KR102197476B1 - 이미지 센서 - Google Patents
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Abstract
본 기술은 별도의 위상차 검출 센서와 광학계 없이 위상차 오토 포커싱을 수행할 수 있도록 위상차 검출 픽셀을 구비한 이미지 센서를 제공하기 위한 것으로, 복수의 픽셀들이 2차원 배열되어 있는 이미지 센서에 있어서, 상기 복수의 픽셀들 중 적어도 어느 하나의 픽셀은, 기판에 형성된 광전변환층; 상기 광전변환층 상부에 형성된 제1컬러필터층; 및 상기 제1컬러필터층 상에 형성되어 상기 광전변환층의 광 축에 대해 편심된 오픈부를 정의하는 제2컬러필터층를 포함할 수 있다.
Description
본 발명의 실시예들은 반도체 장치 제조 기술에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 위상 차이를 검출할 수 있는 픽셀을 포함하는 이미지 센서에 관한 것이다.
디지털 카메라, 캠코더 등 촬영 장치에 오토 포커싱 시스템(Auto Focus system)이 널리 탑재되고 있다. 오토 포커싱 시스템은 위상차 검출 방식과 콘트라스트 검출 방식으로 구분할 수 있다.
위상차 검출 방식은 이미지 센서와 별도로 위상차를 검출하기 위한 센서를 구비하고, 위상차 검출 센서 출력으로부터 렌즈의 디포커스량을 구해 오토 포커싱을 수행한다. 또한, 위상차 오토 포커싱을 위한 별도의 미러를 필요로한다. 예컨대, DSLR(digital single lens reflection) 카메라에 위상차 오토 포커싱을 적용하기 위해서는 메인 미러 이외에 입사광을 위상차 검출 센서로 유도하기 위한 서브 미러가 구비된다. 위상차 오토 포커싱은 고속 오토 포커싱 및 고성능 오토 포커싱이 가능하다는 장점이 있지만, 위상차 오토 포커싱을 위한 별도의 센서 및 광학계를 필요로하는 고비용의 시스템이다.
반면에, 콘트라스트 검출 방식은 이미지 센서의 이미지 데이터 출력으로부터 고주파 데이터를 추출하고, 추출된 고주파 데이터를 이용하여 오토 포커싱을 수행한다. 따라서, 콘트라스트 오토 포커싱은 이를 위한 신호 처리 회로가 요구되나, 별도의 센서 및 광학계를 필요로하지 않아 비교적 저렴하게 오토 포커싱 시스템을 구축할 수 있다는 장점이 있다. 그러나, 위상차 오토 포커싱에 비해 저속이고 정밀도가 떨어지는 단점이 있다.
본 발명의 실시예는 별도의 위상차 검출 센서와 광학계 없이 위상차 오토 포커싱을 수행할 수 있는 이미지 센서를 제공한다.
본 발명의 실시예는 복수의 픽셀들이 2차원 배열되어 있는 이미지 센서에 있어서, 상기 복수의 픽셀들 중 적어도 어느 하나의 픽셀은, 기판에 형성된 광전변환층; 상기 광전변환층 상부에 형성된 제1컬러필터층; 및 상기 제1컬러필터층 상에 형성되어 상기 광전변환층의 광 축에 대해 편심된 오픈부를 정의하는 제2컬러필터층를 포함할 수 있다.
상기 제1컬러필터층은 상기 복수의 픽셀들에 모두 포함되고, 상기 제2컬러필터층은 상기 복수의 픽셀들 중 일부 또는 모두에 포함될 수 있다. 상기 제1컬러필터층 및 제2컬러필터층은 각각 레드필터, 그린필터 및 블루필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하되, 상기 제1컬러필터층과 상기 제2컬러필터층은 서로 상이한 컬러를 가질 수 있다. 상기 제1컬러필터층 및 제2컬러필터층은 각각 사이안필터, 마젠타필터 및 옐로우필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하되, 상기 제1컬러필터층과 상기 제2컬러필터층은 서로 상이한 컬러를 가질 수 있다. 상기 복수의 픽셀들 중 어느 하나의 픽셀에서 상기 제2컬러필터층은 상기 어느 하나의 픽셀에 인접한 픽셀에서의 제1컬러필터가 상기 어느 하나의 픽셀에서의 제1컬러필터 상으로 확장된 것을 포함할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 이미지 센서는 상기 광전변환층과 상기 제1컬러필터층 사이의 중간층; 및 상기 제1컬러필터층과 상기 제2컬러필터층이 서로 중첩되는 영역에 대응하도록 상기 중간층에 형성된 트렌치를 더 포함할 수 있다. 상기 중간층은 층간절연층 또는 상기 기판을 포함할 수 있다. 상기 제1컬러필터층 또는 상기 제2컬러필터층은 상기 트렌치에 일부 또는 전체가 매립될 수 있다.
또한, 실시예에 따른 이미지 센서는 상기 제1 및 제2컬러필터층 상의 평탄화층; 및 상기 평탄화층 상의 마이크로렌즈를 더 포함할 수 있다. 상기 복수의 픽셀들 중에서 중심부에 위치하는 픽셀은 상기 마이크로렌즈의 광 축과 상기 광전변환층의 광 축이 서로 정렬될 수 있고, 상기 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 상기 마이크로렌즈의 광 축과 상기 광전변환층의 광 축이 점점 더 어긋날 수 있다. 상기 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 상기 마이크로렌즈의 광 축보다 상기 광전변환층의 광 축이 더 외측에 위치할 수 있다.
본 발명의 실시예는 복수의 픽셀들이 2차원 배열되는 이미지 센서에 있어서, 상기 복수의 픽셀들 중 적어도 어느 하나의 픽셀은, 기판에 형성된 광전변환층; 상기 광전변환층 상부에 형성된 컬러필터층; 및 상기 컬러필터층과 동일층에 형성되어 상기 광전변환층의 광 축에 대해 편심된 오픈부를 정의하는 광차단필터층를 포함할 수 있다.
상기 컬러필터층은 상기 복수의 픽셀들에 모두 포함되되, 각각은 상기 광전변환층 전체 또는 일부와 중첩될 수 있다. 상기 컬러필터층이 상기 광전변환층 일부와 중첩되는 픽셀은 나머지 상기 광전변환층과 중첩되는 상기 광차단필터층을 포함할 수 있다. 상기 컬러필터층은 레드필터, 그린필터, 블루필터, 사이안필터, 마젠타필터 및 옐로우필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 광차단필터는 블랙필터 또는 적외선차단필터를 포함할 수 있다. 상기 광차단필터는 레드필터, 그린필터, 블루필터, 사이안필터, 마젠타필터 및 옐로우필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 둘 이상의 필터가 적층된 구조물을 포함할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 이미지 센서는 상기 광전변환층과 상기 컬러필터층 및 상기 광차단필터층 사이의 중간층; 및 상기 컬러필터층 또는 상기 광차단필터층에 대응하도록 상기 중간층에 형성된 트렌치를 더 포함할 수 있다. 상기 중간층은 층간절연층 또는 상기 기판을 포함할 수 있다. 상기 컬러필터층 또는 상기 광차단필터층은 상기 트렌치에 일부 또는 전체가 매립될 수 있다.
또한, 실시예는 상기 컬러필터층 및 상기 광차단필터층 상의 평탄화층; 및 상기 평탄화층 상의 마이크로렌즈를 더 포함할 수 있다. 상기 복수의 픽셀들 중에서 중심부에 위치하는 픽셀은 상기 마이크로렌즈의 광 축과 상기 광전변환층의 광 축이 서로 정렬될 수 있고, 상기 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 상기 마이크로렌즈의 광 축과 상기 광전변환층의 광 축이 점점 더 어긋날 수 있다. 상기 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 상기 마이크로렌즈의 광 축보다 상기 광전변환층의 광 축이 더 외측에 위치할 수 있다.
상술한 과제의 해결 수단을 바탕으로 하는 본 기술은 컬러필터를 이용하여 별도의 차광마스크 없이 광 축으로부터 편심된 오픈부를 정의할 수 있다. 별도의 차광마스크 형성공정을 생략함에 따라 공정을 단순화시켜 생산성을 향상시킬 수 있다. 촬영 렌즈 또는 마이크로렌즈와 차광마스크 사이의 거리를 단축킬 수 있으며, 이를 통해 오토 포커싱 특성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 위상차 검출 픽셀을 이용한 위상 차이 검출 원리를 설명하기 위한 도면.
도 2a 및 도 2b는 도 1에 따른 위상 차이를 설명하기 위한 그래프.
도 3은 비교예에 따른 도 1의 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 위상차 검출 픽셀의 차광마스크 위치와 촬영 렌즈 사이의 관계를 나타내는 도면.
도 5는 제1실시예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면.
도 6a 및 도 6b는 도 5에 도시된 위상차 검출 픽셀에서 오픈부의 위치와 촬영 렌즈 사이의 관계를 나타내는 도면.
도 7은 제1실시예의 변형예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면.
도 8은 제2실시예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면.
도 2a 및 도 2b는 도 1에 따른 위상 차이를 설명하기 위한 그래프.
도 3은 비교예에 따른 도 1의 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 위상차 검출 픽셀의 차광마스크 위치와 촬영 렌즈 사이의 관계를 나타내는 도면.
도 5는 제1실시예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면.
도 6a 및 도 6b는 도 5에 도시된 위상차 검출 픽셀에서 오픈부의 위치와 촬영 렌즈 사이의 관계를 나타내는 도면.
도 7은 제1실시예의 변형예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면.
도 8은 제2실시예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면.
이하 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 도면은 반드시 일정한 비율로 도시된 것이라 할 수 없으며, 몇몇 예시들에서, 실시예들의 특징을 명확히 보여주기 위하여 도면에 도시된 구조물 중 적어도 일부의 비례는 과장될 수도 있다. 도면 또는 상세한 설명에 둘 이상의 층을 갖는 다층 구조물이 개시된 경우, 도시된 것과 같은 층들의 상대적인 위치 관계나 배열 순서는 특정 실시예를 반영할 뿐이어서 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 층들의 상대적인 위치 관계나 배열 순서는 달라질 수도 있다. 또한, 다층 구조물의 도면 또는 상세한 설명은 특정 다층 구조물에 존재하는 모든 층들을 반영하지 않을 수도 있다(예를 들어, 도시된 두 개의 층 사이에 하나 이상의 추가 층이 존재할 수도 있다). 예컨대, 도면 또는 상세한 설명의 다층 구조물에서 제1 층이 제2 층 상에 있거나 또는 기판상에 있는 경우, 제1 층이 제2 층 상에 직접 형성되거나 또는 기판상에 직접 형성될 수 있음을 나타낼 뿐만 아니라, 하나 이상의 다른 층이 제1 층과 제2 층 사이 또는 제1 층과 기판 사이에 존재하는 경우도 나타낼 수 있다.
후술하는 실시예들은 오토 포커싱 시스템(Auto Focus system)이 탑재된 이미지 센서에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 위상차 검출 방식의 오토 포커싱 시스템이 탑재된 이미지 센서에 관한 것으로, 별도의 위상차 검출 센서와 광학계 없이 위상차 오토 포커싱을 수행할 수 있는 이미지 센서를 제공한다. 이를 위해, 실시예들은 이미지를 획득하기 위한 복수의 이미지 픽셀과 더불어서 위상 차이를 검출할 수 있는 복수의 위상차 검출 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 제공한다. 여기서, 실시예들에 따른 이미지 센서는 2차원 배열되는 복수의 픽셀들이 이미지 픽셀과 위상차 검출 픽셀이 각각 구분되어 존재하거나, 또는 위상차 검출 픽셀이 이미지 픽셀로도 작용하여 위상차 검출 픽셀과 이미지 픽셀의 구분없이 존재할 수 있다.
이하에서는, 실시예들에 따른 이미지 센서를 설명하기에 앞서, 도 1 내지 도 4를 참조하여 위상차 검출 픽셀을 이용한 위상 차이 검출 원리에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 위상차 검출 픽셀을 이용한 위상 차이 검출 원리를 설명하기 위한 도면이다. 도 2a 및 도 2b는 도 1에 따른 위상 차이를 설명하기 위한 그래프이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 위상차 검출 픽셀을 이용하여 위상 차이를 검출하기 위해서는 픽셀R(15)과 픽셀L(16)을 필요로한다. 촬영 렌즈(imaging lens, 11)를 통과한 입사광은 마이크로렌즈 어레이(micro lens array, 14)을 통과해 광전변환층(22)를 구비한 픽셀R(15) 및 픽셀L(16)로 유도된다. 픽셀R(15) 및 픽셀L(16)의 일부에는 촬영 렌즈(11)로부터 동공(pupil, 12, 13)을 제한하는 오픈부(opening)가 구비되어 있다. 오픈부는 촬영 렌즈(11)로부터 동공(12, 13)을 제한하는 차광마스크(17, 18)에 의하여 정의된다. 그리고, 촬영 렌즈(11)의 동공 중, 촬영 렌즈(11)의 광 축(10)보다 위에 있는 동공(12)으로부터의 입사광은 픽셀L(16)로 유도되고, 촬영 렌즈(11)의 광 축(10)보다 아래에 있는 동공(13)으로부터의 입사광은 픽셀R(15)로 유도된다. 차광마스크(17, 18)에 의해 정의된 오픈부가 마이크로렌즈 어레이(14)에 의해 동공(12, 13) 위치에서 역 투영되는 범위의 입사광을 픽셀R(15) 및 픽셀L(16)이 수광하는 것을 동공 분할(pupil division)이라고 한다.
동공 분할된 픽셀 출력을 마이크로렌즈 어레이(14)에 따라 픽셀R(15)과 픽셀L(16)이 연속한 출력을 그리면 도 2a 및 도 2b와 같이 된다. 도 2a 및 도 2b에서 가로축은 픽셀R(15), 픽셀L(16)의 위치를 의미하며, 세로축은 픽셀R(15), 픽셀L(16)의 출력 값을 의미한다. 각각 픽셀R(15)과 픽셀L(16)의 출력을 비교해보면, 같은 형상이나, 위치에 따른 출력 즉, 위상은 서로 다르다는 것을 알 수 있다. 이것은 촬영 렌즈(11)의 편심된(eccentrically) 동공(12, 13)으로부터의 입사광 결상 위치가 다르기 때문이다. 따라서, 초점이 맞지 않은 경우에는 도 2a와 같이 위상이 어긋나게되고, 초점이 맞은 경우에는 도 2b와 같이 같은 위치에 결상 된다. 또한, 이로부터 초점 차이의 방향도 판정할 수 있다. 피사체 앞에 초점이 맞은 경우는 '전 핀(front-focusing)'이라고 하며, 전 핀인 경우 픽셀R(15)은 합초 위상(focused phase)보다 왼쪽으로 시프트 하고, 픽셀L(16)은 합초 위상 보다 오른쪽으로 시프트 한다. 반대로, 피사체 뒤에 초점이 맞은 경우는 '후 핀(back-focusing)'이라고 하며, 후 핀인 경우 픽셀R(15)은 합초 위상보다 오른쪽으로 시프트 하고, 픽셀L(16)은 합초 위상보다 왼쪽으로 시프트 한다. 도 2a는 전 핀을 나타낸 것으로, 도 2a와 반대가 되는 경우 후 핀이 된다. 그리고 픽셀R(15)과 픽셀L(16)의 편차량은 초점 편차량으로 환산할 수 있다.
도 3은 도 1의 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면이다. 즉, 도 3은 비교예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면으로, 픽셀R 및 픽셀L을 간략히 도시한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 위상차 검출 픽셀은 픽셀R(15) 및 픽셀L(16)을 포함한다. 각각의 픽셀(15, 16)은 마이크로렌즈(26), 평탄화층(25), 컬러필터층(24), 차광마스크(17, 18), 중간층(23), 광전변환층(22) 및 기판(21)을 포함한다. 중간층(23)은 복수의 배선층(미도시)을 포함하고, 광전변환층(22)은 포토다이오드(Photodiode)를 포함한다. 차광마스크(17, 18)는 촬영 렌즈(11)로부터 동공(12, 13)을 제한하는 오픈부(도 4a 및 도 4b의 도면부호 '34A' 및 '39B' 참조)를 정의하는 것이다. 차광마스크(17, 18)는 배선층(미도시)이거나, 또는 배선층(미도시)을 구성하는 물질 예컨대, 금속성물질을 포함한다. 따라서, 차광마스크(17, 18)는 입사광을 반사시켜 광전변환층(22)으로 유입되는 입사광을 제한한다.
피사체로부터의 입사광은 마이크로렌즈(26)를 통해서 각 픽셀(15, 16)의 광전변환층(22)에 유도되고, 입사광에 응답하여 광전변환층(22)에서 생성된 전하가 픽셀 정보가 된다. 피사체로부터의 입사광은 촬영 렌즈(11)의 동공(12, 13)을 통과하여 입사되고, 피사체 위치에 대응하는 휘도 정보는 각 픽셀(15, 16) 위치에 대응하여 얻을 수 있다. 여기서, 각 픽셀(15, 16)은 차광마스크(17, 18)를 통해 도 2a에서 예시한 위상 차이를 갖는 픽셀R(15) 신호와 픽셀L(16) 신호를 획득할 수 있다. 구체적으로, 마이크로렌즈(26)와 광전변환층(22) 사이에 차광마스크R(17) 및 차광마스크L(18)를 구비한다. 참고로, 도 3에서 마이크로렌즈(26)의 광 축 또는/및 광전변환층(22)의 광 축을 이점쇄선으로 표시하고, 마이크로렌즈(26)로부터 광전변환층(22)으로 입사하는 광 경로 및 각 픽셀(15, 16)에서의 전체 수광영역을 파선으로 도시하였다.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 위상차 검출 픽셀의 차광마스크 위치(또는 오픈부 위치)와 촬영 렌즈 사이의 관계를 나타내는 도면이다. 도 4a는 픽셀R을 나타내고, 도 4b는 픽셀L을 나타낸다.
도 4a는 픽셀R을 나타내는 것으로, 촬영 렌즈(31), 도 3의 픽셀R(33), 표면으로부터 본 차광마스크R(34), 차광마스크R(34)에서의 오픈부R(34A) 및 차광마스크R(34)에 도달하는 촬영 렌즈(31) 상의 동공(32)이 도시되어 있다. 그리고, 도 4b는 픽셀L을 나타내는 것으로, 촬영 렌즈(36), 도 3의 픽셀L(38), 표면으로부터 본 차광마스크L(39), 차광마스크L(39)에서의 오픈부L(39A) 및 차광마스크L(39)에 도달하는 촬영 렌즈(36) 상의 동공(37)이 도시되어 있다.
촬영 렌즈(31, 36)의 좌측 동공(32) 또는 우측 동공(37)을 통과한 입사광이 픽셀(33, 38)에 입사한다. 차광마스크(34, 39)는 광 축에 대해 50% 내외의 개구율을 갖도록 설정한다. 예컨대, 도 4a 및 도 4b는 촬영 렌즈(32, 37) 광 축을 사이에 두고, 광 축을 포함하지 않거나 또는 광 축의 경계선을 포함한 약 50% 개구율의 픽셀R(33) 및 픽셀L(38)로 구성된다. 참고로, 도 4a 및 도 4b에서 촬영 렌즈(32, 37)의 광 축은 일점쇄선으로 도시하였다. 그리고, 비교예 및 후술하는 실시예들에서 개구율은 약 50%일 수도 있고, 이보다 크거나 작을 수 있다. 즉, 개구율은 요구되는 특성에 따라 조절될 수 있으며, 특정 수치에 한정되지 않는다.
상술한 바와 같이, 비교예에 따른 위상차 검출 픽셀은 마이크로렌즈 아래 컬러필터층과 광전변환층 사이에 위치하는 차광마스크를 이용하여 촬영 렌즈의 동공을 제한하는 오픈부를 정의한다. 이로 인해, 위상차 검출 픽셀을 구비한 이미지 센서는 차광마스크를 형성하기 위한 별도의 공정이 추가되어 생산성이 저하되는 단점이 있다. 또한, 오토 포커싱 특성 측면에서 촬영 렌즈 또는 마이크로렌즈와 차광마스크는 최대한 인접하게 배치될수록 위상차를 이용한 오토 포커싱 특성을 향상시킬 수 있으나, 배선구조물을 이용하여 차광마스크를 구성하기 때문에 컬러필터층과 광전변환층 사이에 위치할 수 밖에 없다는 한계가 있다.
따라서, 후술하는 실시예들에서는 별도의 차광마스크를 구비하지 않고도 광 축으로부터 편심된 오픈부를 정의할 수 있고, 촬영 렌즈 또는 마이크로렌즈와 차광마스크 사이의 거리를 감소시켜 오토 포커싱 특성을 향상시킬 수 있는 위상차 검출 픽셀을 구비하는 이미지 센서에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
도 5는 제1실시예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면이다. 그리고, 도 6a 및 도 6b는 도 5에 도시된 위상차 검출 픽셀에서 오픈부의 위치와 촬영 렌즈 사이의 관계를 나타내는 도면으로, 설명의 편의를 위해 픽셀R을 예시하여 도시하였다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제1실시예에 따른 위상차 검출 픽셀은 픽셀R 및 픽셀L을 포함할 수 있다. 이때, 픽셀R과 픽셀L은 인접하게 배치되거나, 또는 상호 이격되어 배치될 수 있다. 즉, 픽셀R과 픽셀L이 반드시 근처에 배치되어야 하는 것은 아니다. 픽셀R 및 픽셀L은 각각 기판(110)에 형성된 광전변환층(120), 중간층(130), 제1컬러필터층(141), 제2컬러필터층(142), 평탄화층(150) 및 마이크로렌즈(160)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 제1실시예에 따른 이미지 센서는 복수의 픽셀들이 2차원 배열되어 있는 이미지 센서에 있어서, 복수의 픽셀들 중 적어도 하나의 픽셀은 기판(110)에 형성된 광전변환층(120), 광전변환층(120) 상부에 형성된 제1컬러필터층(141) 및 제1컬러필터층(141) 상에 형성되어 광전변환층(120)의 광 축 또는 마이크로렌즈(160)의 광 축에 대해 편심된 오픈부(171, 172)를 정의하는 제2컬러필터층(142)을 포함할 수 있다. 참고로, 도 5에서는 마이크로렌즈(160)의 광 축 및 광전변환층(120)의 광 축을 이점쇄선으로 도시하였고, 이들의 광 축이 서로 정렬된 경우를 예시하여 도시하였다. 그리고, 마이크로렌즈(160)로부터 광전변환층(120)으로 입사하는 광 경로 및 픽셀R/픽셀L에서의 전체 수광영역은 파선으로 도시하였다.
기판(110)은 반도체 기판을 포함할 수 있다. 반도체 기판은 단결정 상태(Single crystal state)일 수 있으며, 실리콘함유 재료를 포함할 수 있다. 즉, 기판(110)은 단결정의 실리콘함유 재료를 포함할 수 있다.
광전변환층(120)은 수직적으로 중첩되는 복수개의 광전변환부들을 포함할 수 있으며, 광전변환부들 각각은 N형 불순물영역과 P형 불순물영역을 포함하는 포토다이오드(Photo Diode)일 수 있다.
제1컬러필터층(141)은 색분리(color seperation)를 위한 것으로, 복수의 픽셀들 모두는 각각 제1컬러필터층(141)을 포함할 수 있다. 제1컬러필터층(141) 상에 형성되어 제1컬러필터층(141)과 적층된 형태를 갖는 제2컬러필터층(142)는 광 축으로부터 편심된 오픈부(171, 172)를 정의하는 차광마스크로 작용할 수 있다. 구체적으로, 제1컬러필터층(141)과 제2컬러필터층(142)이 순차적으로 적층된 구조물이 차광마스크로 작용할 수 있다. 이때, 복수의 픽셀들 중 일부 또는 모두는 각각 제2컬러필터층(142)을 포함할 수 있다. 즉, 복수의 픽셀들 중 일부가 제2컬러필터층(142)을 포함하는 경우에 제2컬러필터층(142)을 구비한 픽셀이 위상차 검출 픽셀로 작용하고, 제2컬러필터층(142)을 구비하지 않은 픽셀이 이미지 픽셀로 작용할 수 있다. 반면에, 복수의 픽셀들 모두가 제2컬러필터층(142)을 포함하는 경우에는 복수의 픽셀들 모두가 위상차 검출 픽셀로 작용함과 동시에 이미지 픽셀로도 작용할 수 있다.
제1컬러필터층(141)을 이용한 색분리 및 제1컬러필터층(141)과 제2컬러필터층(142)이 적층된 구조물이 차광마스크로 작용하기 위해 제1컬러필터층(141) 및 제2컬러필터층(142)은 각각 레드필터(Red filter), 그린필터(Green filter) 및 블루필터(Blue filter)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하되, 제1컬러필터층(141)과 제2컬러필터층(142)은 서로 상이한 컬러를 가질 수 있다. 예컨대, 제1컬러필터층(141)이 레드필터인 경우에 제2컬러필터층(142)은 그린필터 또는 블루필터일 수 있다. 또한, 제1컬러필터층(141) 및 제2컬러필터층(142)은 각각 사이안필터(Cyan filter), 마젠타필터(Magenta filter) 및 옐로우필터(Yellow filter)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하되, 제1컬러필터층(141)과 상기 제2컬러필터층(142)은 서로 상이한 컬러를 가질 수 있다. 예컨대, 제1컬러필터층(141)이 사이안필터인 경우에 제2컬러필터층(142)은 마젠타필터 또는 옐로우필터일 수 있다.
복수의 픽셀들 중 어느 하나의 픽셀(이하, '제1픽셀'이라함)에서 제2컬러필터층(142)은 제1픽셀과 인접한 다른 픽셀(이하, '제2픽셀'이라함)에서의 제1컬러필터층(141)이 제1픽셀의 제1컬러필터층(141) 상으로 확장된 것일 수 있다. 예컨대, 컬러필터 어레이에서 레드필터와 그린필터가 교번 배치되는 라인에서 제1픽셀의 제1컬러필터층(141)이 레드필터이고, 제2픽셀의 제1컬러필터층(141)이 그린필터라면, 제1픽셀에서의 제2컬러필터층(142)은 제2픽셀의 그린필터가 제1픽셀의 레드픽셀 상으로 확장된 것일 수 있다. 이처럼, 제1컬러필터층(141) 및 제2컬러필터층(142)이 적층된 구조물로 이루어진 차광마스크는 인접한 픽셀간의 컬러필터 중첩을 통해 손쉽게 구현이 가능하다.
또한, 제1실시예에 따른 이미지 센서는 광전변환층(120)을 포함한 기판(110)과 제1컬러필터층(141) 사이에 위치하는 중간층(130), 제1컬러필터층(141) 및 제2컬러필터층(142) 상의 평탄화층(150) 및 평탄화층(150) 상의 마이크로렌즈(160)를 포함할 수 있다. 중간층(130)은 광전변환층(120)을 포함한 기판(110)이거나, 또는 복수의 배선구조물 포함한 층간절연층일 수 있다. 예컨대, 중간층(130)이 기판(110)이 경우에 실시예에 따른 이미지 센서는 후면조사방식(Back-Side Illumination, BSI)일 수 있다. 그리고, 중간층(130)이 복수의 배선구조물을 포함한 층간절연층인 경우에 실시예에 따른 이미지 센서는 전면조사방식(Front-Side Illumination, FSI)일 수 있다.
또한, 제1실시예에 따른 이미지 센서는 도 6a 도시된 바와 같이, 복수의 픽셀들이 2차원 배열되는 이미지 센서에서 복수의 픽셀들 중에서 중심부에 위치하는 픽셀이 마이크로렌즈(160)의 광 축과 광전변환층(120)의 광 축이 서로 정렬될 수 있다. 반면에, 도 6b에 도시된 바와 같이, 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 마이크로렌즈(160)의 광 축과 광전변환층(120)의 광 축이 점점 더 어긋날 수 있다. 이는 촬영 렌즈의 광 축에서 멀어진 픽셀에 입사광이 비스듬하게 입사되는 것을 보정하기 위한 것으로, 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 마이크로렌즈(160)의 광 축보다 광전변환층(120)의 광 축이 더 외측에 위치할 수 있다. 참고로, 도 6a 및 도 6b는 촬영 렌즈(180), 도 5에 도시된 픽셀R, 제1컬러필터층(141) 및 제2컬러필터층(142)이 적층된 구조물로 이루어진 차광마스크, 차광마스크에 도달하는 촬영 렌즈(180) 상의 동공(190)을 도시한 것이다. 도 6a 및 도 6b는에서 촬영 렌즈(180)의 광 축은 일점쇄선으로 도시하였고, 마이크로렌즈(160)의 광 축 및 광전변환층(120)의 광축은 이점쇄선으로 도시하였다.
상술한 제1실시예에 따른 이미지 센서는 제1컬러필터층(141) 및 제2컬러필터층(142)을 구비함으로써, 별도의 차광마스크 및 이를 형성하기 위한 추가 공정없이 광 축으로부터 편심된 오픈부(171, 172)를 제공할 수 있으며, 이를 통해 손쉽게 위상차 검출 픽셀을 제공할 수 있다. 이를 통해, 이미지 센서 제조공정에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 제1컬러필터층(141) 및 제2컬러필터층(142)을 이용하여 차광마스크를 형성함으로써, 촬영 렌즈 또는 마이크로렌즈(160)와 차광마스크 사이의 거리를 감소시킬 수 있다. 이를 통해, 위상차를 이용한 오토 포커싱 특성을 향상시킬 수 있다.
도 7은 제1실시예의 변형예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면이다. 설명의 편의를 위해서 제1실시예와 실질적으로 동일한 구성에 대해서는 자세한 설명을 생략하기로 한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 이미지 센서는 복수의 픽셀들이 2차원 배열되어 있는 이미지 센서에 있어서, 복수의 픽셀들 중 적어도 하나의 픽셀은 기판(110)에 형성된 광전변환층(120), 광전변환층(120) 상부에 형성된 제1컬러필터층(141), 제1컬러필터층(141) 상에 형성되어 광전변환층(120)의 광 축 또는 마이크로렌즈(160)의 광 축에 대해 편심된 오픈부(171, 172)를 정의하는 제2컬러필터층(142), 광전변환층(120)을 포함한 기판(110)과 제1컬러필터층(141) 사이에 위치하는 중간층(130), 제1컬러필터층(141)과 제2컬러필터층(142)이 서로 중첩되는 영역에 대응하도록 중간층(130)에 형성된 트렌치(143)를 포함할 수 있다. 아울러, 제1컬러필터층(141) 및 제2컬러필터층(142) 상의 평탄화층(150) 및 평탄화층(150) 상의 마이크로렌즈(160)를 포함할 수 있다.
제1컬러필터층(141)과 제2컬러필터층(142)이 서로 중첩되는 영역 즉, 이들이 적층된 구조물이 형성된 위치에 대응하도록 중간층(130)에 형성된 트렌치(143)는 차광마스크로 작용하는 제1컬러필터층(141)과 제2컬러필터층(142)이 적층된 적층구조물이 충분한 두께를 가질 수 있도록 그 형성공간을 제공하는 역할을 수행한다. 따라서, 제1컬러필터층(141) 또는 제2컬러필터층(142)은 트렌치(143)에 일부 또는 전체가 매립된 형태를 가질 수 있다. 예컨대, 도시된 것과 같이 트렌치(143)에 제1컬러필터층(141)이 일부 또는 전체가 매립될 수 있다. 또는 트렌치(143)에 제1컬러필터층(141)이 매립되고, 나머지 트렌치(143)에 제2컬러필터층(142)이 일부 또는 전체가 매립될 수 있다.
상술한 제1실시예의 변형예에 따른 이미지 센서는 트렌치(143)를 구비함으로써, 차광마스크로 작용하는 제1컬러필터층(141)과 제2컬러필터층(142)의 적층 구조물이 각각 충분한 두께를 갖도록 형성할 수 있다. 이를 통해, 제1컬러필터층(141)과 제2컬러필터층(142)의 적층 구조물이 보다 효과적으로 입사광을 차단할 수 있으며, 특히 고조도 환경에서 그 특성을 더욱더 향상시킬 수 있다. 아울러, 공정상의 변화(variation)에 기인한 특성 열화를 방지할 수 있다.
또한, 트렌치(143)를 구비함으로써, 제2컬러필터층(142)이 제1컬러필터층(141) 상에 형성됨에 따른 단차를 완화시킬 수 있으며, 이를 통해 평탄화층(150)의 두께(또는 높이)를 감소시킬 수 있으며, 이를 통해 입사광의 손실을 감소시킬 수 있다.
도 8은 제2실시예에 따른 위상차 검출 픽셀을 도시한 도면이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 위상차 검출 픽셀은 픽셀R 및 픽셀L을 포함할 수 있다. 이때, 픽셀R과 픽셀L은 인접하게 배치되거나, 또는 상호 이격되어 배치될 수 있다. 픽셀R 및 픽셀L 각각은 기판(210)에 형성된 광전변환층(220), 중간층(230), 컬러필터층(241), 광차단필터층(242), 평탄화층(250) 및 마이크로렌즈(260)를 포함할 수 있다. 참고로, 도 8에서는 마이크로렌즈(260)의 광 축 및 광전변환층(220)의 광 축을 이점쇄선으로 도시하였고, 이들의 광 축이 서로 정렬된 경우를 예시하여 도시하였다. 그리고, 마이크로렌즈(260)로부터 광전변환층(220)으로 입사하는 광 경로 및 픽셀R/픽셀L에서의 전체 수광영역은 파선으로 도시하였다.
구체적으로, 제2실시예에 따른 이미지 센서는 복수의 픽셀들이 2차원 배열되어 있는 이미지 센서에 있어서, 복수의 픽셀들 중 적어도 어느 하나의 픽셀은 기판(210)에 형성된 광전변환층(220), 광전변환층(220) 상부에 형성된 컬러필터층(241), 컬러필터층(241)과 동일층에 형성되어 광전변환층(220)의 광 축에 대해 편심된 오픈부(271, 272)를 정의하는 광차단필터층(242)을 포함할 수 있다.
기판(210)은 반도체 기판을 포함할 수 있다. 반도체 기판은 단결정 상태(Single crystal state)일 수 있으며, 실리콘함유 재료를 포함할 수 있다. 즉, 기판(210)은 단결정의 실리콘함유 재료를 포함할 수 있다.
광전변환층(220)은 수직적으로 중첩되는 복수개의 광전변환부들을 포함할 수 있으며, 광전변환부들 각각은 N형 불순물영역과 P형 불순물영역을 포함하는 포토다이오드(Photo Diode)일 수 있다.
컬러필터층(241)은 색분리를 위한 것으로, 복수의 픽셀들은 모두 컬러필터층(241)을 포함하되, 광전변환층(220) 일부 또는 전체와 중첩될 수 있다. 컬러필터층(241)은 레드필터, 그린필터, 블루필터, 사이안필터, 마젠타필터 및 옐로우필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다.
광차단필터층(242)은 비교예에서의 차광마스크와 동일한 기능을 수행할 수 있다. 이때, 컬러필터층(241)이 광전변환층(220) 일부와 중첩되는 픽셀은 나머지 광전변환층(220)과 중첩되는 광차단필터층(242)을 포함할 수 있다. 즉, 컬러필터층(241)이 광전변환층(220) 전체와 중첩되는 픽셀은 이미지 픽셀로 작용할 수 있다. 그리고, 컬러필터층(241) 및 광차단필터층(242)이 각각 광전변환층(220) 일부와 중첩되는 픽셀은 위상차 검출 픽셀로 작용할 수 있다. 참고로, 컬러필터층(241) 및 광차단필터층(242)이 각각 광전변환층(220) 일부와 중첩되는 픽셀도 이미지 픽셀로 작용할 수 있다.
광차단필터층(242)은 컬러필터층(241)과 동일층에 위치하는 바, 컬러필터물질을 포함할 수 있다. 즉, 광차단필터층(242)은 컬러필터층(241) 형성공정시 형성된 것일 수 있다. 구체적으로, 광차단필터층(242)은 블랙필터(Black filter) 또는 적외선차단필터(IR cutoff filter)를 포함할 수 있다. 또한, 광차단필터층(242)은 레드필터, 그린필터, 블루필터, 사이안필터, 마젠타필터 및 옐로우필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 둘 이상의 필터가 적층된 구조물을 포함할 수도 있다.
또한, 제2실시예에 따른 이미지 센서는 광전변환층(220)을 포함한 기판(210)과 컬러필터층(241) 및 광차단필터층(242) 사이의 중간층(230), 컬러필터층(241) 및 광차단필터층(242) 상의 평탄화층(250) 및 평탄화층(250) 상의 마이크로렌즈(260)를 포함할 수 있다.
중간층(230)은 광전변환층(220)을 포함한 기판(210)이거나, 또는 복수의 배선구조물 포함한 층간절연층일 수 있다. 예컨대, 중간층(230)이 기판(210)이 경우에 실시예에 따른 이미지 센서는 후면조사방식(Back-Side Illumination, BSI)일 수 있다. 그리고, 중간층(230)이 복수의 배선구조물을 포함한 층간절연층인 경우에 제2실시예에 따른 이미지 센서는 전면조사방식(Front-Side Illumination, FSI)일 수 있다.
또한, 제2실시예에 따른 이미지 센서는 도면에 도시하지는 않았지만, 컬러필터층(241) 또는 광차단필터층(242)에 대응하도록 중간층(230)에 형성된 트렌치(미도시)를 더 포함할 수도 있다. 컬러필터층(241) 또는 광차단필터층(242)에 대응하도록 중간층(230)에 형성된 트렌치(미도시)는 각각 이들이 충분한 두께를 가질 수 있도록 그 형성공간을 제공하는 역할을 수행한다. 따라서, 컬러필터층(241) 또는 광차단필터층(242)은 트렌치에 일부 또는 전체가 매립될 수 있다.
또한, 상술한 제1실시예와 같이 제2실시예에 따른 이미지 센서도 2차원 배열되는 복수의 픽셀들 중에서 중심부에 위치하는 픽셀은 마이크로렌즈(260)의 광 축과 광전변환층(220)의 광 축이 서로 정렬될 수 있다(도 6a 참조). 반면에, 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 마이크로렌즈(260)의 광 축과 광전변환층(220)의 광 축이 점점 더 어긋날 수 있다(도 6b 참조). 이는 촬영 렌즈의 광 축에서 멀어진 픽셀에 입사광이 비스듬하게 입사되는 것을 보정하기 위한 것으로, 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 마이크로렌즈(260)의 광 축보다 광전변환층(220)의 광 축이 더 외측에 위치할 수 있다.
상술한 제2실시예에 따른 이미지 센서는 컬러필터물질을 포함한 광차단필터층(242)을 구비함으로써, 별도의 차광마스크 및 이를 형성하기 위한 추가 공정없이 광 축으로부터 편심된 오픈부(271, 272)를 제공할 수 있으며, 이를 통해 손쉽게 위상차 검출 픽셀을 제공할 수 있다. 이를 통해, 이미지 센서 제조공정에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 광차단필터층(242)은 컬러필터층(241)과 동일층에 위치함에 따라 촬영 렌즈 또는 마이크로렌즈(260)와 광차단필터층(242) 사이의 거리를 감소시킬 수 있다. 이를 통해, 위상차를 이용한 오토 포커싱 특성을 향상시킬 수 있다.
이상으로 해결하고자 하는 과제를 위한 다양한 실시예들이 기재되었으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자진 자라면 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변경 및 수정이 이루어질 수 있음은 명백하다.
110 : 기판 120 : 광전변환층
130 : 중간층 141 : 제1컬러필터층
142 : 제2컬러필터층 150 : 평탄화층
160 : 마이크로렌즈
130 : 중간층 141 : 제1컬러필터층
142 : 제2컬러필터층 150 : 평탄화층
160 : 마이크로렌즈
Claims (23)
- 복수의 픽셀들이 2차원 배열되어 있는 이미지 센서에 있어서,
상기 복수의 픽셀들 중 적어도 어느 하나의 픽셀은,
기판에 형성된 광전변환층;
상기 광전변환층 상부에 형성된 제1컬러필터층; 및
상기 제1컬러필터층 상에 형성되어 상기 광전변환층의 광 축에 대해 편심된 오픈부를 정의하는 제2컬러필터층
를 포함하되,
상기 제1컬러필터층과 상기 제2컬러필터층이 중첩된 영역은 상기 광전변환층의 일부를 커버하도록 상기 광전변환층상부에 직접 형성되는 이미지 센서.
- ◈청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제1항에 있어서,
상기 제1컬러필터층은 상기 복수의 픽셀들에 모두 포함되고,
상기 제2컬러필터층은 상기 복수의 픽셀들 중 일부 또는 모두에 포함되는 이미지 센서.
- ◈청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제1항에 있어서,
상기 제1컬러필터층 및 제2컬러필터층은 각각 레드필터, 그린필터 및 블루필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하되, 상기 제1컬러필터층과 상기 제2컬러필터층은 서로 상이한 컬러를 갖는 이미지 센서.
- ◈청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제1항에 있어서,
상기 제1컬러필터층 및 제2컬러필터층은 각각 사이안필터, 마젠타필터 및 옐로우필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하되, 상기 제1컬러필터층과 상기 제2컬러필터층은 서로 상이한 컬러를 갖는 이미지 센서.
- ◈청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제1항에 있어서,
상기 복수의 픽셀들 중 어느 하나의 픽셀에서 상기 제2컬러필터층은 상기 어느 하나의 픽셀에 인접한 픽셀에서의 제1컬러필터가 상기 어느 하나의 픽셀에서의 제1컬러필터 상으로 확장된 것을 포함하는 이미지 센서.
- ◈청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제1항에 있어서,
상기 광전변환층과 상기 제1컬러필터층 사이의 중간층; 및
상기 제1컬러필터층과 상기 제2컬러필터층이 서로 중첩되는 영역에 대응하도록 상기 중간층에 형성된 트렌치
를 더 포함하는 이미지 센서. - ◈청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제6항에 있어서,
상기 중간층은 층간절연층 또는 상기 기판을 포함하는 이미지 센서.
- ◈청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제6항에 있어서,
상기 제1컬러필터층 또는 상기 제2컬러필터층은 상기 트렌치에 일부 또는 전체가 매립되는 이미지 센서.
- ◈청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2컬러필터층 상의 평탄화층; 및
상기 평탄화층 상의 마이크로렌즈
를 더 포함하는 이미지 센서.
- ◈청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제9항에 있어서,
상기 복수의 픽셀들 중에서 중심부에 위치하는 픽셀은 상기 마이크로렌즈의 광 축과 상기 광전변환층의 광 축이 서로 정렬되고,
상기 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 상기 마이크로렌즈의 광 축과 상기 광전변환층의 광 축이 점점 더 어긋하는 이미지 센서.
- ◈청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제10항에 있어서,
상기 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 상기 마이크로렌즈의 광 축보다 상기 광전변환층의 광 축이 더 외측에 위치하는 이미지 센서.
- 복수의 픽셀들이 2차원 배열되는 이미지 센서에 있어서,
상기 복수의 픽셀들 중 적어도 어느 하나의 픽셀은,
기판에 형성된 광전변환층;
상기 광전변환층 상부에 형성된 컬러필터층;
상기 컬러필터층과 동일층에 형성되어 상기 광전변환층의 광 축에 대해 편심된 오픈부를 정의하는 광차단필터층;
상기 컬러필터층 및 상기 광차단필터층 상의 평탄화층; 및
상기 평탄화층 상의 마이크로렌즈
를 포함하되,
상기 복수의 픽셀들 중에서 중심부에 위치하는 픽셀은 상기 마이크로렌즈의 광 축과 상기 광전변환층의 광 축이 서로 정렬되고,
상기 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 상기 마이크로렌즈의 광 축과 상기 광전변환층의 광 축이 점점 더 어긋나는 이미지 센서.
- ◈청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제12항에 있어서,
상기 컬러필터층은 상기 복수의 픽셀들에 모두 포함되되, 각각은 상기 광전변환층 전체 또는 일부와 중첩되는 이미지 센서. - ◈청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제13항에 있어서,
상기 컬러필터층이 상기 광전변환층 일부와 중첩되는 픽셀은 나머지 상기 광전변환층과 중첩되는 상기 광차단필터층을 포함하는 이미지 센서.
- ◈청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제12항에 있어서,
상기 컬러필터층은 레드필터, 그린필터, 블루필터, 사이안필터, 마젠타필터 및 옐로우필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하는 이미지 센서.
- ◈청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제12항에 있어서,
상기 광차단필터는 블랙필터 또는 적외선차단필터를 포함하는 이미지 센서.
- ◈청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제12항에 있어서,
상기 광차단필터는 레드필터, 그린필터, 블루필터, 사이안필터, 마젠타필터 및 옐로우필터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 둘 이상의 필터가 적층된 구조물을 포함하는 이미지 센서. - ◈청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제12항에 있어서,
상기 광전변환층과 상기 컬러필터층 및 상기 광차단필터층 사이의 중간층; 및
상기 컬러필터층 또는 상기 광차단필터층에 대응하도록 상기 중간층에 형성된 트렌치
를 더 포함하는 이미지 센서.
- ◈청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제18항에 있어서,
상기 중간층은 층간절연층 또는 상기 기판을 포함하는 이미지 센서.
- ◈청구항 20은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제18항에 있어서,
상기 컬러필터층 또는 상기 광차단필터층은 상기 트렌치에 일부 또는 전체가 매립되는 이미지 센서.
- 삭제
- 삭제
- ◈청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈제12항에 있어서,
상기 복수의 픽셀들 중심부에서 가장자리로 갈수록 상기 마이크로렌즈의 광 축보다 상기 광전변환층의 광 축이 더 외측에 위치하는 이미지 센서.
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