JP2014175509A - 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、処理室内の基板に対して窒化ガスを供給する工程と、を行うことで、基板上に、所定元素および窒素を含む第1の層を形成する工程と、処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、処理室内の基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を行うことで、第1の層上に、所定元素および酸素を含む第2の層を形成する工程と、を行うことで、基板上に、所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する。
【選択図】 図4
Description
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する工程と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
半導体装置の製造方法が提供される。
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する工程と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
基板処理方法が提供される。
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内に窒化ガスを供給する窒化ガス供給系と、
前記処理室内に酸化ガスを供給する酸化ガス供給系と、を有し、
前記処理室内の基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記窒化ガスを供給する処理と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する処理と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記酸化ガスを供給する処理と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する処理と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成するように、前記所定元素を含む原料ガス供給系、前記所定元素を含む原料ガス供給系、前記窒化ガス供給系および前記酸化ガス供給系を制御する制御部を有する
基板処理装置が提供される。
基板処理装置の処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する手順と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する手順と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する手順と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する手順をコンピュータに実行させる
プログラムが提供される。
以下に、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態で好適に用いられる基板処理装置の縦型処理炉の概略構成図であり、処理炉202部分を縦断面図で示している。図2は、本実施形態で好適に用いられる縦型処理炉の概略構成図であり、処理炉202部分を図1のA−A線断面図で示している。図3は、本実施形態で好適に用いられる基板処理装置のコントローラ280の概略構成図である。
図1、図2に示されているように、処理炉202には、ウエハ200を加熱する加熱装置(加熱手段)としてのヒータ207が設けられている。ヒータ207は、上方が閉塞された円筒形状の断熱部材と複数本のヒータ素線とを備えており、断熱部材に対しヒータ素線が設けられたユニット構成を有している。ヒータ207には、加熱用の電力を供給する加熱用電源250が接続される。ヒータ207の内側には、ウエハ200を処理する石英(SiO2)製の反応管203が、ヒータ207と同心円状に設けられている。
処理室201内には、ノズル410,420,430が反応管203の下部を貫通するように設けられている。ノズル410,420,430には、ガスを供給するガス供給管310,320,330がそれぞれ接続されている。このように、反応管203には3本のノズル410,420,430と、3本のガス供給管310,320,330とが設けられており、処理室201内へ複数種類、ここでは少なくとも3種類のガスを供給することができるように構成されている。なお、反応管203の下方に、反応管203を支持する金属製のマニホールドを設け、各ノズルを、この金属製のマニホールドの側壁を貫通するように設けるようにしてもよい。この場合、この金属製のマニホールドに、さらに後述する排気管231を設けるようにしてもよい。なお、この場合であっても、排気管231を金属製のマニホールドではなく、反応管203の下部に設けるようにしてもよい。このように、処理炉202の炉口部を金属製とし、この金属製の炉口部にノズル等を取り付けるようにしてもよい。
ガス供給管310には、上流側から順に、流量制御装置(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)312、開閉弁であるバルブ314、ガス溜り(ガス溜め部)315および開閉弁であるバルブ313が設けられている。ガス供給管310のマスフローコントローラ312とバルブ314との間には、ガスをバイパスして排気するベントガス管610の上流端が接続されている。ベントガス管610の下流端は、後述する排気管231のAPCバルブ243の下流側に接続されている。ベントガス管610にはバルブ612が設けられている。ガス供給管310のバルブ313の下流側には、キャリアガスやパージガスとしての不活性ガスを供給する不活性ガス供給管510の下流端が接続されている。不活性ガス供給管510には、上流側から順に、マスフローコントローラ512およびバルブ513が設けられている。
ガス供給管320には、上流側から順に、流量制御装置(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)322および開閉弁であるバルブ323が設けられている。ガス供給管320のマスフローコントローラ322とバルブ323との間には、ガスをバイパスして排気するベントガス管620の上流端が接続されている。ベントガス管620の下流端は、後述する排気管231のAPCバルブ243の下流側に接続されている。ベントガス管620にはバルブ622が設けられている。ガス供給管320のバルブ323の下流側には、キャリアガスやパージガスとしての不活性ガスを供給する不活性ガス供給管520の下流端が接続されている。不活性ガス供給管520には、上流側から順に、マスフローコントローラ522およびバルブ523が設けられている。
ガス供給管330には、上流側から順に、流量制御装置(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)332および開閉弁であるバルブ333が設けられている。ガス供給管330のマスフローコントローラ332とバルブ333との間には、ガスをバイパスして排気するベントガス管630の上流端が接続されている。ベントガス管630の下流端は、後述する排気管231のAPCバルブ243の下流側に接続されている。ベントガス管630にはバルブ632が設けられている。ガス供給管330のバルブ333の下流側には、キャリアガスやパージガスとしての不活性ガスを供給する不活性ガス供給管530の下流端が接続されている。不活性ガス供給管530には、上流側から順に、マスフローコントローラ532およびバルブ533が設けられている。
バッファ室423内には、図2に示すように、細長い構造を有する棒状電極471および棒状電極472が、反応管203の下部より上部にわたりウエハ200の積層方向に沿って配設されている。棒状電極471および棒状電極472は、それぞれ、ノズル420と平行に設けられている。棒状電極471および棒状電極472は、それぞれ、上部より下部にわたって電極を保護する保護管である電極保護管451,452により覆われることで保護されている。棒状電極471は、整合器271を介して高周波(RF:Radio Frequency)電源270に接続され、棒状電極472は基準電位であるアース272に接続されている。整合器271を介して高周波電源270から棒状電極471および棒状電極472間に高周波電力を印加することで、棒状電極471および棒状電極472間のプラズマ生成領域にプラズマが生成される。主に、棒状電極471、棒状電極472、電極保護管451、電極保護管452、バッファ室423により第1のプラズマ発生構造429が構成される。また、主に、棒状電極471、棒状電極472、電極保護管451および電極保護管452により、プラズマ発生器(プラズマ発生部)としての第1のプラズマ源が構成される。なお、整合器271、高周波電源270を第1のプラズマ源に含めて考えてもよい。第1のプラズマ源は、ガスをプラズマで活性化させる活性化機構として機能する。バッファ室423はプラズマ発生室として機能する。
反応管203の下部には、排気口230が設けられている。排気口230には、処理室201内の雰囲気を排気する排気管231が接続されている。排気管231には、上流側から順に、処理室201内の圧力を検出する圧力検出器(圧力検出部)としての圧力センサ245、圧力調整器(圧力調整部)としてのAPC(Auto Pressure Controller)バルブ243および真空排気装置としての真空ポンプ246が設けられている。真空ポンプ246の下流側の排気管231は、廃ガス処理装置(図示せず)等に接続されている。なお、APCバルブ243は、真空ポンプ246を作動させた状態で弁を開閉することで、処理室201内の真空排気および真空排気停止を行うことができ、更に、真空ポンプ246を作動させた状態で弁開度を調節することで、処理室201内の圧力を調整することができるように構成されているバルブである。主に、排気管231、APCバルブ243、圧力センサ245により排気系が構成される。なお、真空ポンプ246を排気系に含めて考えてもよい。排気系は、真空ポンプ246を作動させつつ、圧力センサ245により検出された圧力情報に基づいてAPCバルブ243の弁の開度を調節することにより、処理室201内の圧力が所定の圧力(真空度)となるよう真空排気し得るように構成されている。
反応管203内には温度検出器としての温度センサ263が設置されている。温度センサ263は、ノズル410,420,430と同様にL字型に構成されており、反応管203の内壁に沿って設けられている。温度センサ263により検出された温度情報に基づき、加熱用電源250からのヒータ207に対する供給電力を調整することで、処理室201内の温度が所望の温度分布となるように構成されている。
図3に示すように、制御部(制御手段)であるコントローラ280は、CPU(Central Processing Unit)280a、RAM(Random Access Memory)280b、記憶装置280c、I/Oポート280dを備えたコンピュータとして構成されている。RAM280b、記憶装置280c、I/Oポート280dは、内部バス280eを介して、CPU280aとデータ交換可能なように構成されている。コントローラ280には、例えばタッチパネル等として構成された入出力装置122が接続されている。
次に、上述の基板処理装置の処理炉202を用いて、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、処理室201内のウエハ200上に薄膜を形成する方法の例について説明する。尚、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ280により制御される。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、反応管203の下端開口が開放される。図1に示されているように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219はOリング220を介して反応管203の下端をシールした状態となる。なお、ウエハ200上の少なくとも一部には、レジスト膜をフォトリソグラフィ加工してなるレジストパターンが予め形成されている。レジストパターンは、SiON膜を形成する際の下地膜の一部となる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ243がフィードバック制御される(圧力調整)。なお、真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される(温度調整)。なお、ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。続いて、回転機構267によりボート217及びウエハ200の回転を開始する。なお、回転機構267によるボート217及びウエハ200の回転は、少なくとも、ウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。
その後、後述するSiN層形成工程とSiO層形成工程とを順に実行することにより、ウエハ200上にSiON膜を形成する。
SiN層形成工程では、以下に示すステップ1a及びステップ2aを交互に所定回数(m回)行う。すなわち、ステップ1a及びステップ2aを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数(m回)行う。
ガス供給管310のバルブ313、ベントガス管610のバルブ612を閉じた状態で、ガス供給管310のバルブ314を開くことにより、マスフローコントローラ312で流量調整されたDCSガスを、ガス溜り315内に充填する。ガス溜り315内には、ガス溜り315内の圧力が例えば20000Pa以上になるように、DCSガスを充填する。ガス溜り315内に充填するDCSガス量は、例えば100〜1000ccとする。ガス溜り315内に所定圧、所定量のDCSガスが充填されたら、上流側のバルブ314を閉じ、ベントガス管610のバルブ612を開くことで、ガス供給管310内へのDCSガスの供給を継続するようにしてもよい。
ステップ1aが終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、ガス供給管320のバルブ323を開き、ガス供給管320内にNH3ガスを流す。ガス供給管320内を流れたNH3ガスは、マスフローコントローラ322により流量調整される。流量調整されたNH3ガスは、ノズル420のガス供給孔421からバッファ室423内に供給される。このとき、棒状電極471,472間に高周波電源270から整合器271を介して高周波電力を印加することで、バッファ室423内に供給されたNH3ガスはプラズマ励起され、活性種としてガス供給孔425から処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このときウエハ200に対して、プラズマで活性化されたNH3ガスが供給されることとなる(NH3 *供給)。
ウエハ200上に所定組成及び所定厚さのSiN層が形成されたら、SiO層形成工程を行う。SiO層形成工程では、後述するステップ1b及びステップ2bを交互に所定回数(n回)行う。すなわち、ステップ1b及びステップ2bを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数(n回行う)。以下、これらのステップを順に説明する。
ステップ1bでは、処理室201内のウエハ200に対してBTBASガスを上述のフラッシュフローにより供給し、ウエハ200上(SiN層上)にシリコン含有層を形成する。なお、フラッシュフローを行わずにBTBASガスを処理室201内のウエハ200に対して供給してもよい。その後、処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくはシリコン含有層形成に寄与した後のBTBASガスを処理室201内から排除する。ステップ1bは、上述のステップ1aと同様の手順および同様の条件で行うことができる。なお、ステップ1bでは、Siを含む原料ガスとして、ステップ1aで用いた原料ガス、すなわちDCSガスを用いることもできる。
ステップ1bが終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、ガス供給管330のバルブ333を開き、ガス供給管330内にO2ガスを流す。ガス供給管330内を流れたO2ガスは、マスフローコントローラ332により流量調整される。流量調整されたO2ガスは、ノズル430のガス供給孔431からバッファ室433内に供給される。このとき、棒状電極481,482間に高周波電源270から整合器271を介して高周波電力を印加することで、バッファ室433内に供給されたO2ガスはプラズマ励起され、活性種としてガス供給孔435から処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このときウエハ200に対して、プラズマで活性化されたO2ガスが供給されることとなる(O2 *供給)。
ウエハ200上へのSiON膜の成膜が完了したら、バルブ513,523,533を開き、不活性ガス供給管510,520,530のそれぞれから不活性ガスとしてのN2ガスを処理室201内に供給し排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物が処理室201内から除去される(パージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、反応管203の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ200がボート217に支持された状態で反応管203の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済のウエハ200はボート217より取出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果を奏する。
上述したように、ウエハ200上にシリコン酸化膜を形成すると、シリコン酸化膜が有する膜ストレスによって、レジストパターンが応力を受け、変形したり倒壊したりしてしまうことがあった。そこで本実施形態では、ウエハ200上に形成する薄膜の膜ストレスを低減させることによって、係る課題を解決するようにしている。
ウエハチャージ、ボートロード、圧力調整及び温度調整については、上述の第1実施形態と同様の手順で行う。
その後、後述するステップ1c〜3cを含むサイクルを1サイクルとしてこのサイクルを所定回数(N回)行うことにより、ウエハ200上にSiON膜を形成する。
処理室201内のウエハ200に対してBTBASガスを上述のフラッシュフローにより供給し、ウエハ200上(レジストパターンを含む下地膜上)にシリコン含有層を形成する。その後、処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくはシリコン含有層形成に寄与した後のBTBASガスを処理室201内から排除する。ステップ1cは、上述の第1実施形態のステップ1aと同様の手順および同様の条件で行うことができる。
次に、処理室201内のウエハ200に対してプラズマで活性化させたNH3ガスを供給し、ウエハ200上に形成されたシリコン含有層を窒化して、Si、Nを含むシリコン窒化層(SiN層)へと改質させる。その後、処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくはSiN層形成に寄与した後のNH3ガスを処理室201内から排除する。ステップ2cは、上述の第1実施形態のステップ2aと同様の手順および同様の条件で行うことができる。
次に、処理室201内のウエハ200に対してプラズマで活性化させたO2ガスを供給し、ウエハ200上に形成されたSiN層を酸化して、Si、NおよびOを含むシリコン酸窒化層(SiON層)へと改質させる。その後、処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくはSiON層形成に寄与した後のO2ガスを処理室201内から排除する。ステップ3cは、上述の第1実施形態のステップ2bと同様の手順および同様の条件で行うことができる。
なお、本実施形態は、例えば図8、図9に示すように変形することが可能である。
次に、本発明の第3実施形態を説明する。
以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する工程と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
半導体装置の製造方法が提供される。
付記1の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の層を形成する工程では、
前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記窒化ガスを供給する工程と、を交互に所定回数(m回)行う。
付記1又は2の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第2の層を形成する工程では、
前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記酸化ガスを供給する工程と、を交互に所定回数(n回)行う。
付記1又は2の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第2の層を形成する工程では、
前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記窒化ガスを供給する工程と、前記酸化ガスを供給する工程と、を含むサイクルを所定回数(n回)行う。
付記1又は2の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第2の層を形成する工程では、
前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記窒化ガスを供給する工程と、前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記酸化ガスを供給する工程と、を含むサイクルを所定回数(n回)行う。
付記1乃至5のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記第1の層の厚さを、0.5nm以上5.0nm以下の厚さとする。
本発明の他の態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
半導体装置の製造方法が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
半導体装置の製造方法が提供される。
付記1乃至8のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記薄膜を形成する際の前記基板の温度を200℃以下の温度とする。
付記1乃至9のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記窒化ガスを供給する工程では、プラズマにより活性化した前記窒化ガスを前記基板に対して供給する。
付記1乃至10のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記酸化ガスを供給する工程では、プラズマにより活性化した前記酸化ガスを前記基板に対して供給する。
付記1乃至11のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記所定元素は、半導体元素または金属元素を含む。
付記1乃至11のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記所定元素は、シリコン元素を含む。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する工程と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
基板処理方法が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内に窒化ガスを供給する窒化ガス供給系と、
前記処理室内に酸化ガスを供給する酸化ガス供給系と、を有し、
前記処理室内の基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記窒化ガスを供給する処理と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する処理と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記酸化ガスを供給する処理と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する処理と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成するように、前記原料ガス供給系、前記窒化ガス供給系および前記酸化ガス供給系を制御する制御部を有する
基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内に窒化ガスを供給する窒化ガス供給系と、
前記処理室内に酸化ガスを供給する酸化ガス供給系と、を有し、
前記処理室内の基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成するように、前記原料ガス供給系、前記窒化ガス供給系および前記酸化ガス供給系を制御する制御部を有する
基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内に窒化ガスを供給する窒化ガス供給系と、
前記処理室内に酸化ガスを供給する酸化ガス供給系と、を有し、
前記処理室内の基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成するように、前記原料ガス供給系、前記窒化ガス供給系および前記酸化ガス供給系を制御する制御部を有する
基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板処理装置の処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する手順と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する手順と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する手順と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板処理装置の処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する手順と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板処理装置の処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する手順と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する手順と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する手順と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板処理装置の処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する手順と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
201 処理室
280 コントローラ(制御部)
301 原料ガス供給系
302 窒化ガス供給系
303 酸化ガス供給系
501 第1不活性ガス供給系
502 第2不活性ガス供給系
503 第3不活性ガス供給系
Claims (4)
- 処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する工程と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する工程と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する工程と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する工程と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する
ことを特徴とする基板処理方法。 - 基板を処理する処理室と、
前記処理室内に所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内に窒化ガスを供給する窒化ガス供給系と、
前記処理室内に酸化ガスを供給する酸化ガス供給系と、を有し、
前記処理室内の基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記窒化ガスを供給する処理と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する処理と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記酸化ガスを供給する処理と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する処理と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成するように、前記原料ガス供給系、前記窒化ガス供給系および前記酸化ガス供給系を制御する制御部を有する
ことを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理装置の処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、前記処理室内の前記基板に対して窒化ガスを供給する手順と、を行うことで、前記基板上に、前記所定元素および窒素を含む第1の層を形成する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、前記処理室内の前記基板に対して酸化ガスを供給する手順と、を行うことで、前記第1の層上に、前記所定元素および酸素を含む第2の層を形成する手順と、
を行うことで、前記基板上に、前記所定元素、窒素および酸素を含む薄膜を形成する手順をコンピュータに実行させる
ことを特徴とするプログラム。
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