JPH0310746A - 精密加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は精密加工装置に関するものであり、さらに詳
しくは工作物に高精度加工を行なう装置の対熱感度の補
償技術の改良に関するものである。

（従来技術） 反射光学品、赤外線レンズやドーム、球状レンズ、ファ
インセラミック、精密鋳造品などはその特殊な用途の故
に全ての寸法について非常に狭幅の公差が要求されるも
のである。したがってその加工は超精密加工装置による
必要がある。これには一般に高度多軸装置が使用される
が、これはその精度が非常に高度だからである。

この種装置はレースを有しており、これにはスピンドル
を支持した可動スライドと治具を支持しく以下余白） たスライドとが設けられてお６Ｍこれらがスピンドルの
長軸に平行な方向に８劾する。スピンドルに架設された
工作物の加工には通常単結晶ダイアモンド、立体ボロン
ニトライド、カーバイド切削具などが用いられる。特に
単結晶天然ダイアモンド切削具は非鉄金属、高分子、水
晶などの除去によいとされているが、これはその耐久摩
耗性が高く、表面下応力と損傷が少なくて刃質が高いこ
と、摩擦係数が低いこと、化学的に不活性であること、
熱伝導度が高いことおよび熱膨張係数が高いことなどが
理由である。この種のレースはしばしばダイアモンド工
具と呼ばれ、これにより加工された工作物は「ダイアモ
ンド加工された」といわれている。

これは当業者一般に広く知られていることであるが、対
称たると非対称たるとを問わず部品をレース上で加工す
るに際しては、工作物の中心を高精度で位置させること
が要求される。すなわち中心をいかにして工作物を支持
するスピンドルおよびチャックの長軸上に位置させるか
ということである。ダイアモンド工具レースをイするの
はほとんど光学の分野であって、工作物の中心から少し
でも偏倚するとその部品は使いものにならなくなる。数
値制御されたレースは分解器、エンコーダ、インターフ
ェロメーターおよびリニアスケールなどを用いており、
装置のスライドを位置付ける制御器にこれらからの位置
フィードバック情報を与えるようになつている。このフ
ィードバック情報を用いて加工される工作物の中心を位
置させかつモニターしている。対称および非対称部品の
製造に際しては、工作物がスピンドルにより回転される
につれてレースのダイアモンド工具は部品の周辺から工
作物の中心へと移動する。このように工作物を工具が連
続的になぞることにより部品の外形が所望のものになる
まで材料の除去が行われる。したがって各なぞり作業毎
に工作物の中心が正確に位置付けされることが絶対に必
要である。

従来この種の工作物中心位置付は装置にあってはレース
を取巻く環境またはレース部品そのものの温度にに考慮
が払われてなかフた。温度は加工および測定の精度に大
きな影響を及ぼす筈である。レース部品の熱成長は種々
の原因で起こるものであり、例えばモーター、可動部品
、軸受および摩擦などによる熱の発生などが挙げられる
。多くのレースの移動距離はほぼｏ、ｏｏｏ、００１イ
ンチ位であるので、スライドやその支持部材などが大き
く熱膨張すると切削工具の位置付けや工作物の中心位置
付けなどの精度が影響されることになる。

したがって温度上昇によりレース部品の熱膨張が起きる
と、表面切削のための工具によるなぞり作業が連続的な
精度劣化をきたすことになる。

従来からもダイアモンドレースのような高精度装置の対
熱感度を補償しようとする試みはなされている。そのひ
とつに特殊フレームと呼ばれるものがあって、位置検知
機構を具えて加工機械の周りに設けられてその位置検知
機構を機械の負荷支持体から遮断している。すなわち負
荷の変動が位置検知機構および位置測定に影響を及ぼさ
ないように構成されている。

典型的にはこのタイプのフレームＷインターフェロメー
ターなどの制御装置を具えており、これにより高精度の
位置情報を与えるようにしている。この位置情報は工作
物と切削工具の後部と側部に対する測定により得られる
もので、位置測定を行う点は工作物の工作面や工具のチ
ップとは関連なく選ばれる。したがってこの特殊フレー
ムが２軸装置の２個の軸を「リンク」する手法はスピン
ドルと工作物の中心のみを考慮に入れたものである。対
熱感度に間しては、サーボモーターレーザーインターフ
ェロメーターおよびその他のフレーム部品を機械部品か
らは熱的に絶縁して、機械部品の熱膨張による測定誤差
を減らすかなくするように構成されている。

また一部に熱膨張率の低い合金から製造したこの種特殊
フレームもあり、これにより温度変動による影響を抑え
ようと試みられている。しかしこれは材料的にコスト高
となり市販の機オにへの使用は制約されることになる。

また特殊フレームは超精密機械の軸をリンクするもので
あるからして、このような合金を用いる利逆【それだけ
減殺される。従来のこの種特殊フレームの場合全ての変
位測定を１個の共通の特定された軸から行う試みはなさ
れていないのである。したがって測定により得られる位
置情報は限られたものである。

従来の経験からすると、位置検知機構が適切に調整され
た後の初期段階の作業においては上記計測学フレームも
まあまあ許容できる結果を与えるものである。しかしこ
の機構を具えた超精密機械の部品が一旦温度上昇を経る
と、位置検知機構の調整が悪影響を受けることになる。

したがって計測学フレームを具えた超精密ｉｍの場合に
は毎日２〜３回位作業を中断して、工作物の中心に対し
て位置検知機構を再調整する必要がある。またこの調整
もいわゆる試行錯誤方式でしかできない。

特にこれには模造工作物に切削を施し、結果をインター
フェロメーター上で分析し、装置を調整し、完全に調整
が得られるまでこの一連の作業を繰返す必要がある。こ
れは非常に手間が掛りコスト高にもつながり製品製造速
度もそれだけ遅れることになる。加えてこの種計測学フ
レに４”６オ高価であり、設置が複雑であり、場所取り
などの欠点もある。

以上から明らかなように、全加工作業を通してレース部
品の対熱感度を小さくして高精度の位置測定を行ごとの
できる装置が望まれるのである。

そのような装置にあっては、切削工具および工作物に対
して測定される寸法および測定方法などを考慮に入れて
２軸システムの軸をリンクできるものでなければならな
いのである。また現存の装置を容易にそのような能力を
具えた装置に改造できることも望まれるところである。

（発明の要旨） この発明の目的は常時連続的に各部の熱膨張を補償して
高精度の加工を行い得る２軸Ｐｉ密スライド装置を提供
することにある。

このためこの発明においては、ベース上にスライド支体
を設け、このベース上に設けた第１のスライドにより第
１の部材を第１の長軸に沿って移動させるべく構成し、
第２のスライドによりスライド支体上に設けられて最外
面を具えたＮ２の部材を第１の長軸と直交する方向に移
動させるとともにそのＮ１のスライドとの相対移動によ
りＮ１の部材を第２の部材の最外面に接触させるべく構
成し、第１の長軸を通る第１の仮想面とＮ２の部材の最
外面を含む第２の仮想面との交差により測定軸を画定し
、ベースに連結されてかつ測定軸内に配置されたｉｌの
面とベースに連結されてかつ測定軸内に配置された第２
の面とを具えた温度不感体を第２の仮想面内に配置し、
かつ装置の作業中に装置内外の温度が変動した場合でも
定長を保つようにこれを構成し、温度不感体の第２の面
とスライド支体とに芯出し機構を連結して、温度不感体
の第２の面から延在する芯出し面内に固定点を位置せし
め、温度変動により装置の少なくとも一部が膨脹収縮し
た場合でもこの固定点が測定軸に対して静止状態を保持
するようにしたことを要旨とするものである。

（実施態様） ￥％１．２図において、この発明の２軸レース１０のベ
ース１２上にはＺ軸スラーＷ；支体１４が架設されて２
軸スライド１６を支持している。このＺ軸スライド１６
は工具ホルダー１８を支持しており、これに切削工具２
０が２軸スライドの長軸方向に摺動可能に取付けられて
いる。ベース１２上にはＸ軸スライド支体１４と直交し
てＸ軸スライド支体２２が架設されている。このＸ軸ス
ライド支体２２にはＸ軸スライド支体１４の長軸と直交
方向に摺動可能にＸ軸スライド２４が架設されている。

Ｘ軸スライド２４はスピンドル２６を具えており、これ
が例えば４００〜７２０ＯＲＰＭ位で回転する。スピン
ドル２６のチャック２８はレンズ材料などの工作物３０
を切削工具２０に対して正しい位置に支持している。す
なわち工作面３０ａが切削工具２０の切削チップ２０ａ
に対して直角に保持されている。スピンドルの長軸（図
中点線で示す）はチャック２８および工作物３０の中心
軸にもなっている。したがりて第２図に示すように切削
チップ２０ａが該長軸上に位置するとき切削工具２０は
ゼロ半径にあるといわれる。

ベース１２をミカゲ石製にすれば平面を切削形成し易く
、熱膨張係数も比較的低く、温度変動の影響をあまり受
けない、スピンドル２６を空気ベアリング式として液冷
断熱式モーターを具えてもよい、チャック２８を真空式
にして工作物３０を加工位置に保持するようにしてもよ
い。

かかる２軸レース１０は従来からの方式で作用して工作
物３０を所望に形状、寸法および外形に加工するもので
ある。簡単にいうとこの作業においては切削工具２０を
工作物３０に対して位置付けて切削チップ２０ａが工作
面３０ａに接触するようにする。加工に際しては上記し
たように工作物３０の工作面３０ａを横断してなぞり、
このなぞり作業を繰返すことにより工作物３０から材料
を切削除去して所望の形状にするのである。各なぞり作
業は工作物３０の外側周辺から出発し、工作面３０ａを
半径方向に連続的に横断し、工作物３０の中心で停止す
る。

工作物３０の中心は正しい位置に置かれていることが大
事で、特に切削工具２０のｉ−なぞり作業が工作物３０
の正確な中心（またはゼロ半径）で終ることが重要であ
る。この切削工具２０のセロ半径位置を第２図に示す、
後記する位置フィードバック機構は工作面３０ａに対す
る切削チップ２０ａのＸおよびＸ方向の位置に関する正
確な測定情報を与えるものである。しかしこの位置フィ
ードバック機構だけではこれら方向におけるレース１０
の対熱感度を補償することはできないのである。

ここで切削チップ２０ａを水平方向かつ半径方向に移動
させて加工を行うので、レース１０のＹ方向（上下方向
）の熱膨張は工作物３０と切削工具２０とが移動するＸ
およびＸ方向のそれ程には重要ではない、しかし実務上
加工に悪影響を及ぼす程にはレース１０はＹ方向には熱
膨張を示さないのである。

したがりてこの発明においてはＸ方向のスライドとＸ方
向のスライドとをリンクさせることにより温度変動に起
因する加工誤差を小さくしようとするものである。すな
わちこの発明においてはＸおよびＸ方向の測定の基準と
なる測定軸の配置が重要なポイントとなる６図中この測
定軸をＭＡで示すが、これは′！Ｊ１図中において切削
チップ２０ａを含む第１の仮想垂直面！と工作面３０ａ
を含む第２の仮想垂直面ＩＩとの交差点によって画定さ
れるものである。

第１．２図に示すように３第１の仮想垂直面Ｉは切削工
具２０、工具ホルダー１６およびＺ軸スライド１６の長
軸を含んでいる。第２の仮想垂直面ＩｆはＸ軸スライド
２４の運動方向に対して平行である。このような配置に
より２およびＸ方向における切削チップ２０ａの位置は
常に測定軸ＭＡが基準となる。Ｘ方向においては切削工
具２０により除去される材料の量は正確にモニターされ
る。

Ｘ方向においては工作面３０ａ上における切削チップ２
０ａの半径方向位置が正確にモニターされる。要約する
と、異る量の材料が工作面３０ａの異る部分および工作
面３０ａ上の異る半径位置から除去されるように、切削
チップ２０ａの位置をモニターすることができるのであ
る。

工作物３０の工作面３０ａ中の測定軸ＭＡの選択により
レース１０のＺ方向の熱膨張が補償され、これにより熱
膨張に起因する加工誤差が小さくされるのである。

つぎにこの発明において重要なのはＺ１Ｘ軸間の測定軸
ＭＡを用いてリンクを完全に行うということである。す
なわち第３〜５図に示すように延在する温度不感体３２
がスライド１６．２４の下方において第２の仮想垂直面
内でベース１２に接近して設けられている。第４図に示
すようにこの温度不感体３２と鏡とは水平方向にずれて
いてもオフセット状となっていてもよい、ここで重要な
のは温度不感体３２の位置付けである。

後記する理由からこの温度不感体３２は装置内外の温度
変動に関係なく定幅を保つものでなければならない、こ
のために適宜な手段を採用することもでき例えば温度制
御された循環水などを用いてもよい１図示の例にあって
は少なくとも従来のレースに比べて比較的熱膨張係数の
低い材料から構成されている。ある種のガラス合成物を
用いてもよいようで、例えば室温で膨張係数うがゼロで
ある５ｃｈｏｔｔ　Ｇｌａｓｓ社製商品名７：ＥＲＯＤ
ＵＲなるガラス合成物を用いる。その他にもほぼ３６％
のニッケルを含有した鉄合金である商品名ＩＮＶＡＲや
ニッケル含有率の高い鉄などでもよい。

温度不感体３２は測定軸ＭＡ中に第１の面３２ａを有し
ており、第３．４図に示すようにこれが第１のソケット
３４を介してベース１２に連結されている。温度不感体
３２は上方約１インチの位置でベース１２を横断して延
在し、ここでその第２の面３２ｂは第２のソケット３６
を介して縦芯出し機構３８に連結されている。このソケ
ット３Ｂは該機構３８と上下−線上に位置し、該機構３
８は後記するようにＸ軸スライド支体２２と作動連結さ
れている。

縦芯出し機構３８はベース１２から約１インチの点から
上方に延在してＸ軸スライド支体２２と並設されている
。第３．５図に示すようにこの芯出し機構３８はその上
端に基準点ＲＰを有しており、これが温度不感体３２の
第２の面３２ｂと上下同一面内に位置している。この配
置はレース１０の熱生長にも拘らず保持されるようにな
つている。ここで温度不感体３２は基準点ＲＰと測定Ｍ
ＭＡとの関係を定める役割を有している。この点につい
ては後記する。

上記の縦芯出し機構３８にまつわる思想そのものは当業
者周知のものであって、例えば科学装置誌（ｎｌＥ　Ｊ
ＯＵＲＮＡＬ　ＯＦ　５ＣＩＥＮＴＩＦＩＣＩＮＳＴＲ
ＵＭＥＮＴＳ）　ノ１９５１年Ｎ２８巻（２月）の論文
「バネの平行直線運動」などにも記載されている。

この芯出し機構３８は温度不感体３２が連結されている
下部からＸ軸スライド２４に対して角度をもって延在し
ている。延在した四角板状の部材を含むリード４０ａと
４０ｂとが設けられてこの縦芯出し機構３８を支持して
いる。第６図に示すようにこれらのリードは締結具４３
ａ〜４３ｄにより保持材４２に固定されており、下方に
延在して縦芯出し機構３８を支持している。リード４０
ａ、４０ｂはそれぞれの下端において締結具第１ａと第
１ｂにより縦芯出し機構３８に固定されている。保持材
４２は縦芯出し機構３８を横断して延在し、締結具４２
ａ〜４２ｃによりＸ軸スライド支体２２に固定されてい
る。リード４０ａと４０ｂとは両側に吸振材４４を具え
ていて、これによりレース１０の作業中リードと縦芯出
し機構３８に現れる振動を抑止している。

リード４０ａ、４０ｂには好ましくは予応力が掛けられ
ており、これによりソケット３４．３６間において温度
不感体３２に圧縮を加えられるようになつている。かく
してリードはベース１２に固定されたソケット３４に対
して温度不感体３２を押し付ける。これによりＸ方向に
レース１０の熱生長が起きてもリードが弛緩される。す
なわちリードの頂部は保持材４２と一緒に移動する。こ
の結果リード４０ａ、４０ｂは下端について軸転し互い
に平行に保たれる。かくして基準点ＲＰは温度不惑体３
２の第２の面３２ｂと上下−線状に保たれるのである。

温度不感体３２は比較的熱膨張率の低い材料から形成さ
れているから、長さ方向には膨張しない、かくして基準
、♂ＹＰは第２の面３２ｂと同じ垂直面内に保持される
のみならず、第１の面３２ａを含む測定軸ＭＡに対して
も同じ位置に保持されるのである。

またこの発明においては好ましくは微分面鏡インターフ
ェロメーターを位置測定に利用する。このインターフェ
ロメーターは隼なるフィードバックセンサーであって、
２点間にレーザービームを発生させることにより該点間
の距離を測定するものである。

第３〜５図においてレース１０はＸ軸スライド２４上に
置かれたＸ軸可動鏡４６を有しており、これが工作物３
０の中心を含むスピンドル２６の長軸と同じ面内に位置
している。Ｘ軸静止鏡４８は芯出し機構３８の上部に固
定されて基準点ＲＰを有している。縦芯出し機構３８の
熱膨張によりこのＸ軸静止鏡４８にも同じような垂直お
よび水平移動は起きるものの、Ｘ軸での測定がなされる
軸に直交する面内で起きるのであるから、この移動は対
したものではない、したがってこのような移動は両鏡４
６．４８間の測定ｄ響を及ぼすものではない。

第３図に示すようにＸ軸し−ザーインターフェロメータ
ー５０が設けられていて、レーザーを発生して可動鏡４
６を通して静止状４８に向わしめここで反射して静止状
４８に戻らせるようになっている。勿論縦芯出し機構３
８の上部とＸ軸静止鏡４８には適宜な開口などを形成し
て、インターフェロメーター５０からのレーザーを通過
させるようにしてもよい、このように構成することによ
り両ｕｔ４６．４８間の距離が正確に測定される。

基準点ＲＰが測定軸ＭＡに対して常に静止しているから
、両鏡４６．４８間の測定は簡単に変換されて、この測
定を測定軸ＭＡからの測定の基準とできる。Ｘ軸可動鏡
４６が工作物３０の中心と一線状であるから、インター
フェロメーター５０により与えられる情報を用いて切削
工具２０を工作物３０の中心または工作面３０ａ上のい
かなる位置にも位置させることができる。

Ｚ方向または２軸スライド１６上での切削工具２０の運
動に関しては、第４図に示すようにＺ軸スライド１６の
前面上にＺ軸可動１ｉ５２が設けられている。Ｚ軸静止
１１５４は２軸スライド支体１４の延長線上に設けられ
ており、可動鏡５２とともにＺ軸インターフェロメータ
ー空所を画定している。ここで重要なことはこの静止ｔ
１５４が工作物３０の工作面３Ｑａを含む第２の仮想垂
直面！■内に位置しているということである。２軸レー
ザーインターフエロメーター（図示せず）はインターフ
ェロメーター５０と同様に作用して、両鏡５２．５４間
の距離を測定する。この情報はインターフェロメーター
５０から得られた情報と共に演算に使用される。これに
より切削工具２０が工作物３０に加工を施せる加工深さ
が連続的かつ正確にモニターされるのである。このイン
ターフェロメーターからのこの情報は工作物３０の角位
置をモニターする他のセンサーからの情報とも共用でき
るものである。このような情報交換によりコンピュータ
ーはいかなる所望の加工佐賀にも切削工具２０を８勤さ
せることができる。

この発明の装置の他実施憇様を≠外因に示す゛。

前記のものとの違いは切削工具と工作物が設けられたス
ライドを逆にした点である。２軸スライド１１６上には
スピンドル１２６とチャック１２８と工作物１３０とが
設けられておいて、これらの中心を通る′！Ｊ１の長軸
に沿って移動する。工具ホルダー１１８と切削工具１２
０とはベース１１２上のＸ軸スライド１２４上に架設さ
れており、工作物１３０の工作面１３０ａを横切って移
動する。この実施態様の場合前記の実施態様に比べて測
定軸ＭＡの設定を変えるだけでよい、第１の仮想垂直面
■は工作物１３０の中心を含んでおり、第２の仮想垂直
面！■は切削工具１２０の切削チップ１２０ｍを含んで
いる。

以上から明らかなようにこの発明の装置は組立てがＩ’
ＪＪＩＬであり、また既存の機構にも装填できて再調整
の必要を低減する。精々月１回以下位でいいのである。

基準点ＲＡをレースの熱生長間温度不感体３２の第２の
面３２ｂと同一垂直面内に保持するためには温度不感体
３２を圧縮させるだけには限らない。重要なことは基準
点ＲＡが測定軸ＭＡに対して不動であるということであ
る。

さらに、この発明は特に機械加工装置に適用可能である
が、これはまた精密操作が行なわれるべき他のタイプの
機械にも応用を有する。たとえば、この発明は、切削操
作よりもむしろ測定操作が工作物の表面上で行なわれる
計測学的装置に適用され得る。このような応用では、好
ましい実施例の切削工具２０は工作物の表面を検知する
ため接触プローブまたは非接触プローブにより置き換え
られてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の精密加工装置の一実施態様の平面図
、 第２図は同じくゼロ半径において切削工具が工作物と接
触した状態での平面図、 第３図はその全面図、 第４図はＸＳｚ軸スライドの側面図、 第５図は縦芯出し機構の拡大図、 第６図はその一部を示す平面図、 第７図はこの発明の加工装置の他の実施態様を示す平面
図である。 １０・・・レース ２０・・・切削工具 ３２・・・温度不感体 ３８・・・縦芯出し機構 １２・・・ベース ３０・・・工作物

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］ベース（１２）およびこのベース上のスライド支
   体（１４）と、 ベース上に位置して第１の長軸に沿って切削工具（２０
   ）を移動させる第１のスライド（１６）と、 スライド支体上に設けられて工作面（３２ａ）を具えた
   工作物（３０）を第１の長軸と直交する方向に移動させ
   、かつ第１のスライドと相対移動して切削工具を工作物
   の工作面と接触させる第２のスライド（２４）と、 第１の長軸を通る第１の仮想面（Ｉ）と工作物の工作面
   を含む第２の仮想面（ＩＩ）との交差により画定される
   測定軸（ＭＡ）と、 ベースに連結されてかつ測定軸内に配置されたた第１の
   面（３２ａ）と第２の面（３２ｂ）とを具え、第２の仮
   想面内に配置され、かつ装置の作業中に装置内外の温度
   が変動した場合でも定長を保持するべく構成された温度
   不感体（３２）と、温度不感体の第２の面とスライド支
   体とに連結され、温度不感体の第２の面から延在する芯
   出し面内に位置する固定点（ＲＰ）を有し、温度変動に
   より装置全体または一部が膨張収縮した場合でも該固定
   点が測定軸に対して静止状を保持すべく構成された芯出
   し機構（３８）とを 含んでなる精密加工装置。 ［２］温度不感体（３２）が水平であり、測定軸（ＭＡ
   ）が垂直であって、かつ 第２のスライド（２４）の移動方向が第１の長軸と直交
   する ことを特徴とする請求項１に記載の装置。 ［３］温度不感体（３２）がスライド支体 （１４）構成材料より熱膨張率の小さい材料から構成さ
   れている ことを特徴とする請求項１に記載の装置。 ［４］温度不感体（３２）が芯出し機構（３８）により
   圧縮を負荷されている ことを特徴とする請求項３に記載の装置。 ［５］温度不感体（３２）が芯出し機構（３８）により
   圧縮を負荷されている ことを特徴とする請求項１に記載の装置。 ［６］芯出し機構（３８）が温度不感体に圧縮を負荷す
   べく予応力を掛けられた少なくとも１本のリード（４０
   ）によりスライド支体（１４）に連結されている ことを特徴とする請求項５に記載の装置。 ［７］リード（４０）が吸振材（４４）を有している ことを特徴とする請求項６に記載の装置。 ［８］スライド支体（１４）には保持材（４２）が連結
   されて芯出し機構（３８）をスライド支体と並設させる
   とともにリード（４０）をスライド支体に連結している ことを特徴とする請求項６に記載の装置。 ［９］温度不感体（３２）の第１の面（３２ａ）が第１
   のソケット（３４）によりベース（１２）に連結され、
   かつ第２の面（３２ｂ）が第２のソケット（３６）によ
   り芯出し機構（３８）に連結されている ことを特徴とする請求項４に記載の装置。 ［１０］温度不感体（３２）の第１の面（３２ａ）が第
   １のソケット（３４）によりベース（１２）に連結され
   、かつ第２の面（３２ｂ）が第２のソケット（３６ｂ）
   により芯出し機構（３８）に連結されている ことを特徴とする請求項６に記載の装置。 ［１１］温度不感体（３２）がガラス合成物から構成さ
   れている ことを特徴とする請求項３に記載の装置。 ［１２］温度不感体（３２）がＺＥＲＯＤＵＲから構成
   されている ことを特徴とする請求項１１に記載の装置。 ［１３］温度不感体（３２）がガラスの合成物から構成
   されている ことを特徴とする請求項３に記載の装置。 ［１４］温度不感体（３２）がＺＥＲＯＤＵＲから構成
   されている ことを特徴とする請求項３に記載の装置。 ［１５］温度不感体（３２）が水平でかつ第１と第２の
   スライド（１６、２４）の下方に配置されている ことを特徴とする請求項３に記載の装置。 ［１６］温度不感体（３２）が芯出し機構（３８）によ
   り圧縮を負荷されている ことを特徴とする請求項１５に記載の装置。 ［１７］少なくとも１本のリード（４０）が芯出し機構
   （３８）をスライド支体（１４）に連結し、かつ温度不
   感体（３２）に圧縮を負荷すべく予応力を掛けられてい
   る ことを特徴とする請求項１６に記載の装置。 ［１８］保持材（４２）がリード（４０）をスライド支
   体（４０）に連結するとともに、芯出し機構（３８）を
   スライド支体と並設状に保持することを特徴とする請求
   項１７に記載の装置。 ［１９］温度不感体（３２）が第１のソケット（３４）
   によりベース（１２）に連結され、かつ第２のソケット
   （３６）により芯出し機構（３８）に連結されている ことを特徴とする請求項１８に記載の装置。 ［２０］芯出し機構（３８）上の固定点（ＲＰ）と工作
   物（３０）の中心との間の距離を測定する手段が設けら
   れている ことを特徴とする請求項１に記載の装置。 ［２１］切削工具（２０）と工作物（３０）との間の距
   離を測定する手段が設けられている ことを特徴とする請求項２０に記載の装置。 ［２２］芯出し機構（３８）上の固定点（ＲＰ）と工作
   物（３０）との間の距離を測定する手段が設けられてい
   る ことを特徴とする請求項８に記載の装置。 ［２３］切削工具（２０）と工作物（３０）との間の距
   離を測定する手段が設けられている ことを特徴とする請求項２２に記載の装置。 ［２４］ベース（１２）およびこのベース上のスライド
   支体（１４）と、 ベース上に位置して第１の長軸に沿って第１の部材（２
   ０、３０）を移動させる第１のスライド（１６）と、 スライド支体上に設けられて最外面を具えた第２の部材
   （２０、３０）を第１の長軸と直交する方向にい移動さ
   せ、かつ第１のスライドと相対移動して第１の部材を第
   ２の部材の最外面（２０ａ、３０ａ）と接触させる第２
   のスライド（２４）と、 第１の長軸を通る第１の仮想面（Ｉ）と第２の部材の最
   外面を含む第２の仮想面（ＩＩ）との交差により画定さ
   れる測定軸（ＭＡ）と、 ベースに連結されてかつ測定軸内に配置された第１の面
   （３２ａ）とベースに連結されてかつ測定軸（ＭＡ）内
   に配置された第２の面（３２ｂ）とを具えて第２の仮想
   面内に配置され、かつ装置の作業中に装置内外の温度が
   変動した場合でも定長を保持するべく構成された温度不
   感体（３２）と、 温度不感体の第２の面とスライド支体とに連結され、温
   度不感体の第２の面から延在する芯出し面内に位置する
   固定点（ＲＰ）を有し、温度変動により装置全体または
   一部が膨脹収縮した場合でも該固定点が測定軸に対して
   静止状を保持すべく構成された芯出し機構（３８）とを 含んでなる精密加工装置。 ［２５］第１の部材が切削工具（２０）であって、第２
   の部材が工作物（３０）であって、かつ最外面が工作物
   の工作面（３０ａ）である ことを特徴とする請求項２４に記載の装置。 ［２６］温度不感体（３２）がスライド支体（１４）を
   構成する材料よりも熱膨張率の小さい材料から構成され
   ている ことを特徴とする請求項２５に記載の装置。 ［２７］第１の部材が工作物（３０）であり、第２の部
   材が切削工具（２０）であり、かつ最外面が切削工具の
   切削チップ（２０ａ）である ことを特徴とする請求項２４に記載の装置。 ［２８］温度不感体（３２）がスライド支体（１４）を
   構成する材料よりも熱膨張率の小さい材料から構成され
   ている ことを特徴とする請求項２７に記載の装置。 ［２９］ベース（１２）およびこのベース上のスライド
   支体（１４）と、 ベースに連結された第１の面（３２ａ）と第２の面（３
   ２ｂ）とを具えて、かつ装置の作業中に装置内外の温度
   が変動した場合でも定長を保持するべく構成された温度
   不感体（３２）と、 温度不感体の第２の面とスライド支体とに連結され、温
   度不感体の第２の面から延在する芯出し面内に位置する
   固定点（ＲＰ）を有し、温度変動により装置全体または
   一部が膨張収縮した場合でも該固定点が測定軸に対して
   静止状を保持すべく構成された芯出し機構（３８）とを ベース上に位置して第１の長軸に沿って第１の部材（２
   ０、３０）を移動させる第１のスライド（１６）と、 スライド支体上に設けられて最外面を具えた第２の部材
   （２０、３０）を第１の長軸と直交する方向にい移動さ
   せ、かつ第１のスライドと相対移動して第１の部材を第
   ２の部材の最外面（２０ａ、３０ａ）と接触させる第２
   のスライド（２４）と、 第１の長軸を通る第１の仮想面（Ｉ）と第２の部材の最
   外面を含む第２の仮想面（ＩＩ）との交差により画定さ
   れる測定軸（ＭＡ）とを 含んでなる精密加工装置。 ［３０］可動器械を用いて工作物上で精密操作を行なう
   ための装置であって、ベース１２と、第１の軸に沿って
   移動するため前記ベース上に装着されかつ前記軸に沿っ
   て移動するため工作物を支持するようにされた第１の支
   持体と、前記第１の軸に直交する第２の軸に沿って移動
   するため前記ベースに装着されかつ前記第２の軸に沿っ
   て移動するため前記器械を支持するようにされた第２の
   支持体と、前記第１の軸に沿って工作物の位置を検出す
   るための位置検出手段とを備え、 前記位置検出手段は前記第１の軸から固定された距離に
   装着される基準エレメント４８を含み、前記固定された
   距離は温度不感エレメント３２によって規定されること
   を特徴とする、装置。