JPS59219193A - 真空保持型吸着装置 - Google Patents

真空保持型吸着装置

Info

Publication number
JPS59219193A
JPS59219193A JP9526183A JP9526183A JPS59219193A JP S59219193 A JPS59219193 A JP S59219193A JP 9526183 A JP9526183 A JP 9526183A JP 9526183 A JP9526183 A JP 9526183A JP S59219193 A JPS59219193 A JP S59219193A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
suction
vacuum holding
cylinder part
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9526183A
Other languages
English (en)
Inventor
敏幸 中田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP9526183A priority Critical patent/JPS59219193A/ja
Publication of JPS59219193A publication Critical patent/JPS59219193A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明は、各種の組立作桑むをロボットに行なわせる際
の各種ワークの吸11装置に関し、4゛イに所望のワー
クを吸着した後にA空臨の動力を切っても該ワークを吸
着保持できるようにし/こA空保持型吸着装置に関1゛
る。
■ 従来技術と問題点 従来のこの種の真空吸着装Uイは、先端に取シ付りられ
た吸着パッドに連jLIjする真空d+、ξを作動しで
該吸着バッドでワークを牧寿してJj+定の位置まで運
搬していた。しかしこの場合、上記吸着パッドでワーク
を吸着している間は上記f’e Y2源の動力を連続し
て運転し絖けなけれ(徒ならず、運転エネルギを無駄に
消費するもの一〇あった、これに対処して、吸着パッド
でワーク乞吸着したのを検出した後に上記真窒混の速躯
忙停止するという方式もあるが、この場合は吸盾バッド
の131i分から?’:Q源1での距離がある程度長い
の1この間て外気の侵入を完全に遮v1するのか難しく
、上記ワークの吸着力か低下うるものであった。
(3)発1ル」の[1的 本発明は上記の問題点を解消するためになされたもので
、Dr望のワークを吸着した後に真空源の動力を切って
も該ワークを吸着保持できる輿望保尚型吸着装置を提供
することを目的とする。
(4)  発明の41・+1或 そして上記の目的は本発明によれは、真空源と連結され
たシリンタ部を鳴し、このシリンダ部の下端壁に形成嘔
れた摺動口に気密的にスライド可能J能とさi’L内部
には空気流通孔が弁膜された真空保持lb材を嵌挿し、
上記空気流通孔の上端部をシリンタ゛部の下端壁内面に
て開放、閉塞可能とすると共に上記真空保持部材の長手
方向中間部の外周部にフランジを突設しこの72ン接し
て該地位の摺動口を密閉うるシール部杓盆設は且つ該真
空保持部材の1端には土罷窒気流通孔と連通ずる吸着パ
ッドケ設(づ、さらに上記A窒保持部@を常時シリンダ
部下端〃・ら下向きに突出令J勢してなυ、上記シリン
タ部内を負圧にして吸シロバッドをワークに押圧するこ
とによシ該ワークを吸着し、このワークを運搬状g←で
は上記真空保持部材内の負圧でその吸第1を保持し、該
ワークを所定場所に抑圧しなから1〃〈ことによシその
吸着を解除するようにしたことをlrM徴とする真窒保
持型吸庸装匝を提供づることによって連成される。
(5)  発明の実施例 以下、本発明の実施例を添伺図面vc基いで詳細に説明
する。
第1図は本発明による真空保持型吸処装置西【すを示す
断面図である。シリンタ部1は、その上端部が図示外の
^空ポンプ等の真空綜に連結されておシ、矢印へのよう
にその内部の空気が引き抜かれる。
上記シリンタ部1の]端壁2には、適宜の直径の摺動口
3が弁膜され、この摺動口3には真空保持部材4か1m
挿されている。この真空保持部材4は、上記シリンダ部
1内の負圧状態を後述の吸着バッド16に連通ずると共
にその内部を上記負圧状’L2jの1.址に保持するも
ので、その長手方向の中心慣;目t1−には空気流通孔
5が穿設されると共に、土i己摺!i1υ口3の内筒面
に設けられたシールリンク6によって気密が保持された
状態で矢印13、Cのように上下方向にスライド可能と
されでいる。ぞして、上記真空保持部材4の上端には大
径の円板部材7が一体的に形成されており、この内部V
C−は上記空気流通孔5の上端部とス東通されて外周方
向に延び更に下向きに折υ曲けられて上記シリンダ部1
内に開口する連通孔8が穿NZされ、上記円板部材Tの
下i]lVこて該埋j[u孔8の)司囲にはシリンダ部
1の下端壁2との空気もれt防止するゴム等のシール部
伺9が貼設されている。
上記A窒保持郁拐4の下端部には、Cリング10等によ
りバネ用7ランジ11が網りイリけられており、このバ
ネ用7ランジ11の上面と上記シリンタ部1の下m」と
の同には復旧バλ・12か介装されている。この復旧バ
ネ12は、tl」えはコイルスプリングであり、上記真
空保持部材4を常時シリンダ部1の下端から1回きに突
出するように伺勢している。したがって、1lii常は
上記復旧バネ12の付勢力によって真?P保狩畑何4は
矢印C方向に押し下けられ、その上!晶の円板′ISb
材7(7)連通孔8はシール部材91閉塞されている。
なお、上記バネ用7ンンジ11はCリング10で取υ伺
けるものに限られず、A空保持部拐4の下端部に一体的
に形成してもよい。
上記^空保持部伺4の長手方向中間部の外周部には、シ
ール用フランジ13がナツト14等で取シ伺けられ、こ
のシール用7ランシ13の上面全周にはゴム等のシール
部材15か貼設されている。このクール部材15は、上
記A望保持部@′4を矢印B方向に押し上り゛てシリン
ダ部1内の負圧状RA4を窒グ(泥通孔5に迎辿したと
き、シーリンダ乃b1の下g高壁2の摺動口3と該真空
保持都側4の外1.d凹とのずき間から外気が侵入して
負圧力が低下するのを防止するもので、上記真?と保持
tlili *3’ 4の矢印B方向への押し上けによ
り上記ゾリンタ゛部1の摺動口3の部分を密閉するよう
になっている。
さらに上記A窒保持部柑4の下端には、吸着パッド16
が取りイ1けられている。この吸着パッド16は、上記
シリング部1内の負圧状態が上記真空気持部材4を介し
て連通されてその負圧でワーク17を吸jMするもので
、例えはゴム等の弾力性を/bするもので形成ちれると
共にそのj↓(面は凹曲面状に〕=成され全体として吸
盤状になっている。
このように41〜成された真空保持型液層装置Eの作動
について第2図(a)〜(e、)を参照して説明する。
まず、(’a)図に示すように、真空保持型職層装置i
 kLを適宜の台18上に載置された適宜のワーク17
の上方に移動させて矢印りのように全(+を下降させる
。このように下降していくと、下yit^の吸着パッド
16が(b)図に示すまうにワーク17の上′Ui]1
に当接し、芒らに吸凋鉄g4 Bを矢印1〕のように下
降毛せると復旧バネ12を収縮さぜながら下降し、この
復旧パイ・12及びバネ用フランジ11を介し又上り己
りμ(着)くラド16がワーク17に強く押圧される。
すると、上記A窒保持部伺4はシリンダ部1に対して相
対的に矢印B方向に上昇し、その中間品に設けられたシ
ール用フ2ンジ13の土ih+に貼設されり’/ −#
 部@’ 15かシリンダ部10下り偏壁2の底面に当
接するまで上昇する。このとき、A望保持部倒4上端の
円板ffl’7の埋辿孔871IrJ放されると共に、
シリング部10丁IGiMA\(2のI’i!J jf
+υ口3が上記シール部材15でWl閉され4.。そし
て、上記シール部拐15がシリンダ部1の下端壁2に当
接したことを適宜の検知器で検出し、この検知器からの
信号に1つ1上i己シリンダ部1に連結された図示外の
49源の動力を運転して該シリンダ部1内の窒気奮矢印
Aのように引き抜いて上記シリンタ部1内を負圧状態と
する。
すると、上孔シリンタ部1内の負圧状態が真窒仙;軸音
1・+A4の空気011通孔5に連通して上記吸着パッ
ド16かワーク17を吸着する。
次に、このように吸着パッド16がワーク1Tを吸>n
 L lこのを4す)出したら1及着装(5Eは、(e
)図に示すように、矢印Uのように上昇する。このとき
1.白、空気(1部し4とt1+1着バッド16とは1
だ(り図に示ず位iI賃にあシ、シリンダ部1の上昇に
伴なっで俣旧バネ12だけが伸長する。
この仮旧バZ・12の伸長に伴なって上記−1竿保持↑
?l!、 4′A44J、シリンダ部1に対して相対的
に矢印C方向に下降し、ぞの土yifiの円板部伺7の
下面のゾール■11拐9がシリンダ部1の下端壁2に上
記復旧パイ・12の弾発力及びワークの自重によって四
層してAs jlJi孔8が閉塞される。この結果、」
記1c空保持’tl〉4S34の空気流通孔5内は負圧
状態に保持されワーク17は吸着バンド16に吸着され
た1′まとなる。このような状態になったことをリミッ
トスイッチ等で検出して、図示外の真空源の動力を切る
。すると、上記シリンダ部1内はしだいに外気出と等し
くなシ′帛圧状態となる。しかし、上記のように真空保
−1号都伺4内は負圧状態に保たれているの1、上記吸
着ハツト16はワーク17’に吸着しており、この状態
で吸ル装置E全体を移動して、土り己ワーク1Tを所定
の場所に運搬する。
次に、上記ワーク17を所定jA4 j)i 19に運
搬したら、(d)図に示すように、矢印1)方向に吸着
装置崎Eの全体を下降させる。このように下降していく
と、ワーク17の下面かP)+矩場n119に押圧当接
し、さらにそのまま吸xL杏・、 U、T 11;を矢
印り方向に下降させると復旧バネ12 k ’DCI(
riさせなから下降し、上記真空保持部04(・ニジリ
ンダ部1に対して相対的に矢印B方向に上昇する。
この結果、その上端の円也部伺7の力1辿孔8か開放さ
れ、上記シリンダ部1内の′帛圧状席か真空保持部材4
の空気流通孔5に連ju! L、 −t (’の内部が
常圧となり、上記吸着バット16−ワーク1Tの吸着を
解除する。
乙のようにして1及着バッド16がワークITの吸フン
tを短t VJE したところで、(e)図に示ずよう
に、」v已τノーク17を所定場所19に置いて吸着装
置i’i: E&;J矢印Uのように上昇し、別のワー
ク17を連系うベ<4′+0’元の位猶へ戻る。以下・
同村くにして上記(a)〜(e)の動作を繰シ返えして
ワーク1Tを次々に逢搬する。
(6)  発明の効果 本う6明は取止のように構成されたので、D[望のワー
ク17を吸着した後に真空源の動力を切ってもその1を
該ワーク11を吸着保持できる。
したかつて、(゛1.空御の與1力の運転をワーク17
の吸着時にのみ限定することができ、従来のような連続
運転を巽さずに:I8i転エネルキを節約することがで
きる。丑だ、ワーク17の吸着保持のだめの真4二保持
部伺4を吸着バッド16の直近に設けたので、その間に
おける外気の侵入Qユはとんどなく、上記吸着パッド1
6によるワーク17の吸7槍力か低下することはほとA
どない。
さらに、リーク1了の吸着、除脱は単に吸着装置igi
 、BをT降したシ或い祉上昇づ4〕たり−(よく、そ
の僅作が1ハ」単である。l)ζ、真空保昂都伺4の中
間部外周面には、ワーク17の眩71.1i・・j+佳
作時81II、2図(1+)参照)にソリンタBD 1
の下端壁2の摺動口3を密閉するシール1弗伺15を・
討&Jたので、土dC吸〃j動作時におりる一i’i:
’=(!保り部(J4の空気流通孔5内の負圧状態の気
密保持を、摺動口3の内周面に設けられた7−ルリンク
6と上記シ゛−ル部@15とで行うことができ、i9高
い気密性ケ保持して吸着力1大きくすることができる。
したかつて、よシ重い1ノークでも違Ifa−j−るこ
とかできる。さらに、J=、ii己ゾール部伺15は、
単にシリンダ都1の下端壁2のj底面に押圧されるだけ
なので、摺i1υ)’、t+: if:にょる劣化は生
ぜず、装置全体の寿命7L長くするとと〃・てきる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるA空抹持型吸ノt1装置に示す断
面図、第2図(a)〜(e)はその作のb状態を示す断
面説明図である。 1・・・・・・ソリンタ部 2・・・・・・下端性( 3・・・・・・4晶1LII力口 4・・・・・・L1空保持部拐 5・・・・・・突気流刈孔 6・・・・・・ソールリング I ・・・ ・・・ 円 オ反 7%  (J8・・・
・・・連通孔 11・・・・・・パイ・用フランジ 12・・・・・・ty、 I+」バネ 13°°゛・・・シー°ル用フランジ 15・・・・・・シール昔1t@ 16・・・・・・1戒膚バツド 17・・・・・・ワーク 出胎大 畠十通株式会社 2(s 2 tl <e) 8

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 真空源と連結されたシリンダ部を翁し、このシリンダ部
    の下端壁に形成された摺動口に気密的にスライド可能と
    され内部には空気流通孔が穿設された真空保持部側を嵌
    挿し、上記空気流通孔の上端部をシリンダ部の下端壁内
    面にて開放、閉塞TjJ能とすると共に上記真空保持部
    14の長手方向中間部の外周面にフランジヲ英設しこの
    フランジの上聞全周には上記シリンダ部の下端壁に当接
    して該部位の摺動口を密閉するシール部刊を設は且つ寂
    真空保持郡拐の下端には上記窒夕L !J++:辿孔と
    遅進する吸着パッドを設け、さらに上記A空保持部柑を
    常時シリンダ部下端から1向きに突出付勢してなり、上
    記シリンダ部内に一負圧にして吸着パッドをワークに押
    圧することによシ該ワークを吸着し、このワークを運搬
    状態では上記真空保持部材内の負圧でその吸着を保持し
    、該ワークを1シ1冗場所に押圧しながら置くことによ
    シその吸着をカ′ト除するようにしたことを特徴とする
    真空保持型吸か装置ハ。
JP9526183A 1983-05-30 1983-05-30 真空保持型吸着装置 Pending JPS59219193A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9526183A JPS59219193A (ja) 1983-05-30 1983-05-30 真空保持型吸着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9526183A JPS59219193A (ja) 1983-05-30 1983-05-30 真空保持型吸着装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59219193A true JPS59219193A (ja) 1984-12-10

Family

ID=14132819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9526183A Pending JPS59219193A (ja) 1983-05-30 1983-05-30 真空保持型吸着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59219193A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014168838A (ja) * 2013-03-05 2014-09-18 Hioki Ee Corp 吸着機構および吸着装置
FR3056135A1 (fr) * 2016-09-22 2018-03-23 C.E.R.M.E.X. Constructions Etudes Et Recherches De Materiels Pour L'emballage D'expedition Prehension d'objet

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014168838A (ja) * 2013-03-05 2014-09-18 Hioki Ee Corp 吸着機構および吸着装置
FR3056135A1 (fr) * 2016-09-22 2018-03-23 C.E.R.M.E.X. Constructions Etudes Et Recherches De Materiels Pour L'emballage D'expedition Prehension d'objet
WO2018055257A1 (fr) * 2016-09-22 2018-03-29 C.E.R.M.E.X. Constructions Etudes Et Recherches De Materiels Pour L'emballage D'expedition Dispositif de prehension muni d'une ventouse d'aspiration

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI724010B (zh) 基板吸著方法、基板保持裝置、基板研磨裝置、彈性膜、基板保持裝置之基板吸著判定方法及壓力控制方法
US3605826A (en) Method and apparatus for filling containers
US5681022A (en) Clamping device
JPS59219193A (ja) 真空保持型吸着装置
JPH07183261A (ja) ウエ−ハ貼付方法
TWI809192B (zh) 環形框之保持機構
JPS5968190U (ja) スラリ−圧送フリ−ピストンポンプ
US6345850B1 (en) Vacuum lifter
TWM564565U (zh) One-way exhaust valve
KR100960306B1 (ko) 진공 펌프용 공기 흡입·배출 구조 및 이를 이용한 진공 펌프
JPS59161289A (ja) 真空保持型吸着装置
JPH0534373Y2 (ja)
JP2003094368A (ja) 真空吸着ハンド
JPS5857940U (ja) リ−ク検査装置
JPS59232740A (ja) エア−スライドシステム
JPH04112789U (ja) 吸着装置
JPS5840338U (ja) ウエハ研削盤用真空吸着装置
JPH0461727A (ja) 蛍光表示管の排気封止装置
JP3045465U (ja) 密封装置
JPH05123990A (ja) 真空吸着搬送装置
JPS5856861U (ja) 焼鈍炉のシ−ル
JPH01135909A (ja) 吸着具
CN118053802A (zh) 一种晶圆键合卡盘组件以及晶圆键合方法
JPH03786B2 (ja)
JP2000289967A (ja) 少なくとも表面が通気性を有する物体に対する吸着治具及びそれを用いた真空吸着吊り上げ装置