JP2014167392A - 位相差測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転検光子法又は回転偏光子法により以下のステップにより被測定物の位相差を求める。複数の波長での検出信号を取り込む。波長λiごとの検出光強度に基づき、基準方向に対する被測定物の透過光の楕円率と楕円方位角を算出し、各波長での偏光状態に対応するポアンカレ球赤道面上の各点の座標を求めるS1。シミュレーションにより、基準波長λoでの位相差Roを変化させながら波長λiごとの透過光の楕円率と楕円方位角を求め、ポアンカレ球赤道面上の各点の座標を求めるS2。ポアンカレ球赤道面の計算で求めた複数の点の座標(Xis、Yis)について、同じ波長の実測点の座標(Xi、Yi)に最も近くなるときの基準波長λoでの位相差Roを被測定物の位相差とするS3。
【選択図】図3
Description
ここで、Ioは被測定物5への入射光の強度、θは偏光子・検光子の回転角、ζは振幅透過率比、φは被測定物5の光学主軸の方位、Rは被測定物5の位相差、λは測定波長である。
ここで、mは次数で1,2,3,…の値をとり、Rの絶対値を得るにはmの値を定める必要がある。
A,B,Cは定数である。
従来法で1000nm以上の高位相差を測定する場合は、この特性を利用して、図97に示されるようにバンドパスフィルタ7を切り換えて、例えば6つの異なる測定波長で平行ニコル回転法によって測定し、(3)式から得られる波長ごとの位相差候補Rim(ただし、iは波長、mは次数)を並べ、それらの数値の中から分散比率の波長依存性がその材料特有のものに最も近くなるRimの組を見つけ出す。この演算は演算処理部11により実行される。この方法により、市販されている王子計測機器製の位相差測定装置KOBRA−WRでは、位相差が5000nm程度以下であれば正確に求めることができる。
(S0)前記測定装置から互いに異なる複数の波長での検出信号を取り込む。
(S1)取り込んだ複数の波長λiごとの検出光強度に基づき、基準方向に対する被測定物の透過光の楕円率(α/β)iと楕円方位角Ψiを算出し、それらの値を基にした各波長での偏光状態に対応する、ポアンカレ球赤道面上の各点の座標(Xi、Yi)を求める。
(S2)シミュレーションにより、基準波長λoでの位相差Roを変化させながら複数の測定波長λiごとの透過光の楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisを求め、それらの値を基にした各波長での偏光状態に対応する、ポアンカレ球赤道面上の各点の座標(Xis、Yis)を求める。
(S3)ポアンカレ球赤道面の計算で求めた複数の点の座標(Xis、Yis)について、同じ波長の実測点の座標(Xi、Yi)に最も近くなるときの基準波長λoでの位相差Roを被測定物の位相差とする。
例えば、位相差Roが2800nmのPETフィルムを仮定し、入射直線偏光方位に対してその遅相軸が40°になるように置いたときの透過光の偏光状態をOPTIMA法を用いて計算し、測定光が単一波長のとき及びバンドパスフィルタの半値幅が10nmのとき、それぞれの計算結果をポアンカレ球赤道面に表示すると、図13のようになり両者の点の位置がずれる。
ここで、λiは中心波長、Δλは半値幅である。
R'(λi)=Rx×R/R(λi)
を求める。それらのR'(λi)を基にした各波長での透過光の楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisを求める。このとき、波長λiとしてはバンドパスフィルタの分光スペクトルを考慮して、具体的には(6)、(7)式に基づいて楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisを求める。それらの値を基にした各波長での偏光状態に対応する、ポアンカレ球赤道面上での点の座標を求め、波長ごとに実測点の座標との距離を求める。位相差Roを計算ステップΔRずつ増加させながら、同じ操作を位相差Roの最大値Ryまで繰り返す。
2 ライトガイド
3 集光レンズ
4 偏光子
5 被測定物
6 検光子
7 バンドパスフィルタ
8 光検出器
10 電気回路
11 演算処理部
100 測定部
110 偏光解析部
111 偏光特性算出部
112 マッチング部
113 位相差補正部
115 旋光角算出部
116 真の光学主軸方位算出部
Claims (11)
- 被測定物を挟んで偏光子と検光子を配置して偏光子の透過軸と検光子の透過軸のうち一方を固定し他方を回転させ、偏光子を通して被測定物に測定光を照射し、被測定物を透過した測定光を検光子を通して光検出器で検出する測定装置を用い、以下のステップ(S0)から(S3)により被測定物の位相差を求める位相差測定方法。
(S0)前記測定装置から互いに異なる複数の波長での検出信号を取り込む。
(S1)取り込んだ複数の波長λiごとの検出光強度に基づき、基準方向に対する被測定物の透過光の楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisを算出し、それらの値を基にした各波長での偏光状態に対応する、ポアンカレ球赤道面上の各点の座標(Xi、Yi)を求める。
(S2)シミュレーションにより、基準波長λoでの位相差Roを変化させながら複数の測定波長λiごとの透過光の楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisを求め、それらの値を基にした各波長での偏光状態に対応する、ポアンカレ球赤道面上の各点の座標(Xis、Yis)を求める。
(S3)ポアンカレ球赤道面の計算で求めた複数の点の座標(Xis、Yis)について、同じ波長の実測点の座標(Xi、Yi)に最も近くなるときの基準波長λoでの位相差Roを被測定物の位相差とする。 - 前記ステップS2でのシミュレーションは、OPTIMA法により偏光板に位相差板1枚が貼合された状態での透過光の楕円率と楕円方位角を求める計算手法であり、その際の計算条件として被測定物に対して基準方向の直線偏光が照射されるものとし、さらに被測定物の位相差値を波長λiごとに補正された変数Riとし、光学主軸方位を変数φ(ただし、φは基準方向からの値)として、基準波長λoでの位相差Roを所定の範囲にわたって、所定の刻みで変化させながら波長λiごとの楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisとを求めるものである請求項1に記載の位相差測定方法。
- 前記ステップS0は複数の波長での検出信号を取り込むためにバンドパスフィルタを使用して波長を選択するものであり、
前記ステップS2でのシミュレーションでは前記ステップS0でのバンドパスフィルタの分光スペクトルを考慮して波長λiごとの検出光強度を算出し、その算出された検出光強度に基づいて被測定物の楕円率及び楕円方位角を算出する請求項1又は2に記載の位相差測定方法。 - 前記ステップS1で求めたポアンカレ球赤道面上の複数の実測点からなる近似直線を求め、
前記近似直線がポアンカレ球赤道面の円と交わる点とポアンカレ球赤道面の円上で入射直線偏光に対応する点とのなす角に基づいて被測定物の旋光角を求める請求項1から3のいずれか一項に記載の位相差測定方法。 - 前記ステップS1で求めたポアンカレ球赤道面上の複数の実測点からなる近似直線を求め、
ポアンカレ球赤道面の円の中心から前記近似直線に下ろした垂線と、ポアンカレ球赤道面の円上で入射直線偏光に対応する点と該円の中心を結ぶ直線とのなす角を求め、その角と旋光角とに基づいて被測定物の真の光学主軸方位を求める請求項4に記載の位相差測定方法。 - 前記ステップS1で求めたポアンカレ球赤道面上の複数の実測点からなる近似直線を求め、
前記近似直線がポアンカレ球赤道面の円と交わる点とポアンカレ球赤道面の円上で入射直線偏光に対応する点とのなす角に基づいて被測定物の旋光角を求め、
ポアンカレ球赤道面の円の中心から前記近似直線に下ろした垂線と、ポアンカレ球赤道面の円上で入射直線偏光に対応する点と該円の中心を結ぶ直線とのなす角を求め、その角と前記旋光角とに基づいて被測定物の真の光学主軸方位を求め、
得られた前記旋光角および前記被測定物の真の光学主軸方位の値をOPTIMA法の計算時に条件として使用する請求項2に記載の位相差測定方法。 - 光源からの測定光が偏光子から検光子を経て光検出器に入射するように、かつ互いに異なる複数の波長λiで測定を行うように構成された光学系を有し、前記偏光子の透過軸と前記検光子の透過軸のうち一方が固定され他方が回転されるように構成され、前記偏光子と前記検光子の間に被測定物が配置される測定部(100)、及び前記測定部からの複数波長λiでの検出信号を取り込んで被測定物の位相差を求める演算処理部(11)を備え、
前記演算処理部(11)は、波長λiごとの検出光強度から回転検光子法又は回転偏光子法の原理に基づいて楕円偏光の楕円率(α/β)i及び楕円方位角Ψiを算出し、さらにそれらの楕円率と楕円方位角に対応する偏光状態をポアンカレ球赤道面に図示したときの点の座標(Xi、Yi)を求める偏光解析部(110)と、
被測定物の位相差の波長分散特性を保持して、その波長分散特性に基づいて基準波長λoでの位相差Roを前記複数の各波長λiでの位相差Riに補正する位相差補正部(113)と、
シミュレーションにより、基準波長λoでの位相差Roを変化させながら複数の測定波長λiごとの透過光の楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisを求め、それらの値を基にした各波長での偏光状態に対応する、ポアンカレ球赤道面上の各点の座標(Xis、Yis)を算出する偏光特性算出部(111)と、
偏光特性算出部(111)による計算結果の点の座標(Xis、Yis)の中から実測で得られた波長λiごとの点の座標(Xi、Yi)に最も近くなるときの基準波長λoでの位相差Roを求めてそれを被測定物の位相差とするマッチング部(112)と、
を備えている位相差測定装置。 - 前記演算処理部(11)は、前記偏光解析部(110)で求められたポアンカレ球赤道面上の複数の実測点(Xi、Yi)からなる近似直線を求め、前記近似直線がポアンカレ球赤道面の円と交わる点とポアンカレ球赤道面の円上で入射直線偏光に対応する点とのなす角に基づいて被測定物の旋光角εを求める旋光角算出部(115)をさらに備えている請求項7に記載の位相差測定装置。
- 前記演算処理部(11)は、前記偏光解析部(110)で求められたポアンカレ球赤道面上の複数の実測点(Xi、Yi)からなる近似直線を求め、ポアンカレ球赤道面の円の中心から前記近似直線に下ろした垂線と、ポアンカレ球赤道面の円上で入射直線偏光に対応する点と該円の中心を結ぶ直線とのなす角を求め、その角と旋光角εとに基づいて被測定物の真の光学主軸方位(γ−ε)を求める真の光学主軸方位算出部(116)をさらに備えている請求項8に記載の位相差測定装置。
- 前記測定部の光学系は、互いに異なる複数の波長λiごとのバンドパスフィルタを備え、前記光検出器はバンドパスフィルタごとに設けられ、それらのバンドパスフィルタを透過した測定光がそれぞれの光検出器で同時に検出されるように構成されている請求項76から9のいずれか一項に記載の位相差測定装置。
- 前記偏光特性算出部(111)は、シミュレーションでは前記測定部の光学系のバンドパスフィルタの分光スペクトルを考慮して波長λiごとの検出光強度を算出し、その算出された検出光強度に基づいて被測定物の楕円率(α/β)is及び楕円方位角Ψisを算出する請求項10に記載の位相差測定装置。
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