JP2017208574A - 撮像素子および撮像素子を備えた撮像装置 - Google Patents
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特許文献1 特開2005−347691号公報
特許文献2 特開2011−124451号公報
Claims (5)
- 第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層に対して入射光の入射側に設けられた第2導電型の第2半導体層と、
前記第2半導体層に対して前記入射側に設けられた前記第1導電型の複数の半導体領域と、
前記入射光を透過させるように前記複数の半導体領域の各々に対応して設けられるカラーフィルタと、
前記複数の半導体領域を互いに分離するように前記第2半導体層において前記入射光が入射する深さ方向に設けられ、前記カラーフィルタの透過波長帯域に対応して深さの異なる、前記第2半導体層よりも不純物濃度の高い前記第2導電型の画素分離領域と、
前記第2半導体層において前記深さ方向に直交する平面方向に前記透過波長帯域に対応して設けられた、前記第2半導体層よりも不純物濃度の高い前記第2導電型の平面分離領域と、を備え、
前記平面分離領域は、第1平面分離領域と、前記深さ方向において前記第1平面分離領域よりも深い位置に設けられる第2平面分離領域とを有し、
前記第1平面分離領域及び前記第2平面分離領域は、前記半導体領域を囲むように前記画素分離領域の端部と接して設けられ、
前記第1平面分離領域は、最も短波長側の透過波長帯域のカラーフィルタが設けられた半導体領域のそれぞれに対して離散的に設けられ、かつ、最も短波長側の透過波長帯域に対応した深さを有し、
前記第2平面分離領域は、最も長波長側の透過波長帯域のカラーフィルタが設けられた半導体領域のそれぞれに対して開口を有するように設けられ、かつ、最も短波長側の次に短波長の透過波長帯域に対応した深さを有し、
対応して設けられた前記カラーフィルタの前記透過波長帯域が短波長側であるほど、前記画素分離領域の深さが浅く、
前記画素分離領域は、隣接する前記複数の半導体領域のうち短波長側の前記カラーフィルタが割り当てられた半導体領域を基準として深さが定められている撮像素子。 - 前記平面分離領域は、最も長波長側の前記透過波長帯域に対応して設けられた一様面の第3平面分離領域を有する請求項1に記載の撮像素子。
- 前記カラーフィルタは、レッド、グリーン、ブルーのフィルタを含む請求項1または2に記載の撮像素子。
- 前記カラーフィルタは、シアン、マゼンタ、イエローのフィルタを含む請求項1または2に記載の撮像素子。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の撮像素子を備えた撮像装置。
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