JP2014169752A - アクチュエータおよびこれを備えた精密機械 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アクチュエータを構成するガイドレール2の長手方向一端である駆動プーリ52側の端部に、リニアガイド装置4のベアリング42を固定し、リニアガイド装置4の案内レール41を基台7に固定する。
【選択図】図2
Description
特許文献1および2に記載されたアクチュエータは、別々のガイドレールに沿って移動する主軸受(搭載物を固定するスライダ)とカウンタ軸受(スライダ)を有している。これらの軸受は、各ガイドレールとの間に静圧空気軸受を形成する静圧パッドを有する。
この発明の課題は、ベルト駆動でガイドレールに沿って往復運動するスライダを備えたアクチュエータに関し、基台との間に伸縮差が生じた場合にガイドレールに歪みが生じることを、特許文献3に記載された対策よりもコストが低い対策で防止することである。
この発明の一態様のアクチュエータは、精密機械(精密加工機械、精密検査装置、精密スキャン装置、半導体デバイス製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置など)の直線案内アクチュエータとして好適に使用できる。
この実施形態のアクチュエータは、図1および図2に示すように、駆動ベルト1と、ガイドレール2と、スライダ3と、リニアガイド装置4と、従動プーリ51と、駆動プーリ52と、駆動プーリ52を回転駆動するモータ6とで構成されている。駆動ベルト1は、従動プーリ51と駆動プーリ52に掛け渡されている。ガイドレール2は、上側が開放された凹状の断面形状を有し、対向する二つの側部材21と底板部22とからなる。
図3に示すように、取り付け部材8は、駆動ベルト1の固定部11を上下から挟む上板部材81および下板部材82と板ばね83からなる。駆動ベルト1の固定部10が下板部材82の凹部82aに配置され、上板部材81がボルト91で下板部材82に固定されている。また、板ばね83の一対の裾板83aがボルト92で上板部材81に固定され、板ばね83の頂板83bがスライダ3の上板31にボルト93で固定されている。
なお、この実施形態では、リニアガイド装置としてベアリング42を二個有し、転動体がボールであるものを使用しているが、ベアリングの数や転動体の種類はこれに限定されない。
10 駆動ベルトの固定部
2 ガイドレール
21 側部材
22 底板部
25 駆動側固定板
26 従動側固定板
3 スライダ
31 スライダの上板
32 スライダの底板
33,34 スライダの側板
31a〜34a スライダの静圧パッド
4 リニアガイド装置
41 案内レール
42 ベアリング
43 ボール(転動体)
51 従動プーリ
52 駆動プーリ
6 モータ
7 基台
71 基台側固定板
8 取り付け部材
81 上板部材
82 下板部材
82a 下板部材の凹部
83 板ばね
83a 板ばねの裾板
83b 板ばねの頂板
Claims (2)
- 駆動プーリと従動プーリとの間に掛け渡された駆動ベルトと、
前記駆動ベルトと並列に配置されたガイドレールと、
前記ガイドレールとの間に静圧空気軸受を形成する静圧パッドを有し、前記駆動ベルトの駆動により前記ガイドレールに沿って往復運動するスライダと、
ベアリング、案内レール、および転動体を有するリニアガイド装置と
を有し、
前記ガイドレールの長手方向一端である前記駆動プーリ側の端部に、前記ベアリングが固定され、
前記案内レールを基台に固定して使用されるアクチュエータ。 - 請求項1記載のアクチュエータを直線案内アクチュエータとして備えた精密機械。
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