CN111664323A - 带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺的组件 - Google Patents

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Abstract

组件包括主承载件、布置在所述主承载件上的中间承载件和布置在所述中间承载件上的比例尺。组件包括第一和第二集成到所述主承载件中的固定元件和第三和第四固定元件。所述第一固定元件如下地构造，使得所述第一固定元件在第一位置处沿纵向方向刚性地在所述主承载件处承载所述中间承载件。所述第二固定元件如下地构造，使得所述第二固定元件在与所述第一位置不同的第二位置处沿纵向方向相对于所述主承载件能够自由地运动地承载所述中间承载件。所述第三固定元件如下地构造，使得所述第三固定元件在所述第一位置处沿纵向方向刚性地在所述中间承载件处承载所述比例尺。

Description

带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中 间承载件上的比例尺的组件
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺的组件。
背景技术
这样的位置测量机构尤其在加工机器中使用以用于测量工具关于待加工的工件的相对位置，在坐标测量机器中使用以用于测得测试对象的位置和尺寸以及还在半导体工业中使用。在此，比例尺直接地附装在承载件处，例如在驱动单元（例如线性马达）处或比例尺附装在通过驱动单元驱动的结构部件处。位置测量机构的扫描单元相对于运动的比例尺固定不动地布置在第二对象处，应该测量所述第二对象相对于承载件的相对位置。
对于位置测量机构的要求越来越高。不断地要求位置测量的较高的分辨率以及较高的准确性和可再现性。为了形成比例尺相对于承载件的固定点，已知的是，将所述比例尺沿测量方向位置固定地固定在承载件处的一个位置处。
在多数情况下，比例尺和承载件由带有不同的热膨胀特性的材料构造。位置固定的固定如下地设计，使得在温度改变时不将承载件的约束力施加到比例尺上。
这种类型的位置测量机构从DE 195 12 892 A1中已知。在所述位置测量机构的情况下，比例尺由承载件体和尺实体（Maßverkörperung）形成。在此，尺实体经由两个与彼此间隔开的支架与承载件体连接。所述支架中的一个支架形成用于将尺实体固定在承载件体处的固定点。第二支架形成弹性的固定点，从而从起固定作用的支架出发尺实体的由热引起的相对于承载件体的纵向可移位性是可能的。
发明内容
本发明基于如下任务，说明一种带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺的组件，所述组件紧凑地构建并且藉由所述组件实现精确的位置测量。
根据本发明，所述任务通过带有权利要求1的特征的组件来解决。
根据本发明来构造的组件包括主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺。比例尺沿纵向方向延伸。比例尺具有布置在测量分度平面中的测量分度，以用于至少沿纵向方向的位置测量。主承载件具有第一固定元件和第二固定元件。第一固定元件和第二固定元件集成到主承载件中。第一固定元件和第二固定元件沿纵向方向与彼此间隔开地进行布置。第一固定元件如下地构造，使得其在第一位置处沿纵向方向刚性地在主承载件处承载中间承载件。第二固定元件如下地构造，使得其在与第一位置不同的第二位置处沿纵向方向相对于主承载件能够自由地运动地承载中间承载件。组件具有第三固定元件和第四固定元件。第三固定元件和第四固定元件沿纵向方向与彼此间隔开地进行布置。第三固定元件如下地构造，使得其在第一位置处沿纵向方向刚性地在中间承载件处承载比例尺。第四固定元件如下地构造，使得其在与第一位置和第二位置不同的第三位置处沿纵向方向相对于中间承载件能够自由地运动地承载比例尺。
优选地，第一位置、第二位置和第三位置分别是彼此不同的纵向位置。
有利的是，第一固定元件如下地构造，使得其在第一位置处围绕配属于第一位置的、垂直于测量分度平面伸延的转动轴线相对于主承载件能够自由地转动地承载中间承载件，并且第二固定元件如下地构造，使得其在第二位置处围绕配属于第二位置的、垂直于测量分度平面伸延的转动轴线相对于主承载件能够自由地转动地承载中间承载件。
此外，有利的是，主承载件具有多个另外的固定元件，另外的固定元件集成到主承载件中，并且另外的固定元件沿纵向方向分布地布置在第一固定元件与第二固定元件之间并且如下地构造，使得所述另外的固定元件在多个与第一位置和第二位置不同的另外的位置处沿纵向方向和沿垂直于纵向方向伸延的横向方向相对于主承载件能够自由地运动地承载中间承载件。
优选地，另外的固定元件如下地构造，使得其在另外的位置处围绕配属于另外的位置的、相应地垂直于测量分度平面伸延的转动轴线相对于主承载件能够自由地转动地承载中间承载件。
通过本发明，藉由紧凑地构建的组件一方面实现比例尺相对于主承载件的（局部的）位置固定的固定并且另一方面实现比例尺与主承载件的双重的解耦。为此，设置有在主承载件与中间承载件之间的解耦和另外的在中间承载件与比例尺之间的解耦。在此，解耦分别以至少一个平移自由度，也就是说，至少沿纵向方向（测量方向）来进行。通过双重的解耦实现，即使温度改变也不将主承载件的约束力施加到比例尺上。此外，中间承载件用作热绝缘元件，由此避免从主承载件到比例尺上的直接的热传递。在比例尺的破坏或损坏的情况下，还能够简单地更换中间承载件。
本发明的有利的构造方案由从属权利要求得知。
附图说明
借助附图，根据本发明的组件的细节和优点从实施例的随后的描述中得出。
图1示出根据本发明来构造的组件的透视的视图，所述组件带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺；
图2示出根据图1的组件的俯视图；
图3示出主承载件的透视的视图，所述主承载件带有集成到主承载件中的第一固定元件和集成到主承载件中的第二固定元件；
图4示出中间承载件的透视的视图；
图5示出比例尺的俯视图，所述比例尺能够与第三固定元件和第四固定元件在彼此对置的侧面处接触；
图6示出第一固定元件的透视的视图；
图7示出第二固定元件的透视的视图；
图8示出第三固定元件的透视的视图；
图9示出第四固定元件的透视的视图；
图10示出另外的集成到主承载件中的固定元件中的一个固定元件的透视的视图；以及
图11示出用于测量比例尺的固定点相对于位置固定的参考部件的位置的测量组件的俯视图，所述测量组件包括根据图1的组件。
具体实施方式
随后，借助图1至10阐释本发明的实施方式。根据本发明来构造的组件10包括主承载件12、布置在主承载件12上的中间承载件14和布置在中间承载件14上的比例尺16。比例尺16沿纵向方向X延伸并且具有布置在测量分度平面20中的测量分度18。测量分度18构造为能够光电扫描的增量分度，以用于沿纵向方向X以及附加地沿第二垂直于所述纵向方向伸延的横向方向Y的高精度的位置测量。优选地，比例尺16由带有能够忽略地小的热膨胀系数的材料构造，尤其是带有在0°至50°的温度范围内小于1.5x10-6K-1，但是尤其小于0.1x10-6K-1的热膨胀系数α。这样的材料是玻璃或玻璃陶瓷（例如ZERODUR，微晶玻璃）或金属、如例如殷钢（Invar）。
优选地，主承载件12和中间承载件14由带有大约为10.5x10-6K-1的热膨胀系数的钢构造。
主承载件12和中间承载件14分别构造为板形的结构。比例尺16具有带有两个彼此对置的侧面62、64的直角形的横截面，所述侧面分别横向于纵向方向X伸延（参见图5）。
由主承载件12、中间承载件14和比例尺16构造的三件式的结构在图1和2中示出。单个的构件（也就是说，主承载件12、中间承载件14和比例尺16）在图3至5中示出。
如在图3中示出的那样，主承载件12具有集成到主承载件12中的第一固定元件22和集成到主承载件12中的第二固定元件24。第一固定元件22和第二固定元件24沿纵向方向X与彼此间隔开地进行布置。此外，在图1示出，组件10具有第三固定元件26和第四固定元件28。第三固定元件26和第四固定元件28沿纵向方向X与彼此间隔开地进行布置。参考图1和5，第三固定元件26和第四固定元件28布置在中间承载件14上并且如下地构造，使得所述第三固定元件和第四固定元件在彼此对置的侧面62、64处接触比例尺16。
第一至第四固定元件22至28一方面用于比例尺16相对于主承载件12的（局部的）位置固定的固定并且另一方面用于比例尺16与主承载件12的双重的解耦，相应地至少以一个平移自由度，也就是说，沿纵向方向X（测量方向）。为此，第一固定元件22如下地构造，使得其在第一位置P1处沿纵向方向X刚性地在主承载件12处承载中间承载件14。第二固定元件24如下地构造，使得其在与第一位置P1不同的第二位置P2处沿纵向方向X相对于主承载件12能够自由地运动地承载中间承载件14。第三固定元件26如下地构造，使得其在第一位置P1处沿纵向方向X刚性地在中间承载件14处承载比例尺16。第四固定元件28如下地构造，使得其在与第一位置P1和第二位置P2不同的第三位置P3处沿纵向方向X相对于中间承载件14能够自由地运动地承载比例尺16。优选地，第一至第三位置P1至P3分别是彼此不同的纵向位置，也就是说，沿着纵向方向X的位置，如在图2中说明的那样。
关于图3，主承载件12除了第一和第二固定元件22、24（也就是说，布置在主承载件12的彼此对置的端部处的固定元件）之外具有多个另外的集成到主承载件12中的固定元件30.1至30.4。如在图3中示出的那样，另外的固定元件30.1至30.4沿纵向方向X分布地布置在第一固定元件22与第二固定元件24之间。所述另外的固定元件尤其用于，在多个与第一位置P1和第二位置P2不同的另外的位置Q1至Q4处沿纵向方向X和沿垂直于纵向方向X（也就是说，平行于测量分度平面20）伸延的横向方向Y相对于主承载件12能够自由地运动地承载中间承载件14。优选地，另外的位置Q1至Q4分别是彼此不同的纵向位置，也就是说，沿着纵向方向X的位置，所述另外的位置处于第一与第二位置P1、P2之间。这又在图2中进行说明。
以有利的方式，固定元件22、24以及30.1至30.4能够通过电火花切割方法（Drahterodierverfahren）制造。还能够应用其它的普遍已知的加工方法，以用于制造该固定元件。如在图3中能够看出的那样，固定元件22、24以及30.1至30.4通过在主承载件12的表面S上的凹口形成。
在图4中示出的中间承载件14具有多对凹口52至60，以用于容纳固定螺纹紧固件。由此，中间承载件14一方面能够固定在主承载件12处，并且另一方面比例尺16能够经由第三和第四固定元件26、28固定在中间承载件14处。为此，如在图5中示出的那样，第三和第四固定元件26、28具有相应地配属于凹口对56、58的凹口对46.1、46.2；48.1、48.2，以用于容纳固定螺纹紧固件。
在图6至10中，第一至第四固定元件22至28和另外的固定元件30.1至30.4中的一个固定元件（在下面，另外的固定元件30）被放大地示出。图6至10的图示用于说明相应地构造为固定体关节的固定元件22至28、30的工作原理。
图6示出第一固定元件22的透视的视图。第一固定元件22具有四个板簧32.1至32.4。板簧32.1至32.4形成固定体关节32。如在图6中示出的那样，板簧32.1至32.4分别从主承载件12的基体G延伸到第一固定元件22的固定区段42。在此，这两个板簧32.1、32.2沿横向方向Y延伸，而这两个板簧32.3、32.4沿纵向方向X延伸。此外，每个板簧32.1至32.4沿垂直于测量分度平面20伸延的高度方向Z延伸。
第一固定元件22的固定区段42包括凹口对42.1、42.2，以用于容纳配属于中间承载件14的凹口52的固定螺纹紧固件。由此，中间承载件14能够固定在第一固定元件22处。
关于图2和6，第一固定元件22如下地构造，使得其在第一位置P1处围绕配属于第一位置P1的、垂直于测量分度平面20伸延的转动轴线R1相对于主承载件12能够自由地转动地承载中间承载件14。此外，第一固定元件22如下地构造，使得其在第一位置P1处沿横向方向Y和沿高度方向Z刚性地在主承载件12处承载中间承载件14。
图7示出第二固定元件24的透视的视图。第二固定元件24具有两个板簧34.1、34.2。板簧34.1、34.2形成固定体关节34。如在图7中示出的那样，板簧34.1、34.2分别从主承载件12的基体G延伸到第二固定元件24的固定区段44。在此，这两个板簧34.1、34.2分别沿横向方向Y延伸。此外，每个板簧34.1、34.2沿高度方向Z延伸。
第二固定元件24的固定区段44包括凹口对44.1、44.2，以用于容纳配属于中间承载件14的凹口54的固定螺纹紧固件。由此，中间承载件14能够固定在第二固定元件24处。
关于图2和7，第二固定元件24如下地构造，使得其在第二位置P2处围绕配属于第二位置P2的、垂直于测量分度平面20伸延的转动轴线R2相对于主承载件12能够自由地转动地承载中间承载件14。此外，第二固定元件24如下地构造，使得其在第二位置P2处沿横向方向Y和沿高度方向Z刚性地在主承载件12处承载中间承载件14。
图8示出第三固定元件26的透视的视图。第三固定元件26包括沿高度方向Z延伸的接片形的区段36.1。接片形的区段36.1形成固定体关节36。第三固定元件26包括用于固定在中间承载件14处的第一固定区段46和用于在侧向接触比例尺16的第二固定区段66。第一固定区段46包括凹口46.1、46.2。凹口46.1、46.2设置成用于在凹口56中的固定螺纹紧固件。第二固定区段66包括两个沿高度方向Z延伸的凸出部66.1、66.2。凸出部66.1、66.2用于可靠地并且精确地接触比例尺16的侧面62。通过凸出部66.1、66.2预设粘接缝隙，在横向方向Y上观察分别在凸出部66.1、66.2的两侧将粘接剂引入到所述粘接缝隙中。由此，比例尺16固定在第三固定元件26处。
关于图2和8，第三固定元件26如下地构造，使得其在第一位置P1处围绕配属于第一位置P1的转动轴线R1相对于中间承载件14能够自由地转动地承载比例尺16。此外，第三固定元件26如下地构造，使得其在第一位置P1处沿横向方向Y和沿高度方向Z刚性地在中间承载件14处承载比例尺16。
图9示出第四固定元件28的透视的视图。第四固定元件28包括两个撑杆38.1、38.2以及逐渐变细的区段38.3。撑杆38.1、38.2与逐渐变细的区段38.3共同形成固定体关节38。第四固定元件28包括用于固定在中间承载件14处的第一固定区段48和用于在侧向接触比例尺16的第二固定区段68。第一固定区段48包括凹口48.1、48.2。凹口48.1、48.2设置成用于在凹口58中的固定螺纹紧固件。第二固定区段68包括两个沿高度方向Z延伸的凸出部68.1、68.2。凸出部68.1、68.2用于可靠地并且精确地接触比例尺16的侧面64。通过凸出部68.1、68.2预设粘接缝隙，在横向方向Y上观察分别在凸出部68.1、68.2的两侧将粘接剂引入到所述粘接缝隙中。由此，比例尺16固定在第四固定元件28处。
关于图2和9，第四固定元件28如下地构造，使得其在第三位置P3处围绕配属于第三位置P3的、垂直于测量分度平面20伸延的转动轴线R3相对于中间承载件14能够自由地转动地承载比例尺16。此外，第四固定元件28如下地构造，使得其在第三位置P3处沿横向方向Y和沿高度方向Z刚性地在中间承载件14处承载比例尺16。
图10示出另外的固定元件30的透视的视图。另外的固定元件30包括两个U形的板簧40.1、40.2。板簧40.1、40.2相对于沿纵向方向X伸延的对称轴线彼此对称地进行布置。这两个板簧40.1、40.2共同形成固定体关节40。如在图10中示出的那样，板簧40.1、40.2分别从主承载件12的基体G延伸到另外的固定元件30的相应的固定区段50。固定区段50相应地包括凹口50.1、50.2，以用于容纳固定螺纹紧固件。另外的固定元件30的凹口50.1、50.2配属于中间承载件14的凹口60。由此，中间承载件14能够固定在另外的固定元件30处。
关于图2、3和10，另外的固定元件30.1至30.4（除了事先借助图3所阐释的功能之外）此外用于，在另外的位置Q1至Q4处围绕配属于另外的位置Q1至Q4的、相应地垂直于测量分度平面20伸延的转动轴线相对于主承载件12能够自由地转动地承载中间承载件14。在图10中，仅仅示例性地示出所述用于另外的固定元件30的转动轴线中的一个转动轴线（转动轴线O）。
如在图10中仅仅针对另外的固定元件30示例性地示出的那样，板簧40.1、40.2至少沿高度方向Z延伸，从而不允许中间承载件14沿高度方向Z运动。由此，关于图2、3和10，另外的固定元件30.1至30.4如下地构造，使得其在另外的位置Q1至Q4处沿高度方向Z刚性地在主承载件12处承载中间承载件14。
如借助图6至9所阐释的那样，第一至第四固定元件22至28用于相应地不仅以一个平移自由度（也就是说，自由度X）而且以一个旋转自由度（也就是说，自由度RZ）来双重地解耦比例尺16与主承载件12。此外，另外的固定元件30.1至30.4用于以所有所谓的平面内自由度，也就是说，自由度X、Y和RZ（参见图10）来解耦。
图11示出用于测量比例尺16的固定点（参考点）相对于位置固定的参考部件B（例如机器底座）的位置的测量组件的俯视图，所述测量组件包括根据图1的组件10。在图11中示出的测量组件的情况下，设置两个另外的比例尺2、6，所述比例尺固定在位置固定的参考部件B处。组件10能够沿横向方向Y相对于位置固定的参考部件B移位地被支承。比例尺2包括用于沿纵向方向X以及沿横向方向Y的位置确定的测量分度，而比例尺6包括用于仅仅沿横向方向Y的位置确定的测量分度。比例尺2的测量分度能够通过两个与组件10的一个端部耦联的扫描头部4.1、4.2来扫描。比例尺6的测量分度能够通过与组件10的另一个端部耦联的扫描头部8来扫描。通过应用三个扫描头部4.1、4.2、8实现，测得参考点（也就是说，位置固定的转动点或位置固定的转动轴线R1，其中，位置固定相应地是基于主承载件12）相对于位置固定的参考部件B的位置。
为此，通过在图11中示出的测量组件能够确定组件10相对于位置固定的参考部件B的以自由度X、Y和RZ的位置。在这一方面，参考申请DE 10 2008 010 284 A1，尤其参考第一实施例，其内容为此记录在本申请中。
比例尺16例如构造为所谓的1Dplus编码器。在这一方面，还参考申请DE 10 2008010 284 A1，尤其参考对于图2至5的阐释。
本发明不限制于光电的扫描原理。测量分度18尤其还能够是能够磁性地或电感地扫描地进行构造。

Claims (15)

1.组件（10），带有主承载件（12）、布置在所述主承载件（12）上的中间承载件（14）和布置在所述中间承载件（14）上的比例尺（16），其中，所述比例尺（16）沿纵向方向（X）延伸，并且其中，所述比例尺（16）具有布置在测量分度平面（20）中的测量分度（18），以用于至少沿纵向方向（X）的位置测量，
其特征在于，所述主承载件（12）具有第一固定元件（22）和第二固定元件（24），其中，所述第一固定元件（22）和所述第二固定元件（24）集成到所述主承载件（12）中，并且其中，所述第一固定元件（22）和所述第二固定元件（24）沿纵向方向（X）与彼此间隔开地进行布置，
所述第一固定元件（22）如下地构造，使得所述第一固定元件在第一位置（P1）处沿纵向方向（X）刚性地在所述主承载件（12）处承载所述中间承载件（14），并且所述第二固定元件（24）如下地构造，使得所述第二固定元件在与所述第一位置（P1）不同的第二位置（P2）处沿纵向方向（X）相对于所述主承载件（12）能够自由地运动地承载所述中间承载件（14），
所述组件（10）具有第三固定元件（26）和第四固定元件（28），其中，所述第三固定元件（26）和所述第四固定元件（28）沿纵向方向（X）与彼此间隔开地进行布置，
并且所述第三固定元件（26）如下地构造，使得所述第三固定元件在所述第一位置（P1）处沿纵向方向（X）刚性地在所述中间承载件（14）处承载所述比例尺（16），并且所述第四固定元件（28）如下地构造，使得所述第四固定元件在与所述第一位置（P1）和所述第二位置（P2）不同的第三位置（P3）处沿纵向方向（X）相对于所述中间承载件（14）能够自由地运动地承载所述比例尺（16）。
2.根据权利要求1所述的组件（10），其中，所述第一固定元件（22）如下地构造，使得所述第一固定元件在所述第一位置（P1）处围绕配属于所述第一位置（P1）的、垂直于所述测量分度平面（20）伸延的转动轴线（R1）相对于所述主承载件（12）能够自由地转动地承载所述中间承载件（14），并且其中，所述第二固定元件（24）如下地构造，使得所述第二固定元件在所述第二位置（P2）处围绕配属于所述第二位置（P2）的、垂直于所述测量分度平面（20）伸延的转动轴线（R2）相对于所述主承载件（12）能够自由地转动地承载所述中间承载件（14）。
3.根据权利要求1或2所述的组件（10），其中，所述第一固定元件（22）和所述第二固定元件（24）如下地构造，使得所述第一固定元件和所述第二固定元件相应地在所述第一位置（P1）处或在所述第二位置（P2）处沿垂直于所述纵向方向（X）伸延的横向方向（Y）和沿垂直于所述测量分度平面（20）伸延的高度方向（Z）刚性地在所述主承载件（12）处承载所述中间承载件（14）。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的组件（10），其中，所述第三固定元件（26）如下地构造，使得所述第三固定元件在所述第一位置（P1）处围绕配属于所述第一位置（P1）的、垂直于所述测量分度平面（20）伸延的转动轴线（R1）相对于所述中间承载件（14）能够自由地转动地承载所述比例尺（16），并且其中，所述第四固定元件（28）如下地构造，使得所述第四固定元件在所述第三位置（P3）处围绕配属于所述第三位置（P3）的、垂直于所述测量分度平面（20）伸延的转动轴线（R3）相对于所述中间承载件（14）能够自由地转动地承载所述比例尺（16）。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的组件（10），其中，所述第三固定元件（26）和所述第四固定元件（28）如下地构造，使得所述第三固定元件和所述第四固定元件相应地在所述第一位置（P1）处或在所述第三位置（P3）处沿垂直于所述纵向方向（X）伸延的横向方向（Y）和沿垂直于所述测量分度平面（20）伸延的高度方向（Z）刚性地在所述中间承载件（14）处承载所述比例尺（16）。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的组件（10），其中，所述主承载件（12）具有多个另外的固定元件（30.1至30.4），其中，所述另外的固定元件（30.1至30.4）集成到所述主承载件（12）中，并且其中，所述另外的固定元件（30.1至30.4）沿纵向方向（X）分布地布置在所述第一固定元件（22）与所述第二固定元件（24）之间并且如下地构造，使得所述另外的固定元件在多个与所述第一位置（P1）和所述第二位置（P2）不同的另外的位置（Q1至Q4）处沿纵向方向（X）和沿垂直于所述纵向方向（X）伸延的横向方向（Y）相对于所述主承载件（12）能够自由地运动地承载所述中间承载件（14）。
7.根据权利要求6所述的组件（10），其中，所述另外的固定元件（30.1至30.4）如下地构造，使得所述另外的固定元件在所述另外的位置（Q1至Q4）处围绕配属于所述另外的位置（Q1至Q4）的、相应地垂直于所述测量分度平面（20）伸延的转动轴线相对于所述主承载件（12）能够自由地转动地承载所述中间承载件（14）。
8.根据权利要求6或7所述的组件（10），其中，所述另外的固定元件（30.1至30.4）如下地构造，使得所述另外的固定元件在所述另外的位置（Q1至Q4）处沿垂直于所述测量分度平面（20）伸延的高度方向（Z）刚性地在所述主承载件（12）处承载所述中间承载件（14）。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的组件（10），其中，所述第一固定元件（22）和所述第二固定元件（24）布置在所述主承载件（12）的彼此对置的端部处。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的组件（10），其中，所述比例尺（16）具有带有两个彼此对置的侧面（62、64）的直角形的横截面，所述侧面分别横向于所述纵向方向（X）伸延，其中，所述第三固定元件（26）和所述第四固定元件（28）布置在所述中间承载件（14）上并且如下地构造，使得所述第三固定元件和所述第四固定元件在所述彼此对置的侧面（62、64）处接触所述比例尺（16）。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的组件（10），其中，所述第一固定元件（22）、所述第二固定元件（24）、所述第三固定元件（26）和/或所述第四固定元件（28）相应地具有固定体关节（32至38）。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的组件（10），其中，所述第一固定元件（22）和/或所述第二固定元件（24）分别具有至少两个板簧（32.1至32.4；34.1、34.2），其中，每个板簧（32.1至32.4；34.1、34.2）沿垂直于所述测量分度平面（20）伸延的高度方向（Z）延伸。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的组件（10），其中，所述主承载件（12）和所述中间承载件（14）具有相同的热膨胀系数。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的组件（10），其中，所述中间承载件（14）和所述比例尺（16）具有不同的热膨胀系数。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的组件（10），其中，所述比例尺（16）由带有在从0°至50°的温度范围内小于1.5x10-6K-1，优选地小于0.1x10-6K-1的热膨胀系数的材料构造。
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