JP2014189305A - 基板収納容器の梱包体 - Google Patents

Abstract

【課題】ロボットの接近を妨げることが少なく、総重量８ｋｇｆ以上の基板収納容器を自動搬送でき、梱包に必要な強度を確保し、しかも、包装体の破断等を防止できる基板収納容器の梱包体を提供する。
【解決手段】総重量８ｋｇｆ以上の基板収納容器を包装した包装体１用の個別パレット２と、個別パレット２を搭載する底部パレット１０と、包装体１と個別パレット２を被覆する中空の被覆保護体２１とを備え、個別パレット２と被覆保護体２１の少なくとも一部とを樹脂含有の成形材料あるいは発泡材料によりそれぞれ形成し、個別パレット２の少なくとも周面にアクセス手段としてアクセス口４を設け、底部パレット１０の少なくとも周面に搬送挿入口１１を穿孔し、被覆保護体２１の上部２３を開口させるとともに、被覆保護体２１の開口した上部２３を着脱自在の蓋部材２４で被覆する。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウェーハを収納する基板収納容器の梱包体に関し、より詳しくは、人間のハンドリングが困難な総重量８ｋｇｆ以上の基板収納容器の梱包や輸送に使用される基板収納容器の梱包体に関するものである。

従来、φ３００ｍｍの半導体ウェーハを収納する基板収納容器を梱包して輸送する場合には図示しないが、段ボール等からなる包装箱内に補強材、緩衝材、弾性材をそれぞれ手作業で敷設して積層し、弾性材上に包装した基板収納容器を手作業で上向きに搭載し、この基板収納容器の上向きの正面に緩衝材と補強材とを手作業で重ねて積層した後、包装箱の開口した上部のフラップを閉じて輸送するようにしている（特許文献１、２参照）。

基板収納容器は、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体の開口した正面に蓋体が嵌合されるフロントオープンボックスタイプからなり、容器本体の天井に搬送装置に把持されるフランジが装着されており、容器本体の両側壁に搬送レールがそれぞれ着脱自在に装着されている。このような基板収納容器は、梱包して出荷される際、不透明のアルミラミネート袋で包装して密閉される。

ところで、半導体ウェーハは次世代タイプとしてφ４５０ｍｍタイプが検討されているが、このφ４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納する基板収納容器は、３００ｍｍタイプの基板収納容器よりも大型化され、重量も増大（約２５ｋｇ）するので、手動によるハンドリングや梱包に少なからず支障を来し、しかも、取扱質量に関する業界の規約にも反することとなる。

そこで、４５０ｍｍタイプの基板収納容器については、作業の安全性や効率化等を図り、業界の規約を満たすため、ロボットアーム等によるハンドリングや梱包が研究されている。

特開２００７‐１３７４５４号公報 特開２０１１‐１６５４９号公報

しかしながら、従来における包装箱は、開口した上部が複数のフラップにより単に開閉される縦開きタイプなので、上部のフラップがロボットアームの接近を妨げるおそれが予想される。また、アルミラミネート袋で包装された基板収納容器は、把持可能な部分が存在せず、取り出しが困難になるので、機械化に支障を来すことが予想される。また、アルミラミネート袋は、基板収納容器を包装すると、形が一定化せず、不安定になり、しかも、基板収納容器のフランジやレールを外部から把握するのを困難にするので、ロボットアームによるハンドリングが非常に困難となり、ハンドリングすると、破断や裂開を招くおそれがある。

さらに、従来の補強材、緩衝材、弾性材は、衝撃や振動の吸収には優れるものの、総重量が８ｋｇｆ以上の重く大きい基板収納容器の梱包に使用すると、強度が不足し、基板収納容器や半導体ウェーハの損傷を招くおそれがある。

本発明は上記に鑑みなされたもので、ロボット等の接近を妨げることが少なく、総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器を自動的に搬送することができ、梱包に必要な強度を確保し、しかも、包装体の破断や裂開等を防ぐことのできる基板収納容器の梱包体を提供することを目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器を包装した包装体用の個別パレットと、この個別パレットを搭載可能な底部パレットと、包装体と個別パレットとを被覆する中空の被覆保護体とを備えたものであって、
個別パレットと被覆保護体の少なくとも一部とを樹脂含有の成形材料あるいは発泡材料によりそれぞれ形成し、個別パレットにアクセス手段を設けるとともに、底部パレットの少なくとも周面に搬送挿入口を設け、被覆保護体の上部を開口させ、この被覆保護体の開口した上部を着脱自在の蓋部材により被覆するようにしたことを特徴としている。

なお、底部パレットに搭載される底部カバー部材と、この底部カバー部材に搭載される位置決め部材とを含み、この位置決め部材を、底部カバー部材に重なる積層板と、この積層板に設けられて個別パレットを少なくともＸＹ方向に位置決めする位置決め突部とから形成し、
個別パレットの裏面と周面とを、位置決め部材の位置決め突部に隙間を介して嵌合するよう切り欠き、この切り欠きの一部分を複数のアクセス口とすることができる。

また、個別パレットを複数とし、被覆保護体、底部カバー部材、及び位置決め部材のうち、少なくとも位置決め部材を複数の個別パレットの数に応じて分割することができる。
また、底部カバー部材を、底部パレットに搭載されるカバー板と、このカバー板の周縁部の少なくとも一部分に起伏可能に支持される壁とから形成し、この壁を、個別パレットのアクセス口の少なくとも大部分を隠蔽可能な高さに形成することもできる。

また、被覆保護体を、包装体と個別パレットの周囲を包囲して底部パレットと底部カバー部材の周縁部、底部パレットの周縁部、及び底部カバー部材の周縁部のいずれかに着脱自在に支持される筒部材と、この筒部材の開口した上部に着脱自在に取り付けられる蓋部材とから形成することが可能である。
また、被覆保護体を、底部パレットの表面四隅部にそれぞれ立て設けられる複数の支柱と、この複数の支柱間に着脱自在に嵌合されて包装体と個別パレットの周囲を包囲する複数の壁板と、この複数の壁板が区画する開口上部を着脱自在に被覆する蓋部材とから形成することが可能である。

ここで、特許請求の範囲における基板収納容器は、複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて整列収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とから構成することができる。半導体ウェーハは、φ４５０ｍｍタイプが主ではあるが、基板収納容器の総重量が８ｋｇｆ以上であれば、φ３００ｍｍタイプでも良いし、φ４５０ｍｍ以上のタイプでも良い。また、包装体は、基板収納容器を不透明の包装袋等からなる各種包装材で包装することにより形成することができる。アクセス手段は、例えばアクセス口や磁性体等からなり、個別パレットの裏面と周面のうち、少なくとも周面に設けることができる。

底部パレット表面の中央部、周縁部、及び隅部の少なくともいずれかには、底部カバー部材を位置合わせする位置合わせ部材を設けることができる。また、被覆保護体は、底部パレットと底部カバー部材、底部パレット、あるいは底部カバー部材に支持させることが可能である。この被覆保護体に複数の支柱を含む場合、各支柱を平面略Ｌ字形に形成し、支柱の両側部に、壁板に嵌合する嵌合溝を形成することが可能である。また、位置決め部材の位置決め突部は、単数複数を特に問うものではなく、例えばピンやブロック等により形成することが可能である。さらに、位置決め突部を平面略Ｈ字形、略Ｌ字形、略II字形、略III字形等に適宜構成することができる。

本発明によれば、被覆保護体に従来のフラップ等が存在しないので、フラップ等がロボットの接近を妨げるおそれが少ない。また、包装体をそのまま取り扱うのではなく、運搬性に優れる個別パレットに搭載して個別に取り扱うので、ロボットにより容易にハンドリングすることができる。また、個別パレットと被覆保護体の少なくとも一部とを、従来の段ボールよりも剛性に優れる材料で形成するので、例え総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器の梱包に使用しても、強度不足で変形することが少ない。

本発明によれば、ロボットの接近を妨げることが少なく、総重量が８ｋｇｆ以上の重い基板収納容器を自動的に搬送することができるという効果がある。また、基板収納容器の梱包に必要な強度を確保し、包装体を形成する包装材の破断や裂開等を防ぐことができる。

請求項２記載の発明によれば、底部パレットと位置決め部材との間に位置する底部カバー部材により、包装体の基板収納容器に作用する衝撃を緩和することができる。また、個別パレットの切り欠きと位置決め部材の位置決め突部とを深く嵌合するのではなく、隙間を介して嵌合するので、例え個別パレットを少なくともＸＹ方向に位置決めしても、ロボットの外部からのアクセスに支障を来すことが少ない。また、個別パレットの切り欠きの一部がアクセス手段である複数のアクセス口となるので、切り欠きとは別にアクセス口を新たに設ける必要がない。

請求項３記載の発明によれば、複数の個別パレットを搭載する底部パレットを活用すれば、一度に複数の包装体をまとめて運搬することができるので、運搬効率を向上させることが可能になる。
請求項４記載の発明によれば、底部カバー部材の壁により、個別パレットのアクセス口に対する塵埃の外部からの侵入を抑制することが可能になる。また、底部カバー部材の起立した壁を倒せば、個別パレットのアクセス口を完全に露出させることができるので、ロボットの上下動のストロークを大きくすることができ、ハンドリング操作の向上が期待できる。

請求項５記載の発明によれば、被覆保護体を別体の筒部材と蓋部材とから構成するので、被覆保護体の構成の簡素化を図ることが可能になる。また、包装体を包囲する筒部材を引き上げれば、個別パレットの開口したアクセス口に迅速にアクセスすることができるので、作業性の向上が期待できる。
請求項６記載の発明によれば、被覆保護体を形成する複数の壁板のうち、少なくとも正面側の壁板を取り外して個別パレットのアクセス口を露出させれば、包装体を搭載した個別パレットをロボットにより簡易に取り出すことが可能になる。

本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態を模式的に示す分解斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における包装体、個別パレット、底部パレット、底部カバー部材、及び位置決め部材を模式的に示す分解斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における包装体、個別パレット、底部パレット、底部カバー部材、及び位置決め部材を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における包装体、個別パレット、底部パレット、及び位置決め部材を模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における包装体、個別パレット、底部パレット、被覆保護体、底部カバー部材、及び位置決め部材を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の第２の実施形態を模式的に示す分解斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の第３の実施形態を模式的に示す分解斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の第４の実施形態を模式的に示す分解斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の第４の実施形態における仕切り板を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の第４の実施形態を模式的に示す側面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の第５の実施形態を模式的に示す分解斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の梱包体の第５の実施形態における被覆保護体の支柱と壁板、及び底部カバー部材を模式的に示す要部断面説明図である。

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器の梱包体は、図１ないし図５に示すように、大きく重い基板収納容器を包装した包装体１用の個別パレット２と、包装体１を搭載した個別パレット２を搭載可能な底部パレット１０と、包装体１に積層される緩衝部材２０と、包装体１と個別パレット２とを被覆する中空の被覆保護体２１とを備え、底部パレット１０上に、被覆保護体２１を支持する底部カバー部材３０を搭載するとともに、この底部カバー部材３０上に、個別パレット２を位置決め突部４２で位置決めする位置決め部材４０を搭載するようにしている。

基板収納容器は、図示しないが、φ４５０ｍｍの半導体ウェーハを上下方向に並べて複数枚整列収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体の正面に嵌合した蓋体を施錠する施錠機構とを備えて構成され、８ｋｇｆ以上の総重量を有する。

容器本体は、その両側壁の内面に半導体ウェーハを水平に支持する左右一対の支持片が複数対設され、天井の中央部等に、搬送装置に上方から把持されるフランジが装着されており、両側壁の外面下部には、前後方向に伸びる着脱自在の搬送レールがそれぞれ選択的に装着される。また、蓋体は、例えば中空の正面略矩形に形成されて施錠機構を内蔵し、個別パレット２に包装体１が搭載された場合に上方を指向する。このような基板収納容器は、容器本体内に２５枚の半導体ウェーハを整列収納した場合、約２５ｋｇの総重量を有する。

包装体１は、例えば基板収納容器を包装するビニール袋と、このビニール袋を外側から密閉して包装する不透明のアルミラミネート袋とを備えた二層構造に形成される（図には、便宜上、直方体で示す）。アルミラミネート袋は、意匠性やバリヤー性等を向上させるため、例えば銀色等に着色される。

このような包装体１は、基板収納容器のフランジや搬送レールを外部から視覚的に把握することを不可能にするので、個別パレット２に搭載されない場合には、ロボットアームによる機械的なハンドリングが困難である。しかしながら、個別パレット２に搭載された場合には、この個別パレット２の活用により、ロボットアームによる機械的なハンドリングが容易になる。

個別パレット２は、図１ないし図５に示すように、樹脂を含有した成形材料あるいは発泡材料により、包装体１を搭載可能な面積を有する平面略矩形に成形され、周面の四隅部には、損傷を防止して耐久性を向上させるＲ加工が必要に応じて施される。この個別パレット２が樹脂含有の成形材料により成形される場合、成形材料の樹脂としては、剛性を確保しながら量産する観点から、安価なポリエチレンやポリスチレン等の熱可塑性樹脂があげられる。成形材料には、補強フィラー等の各種フィラーが必要に応じて配合される。また、発泡材料により成形される場合、発泡材料としては、緩衝能力に優れるポリオレフィンやポリウレタン、ポリエチレンやポリスチレン等の熱可塑性樹脂を発泡させた材料等があげられる。

個別パレット２の表面は、基本的には平坦に形成されるが、必要に応じ、周縁部に包装体１を包囲する包囲リブ３が突出形成されたり、あるいは周縁部を除く大部分の領域が凹み形成されて包装体１の下部に嵌合し、包装体１の姿勢を安定させる。また、個別パレット２の表面には、振動吸収機能を有する弱粘着性のエラストマーやゴムからなる弾性緩衝層が選択的に接着される。

個別パレット２の裏面と周面の前後面とには、外部からのロボットアームのフォークによるアクセスを可能とするアクセス手段、具体的には左右一対のアクセス口４が所定の間隔で並べて切り欠かれ、各アクセス口４が前後方向に伸長する。個別パレット２の裏面と周面の前後面とは、位置決め部材４０の位置決め突部４２に隙間を介して遊嵌するよう平面略Ｈ字形に切り欠かれるが、この平面略Ｈ字形の切り欠き５の一部分、具体的には左右一対の長い直線部分が前後方向に伸びる一対のアクセス口４として利用される。

各アクセス口４は、横長の正面略逆Ｕ字形に区画され、ロボットアームのフォークがある程度上下動できる高さに形成される。このようなアクセス口４は、包装体１の梱包時に底部パレット１０の前後方向に向けられ、底部パレット１０から被覆保護体２１が取り外された場合には、露出して外部からのアクセスを可能とする。

底部パレット１０は、図１ないし図５に示すように、個別パレット２、被覆保護体２１、及び底部カバー部材３０を搭載可能な面積を有する平面略矩形の板材に形成される。この底部パレット１０は、所定の材料（例えば木材、鋼材、合成樹脂等）により構成される。底部パレット１０の裏面と周面のうち、少なくとも周面の前後面にかけては、外部からのフォークリフトによるアクセスを可能とする左右一対の搬送挿入口１１が所定の間隔で並べて穿孔され、各搬送挿入口１１が前後方向に伸長する横長の正面略矩形に区画される。

底部パレット１０の表面は、基本的には凹凸のない平坦に形成される。しかしながら、被覆保護体２１や底部カバー部材３０の位置ずれ、ガタツキ、脱落を確実に防止する場合には、底部パレット１０の表面周縁部の少なくとも一部分、例えば周縁部の後方と一側とに嵌合壁１２を突出形成することができる。

緩衝部材２０は、図１、図３、図４、図５に示すように、例えば所定の材料により平面矩形の板や断面略皿形に形成され、包装体１の上部に密接することにより、基板収納容器に作用する衝撃を緩和する。この緩衝部材２０の材料としては、十分な強度を得るため、発泡倍率の大きい各種発泡材が好ましい。但し、これに限定されるものではなく、個別パレット２同様の成形材料や発泡材料、段ボール等でも良い。

被覆保護体２１は、図１、図４、図５に示すように、包装体１と個別パレット２の前後左右の周囲を包囲して底部カバー部材３０の表面内周縁部（周縁部の内側）に着脱自在に支持される角筒部材２２と、この角筒部材２２の上部２３に装着される蓋部材２４とを備えて構成される。これら角筒部材２２と蓋部材２４とは、個別パレット２と同様の成形材料や発泡材料により成形される。角筒部材２２は、上下部がそれぞれ開口した中空の角筒形に形成され、開口した上部２３に、緩衝部材２０を上方から被覆する蓋部材２４が着脱自在に嵌合される。この蓋部材２４は、断面皿形に形成されたり、平坦な板等に形成される。

底部カバー部材３０は、図１、図２、図５に示すように、底部パレット１０の表面に着脱自在に搭載される平面略矩形のカバー板３１と、このカバー板３１の周縁部に一体形成されて位置決め部材４０の周縁部を位置決めする壁３２とを備えた断面略皿形に形成され、基板収納容器に作用する衝撃を緩和する。

底部カバー部材３０の壁３２は、カバー板３１の周縁部前方に形成される正面壁３３と、カバー板３１の周縁部後方に形成されて正面壁３３に対向する背面壁３４と、カバー板３１の周縁部両側にそれぞれ形成される左右一対の側面壁３５とを備えた平面枠形に形成される。この壁３２は、個別パレット２が位置決め部材４０で位置決めされる際、個別パレット２の一対のアクセス口４を露出させる高さに形成される。

位置決め部材４０は、図１や図２に示すように、底部カバー部材３０のカバー板３１表面に着脱自在に重なる平面略矩形の積層板４１と、この積層板４１の表面に設けられて個別パレット２をＸＹ方向に位置決めする位置決め突部４２とを備えて形成され、位置決め機能と緩衝機能のうち、少なくとも位置決め機能を発揮する。この位置決め部材４０の材料には、底部カバー部材３０と同様の材料が該当する。

位置決め部材４０の位置決め突部４２は、個別パレット２裏面の切り欠き５に対応するよう平面略Ｈ字形に区画され、個別パレット２の切り欠き５の高さ（深さ）の半分以下の低い高さに形成されており、切り欠き５に隙間を介し浅く遊嵌する。この位置決め突部４２の左右一対の長い直線部分４３は、個別パレット２のアクセス口４に下方から浅く遊嵌してアクセス口４の上面に隙間を介して対向し、ロボットアームのフォークの挿入を可能とするとともに、個別パレット２をＹ方向に位置決めする。これに対し、一対の直線部分４３の中央間を連結する短い連結部分４４は、個別パレット２の切り欠き５に下方から浅く遊嵌して個別パレット２をＸ方向に位置決めする。

上記において、φ４５０ｍｍタイプの基板収納容器を包装した重い包装体１を梱包輸送する場合には、先ず、個別パレット２と底部パレット１０とを用意し、底部パレット１０に底部カバー部材３０と位置決め部材４０とを順次搭載し、位置決め突部４２の一対の直線部分４３を底部パレット１０の前後方向に向ける。また、この作業と前後して個別パレット２上に包装体１をロボットアームにより搭載し、個別パレット２の表面に基板収納容器の背面壁側を包装体１を介して接触させることにより、基板収納容器の蓋体を上方に向け、包装体１の姿勢を安定させる。

包装体１の姿勢を安定させたら、包装体１を搭載した個別パレット２をロボットアームによりパレタイザする。この際、ロボットアームは、個別パレット２の一対のアクセス口４にフォークを前方から挿入して持ち上げ（図２参照）、底部パレット１０の位置決め部材４０上に個別パレット２を搬送して位置決め配置（図３参照）するとともに、底部パレット１０の正面に個別パレット２の正面を揃え、個別パレット２の一対のアクセス口４からフォークを後退させて引き抜き、各アクセス口４を外部からアクセス可能に露出させる。

次いで、包装体１の上部に緩衝部材２０を積層して覆着（図４参照）し、このような包装体１と個別パレット２の周囲を被覆保護体２１の角筒部材２２により被覆するとともに、この角筒部材２２の下端部を個別パレット２の外側と底部カバー部材３０の表面内周縁部（周縁部の内側）との間に支持させ、角筒部材２２の開口した上部２３に、緩衝部材２０を上方から被覆する蓋部材２４を嵌合（図５参照）し、その後、底部パレット１０と角筒部材２２、角筒部材２２と蓋部材２４とをそれぞれ粘着テープ、マジックテープ（登録商標、以下同じ）、プラスチック等からなる各種のバンド、又は凹凸の摩擦嵌合等により固定すれば、包装体１を梱包することができる。

この際、包装体１と個別パレット２とに被覆保護体２１の角筒部材２２を嵌合した後、角筒部材２２の上部２３に蓋部材２４を嵌合しても良いが、これに限定されるものではない。例えば、包装体１の緩衝部材２０に蓋部材２４を嵌合した後、包装体１、個別パレット２、及び蓋部材２４に被覆保護体２１の角筒部材２２を嵌合し、角筒部材２２の上部２３と蓋部材２４とを固定しても良い。
このような梱包体は、底部パレット１０の一対の搬送挿入口１１にフォークリフトのフォークが挿入され、持ち上げられることにより、ハンドリングが可能となり、工場間を輸送される。

次に、輸送された梱包体を開梱して包装体１を取り出す場合には、被覆保護体２１の角筒部材２２の上部２３から蓋部材２４を取り外し、角筒部材２２を上方に引き抜いて個別パレット２の一対のアクセス口４を露出させれば、包装体１を搭載した個別パレット２をロボットアームにより取り出すことができる。この際、ロボットアームは、個別パレット２の一対のアクセス口４にフォークを前方から挿入して持ち上げ、個別パレット２を底部パレット１０から搬送し、搬送後に個別パレット２の各アクセス口４からフォークを引き抜くこととなる。

上記構成によれば、被覆保護体２１に複数のフラップ等が何ら存在しないので、フラップがロボットアームの接近を妨げるおそれを有効に排除することができる。また、包装体１をそのまま取り扱うのではなく、運搬性に優れる個別パレット２を用いて個別に取り扱うので、例え基板収納容器のフランジ等が包装体１のアルミラミネート袋で外部から視覚的に把握できなくても、ロボットアームにより容易にハンドリングすることができる。また、個別パレット２のハンドリングに伴い、個別パレット２上の包装体１が破断したり、裂開するおそれを排除することができる。

また、被覆保護体２１を別体の角筒部材２２と蓋部材２４とに分割し、上下部の開口した角筒部材２２に包装体１の周囲を包囲させているだけなので、角筒部材２２を上方に引き抜けば、個別パレット２のアクセス口４に迅速、かつ簡単にアクセスすることが可能になる。

また、個別パレット２、緩衝部材２０、被覆保護体２１、及び底部カバー部材３０のうち、少なくとも個別パレット２と被覆保護体２１とを、従来の段ボールよりも剛性に優れる材料で形成し、強度を増大させるので、総重量が８ｋｇｆ以上の重く大きい基板収納容器の梱包に使用しても、強度不足で変形することがない。したがって、基板収納容器や半導体ウェーハが損傷するのを有効に防止することが可能になる。

また、位置決め部材４０の位置決め突部４２を平面略Ｈ字形に区画するので、位置決めブロック等を複数設けることなく、個別パレット２をＸＹ方向に高精度に位置決めすることができる。さらに、個別パレット２の各アクセス口４に位置決め突部４２の直線部分４３を浅く遊嵌するので、個別パレット２を位置決めしても、ロボットアームのフォークの挿入に何ら支障を来すことがない。

次に、図６は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、包装体１を搭載した個別パレット２を複数（本実施形態では４個）とし、緩衝部材２０、被覆保護体２１、底部カバー部材３０、及び位置決め部材４０を複数の個別パレット２の数に応じてそれぞれ分割し、底部パレット１０Ａの表面に、複数の個別パレット２と底部カバー部材３０のうち、少なくとも複数の底部カバー部材３０をＸＹ方向に位置合わせする複数の位置合わせ部材１３を必要に応じて配設するようにしている。

複数の個別パレット２、緩衝部材２０、被覆保護体２１、底部カバー部材３０、及び位置決め部材４０は、例えば２×２のマトリックスに配列される。また、本実施形態における底部パレット１０Ａは、複数の底部カバー部材３０や位置決め部材４０を並べて搭載可能な大きさに拡大形成される。

複数の位置合わせ部材１３は、例えば底部パレット１０Ａの表面中央部に形成されて突き合わされた複数の底部カバー部材３０の隅部に接触する平面略十字形の中央リブ１４と、底部パレット１０Ａの表面四隅部にそれぞれ形成されて底部カバー部材３０の隅部に接触する平面略Ｌ字形の複数の隅部リブ１５とを備え、これら中央リブ１４と複数の隅部リブ１５とが必要に応じ、選択的に形成される。これら中央リブ１４と複数の隅部リブ１５とが必要ない場合には、底部パレット１０Ａの表面はフラットに形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、複数の包装体１のうち、選択した任意の包装体１用の被覆保護体２１を取り除けば、選択した包装体１の個別パレット２のアクセス口４にアクセス可能となるので、個別パレット２を使用して包装体１を安全にハンドリングすることができるのは明らかである。また、底部パレット１０Ａを大型化してその数を削減するので、部品点数の削減が期待できる。また、底部パレット１０Ａをハンドリングすれば、一度に４個の包装体１を搬送することができるので、搬送効率の大幅な向上が期待できる。

次に、図７は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、底部パレット１０Ａを上記実施形態と同様、拡大形成し、この底部パレット１０Ａに包装体１を搭載した個別パレット２を複数（本実施形態では４個）搭載し、緩衝部材２０と位置決め部材４０とを複数の個別パレット２の数に応じてそれぞれ分割するようにしている。

底部パレット１０Ａの表面四隅部には、複数の個別パレット２と底部カバー部材３０Ａのうち、少なくとも底部カバー部材３０ＡをＸＹ方向に位置合わせする複数の位置合わせ部材１３、換言すれば、隅部リブ１５が必要に応じて配設される。本実施形態における被覆保護体２１Ａは、複数の包装体１と個別パレット２の周囲を包囲する一つの大型の角筒部材２２Ａと、この角筒部材２２Ａの開口した上部２３Ａに装着される一つの大型の蓋部材２４Ａとを備えて構成される。

本実施形態における底部カバー部材３０Ａは、複数の個別パレット２や位置決め部材４０を搭載可能な大きさに拡大形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、被覆保護体２１Ａを除去すれば、４個の個別パレット２それぞれのアクセス口４に容易にアクセス可能になるので、作業効率を向上させることができるのは明白である。また、被覆保護体２１Ａと底部カバー部材３０Ａとを大型化してその数を削減するので、部品点数のさらなる削減が期待できるのは明白である。

次に、図８ないし図１０は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、大型の底部カバー部材３０Ａの壁３２を、複数の個別パレット２のアクセス口４を隠蔽可能な高さとし、壁３２を形成する正面壁３３Ａを起伏可能とするとともに、この正面壁３３Ａを複数の個別パレット２のアクセス口４に対向させ、個別パレット２のアクセス口４に対する塵埃の侵入を防止するようにしている。

本実施形態における複数の包装体１の間には、包装体１を仕切る平面略十字形の仕切り板５０が必要に応じて介在される。また、壁３２の正面壁３３Ａは、カバー板３１の周縁部前方に前後方向（図１０の矢印参照）に揺動可能に支持され、両側部に、固定用のタブ３６がそれぞれ装着される。このタブ３６としては、例えば粘着テープや差し込み片等があげられる。

壁３２を形成する背面壁３４と一対の側面壁３５とは、正面壁３３Ａとは異なり、固定して一体形成され、各側面壁３５の自由端部、すなわち前端部に、正面壁３３Ａの側部から突出したタブ３６に着脱自在に係止される係止部３７がそれぞれ配設される。この係止部３７には、例えばタブ３６に粘着する粘着テープやタブ３６に嵌挿される溝孔等が該当する。

上記において、梱包体を開梱して包装体１を取り出す場合には、被覆保護体２１Ａの角筒部材２２Ａから蓋部材２４Ａを取り外し、角筒部材２２Ａを上方に引き抜いて取り外し、底部カバー部材３０Ａのタブ３６と係止部３７との係止を解除するとともに、底部カバー部材３０Ａの起立状態の正面壁３３Ａを正面方向に倒して複数の個別パレット２のアクセス口４をそれぞれ露出させれば、複数の個別パレット２をロボットアームにより順次取り出すことができる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、底部カバー部材３０Ａの正面壁３３Ａを正面方向に倒せば、個別パレット２のアクセス口４を完全に露出させることができる。したがって、ロボットアームの上下動のストロークを大きくすることができ、ハンドリング操作の大幅な向上が期待できる。

次に、図１１と図１２は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合には、被覆保護体２１Ａを、底部パレット１０Ａの表面四隅部にそれぞれ立設される複数の支柱２５と、この複数の支柱２５間に着脱自在に嵌合されて複数の包装体１と個別パレット２の前後左右の周囲を包囲する複数の壁板２７と、この複数の壁板２７が区画する開口上部を着脱自在に被覆する蓋部材２４Ａとから形成するようにしている。

本実施形態における複数の包装体１の間には、平面略十字形の仕切り板５０が必要に応じて介在される。また、複数の支柱２５は、ポリカーボネート等の樹脂を含有した成形材料や各種の金属材料により、断面略Ｌ字形のアングルにそれぞれ屈曲形成され、底部パレット１０Ａに大型の底部カバー部材３０Ａが搭載される際、カバー板３１の四隅部に穿孔された貫通口３８を貫通する。

各支柱２５は、底部パレット１０Ａの表面隅部にボルト等の締結具を介して螺着される。この支柱２５の両側部端面には、上下方向に伸びる嵌合溝２６がそれぞれ切り欠かれ、各嵌合溝２６に壁板２７の端部が着脱自在に嵌合する。各嵌合溝２６は、嵌合する壁板２７の脱落を防止するため、必要に応じて幅が部分的に狭くされる。

各壁板２７は、樹脂を含有した成形材料や発泡材料により横長の矩形に形成される。また、底部カバー部材３０Ａの壁３２は、個別パレット２のアクセス口４を露出させる高さ、あるいはアクセス口４を隠蔽可能な高さに調整される。この壁３２の正面壁３３Ａは、必要に応じ、固定されたり、前後方向に揺動可能に支持される。

上記において、包装体１を梱包輸送する場合には、先ず、個別パレット２と支柱２５付きの底部パレット１０Ａとを用意し、底部パレット１０Ａに底部カバー部材３０Ａと位置決め部材４０とを順次搭載するとともに、位置決め突部４２の直線部分４３を底部パレット１０Ａの前後方向に向け、複数の個別パレット２上に包装体１をロボットアームにより順次搭載して基板収納容器の蓋体を上方に向け、包装体１の姿勢を安定させる。この際、位置決め部材４０を使用することが好ましいが、複数の支柱２５により、複数の個別パレット２を位置決めする等、位置決め部材４０の必要性が低い場合には、省略しても良い。

包装体１の姿勢を安定させたら、包装体１を搭載した複数の個別パレット２をロボットアームにより順次パレタイザする。この際、ロボットアームは、個別パレット２の一対のアクセス口４にフォークを前方から挿入して持ち上げ、底部パレット１０Ａの位置決め部材４０上に個別パレット２を搬送して位置決め配置するとともに、底部パレット１０Ａの正面に個別パレット２の正面を揃え、個別パレット２の一対のアクセス口４からフォークを後退させて引き抜く。

次いで、各包装体１の上部に緩衝部材２０を覆着し、複数の支柱２５間に壁板２７をそれぞれ嵌合してこれら複数の壁板２７に複数の包装体１と個別パレット２の周囲を包囲させ、複数の壁板２７が区画する開口上部に蓋部材２４Ａを嵌合し、その後、複数の壁板２７と蓋部材２４Ａとをそれぞれ粘着テープ、マジックテープ、プラスチック等からなる各種バンド、又は凹凸の摩擦嵌合等により固定すれば、包装体１を梱包することが可能になる。このような梱包体は、底部パレット１０Ａの一対の搬送挿入口１１にフォークリフトのフォークが挿入され、持ち上げられて工場間を輸送される。

これに対し、輸送された梱包体を開梱して包装体１を取り出す場合には、複数の壁板２７から蓋部材２４Ａを取り外し、複数の壁板２７のうち、少なくとも正面側の壁板２７を取り外して複数の個別パレット２のアクセス口４を露出させれば、複数の個別パレット２をロボットアームにより順次取り出すことが可能になる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、被覆保護体２１Ａを形成する全ての壁板２７を取り外さなくても、正面側の壁板２７のみを取り外せば、包装体１を搭載した個別パレット２をロボットアームにより取り出すことができる。また、被覆保護体２１Ａの構成の多様化を図ることができる。

なお、上記実施形態では包装体１を上下一段に段積みしたが、被覆保護体２１・２１Ａ内に複数の包装体１を複数段積んでも良い。また、個別パレット２にアクセス手段として磁石や磁性体を装着し、磁力を利用してアクセスするようにしても良い。また、個別パレット２の裏面に、相互に対向する一対の対向部を形成し、この一対の対向部をコンベヤレールに接触可能とすることにより、個別パレット２をローラコンベヤにより搬送するようにしても良い。

また、個別パレット２の裏面に出没可能な複数のキャスターを配設し、この複数のキャスターを利用して搬送の際の便宜を図ることもできる。また、個別パレット２には、包装体１を表面から浮かして支持する棚部を設けることができる。この場合、棚部を一対や二対設けたり、点在するように配設することができる。

また、個別パレット２に包装体１を搭載する際、個別パレット２の表面と包装体１との間に隙間を形成し、この隙間を第二のアクセス口として利用し、ロボットアームを挿入したり、ハンドリングすることが可能である。こうすれば、包装体１をクリーン度の異なるクリーンルーム間で受け渡したり、外部環境とクリーンルーム環境の間で、包装体１を受け渡したりするのに利用することができる。

具体的には、輸送されてきた梱包体から包装体１だけをクリーンルームに搬入することができる。この場合、外部環境で汚染される可能性のある個別パレット２をクリーンルームに持ち込むことを防止し、クリーンな環境をそのまま維持できるので、半導体ウェーハの汚染防止が期待できる。

また、上記実施形態の個別パレット２がロボットアームのフォークに接触する領域とアクセス口４とに、ポリカーボネート製の剛性の補強部品、あるいはポリスチレン系やポリオレフィン系の保護シート等からなる交換可能な補強部材を必要に応じて取り付け、耐久性を向上させても良い。また、上記実施形態では個別パレット２の前後面に一対のアクセス口４の端部を露出させたが、個別パレット２の周面の左右面にもアクセス口４を設けても良い。

また、底部パレット１０・１０Ａと底部カバー部材３０・３０Ａに被覆保護体２１の下端部を支持させたが、底部カバー部材３０・３０Ａ、又は底部パレット１０・１０Ａに被覆保護体２１を支持させても良い。また、個別パレット２に一対のアクセス口４を並設したが、個別パレット２の周面に横長で単一のアクセス口４を設けることが可能である。また、底部パレット１０・１０Ａの搬送挿入口１１を前後方向に向けたが、左右方向に向けることも可能である。

また、底部パレット１０・１０Ａとして、既存の二方差しパレット、四方差しパレット、けたくり抜きパレット、単面形パレット、片面使用形パレット、両面使用形パレット、翼形パレット等を使用することも可能である。また、角筒部材２２・２２Ａをスリーブ形に形成し、角筒部材２２・２２Ａの周壁の一部、例えば正面壁や側壁を水平方向に開閉可能にしても良い。

また、底部カバー部材３０Ａの正面壁３３Ａのみを起伏可能とするのではなく、正面壁３３Ａと背面壁３４とをそれぞれ起伏可能にしても良い。さらに、位置決め部材４０の位置決め突部４２を省略し、位置決め部材４０の積層板４１に、個別パレット２をＸ方向に位置決めするＸ方向位置決めピンと、個別パレット２をＹ方向に位置決めするＹ方向位置決めピンとを配設しても良い。

本発明に係る基板収納容器の梱包体は、半導体の製造分野、流通分野、輸送分野等で使用することができる。

１ 包装体
２ 個別パレット
４ アクセス口（アクセス手段）
１０ 底部パレット
１０Ａ 底部パレット
１１ 搬送挿入口
２０ 緩衝部材
２１ 被覆保護体
２１Ａ 被覆保護体
２２ 角筒部材（筒部材）
２２Ａ 角筒部材（筒部材）
２３ 上部
２３Ａ 上部
２４ 蓋部材
２４Ａ 蓋部材
２５ 支柱
２７ 壁板
３０ 底部カバー部材
３０Ａ 底部カバー部材
３１ カバー板
３２ 壁
３３ 正面壁
３３Ａ 正面壁
３４ 背面壁
３５ 側面壁
４０ 位置決め部材
４１ 積層板
４２ 位置決め突部
４３ 直線部分

Claims (6)

1. 総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器を包装した包装体用の個別パレットと、この個別パレットを搭載可能な底部パレットと、包装体と個別パレットとを被覆する中空の被覆保護体とを備えた基板収納容器の梱包体であって、
   個別パレットと被覆保護体の少なくとも一部とを樹脂含有の成形材料あるいは発泡材料によりそれぞれ形成し、個別パレットにアクセス手段を設けるとともに、底部パレットの少なくとも周面に搬送挿入口を設け、被覆保護体の上部を開口させ、この被覆保護体の開口した上部を着脱自在の蓋部材により被覆するようにしたことを特徴とする基板収納容器の梱包体。
2. 底部パレットに搭載される底部カバー部材と、この底部カバー部材に搭載される位置決め部材とを含み、この位置決め部材を、底部カバー部材に重なる積層板と、この積層板に設けられて個別パレットを少なくともＸＹ方向に位置決めする位置決め突部とから形成し、
   個別パレットの裏面と周面とを、位置決め部材の位置決め突部に隙間を介して嵌合するよう切り欠き、この切り欠きの一部分を複数のアクセス口とした請求項１記載の基板収納容器の梱包体。
3. 個別パレットを複数とし、被覆保護体、底部カバー部材、及び位置決め部材のうち、少なくとも位置決め部材を複数の個別パレットの数に応じて分割した請求項２記載の基板収納容器の梱包体。
4. 底部カバー部材を、底部パレットに搭載されるカバー板と、このカバー板の周縁部の少なくとも一部分に起伏可能に支持される壁とから形成し、この壁を、個別パレットのアクセス口の少なくとも大部分を隠蔽可能な高さに形成した請求項２又は３記載の基板収納容器の梱包体。
5. 被覆保護体を、包装体と個別パレットの周囲を包囲して底部パレットと底部カバー部材の周縁部、底部パレットの周縁部、及び底部カバー部材の周縁部のいずれかに着脱自在に支持される筒部材と、この筒部材の開口した上部に着脱自在に取り付けられる蓋部材とから形成した請求項２、３、又は４記載の基板収納容器の梱包体。
6. 被覆保護体を、底部パレットの表面四隅部にそれぞれ立て設けられる複数の支柱と、この複数の支柱間に着脱自在に嵌合されて包装体と個別パレットの周囲を包囲する複数の壁板と、この複数の壁板が区画する開口上部を着脱自在に被覆する蓋部材とから形成した請求項１ないし４いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。

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