JP2014179624A - 光学素子の温度制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この装置は、真空雰囲気に設けられた光学素子の温度を制御するための役割を果たす。装置は、光学素子から離間して配置されており、放射熱伝達によって光学素子を冷却するための冷却器を備える。制御器は放射冷却部の温度を制御するための役割を果たす。さらに装置は光学素子を加熱するための加熱部を備える。加熱部は、加熱部の温度を制御するために制御器に接続されている。得られる温度制御装置は、特にEUVマイクロリソグラフィ装置の光学素子に用いることができ、光学系の安定した性能をもたらす。
【選択図】図2
Description
光学ミラーのミラー熱伝達領域からの放熱を受ける少なくとも1つのヒートシンクと、
ミラー熱伝達領域を加熱するための加熱手段と、
前記加熱手段と信号接続しており、定常状態で加熱手段から受けた熱と、照明光源の有効照明光を案内するように設計されたミラーに照明光を入射させる照明光源から受けた熱とにより生じる、光学ミラーにおける総熱負荷が一定に保持されるように前記加熱手段を制御する制御手段とを含む装置によって解決される。
第1放熱体を形成するために冷却装置によって冷却された冷却素子の冷却表面と、
第2放熱体の加熱された表面を形成するために温度安定化された素子に接続された加熱装置と、
冷却装置および温度安定化された素子と信号接続した制御ユニットとを有し、
温度安定化された素子がEUV投影露光装置の部分であり、EUV投影露光装置は、少なくとも1つの物体を少なくとも1つの像に結像するために5nm〜100nmの波長の投影光束を有し、
冷却された面の少なくとも一部が、温度安定化された素子の面領域から離間されており、
温度安定化された素子の表面領域に向けられた温度勾配が、制御ユニットによって絶対値および方向において過渡的に調整可能であり、
特に温度安定化された素子が光束を案内するための光学素子であるか、または投影露光装置の保持構造部の一部であるシステムの利点は、装置に関して既に議論した利点に対応する。絶対値および方向における温度勾配の調整により、温度安定化された素子における過渡的温度を制御する可能性が生じる。このことは、フィードフォワード制御およびモデルに基づいたコントロールを含む洗練された制御スキームのための可能性をもたらす。
Claims (20)
- 真空雰囲気に設けられた光学素子の温度を制御する装置において、
放射冷却部を有し、前記光学素子から離間して配置されており、放射熱伝達によって光学素子を冷却するための冷却器を備え、
前記放射冷却部の温度を制御するための制御器を有し、
前記光学素子を加熱するための加熱部を有し、
該加熱部が、該加熱部の温度を制御するために前記制御器に接続され、
前記光学素子は、反射面を有するミラーを備える光学ミラー装置であり、前記ミラーは、ミラー本体と、ミラー本体に形成した前記反射面とを有し、
前記放射冷却部は、前記ミラーの前記反射面とは反対側の面に面する冷却面を備えるヒートシンクであり、
前記加熱部の加熱手段は、前記ミラー本体に形成され、前記ヒートシンクの前記冷却面に面した前記ミラーの裏面を加熱するように設計されていることを特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記制御器が、前記放射冷却部、前記加熱部、および前記光学素子に入射する作動光線のための照明光源と信号接続しており、前記制御器が、複合的熱化を制御するための手段を有しており、
前記光学素子に入射する作動光線の吸収、
前記加熱部による加熱、および
前記冷却部の冷却による前記光学素子の複合的熱化により、前記光学素子を温度安定化させる装置。 - 請求項2に記載の装置において、
制御器が複合的熱化を制御するための手段を有し、これにより、定常状態でミラーに入射する作動光線量とは無関係に、前記光学素子の温度安定化が得られる装置。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載の装置において、
前記光学素子の温度を検出するための温度センサが設けられており、前記制御器が、前記センサによって検出された温度を所定値に維持するように放射冷却部および放射加熱部の少なくとも一方を制御する装置。 - 請求項1から4までのいずれか一項に記載の装置において、
前記制御器が、前記冷却部に流れる冷却液のための冷却液供給部に信号接続している装置。 - 請求項1から5までのいずれか一項に記載の装置において、
前記制御器が、前記加熱部に流れる加熱液のための加熱液供給部に信号接続している装置。 - 請求項1から6までのいずれか一項に記載の装置において、
前記放射冷却部が前記光学素子以外の部材からの熱を吸収することを阻止するように配置した放射シールドを有する装置。 - 請求項1から7までのいずれか一項に記載の装置において、
前記光学素子に隣接する構成部材が前記加熱部から熱を吸収することを阻止するように配置した放射シールドを有する装置。 - 請求項1から8までのいずれか一項に記載の装置において、
前記放射冷却部が、ペルティエ素子の冷却プレートを備える装置。 - 請求項1から9までのいずれか一項に記載の装置において、
前記放射冷却部が、光学素子に向けられた光が入射または射出しない光学素子表面に沿って光学素子の近位側に配置した受熱プレートを有しており、該受熱プレートが、前記光学素子からの熱を受けるように構成されており、冷却部材が前記受熱プレートから熱を除去するように配置されている装置。 - 請求項1から10までのいずれか一項に記載の装置において、
少なくとも1つの通路が前記冷却部に形成されており、該冷却部が、前記通路内に通路を通って冷却液を分散させるように構成された導管を備え、前記冷却部の導管と前記通路との間にギャップが形成されており、該ギャップが、十分に低い圧力に保持され、前記光学素子からの放熱を受ける役割を果たす冷却部の一部であるヒートシンクの歪みを実質的に防止するように構成されている装置。 - 請求項1から11までのいずれか一項に記載の装置において、
前記放射冷却部が、前記光学素子に向いた少なくとも2つのヒートシンクフィンガーを備える装置。 - 請求項1から12までのいずれか一項に記載の装置において、
前記加熱部が、
前記ミラー本体に形成された少なくとも1つの通路と、
前記通路を通って加熱液を分配するように構成された通路内の導管であって、該導管と前記ミラー本体の通路との間にギャップが形成されており、ギャップが、十分に低い圧力に保持され、前記ミラーの反射面または本体の歪みを実質的に防止するように構成された導管と、
前記ミラー本体に形成され、前記放射冷却部と熱的に接続した第2面とを備える装置。 - 請求項13に記載の装置において、
前記第2面が、反射面に隣接して配置されている装置。 - 請求項11から14までのいずれか一項に記載の装置において、
少なくとも1つのスペーサが、前記導管と前記通路の内壁との間に配置されており、前記導管が前記内壁に接触することを防止する装置。 - 請求項1から15までのいずれか一項に記載の装置を用いて真空雰囲気に配置された光学素子の温度を制御する方法において、
前記光学素子の温度を感知するステップと、
前記放射冷却部によって前記光学素子を冷却するステップと、
前記感知ステップによって検出された前記光学素子の温度を所定値にすることができるように前記加熱部によって前記光学素子を加熱するステップと、
前記光学素子から離間して前記放射冷却部を配置し、前記光学素子からの熱を吸収させるステップとを含むことを特徴とする方法。 - 請求項16に記載の方法において、
前記光学素子に入射する作動光線の吸収と、
前記加熱部による加熱と、
前記冷却部による冷却とによる前記光学素子の複合的熱化の制御により、前記光学素子を温度安定化させる方法。 - 照明光線源と、
複数の光学ミラーを有するマイクロリソグラフィ用照明光学系とを有し、少なくとも1つの光学ミラーが請求項1から15までのいずれか一項に記載の温度制御装置を備えることを特徴とする照明系。 - 請求項18に記載の照明系において、
前記照明光源が、EUV源である照明系。 - 複数の光学ミラーを有するマイクロリソグラフィ用投影光学系において、
少なくとも1つの光学ミラーが請求項1から15までのいずれか一項に記載の温度制御装置を備えることを特徴とするマイクロリソグラフィ用投影光学系。
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