JP2014168016A - 撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 - Google Patents
撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014168016A JP2014168016A JP2013039918A JP2013039918A JP2014168016A JP 2014168016 A JP2014168016 A JP 2014168016A JP 2013039918 A JP2013039918 A JP 2013039918A JP 2013039918 A JP2013039918 A JP 2013039918A JP 2014168016 A JP2014168016 A JP 2014168016A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- color filter
- semiconductor layer
- semiconductor
- pixel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】第1導電型の第1半導体層と、第1半導体層に対して入射光の入射側に設けられた第2導電型の第2半導体層と、第2半導体層に対して入射側に設けられた第1導電型の複数の半導体領域と、入射光を透過させるように複数の半導体領域の各々に対応して設けられるカラーフィルタと、複数の半導体領域を互いに分離するように第2半導体層において入射光が入射する深さ方向に設けられ、カラーフィルタの透過波長帯域に対応して深さの異なる、第2半導体層よりも不純物濃度の高い第2導電型の画素分離領域とを備える撮像素子を提供する。
【選択図】図2
Description
特許文献1 特開2005−347691号公報
特許文献2 特開2011−124451号公報
Claims (9)
- 第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層に対して入射光の入射側に設けられた第2導電型の第2半導体層と、
前記第2半導体層に対して前記入射側に設けられた前記第1導電型の複数の半導体領域と、
前記入射光を透過させるように前記複数の半導体領域の各々に対応して設けられるカラーフィルタと、
前記複数の半導体領域を互いに分離するように前記第2半導体層において前記入射光が入射する深さ方向に設けられ、前記カラーフィルタの透過波長帯域に対応して深さの異なる、前記第2半導体層よりも不純物濃度の高い前記第2導電型の画素分離領域と
を備える撮像素子。 - 対応して設けられた前記カラーフィルタの前記透過波長帯域が短波長側であるほど、前記画素分離領域の深さが浅い請求項1に記載の撮像素子。
- 前記画素分離領域は、隣接する前記複数の半導体領域のうち短波長側の前記カラーフィルタが割り当てられた半導体領域を基準として深さが定められている請求項1または2に記載の撮像素子。
- 前記第2半導体層において前記深さ方向に直交する平面方向に前記透過波長帯域に対応して設けられた、前記第2半導体層よりも不純物濃度の高い前記第2導電型の平面分離領域を備える請求項1から3のいずれか1項に記載の撮像素子。
- 前記平面分離領域は、第1領域と、前記深さ方向において前記第1領域よりも深い位置に設けられる第2領域とを有し、
前記第1領域は、対応する前記複数の半導体領域のそれぞれに対して離散的に設けられ、前記第2領域は、対応する前記複数の半導体領域のそれぞれに対して開口を有するように設けられる請求項4に記載の撮像素子。 - 前記平面分離領域は、最も長波長側の前記透過波長帯域に対応して設けられた一様面の第3領域を有する請求項4または5に記載の撮像素子。
- 前記カラーフィルタは、レッド、グリーン、ブルーのフィルタを含む請求項1から6のいずれか1項に記載の撮像素子。
- 前記カラーフィルタは、シアン、マゼンタ、イエローのフィルタを含む請求項1から6のいずれか1項に記載の撮像素子。
- 請求項1から8のいずれか1項に記載の撮像素子を備えた撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013039918A JP6194598B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013039918A JP6194598B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017157704A Division JP2017208574A (ja) | 2017-08-17 | 2017-08-17 | 撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014168016A true JP2014168016A (ja) | 2014-09-11 |
JP6194598B2 JP6194598B2 (ja) | 2017-09-13 |
Family
ID=51617568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013039918A Active JP6194598B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6194598B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020065026A (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113631989A (zh) | 2019-11-25 | 2021-11-09 | 可来灵菇日本株式会社 | 光学装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004152819A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Toshiba Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2007115787A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Nikon Corp | 固体撮像素子 |
JP2008091781A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Toshiba Corp | 増幅型固体撮像素子 |
JP2008098601A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Magnachip Semiconductor Ltd | 改善されたカラークロストークを有するイメージセンサ |
JP2008182076A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びその製造方法 |
US20100102366A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Jong-Jan Lee | Integrated Infrared and Color CMOS Imager Sensor |
JP2010239117A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-10-21 | Canon Inc | 光電変換装置およびそれを用いた撮像システム |
JP2010245100A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Nikon Corp | 固体撮像素子 |
JP2011003716A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Canon Inc | 固体撮像装置、固体撮像装置を用いた撮像システム、および固体撮像装置の製造方法 |
-
2013
- 2013-02-28 JP JP2013039918A patent/JP6194598B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004152819A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Toshiba Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2007115787A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Nikon Corp | 固体撮像素子 |
JP2008091781A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Toshiba Corp | 増幅型固体撮像素子 |
JP2008098601A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Magnachip Semiconductor Ltd | 改善されたカラークロストークを有するイメージセンサ |
JP2008182076A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びその製造方法 |
US20100102366A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Jong-Jan Lee | Integrated Infrared and Color CMOS Imager Sensor |
JP2010239117A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-10-21 | Canon Inc | 光電変換装置およびそれを用いた撮像システム |
JP2010245100A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Nikon Corp | 固体撮像素子 |
JP2011003716A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Canon Inc | 固体撮像装置、固体撮像装置を用いた撮像システム、および固体撮像装置の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020065026A (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
JP7271127B2 (ja) | 2018-10-19 | 2023-05-11 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6194598B2 (ja) | 2017-09-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11843882B2 (en) | Image sensor for compensating for signal difference between pixels | |
US9548328B2 (en) | Solid-state image sensor and camera | |
KR20200090698A (ko) | 이면 조사형 촬상 소자, 그 제조 방법 및 촬상 장치 | |
KR102197476B1 (ko) | 이미지 센서 | |
KR101621158B1 (ko) | 고체 촬상 장치 | |
KR20080026001A (ko) | 이미지 촬상 장치 및 상기 이미지 촬상 장치의 동작 방법 | |
JP2013243324A5 (ja) | ||
US10506187B2 (en) | Image sensor having dual microlenses for each auto-focus (AF) pixel | |
KR20130050867A (ko) | 실리콘 마이크로렌즈들 및 금속 반사기를 갖는 후면 이미지 센서 픽셀 | |
US8072007B2 (en) | Backside-illuminated imaging device | |
JP2009088030A (ja) | 裏面照射型撮像素子 | |
JP2012146920A (ja) | 固体撮像素子 | |
US20120298841A1 (en) | Solid-state image pickup apparatus | |
CN117673105A (zh) | 光检测装置和电子设备 | |
JP2013157442A (ja) | 撮像素子および焦点検出装置 | |
KR20160010986A (ko) | 이미지 센서 | |
KR20150067005A (ko) | 고체 촬상 장치 | |
JP5677238B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
US8350349B2 (en) | Solid-state imaging device, method of manufacturing thereof, and electronic apparatus | |
US10784300B1 (en) | Solid-state imaging devices | |
JP7271127B2 (ja) | 光電変換装置 | |
JP6194598B2 (ja) | 撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 | |
JP2017208574A (ja) | 撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 | |
JP2011061081A (ja) | イメージセンサ | |
US11107853B2 (en) | Photoelectric conversion apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170718 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170731 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6194598 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |