JP5370541B2 - 静圧気体軸受直線案内装置、検査装置及び搬送装置 - Google Patents
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Description
ガイド部材の自重たわみ対策として、ガイド部材を中空構造にすることが考えられるが、例えばセラミックス等の機械的強度が大きい材料で一体中空構造のガイド部材を成形すると、高精度の成形型が必要となり、多品種のガイド部材を短期間で成形することができず、製造コストの面で問題がある。
そこで本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧気体軸受直線案内装置、検査装置及び搬送装置を提供することを目的とする。
また、請求項4記載の発明は、請求項1乃至3の何れか1項の前記静圧気体軸受直線案内装置を備えた検査装置である。
さらに、請求項5記載の発明は、請求項1乃至3の何れか1項の前記静圧気体軸受直線案内装置を備えた搬送装置である。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の静圧空気軸受直線案内装置を示す平面図であり、図2は静圧空気軸受直線案内装置を示す側面図であり、図3は、図1のA−A矢視断面図である。
フレームの機能を兼ねるガイドレール4の両端には、レール支持板8,9が固定されており、レール支持板8,9に掛け渡されるようにして、丸軸状のカウンタガイドレール6,6が、ガイドレール4に平行して配置されている。
歯付きベルト3の一部は、折れ曲がった板状の固定具12により主軸受5に取り付けられている。主軸受5は、ガイドレール4を内包している。
底板5aの内面の両端側、一対の側板5b,5bの内面の上部及び下部、一対の頂板5c,5cの内面には、それぞれグラファイト多孔質で形成された静圧パッド13a〜13hが配置されている。
そして、静圧パッド13a〜13hには、不図示の空気源から圧縮空気が供給され、静圧パッド13a〜13hからガイドレール4に向かって吐出された気体の圧力によって、ガイドレール4に対し主軸受5がわずかに離隔するようになり、殆ど摩擦なく移動できるようになっている。
そして、モータ10が駆動プーリ1を駆動すると、歯付きベルト3を介して、ガイドレール4に沿って主軸受5が殆ど摩擦なく、またカウンタガイドレール6,6に対しカウンタ軸受7,7が殆ど摩擦なく移動される。
本実施形態のガイドレール4は、一対の側板ガイド部材4a,4aと、底板ガイド部材4bとからなる3部材で構成されており、従来のようにセラミックス等の機械的強度が大きい材料で一体中空構造のガイドレールを形成する場合と比較して、各部品を容易に形成することができ、多品種のガイド部材を短期間で成形することができるので、製造コスト低減化を図ることができる。
また、本実施形態のガイドレール4は、一対の側板ガイド部材4a,4aの短尺方向の端部に底板ガイド部材4bを結合して横断面コ字形状とされているので、長尺なガイドレール、或いは横断面サイズが大きいガイドレールになっても、自重たわみの剛性が高い部材とすることができる。
ここで、図4及び図5は、第2及び第3実施形態のガイドレールの横断面形状を示すものである。
図4に示す第2実施形態のガイドレール15は、一対の側板ガイド部材15a,15aと、これら一対の側板ガイド部材15a,15aの下端部間に位置し、一対の側板ガイド部材15a,15aに連結ボルト14を介して結合される一対の底板ガイド部材15b,15bとからなる横断面コ字形状の部材であり、一対の底板ガイド部材15b,15bは、第1実施形態の底板ガイド部材4bを短尺方向に2分割した部材であり、連結ボルト16により結合されている。
本実施形態のガイドレール15も、一対の側板ガイド部材15a,15aと、これら一対の側板ガイド部材15a,15aの短尺方向の端部に結合された一対の底板ガイド部材15b,15bからなる4部材で構成されており、各部品を容易に形成することができ、多品種のガイド部材を短期間で成形することができるので、製造コスト低減化を図ることができる。
また、本実施形態のガイドレール17も、複数の部材17a,17b、17cを横断面コ字形状に結合しているので、長尺なガイドレール、或いは横断面サイズが大きいガイドレールになっても、自重たわみの剛性が高い部材とすることができる。
次に、図6は、第4実施形態のガイドレールを示す平面図である。
本実施形態のガイドレール19は、一方(図6の上側)の側板ガイド部材20と、この一方の側板ガイド部材20と平行に長尺方向(案内方向)に延在する他方の側板ガイド部材21と、これら側板ガイド部材20,21の短尺方向の一端に結合されている底板ガイド部材22とからなる横断面コ字形状の部材である。
また、他方の側板ガイド部材21も、長尺方向(案内方向)に3分割され、第1分割側板ガイド部材21a,第2分割側板ガイド部材21b及び第3分割側板ガイド部材21cで構成されており、これらの部材も、2液性のエポキシ系樹脂接着剤等の接着剤により結合されている。
第1分割底板ガイド部材22a及び第2分割底板ガイド部材22bは、連結ボルトにより一方の側板ガイド部材20(第1分割側板ガイド部材20a,第2分割側板ガイド部材20b及び第3分割側板ガイド部材20c)に結合されている。また、第3底板ガイド部材22c及び第4底板ガイド部材22dは、連結ボルトにより他方の側板ガイド部材21(第1分割側板ガイド部材21a,第2分割側板ガイド部材21b及び第3分割側板ガイド部材21c)に結合されている。
そして、第1分割底板ガイド部材22a及び第2分割底板ガイド部材22bは、上述した2液性のエポキシ系樹脂接着剤等の接着剤により結合されている。また、他方の側板ガイド部材21側に配置した第3底板ガイド部材22c及び第4底板ガイド部材22dは、接着剤により結合されている。
さらに、他方の側板ガイド部材21の第1分割側板ガイド部材21a及び第2分割側板ガイド部材21bが結合する位置(符号F)と、第2分割側板ガイド部材21b及び第3分割側板ガイド部材21cが結合する位置(符号G)とは、底板ガイド部材22を構成する第3分割底板ガイド部材22c及び第4分割底板ガイド部材22dが結合する位置(符号E)に対して長尺方向(案内方向)にずれて形成されている。
また、本実施形態のガイドレール19は、多数の分割された部材で構成されているが、
例えば前述した、第1分割側板ガイド部材20a及び第2分割側板ガイド部材20bが結合する位置(符号B)と、第2分割側板ガイド部材20b及び第3分割側板ガイド部材20cが結合する位置(符号C)とが、第1分割底板ガイド部材22a及び第2分割底板ガイド部材22bが結合する位置(符号D)に対して案内方向にずれて形成されており、案内方向に分割し各部材の結合位置は、短尺方向に隣接している各部材の結合位置に対して案内方向にずれるように形成しているので、分割位置の剛性低下を防止している。したがって、長尺なガイドレール、或いは横断面サイズが大きいガイドレールになっても、自重たわみの剛性が高い部材とすることができる。
また、上記各実施形態では、側板ガイド部材と底板ガイド部材とを連結ボルトで結合しているが、本発明の要旨がこれに限定されるものではなく、部材同士を、接着強度が強く、経年変化も極めて少ない2液性のエポキシ系樹脂接着剤を使用して接着結合してもよい。
また、本発明は各実施形態限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。主軸受5には、カメラに限らず種々の物体や処理装置等を搭載することができる。
Claims (5)
- 案内方向に延在するガイド部材と、このガイド部材に沿って前記案内方向に移動する可動体と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部と、を備えた静圧気体軸受直線案内装置において、
前記ガイド部材は、長尺方向が前記案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材と、これら一対の側板ガイド部材の前記案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、前記案内方向に沿って延在する底板ガイド部材とを備えた少なくとも3つの部材からなる横断面コ字状の部材であり、
前記一対の側板ガイド部材の少なくとも一方は、前記案内方向に分割され、
前記底板ガイド部材は、前記案内方向に分割され、
互いに隣接する前記側板ガイド部材及び前記底板ガイド部材同士は、前記案内方向に結合する位置が互いにずれていることを特徴とする静圧気体軸受直線案内装置。 - 前記底板ガイド部材は、前記短尺方向に分割された部材であることを特徴とする請求項1記載の静圧気体軸受直線案内装置。
- 前記一対の側板ガイド部材の少なくとも一方は、前記短尺方向に分割された部材であることを特徴とする請求項1又は2記載の静圧気体軸受直線案内装置。
- 請求項1乃至3の何れか1項の前記静圧気体軸受直線案内装置を備えた検査装置。
- 請求項1乃至3の何れか1項の前記静圧気体軸受直線案内装置を備えた搬送装置。
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