも多くの割合で含有されていることを指すものとする。
p型又はn型のGaN層の場合は、p型又はn型のドーパント以外の原子は、GaとNであり、GaNは100%に近い主成分であるが、「GaNを主成分とする半導体」には、InGaNや、AlGaN等の半導体も含まれる。
p型又はn型のGaN層の場合は、p型又はn型のドーパント以外の原子は、GaとNであり、GaNは100%に近い主成分であるが、「GaNを主成分とする半導体」には、InGaNや、AlGaN等の半導体も含まれる。
n型半導体層15は、この発光ダイオード1ではn型GaN層であり、n型半導体層15のn型GaNと、p型半導体層17のp型GaNとは、エピタキシャル成長によって単結晶層にされている。
ここでは、単結晶層を成長させるために基板13としてはサファイヤ基板が用いられ、サファイヤの基板13の表面に、n型のGaNからなるバッファー層14が形成された後、バッファー層14の表面に、n型のGaNがエピタキシャル成長されて、n型半導体層15が形成されている。
また、発光効率を向上させるためにn型半導体層15上に多重量子井戸層16が形成された後、多重量子井戸層16上にp型半導体層17と透明電極層である金属酸化物層18とが形成される。
金属酸化物層18には、ITO(インジウム・スズ酸化物)、AZO(アルミニウムドープ酸化亜鉛)、GZO(ガリウムドープ酸化亜鉛)、IZO(インジウム・亜鉛酸化物)の薄膜を用いることができるが、本発明は、特にITOで形成されたものが適している。
金属酸化物層18上には、正電極21が接触して形成されており、p型半導体層17は、金属酸化物層18を介して正電極21に電気的に接続されている。
他方、n型半導体層15上には、負電極22が接触して形成されており、ここでは、n型半導体層15における、多重量子井戸層16側の面が一部露出されて負電極22が形成され、n型半導体層15は負電極22に電気的に接続されている。
他方、n型半導体層15上には、負電極22が接触して形成されており、ここでは、n型半導体層15における、多重量子井戸層16側の面が一部露出されて負電極22が形成され、n型半導体層15は負電極22に電気的に接続されている。
このような構成において、正電極21と負電極22の間に、正電極21が負電極22に対して正電圧となる電圧を印加すると、p型半導体層17とn型半導体層15との間は順バイアスされ、多重量子井戸層16に、p型半導体層17から正孔が注入され、n型半導体層15から電子が注入され、注入された正孔と電子が多重量子井戸層16の内部で再結合し、発光光が生成される。
ここで、p型半導体層17と、金属酸化物層18とは、発光光に対して透明となっており、多重量子井戸層16の内部で生成された発光光のうち、p型半導体層17が位置する方向に向かう発光光は、多重量子井戸層16と、p型半導体層17と、金属酸化物層18とを透過し、正電極21が位置しない部分から、発光ダイオード1の外部に放出される。
また、n型半導体層15と、バッファー層14と、基板13とについても、発光光に対して透明となっている。そして、基板13におけるn型半導体層15が配置された面に対して反対側の面に反射層12が設けられており、n型半導体層15が位置する方向に向かう発光光は、多重量子井戸層16と、n型半導体層15と、バッファー層14と、基板13とを透過し、反射層12によって基板13側に反射され、反射層12上の基板13及び各層14〜18を透過して、金属酸化物層18から外部に放出される。
次に、この発光ダイオード1における金属酸化物層18の形成工程について説明する。
図2(a)は、金属酸化物層18を形成するための成膜対象物2aの構成を示す断面図であり、基板13上に、バッファー層14と、n型半導体層15と、多重量子井戸層16と、GaNを主成分とするp型半導体層(以下、「GaN系p型半導体層」という。)17とが形成された状態であり、このGaN系p型半導体層17の表面は露出されている。
図2(a)は、金属酸化物層18を形成するための成膜対象物2aの構成を示す断面図であり、基板13上に、バッファー層14と、n型半導体層15と、多重量子井戸層16と、GaNを主成分とするp型半導体層(以下、「GaN系p型半導体層」という。)17とが形成された状態であり、このGaN系p型半導体層17の表面は露出されている。
図3は、本発明に用いる成膜装置を示す概略構成図である。
図3に示すように、この成膜装置30は、搬出入室31と、成膜室32とを有している。
まず、上述した成膜対象物2aを搬出入室31内に搬入し、真空排気装置31aによって搬出入室31内を真空排気する。成膜室32は、真空排気装置32aによって予め真空排気されており、ゲートバルブ33を開け、成膜対象物2aを成膜室32内に移動させる。
図3に示すように、この成膜装置30は、搬出入室31と、成膜室32とを有している。
まず、上述した成膜対象物2aを搬出入室31内に搬入し、真空排気装置31aによって搬出入室31内を真空排気する。成膜室32は、真空排気装置32aによって予め真空排気されており、ゲートバルブ33を開け、成膜対象物2aを成膜室32内に移動させる。
成膜室32の内部には、例えばITOからなる金属酸化物ターゲット34が配置されている。この金属酸化物ターゲット34に対しては、直流電源35から直流電界(電力)が印加されるとともに、高周波電源36から高周波電界(電力)が印加される。さらに、金属酸化物ターゲット34の近傍には、マグネット37が設けられている。
成膜室32は、ガス導入装置38が接続されており、成膜室32の内部は、真空排気装置32aによって真空排気されながら、ガス導入装置38から例えば酸素及びアルゴンを含むスパッタガスが導入され、この状態で金属酸化物ターゲット34に対して直流電源35から直流電界を印加するとともに、高周波電源36から高周波電界を印加することにより、スパッタリングを行う。
成膜対象物2aは、成膜室32内の搬送装置(図示せず)によって移動され、露出しているGaN系p型半導体層17を金属酸化物ターゲット34と対面させながら成膜対象物2aを移動させることにより、GaN系p型半導体層17の表面に、GaN系p型半導体層17と接触する金属酸化物層18が形成され、次工程で処理するための図2(b)に示す処理対象物2bを得る。
この処理対象物2bは、予め真空排気されている搬出入室31にゲートバルブ33を介して戻された後、成膜装置30から取り出され、例えば、N2+O2(N2:O2=8:2)の雰囲気中で、550℃の温度でアニールされ、金属酸化物層18が低抵抗化される。
次いで、部分的にエッチングされてn型半導体層15の一部が露出された後、正電極21が金属酸化物層18の表面に形成され、負電極22がn型半導体層15上に形成され、さらに、図1に示すように、反射層12が形成されることにより、上述した発光ダイオード1を得る。
図4は、スパッタリング工程において、ITOからなるターゲットに印加する高周波電力と、ターゲット表面における平行磁場強度と、放電電圧(直流スパッタ電圧)との関係を示すグラフである。
この場合、図3に示す成膜装置を用い、ITOターゲットに対して印加する直流電力の大きさを、1000Wとし、高周波電力の周波数を、13.56MHzとし、酸素及びアルゴンを含むスパッタガスの圧力を、0.67Paとした。
そして、ITOターゲットの表面における平行磁場強度(ガウス:G)が、300G、500G、600G、900G、1600Gとなるように調整して、それぞれスパッタリングの際の放電電圧を測定した。
図4に示すように、スパッタリングの際のターゲット表面における平行磁場強度が300G、500Gの場合は、ITOターゲットに印加する高周波電力の値が大きくなるに従い、放電電圧が大きくなることが見てとれる。
これに対し、ターゲット表面における平行磁場強度が600G、900G、1600Gの場合、即ち当該平行磁場強度が600G以上の場合には、ITOターゲットに印加する高周波電力の値が大きくなるに従い、放電電圧が小さくなることが見てとれる。
具体的には、ターゲット表面における平行磁場強度が600G以上の場合において、ITOターゲットに対して500W以上の高周波電力を印加することにより、放電電圧が250Vより小さくなっている。
図5は、スパッタリング工程において、ITOターゲットに印加する高周波電力と、ターゲット表面における平行磁場強度と、GaN系p型半導体層とITO金属酸化物層との間の接触抵抗の抵抗率との関係を示すグラフである。
この場合、図3に示す成膜装置を用い、ITOターゲットに対して印加する直流電力の大きさを、1000Wとし、高周波電力の周波数を、13.56MHzとし、酸素及びアルゴンを含むスパッタガスの圧力を、0.67Paとした。
そして、ITOターゲットの表面における平行磁場強度が、300G、500G、600G、900Gとなるように調整し、GaN系p型半導体層表面に接触して、それぞれ厚さ100nmのITO金属酸化物層を形成した。さらに、N2+O2(N2:O2=8:2)の雰囲気中において、550℃の温度でアニールを行った。
このITO金属酸化物層について、GaN系p型半導体層との間の接触抵抗の抵抗率を、公知のTLM法によって測定した。
図5に示すように、スパッタリングの際のターゲット表面における平行磁場強度が500Gの場合は、高周波電力の値が大きくなるに従い、GaN系p型半導体層とITO金属酸化物層との間の接触抵抗の抵抗率が大きくなることが見てとれる。
図5に示すように、スパッタリングの際のターゲット表面における平行磁場強度が500Gの場合は、高周波電力の値が大きくなるに従い、GaN系p型半導体層とITO金属酸化物層との間の接触抵抗の抵抗率が大きくなることが見てとれる。
これに対し、ターゲット表面における平行磁場強度が600G、900Gの場合は、高周波電力の値が大きくなるに従い、GaN系p型半導体層とITO金属酸化物層との間の接触抵抗の抵抗率が小さくなることが見てとれる。
具体的には、ターゲット表面における平行磁場強度が600G、900Gの場合は、高周波電力の値が250Wにおいて、GaN系p型半導体層とITO金属酸化物層との間の接触抵抗の抵抗率が1/2以下になり、500Wでは更に小さくなった。なお、高周波電力の値を500Wより大きくした場合には、この接触抵抗の抵抗率は、さほど小さくはならなかった。
図4及び図5の結果から総合的に判断すると、本発明では、金属酸化物ターゲット特にITOターゲットの表面における平行磁場強度が600G以上となるように維持した状態で、当該金属酸化物ターゲットに対し、直流電界と高周波電界を重畳して印加することにより250V以下の放電電圧でスパッタリングを行うことが好ましい。
この場合、金属酸化物ターゲットに印加する高周波電力の大きさは、直流電力の大きさに対して1/4以上とすることが好ましく、より好ましくは1/2以上である。
例えば、直流電力の大きさが1000Wである場合には、高周波電力の大きさを250W以上にすることが好ましく、より好ましくは500W以上である。
例えば、直流電力の大きさが1000Wである場合には、高周波電力の大きさを250W以上にすることが好ましく、より好ましくは500W以上である。
本発明の作用・効果は、以下のように考察される。
すなわち、GaN系p型半導体層上にスパッタリングによって金属酸化物層を形成する際には、GaN系p型半導体層の表面にダメージが生じ、このGaN系p型半導体層表面のダメージが金属酸化物層との間の接触抵抗に影響すると考えられる。
すなわち、GaN系p型半導体層上にスパッタリングによって金属酸化物層を形成する際には、GaN系p型半導体層の表面にダメージが生じ、このGaN系p型半導体層表面のダメージが金属酸化物層との間の接触抵抗に影響すると考えられる。
具体的には、スパッタリングの際に、ターゲットの成分やスパッタガス中に含まれる酸素成分がイオン化することによって酸素の負イオンが発生し、この負イオンがGaN系p型半導体層の表面に衝突することによって当該p型半導体層の表面にダメージが生ずる。
そして、GaN系p型半導体層の表面にダメージが与えられると、GaN系p型半導体層の表面の結晶に歪みが生じ、この歪みに起因してGaN系p型半導体層と金属酸化物層との界面に形成される中間層に形成不良が生じ、その結果、GaN系p型半導体層と金属酸化物層との間の接触抵抗が上昇する。
この場合、GaN系p型半導体層の表面における衝突ダメージは、ターゲットの負電位により発生する電界によって酸素の負イオンが加速されて大きくなることから、図4に示すように、ITOターゲットの表面における平行磁場強度が600G以上となるように維持してスパッタリングの際の放電電圧を低下させることによって酸素の負イオンの衝突によるエネルギーを小さくし、これによりGaN系p型半導体層に対するダメージを減少させることができる。
そして、GaN系p型半導体層に対するダメージが減少すれば、GaN系p型半導体層の表面の結晶に歪みが減少し、GaN系p型半導体層と金属酸化物層との界面に良質の中間層が形成されるため、図5に示すように、GaN系p型半導体層と金属酸化物層との間の接触抵抗を小さくすることができるものと考えられる。
1……発光ダイオード
2a…成膜対象物
13……基板
15……GaNを主成分とするn型半導体層
17……GaNを主成分とするp型半導体層
18……金属酸化物層
30……成膜装置
34……金属酸化物ターゲット
35……直流電源
36……高周波電源
37……マグネット
2a…成膜対象物
13……基板
15……GaNを主成分とするn型半導体層
17……GaNを主成分とするp型半導体層
18……金属酸化物層
30……成膜装置
34……金属酸化物ターゲット
35……直流電源
36……高周波電源
37……マグネット
Claims (2)
- GaNを主成分とするn型半導体層と、前記n型半導体層の片面側に位置するGaNを主成分とするp型半導体層と、前記p型半導体層の前記n型半導体層に対して反対側に位置する透明電極層とが基板上に設けられ、前記p型半導体層と前記n型半導体層との間に電圧が印加された場合に動作電流が流れて発光する発光ダイオードを製造する方法であって、
真空中でマグネトロンスパッタリング法によって前記GaNを主成分とするp型半導体層の表面に前記透明電極層として金属酸化物層を形成する工程を有し、
当該スパッタリング工程において、金属酸化物ターゲットの表面における平行磁場強度が600G以上となるように維持した状態で、当該金属酸化物ターゲットに対し、直流電界と高周波電界を重畳して印加することにより250V以下の放電電圧でスパッタリングを行う発光ダイオードの製造方法。 - 前記金属酸化物ターゲットがITOからなる請求項1記載の発光ダイオードの製造方法。
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