JP2020144114A - メイン支持部と、当該メイン支持部に配置された中間支持部と、当該中間支持部に配置されたスケールとを有する装置 - Google Patents
メイン支持部と、当該メイン支持部に配置された中間支持部と、当該中間支持部に配置されたスケールとを有する装置 Download PDFInfo
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006094 Zerodur Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- -1 for example Chemical class 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000009763 wire-cut EDM Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
- G01D5/24433—Error prevention by mechanical means
- G01D5/24442—Error prevention by mechanical means by mounting means
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
- F16M11/02—Heads
- F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/20—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
- F16M11/02—Heads
- F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
- F16M11/043—Allowing translations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
- F16M11/02—Heads
- F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
- F16M11/06—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
- F16M7/00—Details of attaching or adjusting engine beds, frames, or supporting-legs on foundation or base; Attaching non-moving engine parts, e.g. cylinder blocks
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/02—Rulers with scales or marks for direct reading
- G01B3/04—Rulers with scales or marks for direct reading rigid
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- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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Description
Claims (15)
- メイン支持部(12)と、該メイン支持部(12)上に配置された中間支持部(14)と、該中間支持部(14)上に配置されたスケール(16)とを有する装置(10)であって、前記スケール(16)が長手方向(X)に延在しており、前記スケール(16)が、測定目盛り平面(20)に配置された、少なくとも長手方向(X)における位置測定のための測定目盛り(18)を備えている、前記装置において、
前記メイン支持部(12)が、第1の固定要素(22)及び第2の固定要素(24)を備えており、該第1の固定要素(22)及び該第2の固定要素(24)が前記メイン支持部(12)に統合されており、該第1の固定要素(22)及び該第2の固定要素(24)が長手方向(X)に互いに離間して配置されていること、前記第1の固定要素(22)が、第1の位置(P1)で、長手方向(X)において前記中間支持部(14)を前記メイン支持部(12)に対して固定して支持するように形成されていること、前記第2の固定要素(24)が、前記第1の位置(P1)とは異なる第2の位置(P2)で、長手方向(X)において前記メイン支持部(12)に対して自由に移動可能に前記中間支持部(14)を支持するように形成されていること、前記装置(10)が、第3の固定要素(26)及び第4の固定要素(28)を備えており、該第3の固定要素(26)及び該第4の固定要素(28)が軸方向(X)に互いに離間して配置されていること、並びに第3の固定要素(26)が、第1の位置(P1)で、長手方向(X)において前記中間支持部(14)に固定して前記スケール(16)を支持するように形成されていること、前記第4の固定要素(28)が、前記第1の位置(P1)及び前記第2の位置(P2)とは異なる第3の位置(P3)で、長手方向(X)において前記中間支持部(14)に対して自由に移動可能に前記スケール(16)を支持するように形成されていることを特徴とする装置。 - 前記第1の固定要素(22)が、前記第1の位置(P1)において、前記測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びて前記第1の位置(P1)に割り当てられた回転軸線(R1)を中心として前記メイン支持部(12)に対して自由に回転可能に前記中間支持部(14)を支持するように形成されており、前記第2の固定要素(24)が、前記第2の位置(P2)において、前記測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びて前記第2の位置(P2)に割り当てられた回転軸線(R2)を中心として前記メイン支持部(12)に対して自由に回転可能に前記中間支持部(14)を支持するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の装置(10)。
- 前記第1の固定要素(22)及び前記第2の固定要素(24)が、それぞれ前記第1の位置(P1)あるいは前記第2の位置(P2)で、前記長手方向(X)に対して垂直に延びる横方向(Y)及び前記測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びる高さ方向(Z)において前記中間支持部(14)を前記メイン支持部(12)に固定して支持するように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置(10)。
- 前記第3の固定要素(26)が、前記第1の位置(P1)において、前記測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びて前記第1の位置(P1)に割り当てられた回転軸線(R1)を中心として前記中間支持部(14)に対して自由に回転可能に前記スケール(16)を支持するように形成されており、前記第4の固定要素(28)が、前記第3の位置(P3)において、前記測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びて前記第3の位置(P3)に割り当てられた回転軸線(R3)を中心として前記中間支持部(14)に対して自由に回転可能に前記スケール(16)を支持するように形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記第3の固定要素(26)及び前記第4の固定要素(28)が、それぞれ前記第1の位置(P1)あるいは前記第3の位置(P3)で、前記長手方向(X)に対して垂直に延びる横方向(Y)及び前記測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びる高さ方向(Z)において前記スケール(16)を前記中間支持部(14)に固定して支持するように形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記メイン支持部(12)が複数の別の固定要素(30.1〜30.4)を備えており、該別の固定要素(30.1〜30.4)が前記メイン支持部(12)に統合されており、前記別の固定要素(30.1〜30.4)が、長手方向(X)に分配されて前記第1の固定要素(22)と前記第2の固定要素(24)の間に配置されているとともに、前記第1の位置(P1)及び前記第2の位置(P2)とは異なる複数の別の位置(Q1〜Q4)において、長手方向(X)及び該長手方向(X)に対して垂直に延びる横方向(Y)において前記メイン支持部(12)に対して自由に移動可能に前記中間支持部(14)を支持するように形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記別の固定要素(30.1〜30.4)が、前記別の位置(Q1〜Q4)において、それぞれ前記測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びて前記別の位置(Q1〜Q4)に割り当てられた回転軸線を中心として前記メイン支持部(12)に対して自由に回転可能に前記中間支持部(14)を支持するように形成されていることを特徴とする請求項6に記載の装置(10)。
- 前記別の固定要素(30.1〜30.4)が、前記測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びる高さ方向(Z)における前記別の位置(Q1〜Q4)において、前記中間支持部(14)を前記メイン支持部(12)に固定して支持するように形成されていることを特徴とする請求項6又は7に記載の装置(10)。
- 前記第1の固定要素(22)及び前記第2の固定要素(24)が、前記メイン支持部(12)の互いに対向する端部に配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記スケール(16)が、それぞれ前記長手方向(X)に延びる互いに対向する2つの側面(62,64)を有する長方形状の断面を備えており、前記第3の固定要素(26)及び前記第4の固定要素(28)が、前記中間支持部(14)に配置されているとともに、互いに対向する前記側面(62,64)において前記スケール(16)と接触するように形成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記第1の固定要素(22)、前記第2の固定要素(24)、前記第3の固定要素(26)及び/又は前記第4の固定要素(28)が、それぞれ1つのたわみジョイント(32〜38)を備えていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記第1の固定要素(22)及び/又は前記第2の固定要素(24)が、それぞれ少なくとも2つの板バネ(32.1〜32.4;34.1,34.2)を備えており、各板バネ(32.1〜32.4;34.1,34.2)が、測定目盛り平面(20)に対して垂直に延びる高さ方向(Z)において延在していることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記メイン支持部(12)及び前記中間支持部(14)が、同一の熱膨張係数を有していることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記中間支持部(14)及び前記スケール(16)が、異なる熱膨張係数を有していることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の装置(10)。
- 前記スケール(16)が、0〜50℃の温度範囲で1.5×10−6K−1よりも小さい、好ましくは0.1×10−6K−1よりも小さい熱膨張係数を有する材料から成っていることを特徴とする請求項1〜14のいずれか1項に記載の装置(10)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP19160940.3A EP3705850B1 (de) | 2019-03-06 | 2019-03-06 | Anordnung mit einem hauptträger, einem auf dem hauptträger angeordneten zwischenträger und einem auf dem zwischenträger angeordneten massstab |
EP19160940 | 2019-03-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020144114A true JP2020144114A (ja) | 2020-09-10 |
JP7444627B2 JP7444627B2 (ja) | 2024-03-06 |
Family
ID=65717841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020020495A Active JP7444627B2 (ja) | 2019-03-06 | 2020-02-10 | メイン支持部と、当該メイン支持部に配置された中間支持部と、当該中間支持部に配置されたスケールとを有する装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11519763B2 (ja) |
EP (1) | EP3705850B1 (ja) |
JP (1) | JP7444627B2 (ja) |
KR (1) | KR20200108239A (ja) |
CN (1) | CN111664323B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4286798A1 (de) | 2022-06-01 | 2023-12-06 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Anordnung für eine positionsmessung |
CN115107957B (zh) * | 2022-07-21 | 2023-11-21 | 江苏科技大学 | 一种便于操控的船舶水弹性数据测量设备 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2727769C2 (de) * | 1977-06-21 | 1979-01-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Längenmeßeinrichtung für große Meßlängen |
DE3719409A1 (de) * | 1987-06-11 | 1988-12-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
DE59201940D1 (de) * | 1991-03-25 | 1995-05-24 | Rsf Elektronik Gmbh | Längenmesssystem. |
DE4212970A1 (de) * | 1992-04-18 | 1993-10-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung |
GB9215767D0 (en) * | 1992-07-24 | 1992-09-09 | Lk Ltd | Scale assembly |
DE29521910U1 (de) * | 1995-04-06 | 1998-09-03 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE19512892C2 (de) | 1995-04-06 | 1998-11-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
EP1577053B1 (de) * | 2004-03-01 | 2006-05-24 | FESTO AG & Co | Linearantrieb mit einem von zwei Führungseinheiten flankierten Schlitten |
DE102005027025B4 (de) * | 2005-06-11 | 2015-04-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Halterung für einen Maßstab |
DE102008010284A1 (de) | 2008-02-21 | 2009-08-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | XY-Tisch mit einer Messanordnung zur Positionsbestimmung |
DE102008030718A1 (de) * | 2008-07-01 | 2010-01-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vorrichtung zur klemmenden Befestigung eines Maßstabs |
DE102009044917A1 (de) * | 2009-09-23 | 2011-04-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmesseinrichtung |
DE102014218483B4 (de) * | 2014-09-15 | 2016-10-13 | Deckel Maho Pfronten Gmbh | Positionsmesseinrichtung zum Einsatz an einer Werkzeugmaschine |
ES2621078T3 (es) * | 2014-11-26 | 2017-06-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Dispositivo de medición de longitud |
ES2618065T3 (es) * | 2015-04-08 | 2017-06-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Dispositivo de medición de la longitud |
-
2019
- 2019-03-06 EP EP19160940.3A patent/EP3705850B1/de active Active
-
2020
- 2020-01-03 KR KR1020200000757A patent/KR20200108239A/ko active Search and Examination
- 2020-02-10 JP JP2020020495A patent/JP7444627B2/ja active Active
- 2020-02-27 US US16/802,584 patent/US11519763B2/en active Active
- 2020-03-06 CN CN202010150864.7A patent/CN111664323B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20200108239A (ko) | 2020-09-17 |
US20200284625A1 (en) | 2020-09-10 |
CN111664323B (zh) | 2023-06-13 |
EP3705850A1 (de) | 2020-09-09 |
CN111664323A (zh) | 2020-09-15 |
US11519763B2 (en) | 2022-12-06 |
EP3705850B1 (de) | 2021-12-29 |
JP7444627B2 (ja) | 2024-03-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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