JP2014218417A - 合成石英ガラスの成型方法及び合成石英ガラス - Google Patents
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Abstract
Description
合成石英ガラス母材を、1700℃以上で、自重又は加重により加熱成型する合成石英ガラスの成型方法において、
前記合成石英ガラス母材のOH基濃度を測定する工程と、
該測定したOH基濃度に基づいて前記加熱成型における保持時間を、
前記加熱成型において設定する保持温度が1700℃以上1900℃未満の場合は下記の数式(1)〜(3)
T≦24.0×ln(OH)−7.0 …(1)
T≧12.5×ln(OH)−23.5 …(2)
10≦T≦120 …(3)
の全てを満たすように(各数式中、Tは保持温度における保持時間[分]を表し、OHは、OH基濃度[ppm]を表す。)、
前記加熱成型において設定する保持温度が1900℃以上の場合は下記の数式(4)〜(6)
T≦6.0×ln(OH)+10.0 …(4)
T≧4.0×ln(OH)−5.0 …(5)
5≦T≦40 …(6)
の全てを満たすように(各数式中、T及びOHは上記と同様である。)、
決定する工程と、
前記決定した保持時間に従って、前記保持温度において前記加熱成型を行う工程と
を含むことを特徴とする合成石英ガラスの成型方法
を提供する。
前記保持時間を決定する工程において、
前記加熱成型において設定する保持温度が1700℃以上1900℃未満の場合は下記の数式(7)〜(9)
T≦24.6×ln(OH)−12.1 …(7)
T≧12.6×ln(OH)−18.4 …(8)
10≦T≦120 …(9)
の全てを満たすように(各数式中、T及びOHは上記と同様である。)、
前記加熱成型において設定する保持温度が1900℃以上の場合は下記の数式(10)〜(12)
T≦6.1×ln(OH)+6.8 …(10)
T≧4.1×ln(OH)−3.4 …(11)
5≦T≦40 …(12)
の全てを満たすように(各数式中、T及びOHは上記と同様である。)、
前記保持時間を決定すること
が好ましい。
T≦24.0×ln(OH)−7.0 …(1)
T≧12.5×ln(OH)−23.5 …(2)
10≦T≦120 …(3)
ここで、各数式中、Tは保持温度における保持時間[分]を表し、OHは、OH基濃度[ppm]を表す。また、ln(OH)はppmで表示したOH基濃度の数値部分の自然対数である。例えばOH基濃度が200ppmであるとき、ln(OH)はln(200)であり、約5.3となる。
T≦6.0×ln(OH)+10.0 …(4)
T≧4.0×ln(OH)−5.0 …(5)
5≦T≦40 …(6)
ここで、各数式中、上記と同様に、Tは保持温度における保持時間[分]を表し、OHは、OH基濃度[ppm]を表す。
加熱成型における保持温度(最高保持温度)1800℃下で、直径200mm長さ(高さ)500mmの円柱形(重量約34.5kg)の合成石英ガラス母材を、直径300mm長さ220mmの円柱形に成型する実験を行った。
(1) OH基濃度9ppm
(2) OH基濃度20ppm
(3) OH基濃度100ppm
(4) OH基濃度250ppm
(5) OH基濃度1000ppm
加熱成型後の合成石英ガラスを、目視により形状観察した。
加熱成型後の合成石英ガラスに蛍光が生じるか否か、目視により検査した。
加熱成型後の合成石英ガラスから図9に示したようにサンプルを採取し、表面側より5mm間隔の深さで純度分析を行った。純度分析は、Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cuの不純物金属について、ICP−MS装置(誘導結合プラズマ質量分析装置)を用いて行った。
図9に示した位置、すなわち、表面から5〜15mmに当たる部分から直径50mm長さ10mmのサンプルを採取し、紫外分光光度計を用いて波長193.4nmの光に対する10mm当たりの内部透過率の評価を行った。
表1に、合成石英ガラス母材のOH基濃度(ppm)と、加熱成型の際の保持時間(最高温度保持時間)との関係を示した。
○: 成型完了、各金属不純物1ppb未満、内部透過率99.75%以上
×: 成型完了、各金属不純物≧1ppb又は内部透過率99.75%未満
××:成型不十分
表1において、空欄は、その条件で実験を行っていないことを示している。
合成石英ガラス母材のそれぞれのOH基の濃度の違いによって、表1、表2の通り記号「○」の場合と記号「×」の場合とで違いが確認された。
表1の記号「○」の場合では、表面から5〜15mmに当たる部分より直径50mm長さ10mmのサンプルの193.4nmでの内部透過率の評価では、表3に示す通り、内部透過率は、99.75%以上が確認され、99.75〜99.82%の範囲であった。
上記結果を元に直径300mm長さ220mm、34.5kgの合成石英ガラスを、それぞれ5mmずつ切断及び研削加工を行い、表1の記号「○」で示した場合では、研削後の重量、寸法直径290mm長さ210mm、重量30.5kgのガラスが得られた。その一方で、表1の記号「×」で示した部分では、15mmずつ切断及び研削加工を行わなければならず、直径270mm長さ190mm、重量23.9kgの合成石英ガラスが得られ、加工ロスが多くなった。
T≦24.0×ln(OH)−7.0 …(1)
T≧12.5×ln(OH)−23.5 …(2)
10≦T≦120 …(3)
T≦24.6×ln(OH)−12.1 …(7)
T≧12.6×ln(OH)−18.4 …(8)
10≦T≦120 …(9)
加熱成型における保持温度(最高保持温度)2000℃下で、直径200mm長さ(高さ)500mmの円柱形(重量約34.5kg)の合成石英ガラス母材を、直径300mm長さ220mmの円柱形に成型する実験を行った。
(1) OH基濃度9ppm
(2) OH基濃度20ppm
(3) OH基濃度100ppm
(4) OH基濃度250ppm
(5) OH基濃度1000ppm
表4に、合成石英ガラス母材のOH基濃度(ppm)と、加熱成型の際の保持時間(最高温度保持時間)との関係を示した。
○: 成型完了、各金属不純物1ppb未満、内部透過率99.75%以上
×: 成型完了、各金属不純物≧1ppb又は内部透過率99.75%未満
××:成型不十分
表4において、空欄は、その条件で実験を行っていないことを示している。
合成石英ガラス母材のそれぞれのOH基の濃度の違いによって、表4、表5の通り記号「○」の場合と記号「×」の場合とで違いが確認された。
表4の記号「○」の場合では、表面から5〜15mmに当たる部分より直径50mm長さ10mmのサンプルの193.4nmでの内部透過率の評価では、表6に示す通り、内部透過率は、99.75%以上が確認され、99.75〜99.82%の範囲であった。
上記結果を元に直径300mm長さ220mm、34.5kgの合成石英ガラスを、それぞれ5mmずつ切断及び研削加工を行い、表4の記号「○」で示した場合では、研削後の重量、寸法直径290mm長さ210mm、重量30.5kgのガラスが得られた。その一方で、表4の記号「×」で示した部分では、15mmずつ切断及び研削加工を行わなければならず、直径270mm長さ190mm、重量23.9kgの合成石英ガラスが得られ、加工ロスが多くなった。
T≦6.0×ln(OH)+10.0 …(4)
T≧4.0×ln(OH)−5.0 …(5)
5≦T≦40 …(6)
T≦6.1×ln(OH)+6.8 …(10)
T≧4.1×ln(OH)−3.4 …(11)
5≦T≦40 …(12)
103…成型用型、 104…錘、
111…合成石英ガラス母材、 112…加熱成型中の合成石英ガラスの形状、
113…加熱成型後の合成石英ガラスの形状。
Claims (8)
- 合成石英ガラス母材を、1700℃以上で、自重又は加重により加熱成型する合成石英ガラスの成型方法において、
前記合成石英ガラス母材のOH基濃度を測定する工程と、
該測定したOH基濃度に基づいて前記加熱成型における保持時間を、
前記加熱成型において設定する保持温度が1700℃以上1900℃未満の場合は下記の数式(1)〜(3)
T≦24.0×ln(OH)−7.0 …(1)
T≧12.5×ln(OH)−23.5 …(2)
10≦T≦120 …(3)
の全てを満たすように(各数式中、Tは保持温度における保持時間[分]を表し、OHは、OH基濃度[ppm]を表す。)、
前記加熱成型において設定する保持温度が1900℃以上の場合は下記の数式(4)〜(6)
T≦6.0×ln(OH)+10.0 …(4)
T≧4.0×ln(OH)−5.0 …(5)
5≦T≦40 …(6)
の全てを満たすように(各数式中、T及びOHは上記と同様である。)、
決定する工程と、
前記決定した保持時間に従って、前記保持温度において前記加熱成型を行う工程と
を含むことを特徴とする合成石英ガラスの成型方法。 - 前記保持時間を決定する工程において、
前記加熱成型において設定する保持温度が1700℃以上1900℃未満の場合は下記の数式(7)〜(9)
T≦24.6×ln(OH)−12.1 …(7)
T≧12.6×ln(OH)−18.4 …(8)
10≦T≦120 …(9)
の全てを満たすように(各数式中、T及びOHは上記と同様である。)、
前記加熱成型において設定する保持温度が1900℃以上の場合は下記の数式(10)〜(12)
T≦6.1×ln(OH)+6.8 …(10)
T≧4.1×ln(OH)−3.4 …(11)
5≦T≦40 …(12)
の全てを満たすように(各数式中、T及びOHは上記と同様である。)、
前記保持時間を決定することを特徴とする請求項1に記載の合成石英ガラスの成型方法。 - 前記加熱成型において1500℃以上における昇温速度を1℃/分以上10℃/分以下とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の合成石英ガラスの成型方法。
- 外径100mm以上400mm以下であり、重量が60kg以下の前記合成石英ガラス母材を、前記加熱成型により、外径150mm以上500mm以下の前記合成石英ガラスに成型することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の合成石英ガラスの成型方法。
- 前記加熱成型を100Pa以下、又はヘリウム、アルゴン、窒素のいずれかの雰囲気下で行うことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の合成石英ガラスの成型方法。
- 前記加熱成型の前に、前記合成石英ガラス母材に対し15%以上のフッ酸による5μm以上のエッチング及び比抵抗値が10MΩ・cm以上の純水による洗浄を行って、前記合成石英ガラス母材の表層部の汚れを除去し、ISO14644−1に基づくクリーン度クラス7以下の室内で乾燥させることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の合成石英ガラスの成型方法。
- 前記加熱成型を、該加熱成型を行う加熱炉を構成するヒーター、炉材及び成型用型として灰分10ppm以下の高純度カーボンを使用すること、並びに、前記加熱炉がISO14644−1に基づくクリーン度クラス7以下の室内に設置されていること、の少なくともいずれかを満たす環境下で行うことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の合成石英ガラスの成型方法。
- 請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の合成石英ガラスの成型方法により成型した合成石英ガラスであって、表面から5mm以上の深さにおいてLi、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cuの各濃度が1ppb未満であり、かつ、波長193.4nmの光に対する厚さ10mm当たりの内部透過率が99.75%以上であることを特徴とする合成石英ガラス。
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