JP4435742B2 - 加熱素子 - Google Patents
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Description
さらに、カーボン製の給電端子部をアセンブリによって組み上げた後に保護層を形成する方法が提案されている(特許文献1、7等参照)。
しかし、耐熱性の支持基材に窒化ホウ素焼結体を用いた場合、機械的強度が小さいため基材を厚くしなければならず、しかも基材側面から逃げる熱量も大きいので、特に700℃よりも高い温度に、試料を加熱しようとする場合に十分温度が上がらなかった。
また、前記耐熱性基材は、一体物であって、複数の部品を組み合わせてアセンブリしたものではないので、コンパクトで製造コストが低い上、該耐熱性基材に形成された層は、使用によってクラックが入り難く長寿命である。
さらに、前記導電層は、上記のようにヒーターパターンと導電路と給電端子とが形成され、該ヒーターパターンと該導電路の表面が保護層で覆われ、一体的に形成されてなるものであるので、コンパクトで製造コストが低い上、該保護層は、使用によってクラックが入り難くなり長寿命となる。
このように耐熱性基材の材質がグラファイトであれば、材料が安価で複雑な形状でも加工が容易であるため、製造コストをさらに低くできる上、耐熱性も大きい。
このように誘電体層の材質が、窒化ホウ素、熱分解窒化ホウ素、窒化珪素、CVD窒化珪素、窒化アルミニウム、CVD窒化アルミニウムのいずれか、または、これらを組み合せたものであれば、絶縁性が高く、高温での使用による不純物の飛散がなく高純度が要求される加熱プロセスにも対応できる。
このように導電層の材質が、熱分解炭素、グラッシーカーボンであれば、高温まで加熱可能となり、加工も容易なためヒーターパターンを蛇行パターンとして、その幅を変えることにより、任意の温度傾斜をつけたり、熱環境に応じた発熱分布をもたせて均熱化したりすることも容易となる。
このように保護層の材質が、窒化ホウ素、熱分解窒化ホウ素、窒化珪素、CVD窒化珪素、窒化アルミニウム、CVD窒化アルミニウムのいずれか、または、これらを組み合せたものとすることにより、絶縁性が高く、また、高温での使用による剥離や不純物の飛散がなく高純度が要求される加熱プロセスにも対応できる保護膜となる。
このように保護層は、少なくとも2層以上からなり、最表層の材質が、アルミニウム、イットリウム、シリコン、または、これらのいずれかの化合物であることにより、ハロゲン系エッチングガスや酸素等の腐食環境においても安定して使用することができる。特に、この場合、保護層の1層目を上記窒化アルミ等とするのが効果的で好ましい。
このように棒状部の長さを、10〜200mmとすることにより、端子部と加熱部が十分な距離をとることができるので、端子部を十分に低温化させることができ、より効果的に端子部の消耗を防ぐことができる。
このように、前記板状部の前記棒状部が突出する側の面にヒーターパターンが形成され、該板状部の反対側の面に被加熱物を保持する静電チャックパターンが形成されたものであれば、被加熱体を保持しつつ加熱することができるので効率よく加熱できるとともに高精度で位置を設定することができ、イオンインプラ、プラズマエッチング、スパッタリング等の被加熱体の位置精度が要求される場合に、より正確に所望の加熱プロセスを行うことができる。
また、前記導電層は、上記のようにヒーターパターンと導電路と給電端子とが形成され、該ヒーターパターンと該導電路の表面が保護層で覆われ、一体的に形成されてなるものであるので、コンパクトで製造コストが低い上、該保護層は、使用によってクラックが入り難くなる。従って、本発明の加熱素子は非常に長寿命となる。
特に、耐熱性基材の材質をグラファイトとすることにより、材料が安価で複雑な形状でも加工が容易であるため、製造コストをさらに低くできる上、耐熱性も大きい。
また、棒状部1bが図1のように1本である場合は、先端部1cは、構造上の安定のために図1のように広がった板状構造とすることが好ましい。
(実施例1)
図1のように、厚さ10mmの外径250mmの板状部1aの片面の中央から、直径30mm長さ100mmの棒状部1bと、該棒状部1bの板状部1aとは反対側に直径60mm厚さ10mmの小さい円板で電源端子5に接続できる4つの直径6mmの穴を形成した先端部1cとが形成された一体物でカーボン製の耐熱性基材1を用意した。
ここに水素ガスを導入し1x10−2Paとしたが200時間置いても端子部、ヒーター部とも変化無く加熱できた。
ここにCF4を導入し1x10−2Paとしたが200時間置いても消耗量が5μm以下と変化無く加熱できた。
図2のように、厚さ10mmの外径250mmの板状部1aの片面の両端部、2箇所に一対の直径20mm長さ50mmの棒状部1bと、該棒状部1bの板状部1aとは反対側にM10の深さ10mmメスネジ穴が形成されて電気的接続をネジにより行えるようにした先端部1cとが形成された一体物でカーボン製の耐熱性基材1を形成した。
ここに水素ガスを導入し1x10−2Paとしたが200時間置いても端子部に変化が無く加熱できた。
ここにCF4を導入し1x10−2Paとしたが200時間置いても表面の消耗量は10μmと非常に小さかった。
図4のように、厚さ10mmの外径250mmの板状の基材21の表面の両端部に、M10の深さ10mmメスネジ穴が形成されて電気的接続をネジにより行えるようにした一体物でカーボン製の耐熱性基材21を形成した。M10のネジ部は0.4mm大き目にしておき、後に電気的接続をネジにより行えるようにした。
ここに水素ガスを導入し1x10−2Paとしたが75時間したところで給電端子3cのカーボンが腐食し断線した。
3…導電層、 3a…ヒーターパターン、 3b…導電路、 3c…給電端子、
4…保護層、 4p…保護層の最表層、 5…電源端子、 6…静電チャックパターン、
10…加熱素子、 10a…加熱部、 10b…導電部、 10c…給電端子部。
Claims (8)
- 少なくとも、ヒーターパターンが形成される板状部と、該板状部の片面から突出する導電路が形成される棒状部と、該棒状部の前記板状部とは反対端に位置し給電端子が形成される先端部とが形成された一体物の耐熱性基材を有し、該耐熱性基材の表面に絶縁性の誘電体層と、該誘電体層上に導電性の導電層とを有し、前記導電層は、前記板状部ではヒーターパターンが形成され、前記棒状部では導電路が形成され、前記先端部では給電端子が形成されており、前記ヒーターパターンと前記導電路の表面が絶縁性の保護層で覆われた一体的に形成されてなるものであることを特徴とする加熱素子。
- 前記耐熱性基材の材質が、グラファイトであることを特徴とする請求項1に記載の加熱素子。
- 前記誘電体層の材質が、窒化ホウ素、熱分解窒化ホウ素、窒化珪素、CVD窒化珪素、窒化アルミニウム、CVD窒化アルミニウムのいずれか、または、これらを組み合せたものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の加熱素子。
- 前記導電層の材質が、熱分解炭素、グラッシーカーボンであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の加熱素子。
- 前記保護層の材質が、窒化ホウ素、熱分解窒化ホウ素、窒化珪素、CVD窒化珪素、窒化アルミニウム、CVD窒化アルミニウムのいずれか、または、これらを組み合せたものであることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の加熱素子。
- 前記保護層は、少なくとも2層以上からなり、最表層の材質が、アルミニウム、イットリウム、シリコン、または、これらのいずれかの化合物であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の加熱素子。
- 前記棒状部の長さが、10〜200mmであることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の加熱素子。
- 前記板状部の前記棒状部が突出する側の面にヒーターパターンが形成され、該板状部の反対側の面に被加熱物を保持する静電チャックパターンが形成されたものであることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の加熱素子。
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