JP5730326B2 - In金属酸化物膜の形成方法 - Google Patents
In金属酸化物膜の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5730326B2 JP5730326B2 JP2012540861A JP2012540861A JP5730326B2 JP 5730326 B2 JP5730326 B2 JP 5730326B2 JP 2012540861 A JP2012540861 A JP 2012540861A JP 2012540861 A JP2012540861 A JP 2012540861A JP 5730326 B2 JP5730326 B2 JP 5730326B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal oxide
- film
- sputtering
- target
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims description 44
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 29
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 91
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 78
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 38
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 31
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 41
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 8
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002893 slag Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
- C23C14/044—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks using masks to redistribute rather than totally prevent coating, e.g. producing thickness gradient
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/225—Oblique incidence of vaporised material on substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3414—Targets
- H01J37/3417—Arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3447—Collimators, shutters, apertures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0016—Processes relating to electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
- H01L33/42—Transparent materials
Description
GaN系青色LED100は、サファイア基板などの結晶基板102上に、GaN系半導体材料からなる低温成長バッファ層103と、n型GaN層104と、GaN系発光層105と、p型GaN層106とを順に積層して形成される。GaN系発光層105は、InGaN井戸層とGaNあるいはInGaN障壁層を含んだ多重量子井戸構造(MQW:Multiple Quantum Well)を成している。n型GaN層104表面は部分的に露出されてその上にn型電極108bが形成され、p型GaN層106上には透明導電膜107を介してp型電極108aが形成される。
また、室温成膜したアモルファス状態のITO膜は、酸素欠損が非常に多いため、光透過率が低く、電気抵抗率が高いという問題があった。
本発明はIn金属酸化物膜の形成方法であって、前記In金属酸化物初期層は、前記In金属酸化物膜本体と比べてInの原子組成比が大きいIn金属酸化物膜の形成方法である。
本発明はIn金属酸化物膜の形成方法であって、前記成膜対象物の表面にInを含有する金属酸化物の薄膜を形成した後、窒素及び酸素雰囲気下で前記成膜対象物を300℃以上800℃以下の温度に加熱するIn金属酸化物膜の形成方法である。
本発明のスパッタリング装置の構造を説明する。図1はスパッタリング装置10の内部構成図である。
ターゲット21はスパッタ面28が露出した状態で平板形状のターゲット保持部22に密着して固定され、ターゲット保持部22と電気的に接続されている。
ターゲット保持部22は真空槽11の壁面に絶縁物26を介して固定され、真空槽11とは電気的に絶縁されている。
ターゲット21が真空槽11に対して負電位に置かれているとき、プラズマ中のイオンはスパッタ面28に入射して、スパッタ面28からIn金属酸化物の粒子であるスパッタリング粒子が放出される。
また遮蔽板25は真空槽11の壁面に向かって飛行するスパッタリング粒子を遮断し、真空槽11の壁面にスパッタリング粒子が付着することを防止する。
本実施例では、スパッタ面28の形状と開口29の形状はどちらも四角形であり、スパッタ面28の基板移動方向19の下流側に位置する第一の辺Aと、遮蔽板25の開口29の基板移動方向19の上流側に位置する第二の辺Bは、スパッタ面28と平行で基板移動方向19に対して直角な方向と平行に配置されている。
従って、移動中の成膜対象物1の表面には、スパッタリング粒子が64°以上85°以下の入射角度φで入射を開始するようになっている。
上述のスパッタリング装置10を使用したInを含有する金属酸化物膜の形成方法を説明する。
予め遮蔽板25を、補助角度θが5°以上26°以下になるように配置しておく。
真空槽11内を真空排気部12により真空排気する。以後真空排気を継続して真空槽11内の真空雰囲気を維持する。
真空排気された真空槽11内にガス供給部24からスパッタガスと酸素ガスとの混合ガスを導入する。ここではスパッタガスにはArガスを使用する。
ターゲット21が真空槽11に対して負電位に置かれているとき、プラズマ中のイオンがスパッタ面28に入射して、スパッタし、スパッタ面28からスパッタリング粒子が放出される。
成膜対象物1の下地層の表面には、主に64°以上85°以下の入射角度φで入射するスパッタリング粒子から成るIn金属酸化膜初期層が形成される。
成膜対象物1がスパッタ面28と対面する位置に近づくにつれて、(90°−補助角度θ)より小さな入射角度φで入射するスパッタリング粒子の割合が増え、In金属酸化膜初期層の表面には、主に64°未満の入射角度φで入射するスパッタリング粒子から成るIn金属酸化膜本体が形成される。
また、スパッタリング法により形成されたIn金属酸化膜は、真空蒸着法よりも表面平坦性に優れている。
次いで、真空槽11内の真空雰囲気を維持しながら、成膜対象物1を真空槽11から搬出し、不図示のランプ加熱装置に搬入する。
RTA処理は、窒素1L/min〜100L/min、酸素0.1L/min〜20L/minの流量の元、400℃〜650℃の所定の温度まで0.1分〜60分で昇温させ、400℃〜650℃の温度を0.5分〜60分間保持するのが好ましい。より好ましくは窒素5L/min〜20L/min、酸素0.5L/min〜5L/min、保持温度500℃〜650℃、昇温時間1分〜15分、保持時間1分〜15分である。
ランプ加熱を停止して、成膜対象物1を150℃まで自然降温させた後、ランプ加熱装置から取り出す。
図5(a)を参照し、MOCVD法により、サファイア基板2上に、GaNバッファ層3と、n型GaN層4と、MQW構造のGaN系発光層5と、p型GaN層6を順に積層して形成した後、図5(b)を参照し、メサエッチングを行ってp型GaN層6とGaN系発光層5とを部分的に除去してn型GaN層4を部分的に露出させ、LED基板1’を得た。
次いで、アニール工程として、このLED基板1’を、窒素及び酸素雰囲気下でRTA処理した。
次いで、このLED40のITO膜特性とVfとを測定した。
また、比較例として、スパッタ成膜工程をした後にアニール工程をしなかった場合(比較例1)と、アニール工程で酸素ガスを流さなかった場合(比較例2)と、真空蒸着法によりITO膜7を成膜した場合(比較例3)と、静止対向スパッタリング法によりITO膜7を成膜した後にアニール工程をした場合(比較例4)とで、LED40を形成し、ITO膜特性とVfを測定した。
実施例と比較例1〜4の測定結果を表1に示す。
さらに、上述のスパッタリング装置10において、遮蔽板25の補助角度θを変化させて(すなわち、スパッタリング粒子が入射を開始するときの入射角度φを変化させて)、異なる複数の補助角度θでそれぞれLED基板1’上にITO膜7を成膜し、上記実施例と同様にしてLED40を作成して、Vfを測定した。測定結果を表2に示す。
11……真空槽
12……真空排気部
13……移動装置
15……プラズマ生成部
16……基板保持部
21……ターゲット
22……ターゲット保持部
23……電源装置
24……ガス供給部
25……遮蔽板
28……スパッタ面
29……開口
Claims (3)
- Inを含有する金属酸化物のターゲットのスパッタ面をスパッタリングして、前記スパッタ面からスパッタリング粒子を放出させながら、成膜対象物を前記スパッタ面と平行な一の平面内で移動させ、移動中に前記スパッタ面と対面させ、前記成膜対象物のGaN層が露出する表面にInを含有する金属酸化物の薄膜を形成するIn金属酸化物膜の形成方法であって、
成膜対象物の表面に下地層が露出した状態で、前記成膜対象物を前記一の平面内で移動させ、移動中の前記成膜対象物の前記下地層の表面に前記スパッタリング粒子が入射しない状態から入射する状態に変化させ、前記スパッタリング粒子の前記下地層の表面への入射を、入射角度64°以上85°以下で開始させ、
In/(Ga+In)の原子組成比が0.3以上の層を界面に有するIn金属酸化物初期層を形成し、前記スパッタリング粒子の前記In金属酸化物初期層の表面への入射を、入射角度64°未満で開始させIn金属酸化物膜本体をさらに形成するIn金属酸化物膜の形成方法。 - 前記In金属酸化物初期層は、前記In金属酸化物膜本体と比べてInの原子組成比が大きい請求項1記載のIn金属酸化物膜の形成方法。
- 前記成膜対象物の表面にInを含有する金属酸化物の薄膜を形成した後、窒素及び酸素雰囲気下で前記成膜対象物を300℃以上800℃以下の温度に加熱する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のIn金属酸化物膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012540861A JP5730326B2 (ja) | 2010-10-28 | 2011-10-25 | In金属酸化物膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010242404 | 2010-10-28 | ||
JP2010242404 | 2010-10-28 | ||
JP2012540861A JP5730326B2 (ja) | 2010-10-28 | 2011-10-25 | In金属酸化物膜の形成方法 |
PCT/JP2011/074494 WO2012057108A1 (ja) | 2010-10-28 | 2011-10-25 | スパッタリング装置及びIn金属酸化物膜の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012057108A1 JPWO2012057108A1 (ja) | 2014-05-12 |
JP5730326B2 true JP5730326B2 (ja) | 2015-06-10 |
Family
ID=45993815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012540861A Active JP5730326B2 (ja) | 2010-10-28 | 2011-10-25 | In金属酸化物膜の形成方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5730326B2 (ja) |
TW (1) | TW201231702A (ja) |
WO (1) | WO2012057108A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019178367A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社アルバック | スパッタリング装置 |
JP7136648B2 (ja) | 2018-09-28 | 2022-09-13 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003268542A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2008311317A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Eudyna Devices Inc | 半導体発光素子 |
JP2009283785A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体積層構造体およびその製造方法 |
-
2011
- 2011-10-25 JP JP2012540861A patent/JP5730326B2/ja active Active
- 2011-10-25 WO PCT/JP2011/074494 patent/WO2012057108A1/ja active Application Filing
- 2011-10-27 TW TW100139145A patent/TW201231702A/zh unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003268542A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2008311317A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Eudyna Devices Inc | 半導体発光素子 |
JP2009283785A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体積層構造体およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201231702A (en) | 2012-08-01 |
JPWO2012057108A1 (ja) | 2014-05-12 |
WO2012057108A1 (ja) | 2012-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4137936B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 | |
CN101350392B (zh) | 纳米图案p型氮化物半导体欧姆接触电极及其制备方法 | |
CN101573804B (zh) | 氮化镓系化合物半导体发光元件及其制造方法 | |
JP2006278616A (ja) | 薄膜製造装置、薄膜の製造方法、および薄膜積層体 | |
CN107488828B (zh) | 形成薄膜的方法以及形成氮化铝薄膜的方法 | |
CN102227046A (zh) | 一种氮化镓基半导体激光器及其制作方法 | |
JP5011628B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
CN100438101C (zh) | 基于氮化镓的化合物半导体发光器件 | |
JP2013138090A (ja) | 発光ダイオードの製造方法 | |
JP5730326B2 (ja) | In金属酸化物膜の形成方法 | |
CN108538981A (zh) | 一种发光二极管芯片及其制备方法 | |
JP2005244129A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2005244128A (ja) | 半導体発光素子 | |
RU2690036C1 (ru) | Способ изготовления нитридного светоизлучающего диода | |
US8124992B2 (en) | Light-emitting device, manufacturing method thereof, and lamp | |
JP5497301B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
CN108493321A (zh) | 一种发光二极管芯片及其制备方法 | |
CN108767102B (zh) | 一种发光二极管芯片及其制备方法 | |
JP6532237B2 (ja) | 成膜方法及び発光ダイオードの製造方法 | |
JP2012212820A (ja) | 透明導電膜の作成方法 | |
JP2008182138A (ja) | 発光ダイオード素子及びその製造方法 | |
JP2019149429A (ja) | 成膜方法、半導体デバイスの製造方法及び半導体デバイス | |
JP2011040771A (ja) | 原料ガス分解機構、薄膜製造装置、薄膜製造方法、および薄膜積層体 | |
JP2020027905A (ja) | 積層体及びその製造方法 | |
Kumbham | Synthesis and Characterization of electrodes for III-Nitride Resonant Cavity Light Emitting Diode Applications |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140918 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150331 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150407 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5730326 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |