JP2014192548A - 出力回路、半導体集積回路、振動デバイス、電子機器、および移動体 - Google Patents

出力回路、半導体集積回路、振動デバイス、電子機器、および移動体 Download PDF

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Abstract

【課題】 MOS型の出力トランジスターを用いながらも、例えば製造ばらつきの影響によらず、所望の出力電圧にすることが可能な出力回路、半導体集積回路、振動デバイス、電子機器、移動体等を提供する。
【解決手段】 基準電圧Vddを基にして抵抗比で定められる第1の出力電圧V1、V2を生成する第1の回路13と、第1の出力電圧と、出力信号の第2の出力電圧(出力信号DO、DObの電圧)を設定することが可能な第2のトランジスターN3、N5のソース電圧VsH、VsLと、を比較して、第1のトランジスターN9、N10が第2の出力電圧を出力するために必要な出力ゲート電圧VgH、VgLを生成する第2の回路14と、出力ゲート電圧を第1のトランジスターへ印加するタイミングを、入力制御信号S、Sbに基づいて制御する第3の回路15と、を含む。
【選択図】 図1

Description

本発明は、出力回路、半導体集積回路、振動デバイス、電子機器、および移動体等に関する。
近年、高いデータレートでシリアル通信を行うための規格が多数存在し、例えばPECL(Positive Emitter Coupled Logic)やLVPECL(Low Voltage PECL)等が使われている。そして、これらの規格に合った出力回路も多数存在し、集積回路装置(Integrated Circuit、IC)等で使用されている。例えば、PECL出力回路は発振回路を含む集積回路装置で用いられ、発振信号に基づいてPECLの差動信号を出力する。
一般に、PECL出力回路では、出力トランジスターにバイポーラ型のNPNトランジスターが使用されている(例えば、特許文献1参照)。バイポーラ型のトランジスターは動作が高速であるため、高速シリアル伝送に向いている。
特開2001−320267号公報 米国特許出願公開第2009/0140768号明細書
このようなPECL出力回路は、BiCMOSプロセスで製造する必要がある。しかし、BiCMOSプロセスを用いた場合には、MOSプロセスに比べてプロセスコストが高くなり、結果的に、PECL出力回路を含む集積回路装置自体のコストが上昇してしまうことになる。
特許文献2の発明では、出力トランジスターをMOS型のトランジスターとし(例えば、特許文献2の図8B参照)、MOSプロセスでの製造が可能である。しかし、MOS型トランジスターを用いる場合、その閾値には通常製造ばらつき(例えば、±0.1V程度)が生じる。そのため、特許文献2の発明のPECL出力回路の出力電圧をPECLの規格におさめることは困難であった。
本発明は、以上の事を鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、MOS型の出力トランジスターを用いながらも、例えば製造ばらつきの影響によらず、所望の出力電圧にすることが可能な出力回路、半導体集積回路、振動デバイス、電子機器、移動体等を提供することができる。
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本適用例に係る出力回路は、ドレイン端子に電源電圧が印加され、ソース端子から出力信号を出力するMOS型の第1のトランジスターを出力段とする出力回路であって、基準電圧を基にして抵抗比で定められる第1の出力電圧を生成する第1の回路と、前記第1の出力電圧と、前記出力信号の第2の出力電圧を設定することが可能な第2のトランジスタ
ーのソース電圧と、を比較して、前記第1のトランジスターが前記第2の出力電圧を出力するために必要な出力ゲート電圧を生成する第2の回路と、前記出力ゲート電圧を前記第1のトランジスターへ印加するタイミングを、入力制御信号に基づいて制御する第3の回路と、を含む。
本適用例に係る出力回路は、ソースフォロワ構成のMOS型の第1のトランジスターを出力段とする。そして、出力回路は、第1の出力電圧を生成する第1の回路と、第1の出力電圧と複製した出力信号の出力電圧とに基づいて出力ゲート電圧を生成する第2の回路と、入力制御信号に基づいて、出力ゲート電圧の第1のトランジスターへの印加を制御する第3の回路と、を含む。なお、第1のトランジスターは前記の出力トランジスターに対応する。
第1の回路が生成する第1の出力電圧は、例えば仕様や規格で定められているハイレベルまたはローレベルに対応する電圧であってもよい。
そして、第2の回路が生成する出力ゲート電圧は、第1のトランジスターのゲート端子に印加される電圧である。このとき、出力ゲート電圧は、複製される出力信号の出力電圧と第1の出力電圧とに基づいて調整される。例えば、これらの電圧差が無くなるように出力ゲート電圧が調整される。
このとき、第2の回路は出力信号の出力電圧の複製に用いられる回路を含むが、この回路のトランジスターと、第1のトランジスターとは同じようにばらつく。そのため、製造ばらつきにかかわらず、出力信号の出力電圧を第2の出力電圧(例えば、規格で定められているハイレベルまたはローレベルに対応する電圧)にすることができる。
そして、第3の回路は、入力制御信号に基づいて、出力ゲート電圧の第1のトランジスターへの印加を制御して、第1のトランジスターのソース端子から、例えばハイレベルまたはローレベルの第2の出力電圧を出力させることができる。よって、本適用例に係る出力回路は、MOS型の第1のトランジスターを用いながらも、例えば製造ばらつきの影響によらずに、所望の出力電圧にすることができる。第3の回路は、例えばトランスミッションゲートを含む構成であってもよいし、例えば2つの出力ゲート電圧を選択的に出力するインバーターやバッファー等を含む構成であってもよい。
[適用例2]
上記適用例に係る出力回路において、前記第2の回路は、前記第1のトランジスターのレプリカ回路を含んでもよい。
[適用例3]
上記適用例に係る出力回路において、前記レプリカ回路は、ドレイン端子に電源電圧が印加されるレプリカトランジスターと、前記レプリカトランジスターのソース端子に接続される電流源と、を含み、前記第2の回路は、前記レプリカトランジスターのソース端子の電圧と、前記第2の出力電圧とが一致するように、前記レプリカトランジスターのゲート電圧であるレプリカトランジスター調整電圧を生成し、前記レプリカトランジスター調整電圧を前記出力ゲート電圧としてもよい。
[適用例4]
上記適用例に係る出力回路において、前記レプリカ回路は、前記第1のトランジスターよりもサイズの小さい前記レプリカトランジスターを含んでもよい。
本適用例に係る出力回路の第2の回路は、第1のトランジスターのレプリカ回路を含ん
でいてもよい。第2の回路は、第1のトランジスターのレプリカ回路を含むことで、出力信号の出力電圧の複製を正確に行うことができる。
ここで、レプリカ回路は、ドレイン端子に電源電圧が印加されるレプリカトランジスターと、レプリカトランジスターのソース端子に接続される電流源と、を含んでもよい。レプリカトランジスターは第1のトランジスターを複製したものであり、同一のサイズのトランジスターであってもよいが、所定の比率でサイズを縮小したトランジスターであることが好ましい。このとき、レプリカ回路の消費電力を抑えることができる。
また、電流源は出力回路の外部で付される負荷回路を複製したものである。本適用例に係る出力回路が、複数の電源電圧を使用可能な規格(例えば、PECL)の出力回路として使用される場合でも、電源電圧に依存しない電流を複製することで使用範囲を広げることができる。
そして、第2の回路は、レプリカトランジスターのソース端子の電圧と、第2の出力電圧とが一致するように、レプリカトランジスターのゲート電圧であるレプリカトランジスター調整電圧を生成する。ここで、レプリカトランジスターのソース端子の電圧は、出力信号の出力電圧に対応する。従って、レプリカトランジスター調整電圧を出力ゲート電圧とすることで、本適用例に係る出力回路は正確に所望の出力電圧にすることが可能である。
[適用例5]
上記適用例に係る出力回路において、前記出力信号は、信号レベルとして第1のレベル、および前記第1のレベルと異なる第2のレベルをとり、前記第1の回路は、前記第1のレベル、前記第2のレベルのそれぞれに対応する前記第1の出力電圧を生成し、前記第2の回路は、前記第1のレベル、前記第2のレベルのそれぞれに対応する前記出力ゲート電圧である第1の出力ゲート電圧、第2の出力ゲート電圧を生成し、前記第3の回路は、前記入力制御信号に基づいて、前記第1の出力ゲート電圧および前記第2の出力ゲート電圧の一方を選択して前記第1のトランジスターに印加してもよい。
[適用例6]
上記適用例に係る出力回路において、前記出力信号は複数であってもよい。
[適用例7]
上記適用例に係る出力回路において、前記出力信号は差動出力であってもよい。
本適用例に係る出力回路は、出力信号の信号レベルとして第1のレベル、第2のレベルをとる。第1のレベル、第2のレベルは例えばデジタル出力信号のハイレベル、ローレベルに対応するとしてもよいが、これに限るものではない。このとき、第1の回路は、第1のレベル、第2のレベルのそれぞれについて第1の出力電圧を生成する。第2の回路は、2つの第1の出力電圧を用いて、第1のレベル、第2のレベルのそれぞれに対応する出力ゲート電圧である第1の出力ゲート電圧、第2の出力ゲート電圧を生成する。
そして、第3の回路は、入力制御信号に基づいて、第1の出力ゲート電圧および第2の出力ゲート電圧の一方を選択して第1のトランジスターに印加する。第1のトランジスターのゲート端子に第1の出力ゲート電圧が印加された場合、出力信号の出力電圧は、第1のレベル(例えば、ハイレベル)に対応する第2の出力電圧となる。また、第1のトランジスターのゲート端子に第2の出力ゲート電圧が印加された場合、出力信号の出力電圧は、第2のレベル(例えば、ローレベル)に対応する第2の出力電圧となる。このように、本適用例に係る出力回路は、複数の信号レベルのそれぞれについて、例えば製造ばらつき
の影響によらずに、所望の出力電圧にすることができる。なお、複数の信号レベルは3つ以上であってもよい。
出力回路は複数の出力信号を出力してもよい。そして、これらは差動出力であってもよい。例えば、出力回路はPECL出力回路であって、非反転信号と反転信号の2つの出力信号を出力してもよい。また、このようなチャネルを複数備えていてもよい。このとき、本適用例に係る出力回路は、例えば製造ばらつきの影響によらずに所望の出力電圧にできるので、高品質の多出力回路、差動出力回路を実現することができる。
[適用例8]
本適用例に係る半導体集積回路は、前記適用例に係る出力回路と、発振素子を発振させて発振信号を生成する発振回路と、を含み、前記出力回路は、前記発振信号を前記入力制御信号とする。
[適用例9]
本適用例に係る振動デバイスは、前記適用例に係る半導体集積回路と、前記発振素子と、を含む。
本適用例に係る半導体集積回路、振動デバイスによれば、発振回路と前記の出力回路を含んでおり、発振回路からの発振信号に基づく出力信号(以下、クロック信号ともいう)を生成できる。そのため、本適用例に係る半導体集積回路、振動デバイスは、製造ばらつきの影響によらずに所望の出力電圧のクロック信号を出力することが可能である。なお、振動デバイスは、物理量を検出する装置であって、所望の出力電圧の物理量信号等を出力してもよい。
[適用例10]
本適用例に係る電子機器は、前記適用例に係る半導体集積回路を含む。
[適用例11]
本適用例に係る移動体は、前記適用例に係る半導体集積回路を含む。
本適用例に係る電子機器、移動体によれば、前記の半導体集積回路を含んでおり、製造ばらつきの影響によらない所望の出力電圧のクロック信号等を利用できる。そのため、信頼性の高い電子機器、移動体を実現できる。
本実施形態の出力回路の構成例を示す図。 本実施形態の出力回路と、発振回路とを含む半導体集積回路を、発振素子と接続した図。 図3(A)、図3(B)は終端回路を説明する図。 図4(A)、図4(B)はレプリカ回路の設計について説明する図。 図5(A)、図5(B)は、振動デバイスの構成例を示す図。 電子機器の機能ブロック図。 電子機器の外観の一例を示す図。 移動体の一例を示す図。 従来の出力回路の例を表す回路図。 従来の出力回路の別の例を表す回路図。
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説
明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1.出力回路、半導体集積回路
[出力回路の構成]
図1は、本実施形態の出力回路11の構成例を示す図である。出力回路11は後述する半導体集積回路10の出力段を構成し、非反転発振信号S、反転発振信号Sbに基づいて、PECL(Positive Emitter Coupled Logic)の差動出力信号である非反転出力信号DO、反転出力信号DObを出力する。なお、非反転発振信号S、反転発振信号Sbは本発明の入力制御信号に対応し、非反転出力信号DO、反転出力信号DObは本発明の出力信号に対応する。なお、以下において、非反転出力信号DOと反転出力信号DObとを区別する必要がない場合には、単に「出力回路11の出力信号」と表現する。
出力回路11は、ドレイン端子に電源電圧Vddが印加され、ソース端子からそれぞれ非反転出力信号DO、反転出力信号DObを出力するMOS型の出力トランジスターN9、N10を含む。また、出力回路11は、第1の回路13、第2の回路14、第3の回路15を含む。出力トランジスターN9、N10は本発明の第1のトランジスターに対応する。
第1の回路13は、出力回路11の出力信号の第1の出力電圧V1、V2を生成する。第1の出力電圧V1、V2は、それぞれPECLの規格に基づく差動出力信号のハイレベル、ローレベルの電圧である。出力回路11の出力信号は、例えば製造ばらつきの影響によらず、第1の出力電圧V1または第1の出力電圧V2をとることが求められる。以下に、第1の回路13の構成について説明する。
図1のように、第1の回路13は、安定な基準電圧Vrを含む。基準電圧Vrは、例えばバンドギャップリファレンス回路等を用いて実現することができる。第1の回路13の誤差増幅器Arは、トランジスターP1のゲート電圧を調整して、反転入力端子と非反転入力端子の電圧がほぼ等しくなった状態で平衡を保つ。そのため、トランジスターP1に流れる電流Irは、トランジスターP1に接続された抵抗(以下、抵抗Rr)の抵抗値がRrであるとして、式(1)のように表すことができる。
Figure 2014192548

そして、図1のトランジスターP2はトランジスターP1と同じ形状であって、トランジスターP2にも電流Irが流れる。また、トランジスターP2に接続されたトランジスターN1とトランジスターN2とはカレントミラーを構成している。このとき、ミラー比は1であり、トランジスターN2にも電流Irが流れる。なお、ミラー比は1以外であってもよい。
トランジスターN2に直列に接続された抵抗値がR1である抵抗(以下、抵抗R1)、抵抗値がR2である抵抗(以下、抵抗R2)に電流Irが流れるため電圧降下が発生する。すなわち、第1の回路13は、PECLの規格で定められたハイレベルの第1の出力電圧V1と、ローレベルの第1の出力電圧V2を生成する。第1の出力電圧V1、V2は以下の式(2)、式(3)で与えられる。
Figure 2014192548

Figure 2014192548


第1の出力電圧V1、V2は、電源電圧Vdd、安定な基準電圧Vrと抵抗Rr、抵抗R1、抵抗R2の抵抗比で定められるため、製造ばらつきに影響されることなく高い精度を得ることができる。つまり、抵抗Rr、抵抗R1、抵抗R2は同じようにばらつくため、これらの抵抗比で定められる第1の出力電圧V1、V2は製造ばらつきに影響されない。
次に、第2の回路14は、出力回路11の出力信号の出力電圧を複製する。そして、第1の出力電圧V1、V2と複製した出力電圧とに基づいて、出力トランジスターN9、N10のゲート電圧となる出力ゲート電圧VgH、VgLを生成する。つまり、第2の回路14は、出力トランジスターN9、N10(本発明の第1のトランジスターに対応)が出力電圧(本発明の第2の出力電圧に対応)を出力するために必要な出力ゲート電圧VgH、VgLを生成する。以下に、第2の回路14の構成について説明する。
第2の回路14は、ハイレベルの第1の出力電圧V1、ローレベルの第1の出力電圧V2を第1の回路13から受け取る。そして、出力回路11の出力信号の出力電圧が第1の出力電圧V1となるような出力ゲート電圧VgHを生成する。また、出力回路11の出力信号の出力電圧が第1の出力電圧V2となるような出力ゲート電圧VgLも生成する。
例えば、出力トランジスターN9のゲート端子に出力ゲート電圧VgHが印加された場合、非反転出力信号DOの出力電圧は第1の出力電圧V1(信号レベルはハイレベル)になる。このとき、出力トランジスターN10のゲート端子には出力ゲート電圧VgLが印加されて、反転出力信号DObの出力電圧は第1の出力電圧V2(信号レベルはローレベル)になる。ここで、出力トランジスターN9、N10は同じ形状であるため、第2の回路14は、出力ゲート電圧VgH、VgLを出力トランジスターN9、N10のそれぞれについて生成する必要はない。
第2の回路14は、出力トランジスターN9および出力トランジスターN10を複製したレプリカ回路RE1、RE2を含む。レプリカ回路RE1、RE2によって、出力回路11の出力信号の出力電圧が複製される。レプリカ回路RE1は、出力ゲート電圧VgHを生成するために用いられ、レプリカ回路RE2は、出力ゲート電圧VgLを生成するために用いられる。
レプリカ回路RE1は、ドレイン端子に電源電圧Vddが印加されるレプリカトランジスターN3(本発明の第2のトランジスターに対応)と、レプリカトランジスターN3のソース端子に接続される電流源N4と、を含む。レプリカトランジスターN3は、出力トランジスターN9(および出力トランジスターN10)を複製している。また、電流源N4は、出力回路11の外部で付される負荷回路(図3(A)、図3(B)参照)を複製したものである。なお、本実施形態の電流源N4は、トランジスターを飽和状態で動作させたときの定電流を利用している。
ここで、レプリカトランジスターN3は、出力トランジスターN9および出力トランジスターN10よりもサイズが小さい。サイズが小さいとは、具体的にはサイズ比、すなわち(ゲート幅/ゲート長)の比率が小さいことを意味する。例えば、レプリカトランジスターN3のゲート長L0(図4(A)、図4(B)参照)は、出力トランジスターN9および出力トランジスターN10と同じにする。一方、レプリカトランジスターN3のゲート幅W0(図4(A)、図4(B)参照)は、出力トランジスターN9および出力トランジスターN10よりも小さく設計し、サイズ比を例えば数十分の一程度にしてもよい。
このとき、出力トランジスターN9および出力トランジスターN10を複製したレプリカ回路RE1によって、正確に出力回路11の出力信号の出力電圧を複製できる一方で、レプリカ回路RE1の電流I1をサイズ比に応じて小さくすることが可能である。そのため、レプリカ回路RE1での消費電力を抑えることができる。
第2の回路14は、ハイレベルをとる場合の出力回路11の出力信号の出力電圧を、レプリカトランジスターN3のソース端子の電圧(以下、ソース電圧VsH)によって複製できる。そして、第2の回路14は、ソース電圧VsHと第1の出力電圧V1との差を誤差増幅器A1で検出する。そして、図1のように、誤差増幅器A1の出力を、レプリカトランジスターN3のゲート電圧(本発明のレプリカトランジスター調整電圧)としている。ソース電圧VsHが誤差増幅器A1にフィードバックされることで、最終的にソース電圧VsHと第1の出力電圧V1が等しくなり、このときの誤差増幅器A1の出力(すなわち、レプリカトランジスター調整電圧)を出力ゲート電圧VgHとする。
このとき、出力ゲート電圧VgHがゲート端子に印加されたレプリカトランジスターN3のソース電圧VsHは、ハイレベルの第1の出力電圧V1に等しい。すると、レプリカ回路RE1は、出力トランジスターN9、出力トランジスターN10を複製したものであるから、ソース電圧VsHは、非反転出力信号DO、反転出力信号DObの出力電圧に対応する。そのため、出力ゲート電圧VgHが、出力トランジスターN9、N10のゲート端子に印加された場合、非反転出力信号DO、反転出力信号DObの出力電圧は第1の出力電圧V1に等しくなる。
レプリカ回路RE2については、レプリカ回路RE1と同じ構造であるため説明を省略する。つまり、レプリカ回路RE1の説明における、レプリカトランジスターN3、電流源N4、電流I1、ソース電圧VsH、誤差増幅器A1、第1の出力電圧V1、出力ゲート電圧VgHを、それぞれ、レプリカトランジスターN5、電流源N6、電流I2、ソース電圧VsL、誤差増幅器A2、第1の出力電圧V2、出力ゲート電圧VgLに置き換えることでレプリカ回路RE2の説明になる。なお、レプリカトランジスターN5は本発明の第2のトランジスターに対応する。
なお、レプリカ回路RE2は、レプリカ回路RE1とは独立しており、例えば出力トランジスターN9および出力トランジスターN10とのサイズ比を異なるものとしてもよい。例えば、レプリカトランジスターN3のサイズ比が1/60であり、レプリカトランジスターN5のサイズ比が1/15であってもよい。
そして、第3の回路15は、非反転発振信号S、反転発振信号Sbに基づいて出力ゲート電圧VgH、VgLの出力トランジスターN9、N10への印加を制御する。以下に、第3の回路15の構成について説明する。
図1のように、第3の回路15は、トランジスターP3、N7で構成される切替スイッチ(以下、第1の切替スイッチとする)と、トランジスターP4、N8で構成される切替
スイッチ(以下、第2の切替スイッチとする)を含む。第1の切替スイッチも第2の切替スイッチも出力ゲート電圧VgHまたは出力ゲート電圧VgLを出力する。
第1の切替スイッチは、入力された非反転発振信号Sの信号レベルに応じて、出力トランジスターN9のゲート端子に出力ゲート電圧VgHまたは出力ゲート電圧VgLを印加する。また、第2の切替スイッチは、入力された反転発振信号Sbの信号レベルに応じて、出力トランジスターN10のゲート端子に出力ゲート電圧VgHまたは出力ゲート電圧VgLを印加する。
このとき、非反転発振信号Sと反転発振信号Sbとは互いに異なる信号レベルを有し、例えば非反転発振信号Sがローレベルの場合、反転発振信号Sbはハイレベルである。この場合、出力トランジスターN9のゲート端子には出力ゲート電圧VgHが印加されて、非反転出力信号DOの出力電圧は第1の出力電圧V1に等しくなる。そして、出力トランジスターN10のゲート端子には出力ゲート電圧VgLが印加されて、反転出力信号DObの出力電圧は第1の出力電圧V2に等しくなる。ここで、第1の出力電圧V1、V2は、それぞれPECLの規格に基づく差動出力信号のハイレベル、ローレベルの電圧である。このように、出力回路11は入力制御信号(非反転発振信号S、反転発振信号Sb)に基づいて、PECLの差動出力信号を出力することができる。
なお、本実施形態では、差動出力信号を出力するが、例えば反転出力信号DObを省略して、非反転出力信号DOからシングルエンド出力をしてもよい。このとき、トランジスターP4、N8で構成される第2の切替スイッチと反転発振信号Sbも省略される。
[半導体集積回路の構成]
図2は、出力回路11と発振回路12とを含む半導体集積回路10を、水晶振動子26(本発明の発振素子に対応)と接続した状態を示す図である。図2のように出力回路11は半導体集積回路10の出力段として用いられる。なお、図1と同じ要素については同じ符号を付しており説明を省略する。
出力回路11は、水晶振動子26を発振させて発振信号(ここでは、非反転発振信号Sおよび反転発振信号Sb)を生成する発振回路12とともに1チップ化されて、半導体集積回路10を構成している。また、半導体集積回路10は、水晶振動子26と接続されて、温度補償や温度制御をしていない水晶発振器20、すなわちSPXO(Simple Packaged Crystal Oscillator)を構成する。
発振回路12は、アナログ増幅器として機能する帰還抵抗Rfを備えたインバーター24と、固定容量41、42を含む。そして、図2に示すように水晶振動子26と接続されて発振ループを形成している。また、発振回路12はインバーター25を含み、発振信号として非反転発振信号Sだけでなく反転発振信号Sbも出力する。出力回路11は、これらの信号を受け取り、PECLの差動出力信号である非反転出力信号DO、反転出力信号DObを出力する。
ここで、PECLの差動出力には終端回路が付加される。図3(A)、図3(B)はその終端回路を説明するための図である。図3(A)、図3(B)に示すように、本実施形態の出力回路11を含む半導体集積回路10は、その外部で終端回路が付加される。
PECLは、ECL(Emitter Coupled Logic)とは異なり負電源を必要とせず、正の電圧であるVdd−2V(電源電圧Vddよりも2V低い電圧)を終端電圧として用いる。そして、図3(B)のように、この終端電圧に対して50Ωで終端を行うことが求められている。
しかし、終端電圧としてVdd−2Vを別途用意せずに、図3(A)のようなテブナン終端回路が用いられることが多い。このとき、抵抗値Rp、Rnを以下の式(4)、式(5)を満たすように設定することで、図3(B)と電気特性を同じにすることができる。
Figure 2014192548

Figure 2014192548

[従来の出力回路との比較]
ここで、本実施形態の出力回路11が以上のように半導体集積回路10の出力段として使用されることを前提として、従来の出力回路1011A、1011Bとの比較を行う。図9は、従来の出力回路1011Aを表す回路図である。出力回路1011Aは、出力トランジスターとしてNPNトランジスターQ1、Q2を用いている。なお、図1〜図3(B)と同じ要素には同じ符号を付しており説明を省略する。
出力回路1011Aは、前段回路1013と後段回路1015を含む。前段回路1013は、本実施形態の出力回路11の第1の回路13に対応するが、第1の出力電圧V1、V2を生成する回路(抵抗R1、抵抗R2、トランジスターN2で構成される回路)を含まない。
後段回路1015のトランジスターN13は、前段回路1013のトランジスターN1とカレントミラーを構成している。トランジスターN13には電流Isが流れるが、式(1)のIrを用いて、Is=n×Irとなる。ここで、nはミラー比であって、トランジスターN1とトランジスターN13のゲート幅の比で定まる。なお、ゲート長は同じであるとする。
後段回路1015のトランジスターN11、N12はスイッチとして機能する。トランジスターN11、N12のゲート端子には、それぞれ非反転発振信号S、反転発振信号Sb(図2参照)が入力される。非反転発振信号Sと反転発振信号Sbは差動信号であるから、トランジスターN11、N12は交互にオン、オフを繰り返す。
このとき、出力回路1011AのNPNトランジスターQ1、Q2のベース電圧が変化するので、出力回路1011Aの出力信号(非反転出力信号DO、反転出力信号DOb)にはハイレベルとローレベルの出力電圧が交互に現れる。ここで、ハイレベルの出力電圧をVoH、ローレベルの出力電圧をVoLとする。VoH、VoLは、後段回路1015が抵抗値Rsの抵抗を含むとして、それぞれ式(6)、式(7)で表される。
Figure 2014192548
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ただし、VbeH、VbeLはそれぞれハイレベル、ローレベルにおける出力トランジスター(NPNトランジスターQ1、NPNトランジスターQ2)のベース−エミッタ間電圧である。ここで、PECLの規格でVoH、VoLは、それぞれ式(8)、式(9)の範囲であることが求められている。
Figure 2014192548
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従来の出力回路1011Aでは、式(8)、式(9)を満たすように、抵抗値Rs、電流Is、ベース−エミッタ間電圧であるVbeH、VbeLが調整される。
ここで、式(8)、式(9)をもとに、出力回路1011Aの出力信号(非反転出力信号DO、反転出力信号DOb)の出力電流について検討する。図3(B)のように、Vdd−2Vの終端電圧に対して50Ωのインピーダンスで終端されるため、ハイレベルの出力電流であるIoH、ローレベルの出力電流であるIoLは、それぞれ式(10)、式(11)の範囲であることが求められる。
Figure 2014192548
Figure 2014192548
式(8)、式(9)のようにVoH、VoLが電源電圧Vddに依存するのに対し、式(10)、式(11)のようにIoH、IoLは電源電圧Vddに依存しない。
従来の出力回路1011Aは、抵抗値Rs、電流Is、ベース−エミッタ間電圧であるVbeH、VbeLを調整することで、PECLの規格を表す式(8)、式(9)を満たすことができる。しかし、出力トランジスターとしてNPNトランジスターQ1、Q2を用いるため、BiCMOSプロセスで製造する必要がある。そのため、MOSプロセスに比べてプロセスコストが高くなり、結果的に、出力回路1011Aを含む集積回路装置のコストが上昇してしまう。
そこで、図10のように、出力回路1011AのNPNトランジスターQ1、Q2をMOS型の出力トランジスターN9、N10に置き換えた出力回路1011Bを用いることが考えられる。出力回路1011Bは、出力回路1011Aとは異なる従来回路であって、MOS型のトランジスターのみで構成されており、安価なMOSプロセスで製造することが可能である。なお、前段回路1013、後段回路1015については図9と同じであり、説明を省略する。
しかし、出力回路1011Bでは、PECLの規格で求められるVoH、VoLの範囲(式(8)、式(9))を満たすことが難しい。出力回路1011Bにおけるハイレベルの出力電圧であるVoH、ローレベルの出力電圧であるVoLは、それぞれ式(12)、式(13)で表される。
Figure 2014192548
Figure 2014192548
ただし、VgsH、VgsLはそれぞれハイレベル、ローレベルにおけるMOS型の出力トランジスター(出力トランジスターN9、出力トランジスターN10)のゲート−ソース間電圧である。ここで、出力回路1011Bでも、式(8)、式(9)を満たすように、抵抗値Rs、電流Is、ゲート−ソース間電圧であるVgsH、VgsLを調整すればよいと思われる。つまり、ベース−エミッタ間電圧であるVbeH、VbeLに代えて、ゲート−ソース間電圧であるVgsH、VgsLを調整すればよいと思われる。
しかし、MOS型のトランジスターのVgsH、VgsLは、閾値電圧Vthとオーバードライブ電圧の和で与えられる。閾値電圧Vthは製造ばらつきが大きく、例えば±0.1V程度のばらつきを見込む必要がある。すると、閾値電圧Vthのばらつきが、式(8)、式(9)に示された許容される変動幅を超えてしまうため、出力回路1011BはPECLの規格を満たすことができない。
このとき、閾値電圧Vthのばらつきが許容される変動幅におさまるように出力回路1011Bの良品選別を行う、あるいは製造装置を限定して閾値電圧Vthのばらつきを小さくする、などの対策が考えられる。しかし、どちらの対策も製造コストの上昇を招き、MOSプロセスで製造することによるコスト低減の利益が失われる。
さらに、出力回路1011Bにおいて、出力トランジスター(出力トランジスターN9、出力トランジスターN10)の閾値電圧Vthは、基板バイアス効果によっても変動する。基板バイアス効果は、ソース−バルク間電圧が高いほど閾値電圧Vthが増加する現象であり、MOS型トランジスターに特有の現象である。図10のように、出力トランジスター(出力トランジスターN9、出力トランジスターN10)のソース端子の電圧は、ハイレベルの出力電圧VoH、または、ローレベルの出力電圧VoLのいずれかに当たるが、VoH、VoLは式(12)、式(13)のように電源電圧Vddに依存している。このため、電源電圧Vddによっても閾値電圧Vthは変動してしまう。よって、出力回路1011Bを複数の電源電圧(例えば、2.5Vおよび3.3V)で使用するとした場合、それぞれの電源電圧に対して式(8)、式(9)を満たすことは非常に困難である。そのため、電源電圧の選択に関して、使用範囲が限定されていた。
また、閾値電圧Vthは温度によっても変動する。閾値電圧Vthは、高温であるほど低下する傾向がある。そのため、式(8)、式(9)を満たすには、例えば特定の温度の近傍だけで出力回路1011Bを動作させなければならないといった制限が生じることになる。
以上のように、従来の出力回路1011Bは、MOSプロセスで製造することは可能であっても、閾値電圧VthがPVT変動、すなわちプロセス(製造ばらつき)の変動、電圧(基板バイアス効果)の変動、および温度の変動の影響を受ける。そのため、式(8)、式(9)を満たすことが困難であり、出力回路1011Bの使用は現実的ではなかった。
ここで、再び図1を参照して、本実施形態の出力回路11について説明する。出力回路11の第1の回路13は第1の出力電圧V1、V2を生成する。第1の出力電圧V1、V2は、式(2)、式(3)のように安定な基準電圧Vrと、抵抗Rr、抵抗R1、抵抗R
2の抵抗比によって定めることができる。
第1の回路13は、式(8)、式(9)に示されるVoH、VoLの中心の値を第1の出力電圧V1、V2とすることができる。例えば、基準電圧Vr=1.25Vである場合、R1/Rr=0.762、R2/Rr=0.61とする。このとき、第1の出力電圧V1=Vdd−0.9525V、第1の出力電圧V2=Vdd−1.715Vとすることができる。このとき、抵抗Rr、抵抗R1、抵抗R2の抵抗比で第1の出力電圧V1、V2を定めているため、例えば製造ばらつきに影響されず、高い精度を得ることができる。
また、出力回路11の第2の回路14は、レプリカ回路RE1、RE2によって出力回路11の出力信号の出力電圧を複製する。そして、第1の出力電圧V1、V2と複製した出力電圧とを誤差増幅器A1、A2で一致させて、出力トランジスターN9、N10のゲート電圧となる出力ゲート電圧VgH、VgLを生成する。
ここで、レプリカ回路RE1、RE2に含まれるレプリカトランジスターN3、N5は、出力回路11のMOS型の出力トランジスター(出力トランジスターN9、N10)を正確に複製している。そのため、出力回路11のMOS型の出力トランジスターのPVT変動はレプリカトランジスターN3、N5にも同じく影響する。したがって、出力回路11は、出力信号の出力電圧を常に第1の出力電圧V1または第1の出力電圧V2とすることができるので、式(8)、式(9)を満たし、PECL出力回路として使用できる。
なお、前記のようにレプリカトランジスターN3、N5は、出力回路11の出力トランジスターよりもサイズを小さくして、出力回路11の消費電力を抑えている。つまり、レプリカトランジスターN3、N5は、出力回路11の出力トランジスターと同じサイズではない。そのため、以下に説明するようなレイアウトを行うことが好ましい。
例えば、図4(A)のように出力トランジスターN9、N10がレイアウトされているとする。ここで、図4(A)のSRはソースであり、DRはドレインである。またゲートGTについて、ゲート長はL0であり、ゲート幅はW0の整数倍(ここでは、整数Mを用いてM×W0とする)である。
このとき、図4(B)のようにレプリカトランジスターN3、N5をレイアウトする。レプリカトランジスターN3、N5のゲート長は同じくL0であるが、ゲート幅はW0であって、出力トランジスターN9、N10と比較してサイズ比が1/Mである。つまり、レプリカトランジスターN3、N5は、図4(B)の枠で囲った1つのトランジスターだけであり、その他はトランジスターとして使用されない。しかし、レプリカトランジスターN3、N5は、不使用部分も含めて出力トランジスターN9、N10のレイアウトを複製することで、PVT変動の影響までも正確に反映する。
また、レプリカ回路RE1、RE2は、出力回路11の外部で付される負荷回路(図3(A)、図3(B)参照)を複製するのに、電流源N4、N6を用いている。ここで、式(10)、式(11)のようにIoH、IoLは電源電圧Vddに依存しない。そのため、電流I1、I2によって、IoH、IoLを複製するレプリカ回路RE1、RE2を用いることで、電源電圧が変わっても式(8)、式(9)を満たすことができる。すなわち、出力回路11は、電源電圧を限定することなく、使用範囲を広げることができる。
なお、レプリカ回路RE1、RE2の電流I1、I2には高い精度は求められない。電流I1は、IoHの所望の電流値である20.95mA(式(10)参照)の例えば1/60である0.35mAをターゲットにしてもよい。また、電流I2は、IoLの所望の電流値である5.7mA(式(11)参照)の例えば1/15である0.38mAをター
ゲットにしてもよい。電流I1、I2の電流値がターゲットからずれると、レプリカトランジスターN3、N5のオーバードライブ電圧にもずれが生じる。しかし、出力トランジスターN9、N10のゲート幅を十分大きくとれば、VgsH、VgsLは、閾値電圧Vthが支配的であるためオーバードライブ電圧のずれは無視できる。そのため、電流I1、I2には高い精度は求められない。
以上のように、本実施形態の出力回路11は、従来の出力回路1011Aと異なり安価なMOSプロセスで製造可能であり、従来の出力回路1011Bと異なりPVT変動の影響で出力電圧が第1の出力電圧V1、V2から大きく外れる問題もない。つまり、本実施形態の出力回路11は、MOS型の出力トランジスターを用いながらも、例えば製造ばらつきといったPVT変動の影響によらず、所望の出力電圧にすることができる。また、本実施形態の出力回路11は、電源電圧を限定することなく、使用範囲を広げることができる。
2.振動デバイス
本実施形態の振動デバイス200は、出力回路211、発振回路212、発振回路212により発振する発振素子230を含むものである。出力回路211と発振回路212とは、半導体集積回路210として振動デバイス200に含まれていてもよい。本実施形態の振動デバイス200の説明において、出力回路211は図1、図2の出力回路11が対応し、発振回路212は図2の発振回路12が対応し、半導体集積回路210は図2〜図3(B)の半導体集積回路10が対応する。なお、後述する温度補償型発振器の発振回路212は、図2の発振回路12の構成に加えて温度補償を行う回路を含んでいるものとする。
振動デバイス200としては、例えば、発振素子230として振動子を備えた発振器や発振素子230として振動型のセンサー素子240を備えた物理量センサー等が挙げられる。
図5(A)に、振動デバイス200の一例である発振器の構成例を示す。図5(A)に示す振動デバイス200(発振器)は、温度補償型発振器であり、出力回路211と、発振回路212と、温度センサー220と、発振素子230とを含む。ここで、出力回路211、発振回路212は、半導体集積回路210を構成していてもよい。
発振回路212は、温度センサー220の出力に応じた周波数制御電圧Vcを内部で生成することで、温度変化に応じて可変容量素子の容量値を変化させ、発振素子230(例えば、図2〜図3(B)の水晶振動子26が対応)の周波数温度特性を補償しながら一定の周波数で発振させる。そして、得られた発振信号は出力回路211によってクロック信号として出力される。ここで、出力回路211は差動信号であるクロック信号を出力してもよい(図1参照)。
本実施形態の振動デバイスである発振器としては、温度補償型発振器の他にも、電圧制御型発振器(VCXOやVCSO等)、電圧制御温度補償型発振器(VC−TCXO)、恒温型発振器(OCXO等)等が挙げられる。また、温度センサー220を含まず、温度補償を行わないSPXOであってもよい。つまり、図2の水晶発振器20は振動デバイス200の一例である。
図5(B)に、振動デバイスの一例である物理量センサーの構成例を示す。図5(B)に示す振動デバイス200(物理量センサー)は、出力回路211と、発振回路212と、温度センサー220と、水晶等を材料とするセンサー素子240と、検出回路250とを含む。ここで、出力回路211、発振回路212、検出回路250は、半導体集積回路
210を構成していてもよい。
発振回路212は、温度センサー220の出力に応じた周波数制御電圧Vcを内部で生成することで、温度変化に応じて可変容量素子の容量値を変化させ、センサー素子240の周波数温度特性を補償しながら一定の周波数で発振させる。
センサー素子240は、一定の周波数で振動しながら、加わった物理量(例えば、角速度や加速度等)の大きさに応じた検出信号を出力する。
検出回路250は、センサー素子240の検出信号の検波や直流化を行い、センサー素子240に加わった物理量の大きさに応じた信号レベルの物理量信号を生成する。そして、生成された物理量信号は出力回路211によって出力される。ここで、出力回路211は差動信号である物理量信号を出力してもよい(図1参照)。
なお、検出回路250は、温度センサー220の出力に応じて、回路素子の温度特性やセンサー素子240の温度特性を補償し、物理量信号の振動レベルを調整するようにしてもよい。
本実施形態の振動デバイスである物理量センサーとしては、角速度センサー(ジャイロセンサー)や加速度センサー等が挙げられる。
本実施形態によれば、振動デバイス200は、半導体集積回路210の出力回路211を用いてクロック信号、物理量信号等を出力する。そのため、製造ばらつきの影響によらずに所望の出力電圧のクロック信号、物理量信号等を出力することが可能である。
3.電子機器
本実施形態の電子機器300について、図6〜図7を用いて説明する。なお、図1〜図5と同じ要素については同じ番号、符号を付しており説明を省略する。
図6は、電子機器300の機能ブロック図である。電子機器300は、半導体集積回路210と発振素子230とを含む振動デバイス200、CPU(Central Processing Unit)320、操作部330、ROM(Read Only Memory)340、RAM(Random Access
Memory)350、通信部360、表示部370、音出力部380を含んで構成されている。なお、電子機器300は、図6の構成要素(各部)の一部を省略又は変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
振動デバイス200は、半導体集積回路210と発振素子230とが接続された発振器に対応する(図5(A)参照)。なお、図6では温度センサー220の図示を省略している。振動デバイス200は、半導体集積回路210が含む出力回路211からのクロック信号をCPU320だけでなく各部に供給する(図示は省略)。
CPU320は、ROM340等に記憶されているプログラムに従い、振動デバイス200が出力するクロック信号を用いて各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、CPU320は、操作部330からの操作信号に応じた各種の処理、外部とデータ通信を行うために通信部360を制御する処理、表示部370に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理、音出力部380に各種の音を出力させる処理等を行う。
操作部330は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号をCPU320に出力する。
ROM340は、CPU320が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
RAM350は、CPU320の作業領域として用いられ、ROM340から読み出されたプログラムやデータ、操作部330から入力されたデータ、CPU320が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶する。
通信部360は、CPU320と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
表示部370は、LCD(Liquid Crystal Display)等により構成される表示装置であり、CPU320から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。
そして、音出力部380は、スピーカー等の音を出力する装置である。
電子機器300は、半導体集積回路210が含む出力回路211からのクロック信号を受け取るので、製造ばらつきの影響によらない所望の出力電圧のクロック信号を利用できる。そのため、電子機器300は、動作の信頼性を高めることができる。
電子機器300としては種々が考えられる。例えば、ネットワークサーバー、パーソナルコンピューター(例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター)、携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置(例えば、インクジェットプリンター)、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、PDR(歩行者位置方位計測)等が挙げられる。
図7は、電子機器300の一例であるネットワークサーバーの外観の一例を示す図である。電子機器300であるネットワークサーバーは、表示部370としてLCDを備えている。そして、電子機器300であるネットワークサーバーは、半導体集積回路210が含む出力回路211からのクロック信号を受け取るので、製造ばらつきの影響によらない所望の出力電圧のクロック信号を利用できる。そのため、ネットワークサーバーは、動作の信頼性を高めることができる。
4.移動体
本実施形態の移動体400について、図8を用いて説明する。
図8は、本実施形態の移動体400の一例を示す図(上面図)である。図8に示す移動体400は、発振部410、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー420、430、440、バッテリー450、バックアップ用バッテリー460を含んで構成されている。なお、本実施形態の移動体は、図8の構成要素(各部)の一部を省略又は変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
発振部410は、半導体集積回路210を含む振動デバイス200(発振器)に対応する。その他の構成要素の詳細な説明は省略するが、移動体の移動に必要な制御を行うため高い信頼性が要求される。例えば、バッテリー450の他に、バックアップ用バッテリー460を備えることで信頼性を高めている。
ここで、移動体400のシステムは、発振部410すなわち半導体集積回路210を含む振動デバイス200(発振器)からの、製造ばらつきの影響によらない所望の出力電圧のクロック信号を利用できる。よって、移動体400は、システムの動作についても信頼性を高めることができる。
なお、このような移動体400としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車(電気自動車も含む)、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
5.その他
本発明は、前記の実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
10 半導体集積回路、11 出力回路、12 発振回路、13 第1の回路、14 第2の回路、15 第3の回路、20 水晶発振器、24 インバーター、25 インバーター、26 水晶振動子、41 固定容量、42 固定容量、200 振動デバイス、210 半導体集積回路、211 出力回路、212 発振回路、220 温度センサー、230 発振素子、240 センサー素子、250 検出回路、300 電子機器、320 CPU、330 操作部、340 ROM、350 RAM、360 通信部、370 表示部、380 音出力部、400 移動体、410 発振部、420 コントローラー、450 バッテリー、460 バックアップ用バッテリー、1011A:出力回路、1011B:出力回路、1013 前段回路、1015 後段回路、A1 誤差増幅器、A2 誤差増幅器、Ar 誤差増幅器、DO 非反転出力信号、DOb 反転出力信号、GT ゲート、I1 電流、I2 電流、Ir 電流、Is 電流、L0 ゲート長、N1 トランジスター、N2 トランジスター、N3 レプリカトランジスター、N4 電流源、N5 レプリカトランジスター、N6 電流源、N9 出力トランジスター、N10 出力トランジスター、N11 トランジスター、N13 トランジスター、P1 トランジスター、P2 トランジスター、P3 トランジスター、P4 トランジスター、Q1 NPNトランジスター、Q2 NPNトランジスター、R1 抵抗、R2 抵抗、RE1 レプリカ回路、RE2 レプリカ回路、Rf 帰還抵抗、Rr 抵抗、S 非反転発振信号、Sb 反転発振信号、V1 第1の出力電圧、V2 第1の出力電圧、Vc 周波数制御電圧、Vdd 電源電圧、VgH 出力ゲート電圧、VgL 出力ゲート電圧、Vr 基準電圧、VsH ソース電圧、VsL ソース電圧、Vth 閾値電圧、W0 ゲート幅

Claims (11)

  1. ドレイン端子に電源電圧が印加され、ソース端子から出力信号を出力するMOS型の第1のトランジスターを出力段とする出力回路であって、
    基準電圧を基にして抵抗比で定められる第1の出力電圧を生成する第1の回路と、
    前記第1の出力電圧と、前記出力信号の第2の出力電圧を設定することが可能な第2のトランジスターのソース電圧と、を比較して、前記第1のトランジスターが前記第2の出力電圧を出力するために必要な出力ゲート電圧を生成する第2の回路と、
    前記出力ゲート電圧を前記第1のトランジスターへ印加するタイミングを、入力制御信号に基づいて制御する第3の回路と、
    を含む出力回路。
  2. 請求項1に記載の出力回路において、
    前記第2の回路は、
    前記第1のトランジスターのレプリカ回路を含む出力回路。
  3. 請求項2に記載の出力回路において、
    前記レプリカ回路は、
    ドレイン端子に電源電圧が印加されるレプリカトランジスターと、
    前記レプリカトランジスターのソース端子に接続される電流源と、
    を含み、
    前記第2の回路は、
    前記レプリカトランジスターのソース端子の電圧と、前記第2の出力電圧とが一致するように、前記レプリカトランジスターのゲート電圧であるレプリカトランジスター調整電圧を生成し、
    前記レプリカトランジスター調整電圧を前記出力ゲート電圧とする出力回路。
  4. 請求項3に記載の出力回路において、
    前記レプリカ回路は、
    前記第1のトランジスターよりもサイズの小さい前記レプリカトランジスターを含む出力回路。
  5. 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の出力回路において、
    前記出力信号は、信号レベルとして第1のレベル、および前記第1のレベルと異なる第2のレベルをとり、
    前記第1の回路は、
    前記第1のレベル、前記第2のレベルのそれぞれに対応する前記第1の出力電圧を生成し、
    前記第2の回路は、
    前記第1のレベル、前記第2のレベルのそれぞれに対応する前記出力ゲート電圧である第1の出力ゲート電圧、第2の出力ゲート電圧を生成し、
    前記第3の回路は、
    前記入力制御信号に基づいて、前記第1の出力ゲート電圧および前記第2の出力ゲート電圧の一方を選択して前記第1のトランジスターに印加する出力回路。
  6. 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の出力回路において、
    前記出力信号は複数である出力回路。
  7. 請求項6に記載の出力回路において、
    前記出力信号は差動出力である出力回路。
  8. 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の出力回路と、
    発振素子を発振させて発振信号を生成する発振回路と、
    を含み、
    前記出力回路は、
    前記発振信号を前記入力制御信号とする半導体集積回路。
  9. 請求項8に記載の半導体集積回路と、
    前記発振素子と、
    を含む振動デバイス。
  10. 請求項8に記載の半導体集積回路を含む電子機器。
  11. 請求項8に記載の半導体集積回路を含む移動体。
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