JP2014172770A - 光学ガラス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る光学ガラスは、筐体の開口を覆うように筐体に接合される光学ガラスであって、筐体に接合される側の第1の主面と、第1の主面に対向する第2の主面とを有するガラス基板と、第1,第2の主面の少なくとも一方に設けられた光学薄膜とを備え、光学ガラスには筐体とは反対側に膨らむ方向に応力が作用していることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、上記問題点を解消するためになされたものであり、衝撃等の外力により破損し難い信頼瀬の高い光学ガラスを提供することを目的とする。
図1は、実施形態に係る光学ガラス100の断面図である。図1に示すように、本実施形態に係る光学ガラス100は、例えば、デジタルスチルカメラ等の固体撮像素子(例えば、Charge Coupled Device(以下、CCD)やComplementary Metal Oxide Semiconductor(CMOS))に用いられるカバーガラスや近赤外線カットフィルタ等の光学ガラスである。光学ガラス100は、ガラス基板110と、ガラス基板110の表面110A(透光面)に設けられた反射防止膜としての光学薄膜120と、ガラス基板110の裏面110B(透光面)に設けられた紫外(UV)線及び赤外(IR)線をカットするUVIRカット膜(紫外線遮蔽膜及び赤外線遮蔽膜)としての光学薄膜130とを有する。
ガラス基板110は、少なくとも可視波長域の光を透過できるものであれば特に限定されない。ガラス基板110としては、特に、近赤外波長域の光を吸収するものが好ましい。近赤外波長域の光を吸収するガラス基板110を用いることで、人間の視感度特性に近い画質を得ることができるためである。なお、近赤外波長域の光を吸収するガラス基板110としては、例えば、フツリン酸塩系ガラスやリン酸塩系ガラスにCu2+(イオン)が添加された吸収型ガラスが挙げられる。その他、硼珪酸系ガラス、石英ガラス、ソーダ石灰ガラス、無アルカリガラス等を用いることもできる。
光学薄膜120は、反射防止膜であり、光の入射側となるガラス基板110の表面110Aに設けられている。光学薄膜120は、光学ガラス100表面の反射率を低減させて、透過率を増加させる。光学薄膜120は、例えば、MgF2の単層膜やAl2O3・TiO2とZrO2との混合物膜・MgF2を積層した多層膜やSiO2・TiO2の交互多層膜などで構成されている。これらの単層・多層膜は真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法にてガラス基板110の表面110Aに形成されている。また、光学薄膜120は、物理膜厚が0.2μmから8μmであることが好ましい。
また、ガラス基板110の裏面110Bには、紫外(UV)線及び赤外(IR)線をカットするUVIRカット膜としての光学薄膜130が設けられている。光学薄膜130は、例えば、SiO2・TiO2等、屈折率の異なる誘電体膜を積層した多層膜で構成されている。これら多層膜は真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法にてガラス基板110の裏面110Bに形成されている。また、光学薄膜130は、物理膜厚が0.2μmから8μmであることが好ましい。
図1を参照して、ガラス基板110の側面110Sの状態について説明する。
上述したガラス基板110の表面110Aと側面110Sとの境界L1及びガラス基板110の裏面110Bと側面110Sとの境界L2の少なくとも一方は、凹凸を有し、凹凸の高低差は、0.5μmから60μmであることが好ましく、さらに、ガラス基板110の側面110Sの少なくとも一部の表面粗さRaが0.01μmから0.50μmであることが好ましい。なお、ガラス基板110の境界L1,L2の凹凸の高低差や側面110Sの表面粗さRaは、接触式や非接触式の公知の表面粗さ測定装置を用いて測定することができる。
図2は、光学ガラス100を撮像装置300に使用した一例を示す断面図である。撮像装置300は、固体撮像素子310(例えば、CCDやCMOS)を内蔵した筐体320に本発明の光学ガラス100を熱硬化型樹脂R等により気密封着したものである。なお、筐体320には、固体撮像素子310を収容するために開口320aが設けられている。
σ=Et2/6(1−ν)Rt’・・・(1)
但し、
σ:応力
E:光学ガラス100のヤング率
t:光学ガラス100の板厚
ν:光学ガラス100のポアソン比
R:光学ガラス100の反りの曲率半径
t’:光学薄膜の厚さ
σ=Et2/3(1−ν)Rt’・・・(2)
光学ガラス100を筐体320とは反対側に膨らむ方向に応力が作用している状態とするには、以下に述べる4つの手段がある。以下、図3を参照して、第1〜第4の手段について説明する。なお、図1,図2で説明した構成と同じ構成には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。また、ガラス基板110の表面110Aを筐体320に接合される側の第1の主面とし、前記第1の主面に対向する面を第2の主面とする。
第1の手段として、ガラス基板110の裏面110B(第2の主面)に光学薄膜130を形成し、この光学薄膜130の内部応力がガラス基板110の第2の主面に平行な圧縮応力となるようにする。このようにすることで、光学ガラス100に対し図2の矢印αの向きに応力が作用する。光学ガラス100が筐体320と反対側に凸形状となっている場合、光学ガラス100に対してこのような向きに応力が作用しているということができるが、光学ガラス100が必ずしも凸形状となっている必要はなく、矢印αの向きに応力が作用していることが重要である。
第2の手段として、ガラス基板110の表面110A(第1の主面)に光学薄膜120を形成し、この光学薄膜120の内部応力がガラス基板110の第1の主面に平行な引張応力となるようにする。このようにすることで、光学ガラス100に対し矢印αの向きに応力が作用する。
第3の手段として、ガラス基板110の裏面110B(第2の主面)及び表面110A(第1の主面)の両方に光学薄膜130,120を形成し、前記第2の主面に形成された光学薄膜130のガラス基板110の第2の主面に平行な内部応力をA、前記第1の主面に形成された光学薄膜120のガラス基板110の第1の主面に平行な内部応力をBとし、圧縮応力をプラスの値、引張応力をマイナスとした際に、A−Bの値が0を超えるようにする。このようにすることで、光学ガラス100に対し矢印αの向きに応力が作用する。すなわち、第1の主面及び第2の主面に形成した光学薄膜130,120の内部応力を相殺した場合、第2の主面側に圧縮応力が残るようにすることを意味している。
第4の手段として、ガラス基板110の裏面110B(第2の主面)に光学薄膜130を形成し、熱膨張係数が100×10−7/Kから150×10−7/Kのガラス基板110を用いることである。ガラス基板110に光学薄膜を形成する場合、真空蒸着法やイオンアシスト蒸着法、スパッタリング法等が用いられる。これら方法は、いずれも光学薄膜を形成する際にガラス基板110を高温状態(常温よりも高い温度)に保持して行う。
フツリン酸ガラスの場合、ガラス基板110は、以下の成分であることが好ましい。
カチオン%表示で、
P5+ 20〜45%、
Al3+ 1〜25%、
R+ 1〜30%(但し、R+は、Li+、Na+、K+の合計量)
Cu2+ 1〜15%、
R2+ 1〜50%(但し、R2+は、Mg2+、Ca2+、Sr2+、Ba2+、Zn2+の合計量)含有するとともに、
アニオン%表示で、
F− 10〜65%、
O2− 35〜90%含有する。
Claims (12)
- 筐体の開口を覆うように前記筐体に接合される光学ガラスであって、
前記筐体に接合される側の第1の主面と、前記第1の主面に対向する第2の主面とを有するガラス基板と、
前記第1,第2の主面の少なくとも一方に設けられた光学薄膜とを備え、
前記光学ガラスには前記筐体とは反対側に膨らむ方向に応力が作用していることを特徴とする光学ガラス。 - 前記光学薄膜は、前記第2の主面に形成されており、前記光学薄膜の内部応力は圧縮応力であることを特徴とする請求項1に記載の光学ガラス。
- 前記光学薄膜は、前記第1の主面に形成されており、前記光学薄膜の内部応力は引張応力であることを特徴とする請求項1に記載の光学ガラス。
- 前記光学薄膜は、前記第1の主面及び前記第2の主面の両方に形成されており、前記第2の主面に形成された光学薄膜の内部応力をA、前記第1の主面に形成された光学薄膜の内部応力Bとし、圧縮応力をプラスの値、引張応力をマイナスの値とした際に、A−Bの値が0を超えることを特徴とする請求項1に記載の光学ガラス。
- 前記光学薄膜は、前記第2の主面に形成されており、
前記ガラス基板の熱膨張係数は、100×10−7/Kから150×10−7/Kであることを特徴とする請求項1に記載の光学ガラス。 - 前記光学薄膜は、物理膜厚が0.2μmから8μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の光学ガラス。
- 前記ガラス基板は、前記第1の主面と前記第2の主面との間に側面を有し、
前記第1の主面と前記側面との境界及び前記第2の主面と前記側面との境界の少なくとも一方が、面取り又は丸取りされていないことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の光学ガラス。 - 前記ガラス基板は、前記第1の主面と前記第2の主面との間に側面を有し、
前記第1の主面と前記側面との境界及び前記第2の主面と前記側面との境界の少なくとも一方は、凹凸を有し、前記凹凸の高低差が0.5μmから60μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の光学ガラス。 - 前記ガラス基板は、前記第1の主面と前記第2の主面との間に側面を有し、
前記側面の少なくとも一部の表面粗さRaが0.01μmから0.50μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の光学ガラス。 - 前記光学薄膜は、反射防止膜、赤外線遮蔽膜及び紫外線遮蔽膜の少なくとも一つであることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の光学ガラス。
- 前記筐体は、半導体素子を収容するものであることを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の光学ガラス
- 前記半導体素子は、固体撮像素子であることを特徴とする請求項11に記載の光学ガラス。
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