JP2014168838A - 吸着機構および吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を負圧によって吸着保持するための吸着機構10であり、軸方向に沿って基板を吸着保持するための負圧を与える通気孔311が貫くシリンダシャフト31と、基板に接触すると共にシリンダシャフト31の一端側に取り付けられる吸着パッド32とを備えるシリンダ体30と、シリンダ体30が挿通されると共に圧力に従って当該シリンダ体30を移動可能とするシャフト挿通孔22を備える本体20と、を具備し、本体20には、基板が接触すると共にその接触時には当該基板が規定の姿勢に保たれる基準面26が設けられていて、基準面26には、シャフト挿通孔22が開口して設けられていて、少なくとも吸着パッド32は、基準面26から出入可能に設けられている。
【選択図】図1
Description
図1は、吸着機構10の構成を示す断面図である。本実施の形態の吸着機構10は、本体20とシリンダ体30を主要な構成要素としている。本体20は、本実施の形態では、たとえば2つのブロック状のブロック体21a,21bを突き合わせることにより構成されている。ただし、3つ以上のブロック体21を突き合わせて、本体20を構成するようにしても良い。
以上のような構成の吸着機構10および吸着装置11の動作について、以下に説明する。
以上のような構成の吸着機構10および吸着装置11によると、本体20には、基板Sが接触すると共にその接触時には基板Sが規定の姿勢に保たれる基準面26が設けられていて、基準面26には、シャフト挿通孔22が開口して設けられている。そして、少なくとも吸着パッド32は、基準面26から出入可能に設けられている。基板Sを吸着パッド32に接触させて、当該基板Sを吸着保持している状態で、シリンダ体30を上方に移動させると、基板Sを基準面26に当接させることが可能となる。それにより、基板Sを規定の姿勢に保つことが可能となる。このため、クランプ機構のクランプ部位に対して、基板Sが傾かずに良好にクランプさせることが可能となる。
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
Claims (6)
- 基板を負圧によって吸着保持するための吸着機構であって、
軸方向に沿って前記基板を吸着保持するための負圧を与える通気孔が貫くシリンダシャフトと、基板に接触すると共に前記シリンダシャフトの一端側に取り付けられる吸着パッドとを備えるシリンダ体と、
前記シリンダ体が挿通されると共に圧力に従って当該シリンダ体を移動可能とするシャフト挿通孔を備える本体と、
を具備し、
前記本体には、前記基板が接触すると共にその接触時には当該基板が規定の姿勢に保たれる基準面が設けられていて、前記基準面には、前記シャフト挿通孔が開口して設けられていて、
少なくとも前記吸着パッドは、前記基準面から出入可能に設けられている、
ことを特徴とする吸着機構。 - 請求項1記載の吸着機構であって、
前記本体には、外部へ気体を排出するための第1エアー孔が前記通気孔と連通する状態で設けられていて、
前記シリンダシャフトの外周側には、第1封止部材が設けられていて、この第1封止部材によって前記シリンダシャフトの外周側における前記シャフト挿通孔での前記気体の流通が阻止される、
ことを特徴とする吸着機構。 - 請求項2記載の吸着機構であって、
前記シャフト挿通孔には、前記シリンダシャフトの外周側において外部から気体を供給するための第2エアー孔が連通する状態で設けられていて、
前記第2エアー孔よりも前記基準面から離れる側であって前記シャフト挿通孔の内壁側には、前記第1封止部材が取り付けられていて、
前記シリンダシャフトの外周側のうち前記第2エアー孔よりも基準面側には、第2封止部材が取り付けられていて、この第2封止部材によって前記シリンダシャフトの外周側における前記シャフト挿通孔での気体の流通が阻止される、
ことを特徴とする吸着機構。 - 請求項2または3記載の吸着機構であって、
前記第1エアー孔は、前記シャフト挿通孔よりも小径に設けられていて、この第1エアー孔と前記シャフト挿通孔との境界部分に存在する第1ストッパ面への前記シリンダシャフトの衝突により、前記シリンダシャフトは前記第1エアー孔側に移動するのが規制され、
前記シリンダシャフトには、大径部と、小径部とが設けられていて、前記シリンダ孔部には、前記大径部を前記軸方向に移動自在な状態で位置させるシリンダ孔部と、前記小径部を前記軸方向に移動自在な状態で位置させる接続孔部とが設けられていて、
前記シリンダ孔部と前記接続孔部との境界部分に存在する第2ストッパ面への前記シリンダシャフトの衝突により、前記シリンダシャフトは前記第1エアー孔とは反対側に移動するのが規制される、
ことを特徴とする吸着機構。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の吸着機構であって、
前記基準面には、その基準面から窪むように端面凹部が形成されていて、
前記基板は、前記端面凹部の周囲の前記基準面に接触する状態で、前記端面凹部によって負圧が与えられる、
ことを特徴とする吸着機構。 - 請求項3記載の吸着機構を備える吸着装置であって、
前記第1エアー孔に連結されると共に、前記シャフト挿通孔の内部の排気を行って当該シャフト挿通孔の内部に負圧を与える吸引手段と、
前記第2エアー孔に連結されると共に、前記シリンダシャフトの外周面と前記シャフト挿通孔の内壁との間であって前記第1封止部材と前記第2封止部材とで囲まれる隙間に気体を加圧状態で供給する加圧手段と、
前記吸引手段および前記加圧手段の作動を制御する制御手段と、
を備え、
前記吸着パッドに前記基板が接触した場合に、前記加圧手段により前記隙間へ加圧状態で気体を供給している状態でも、前記吸引手段により前記第1エアー孔と連通する前記シャフト挿通孔内に与えられる負圧による圧力によって前記シリンダ体が前記第1エアー側に移動するように、前記制御手段は前記吸引手段と前記加圧手段の作動を制御する、
ことを特徴とする吸着装置。
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