JP2014199800A - セラミックヒーター - Google Patents
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Abstract
Description
さらに、図2の実施形態では、端子部の基材2を凸形状に形成していないが、この場合でも、基材2の形状を円錐台形状とした上でさらに導電性手段9を接合して凸形状にしてもよい。
2 基材
3 導電性部材
4 被覆層
5 ボルト
6 ワッシャー
7 導電性保護膜
8 給電端子
9 接合された平板形状の導電性手段
10 発熱パターン
11 導電性部材又は導電性手段の露出面
12 貫通穴
Claims (10)
- 絶縁性セラミックス部材からなる基材と、該基材の上に形成された導電性部材からなるヒーターパターンと、該ヒーターパターンの上に設けられる絶縁性セラミックス部材からなる被覆層とを含んで構成されると共に、給電端子部に端子固定用の貫通穴を有するセラミックヒーターであって、前記給電端子部の周囲に形成された露出面の導電性層の上面が前記被覆層の上面と同一平面を形成していることを特徴とするセラミックヒーター。
- 前記露出面の前記貫通穴近傍が前記導電性層に換えて絶縁性セラミックス部材からなる被覆層で形成されていることを特徴とする請求項1に記載のセラミックヒーター。
- 前記導電性層は、前記ヒーターパターンと同一材質又は異なる材質の導電性材料から成ることを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミックヒーター。
- 前記導電性層は、前記ヒーターパターンを形成する導電性部材又は接合された導電性手段によって構成されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のセラミックヒーター。
- 前記導電性層は、その形状が凸形状であることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のセラミックヒーター。
- 前記凸形状は、前記基材を円錐台状に隆起して形成されていることを特徴とする請求項5に記載のセラミックヒーター。
- 前記凸形状は、前記導電性層を形成する領域の前記基材に又は該基材の上に形成された導電性部材に接合して形成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載のセラミックヒーター。
- 前記貫通穴から前記露出面を越える被覆層の範囲まで、前記露出面を覆うための耐食性を有する導電性保護膜が設けられていることを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載のセラミックヒーター。
- 前記導電性保護膜の材質は、タングステン、タンタル、珪素、白金、ニッケル、珪化モリブデン、炭化珪素の群から選択される1種であることを特徴とする請求項8に記載のセラミックヒーター。
- 前記基材及び前記被覆層を形成する絶縁性セラミックス部材は、アルミナ(Al2O3)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化ホウ素(BN)、AlNとBNの複合体、熱分解窒化ホウ素(PBN)、熱分解窒化ホウ素を被覆したグラファイト、石英の群から選択される1種であることを特徴とする請求項1乃至9の何れかに記載のセラミックヒーター。
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