JP2011064496A - 楕円偏光板の貼合角測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】偏光板に位相差板2枚が貼合された被測定物に対して基準方向の直線偏光が照射され、被測定物の偏光板を第1の位相差板とみなし、その位相差値をすべての波長λiに対してλi/2、その遅相軸方位を変数φ1とし、被測定物の位相差板を第2の位相差板とみなしてその位相差値を変数R2i、遅相軸方位を変数φ2とし、3つの変数φ1、φ2及び基準波長での位相差R20を所定の範囲にわたって、所定の刻みで変化させながら楕円率と楕円方位角とを計算で求める。そして、実測で得られた波長λiごとの楕円率と楕円方位角に最も近くなる波長λiごとの計算値の楕円率と楕円方位角を導く変数φ1とφ2を求め、φ1の2倍をφp、φ2をφrとして、|φp−φr|により楕円偏光板の貼合角を求める。
【選択図】図1
Description
ここで、I01は被測定物がないときの透過光強度、θaは検光子7の回転角、Tpy,Tpxは検光子6の透過軸方向と吸収軸方向のそれぞれの透過率、Tsy,Tsxは被測定物の偏光板4の透過軸方向と吸収軸方向のそれぞれの透過率、φpは被測定物中の偏光板4の透過軸方位である。
ここで、I02は被測定物がないときの透過光強度、θpは偏光子7の回転角、ψは偏光板4と位相差板5の貼合角、λは測定波長、Rは位相差板の位相差である。
5 位相差板
6 検光子
7 偏光子
8 バンドパスフィルタ
9 光検出器
10 電気回路
11 演算処理部
100 測定部
110 偏光解析部
111 偏光特性算出部
112 マッチング部
113 貼合角算出部
114 位相差補正部
Claims (2)
- 測定光が偏光板と位相差板の貼合品である楕円偏光板からなる被測定物の偏光板側から照射され、被測定物の位相差板を透過した測定光が検光子を経て、光検出器に入射して透過光強度が測定される測定部であって、前記光検出器を複数個備え、それぞれの光検出器には可視域で互いに波長λiの異なる複数の測定光が入射するように多チャンネルの測定光路を備えており、前記検光子はその偏光方位θが0°から360°まで1回転できる機構を備えた測定部(100)と、
前記測定部(100)で測定された波長λiごとの透過光強度から基準方向に対する被測定物の偏光板の偏光方位φp及び位相差板の遅相軸方位φrを算出し、|φp−φr|として被測定物である楕円偏光板の貼合角を求める演算処理部(11)と、を備え、
前記演算処理部(11)は、波長λiごとの透過光強度から回転検光子法の原理に基づいて楕円偏光の楕円率(α/β)i及び楕円方位角Ψiを算出する偏光解析部(110)と、
被測定物である楕円偏光板の位相差板の位相差の波長分散特性を予め保持して、その波長分散特性に基づいて基準波長での位相差R0を各波長での位相差Riに補正する位相差補正部(114)と、
偏光板に位相差板2枚が貼合された状態での透過光の楕円率と楕円方位角を求める計算手法を用い、その際の計算条件として被測定物に対して基準方向の直線偏光が照射され、被測定物の偏光板を第1の位相差板とみなし、その位相差値をすべての波長λiに対してλi/2、その遅相軸方位を変数φ1とし、さらに被測定物の位相差板を第2の位相差板とみなしてその位相差値を前記位相差補正部(114)により波長λiごとに補正された変数R2i、遅相軸方位を変数φ2(ただし、φ1、φ2はいずれも基準方向からの値)とし、3つの変数φ1、φ2及び基準波長での位相差R20を所定の範囲にわたって、所定の刻みで変化させながら波長λiごとの楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisとを求める偏光特性算出部(111)と、
偏光特性算出部(111)による計算結果の中から実測で得られた波長λiごとの楕円率(α/β)iと楕円方位角Ψiに最も近くなる楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisを導く変数φ1とφ2を求めるマッチング部(112)と、
マッチング部(112)で得られた変数φ1の2倍をφp、変数φ2をφrとして、|φp−φr|を被測定物である楕円偏光板の貼合角とする貼合角算出部(113)と、
を備えている貼合角測定装置。 - 測定光が偏光子を経て、偏光板と位相差板の貼合品である楕円偏光板からなる被測定物の位相差板側から照射され、被測定物の偏光板を透過した測定光が光検出器に入射して透過光強度が測定される測定部であって、前記光検出器を複数個備え、それぞれの光検出器には可視域で互いに波長λiの異なる複数の測定光が入射するように多チャンネルの測定光路を備えており、前記偏光子はその偏光方位θが0°から360°まで1回転できる機構を備えた測定部(100)と、
前記測定部(100)で測定された波長λiごとの透過光強度から基準方向に対する被測定物の偏光板の偏光方位φp及び位相差板の遅相軸方位φrを算出し、|φp−φr|として被測定物である楕円偏光板の貼合角を求める演算処理部(11)と、を備え、
前記演算処理部(11)は、波長λiごとの透過光強度から回転偏光子法の原理に基づいて楕円偏光の楕円率(α/β)i及び楕円方位角Ψiを算出する偏光解析部(110)と、
被測定物である楕円偏光板の位相差の波長分散特性を予め保持して、その波長分散特性に基づいて基準波長での位相差R0を各波長での位相差Riに補正する位相差補正部(114)と、
偏光板に位相差板2枚が貼合された状態での透過光の楕円率と楕円方位角を求める計算手法を用い、その際の計算条件として被測定物に対して基準方向の直線偏光が照射され、被測定物の偏光板を第1の位相差板とみなし、その位相差値をすべての波長λiに対してλi/2、その遅相軸方位を変数φ1とし、さらに被測定物の位相差板を第2の位相差板とみなしてその位相差値を前記位相差補正部(114)により波長λiごとに補正された変数R2i、遅相軸方位を変数φ2(ただし、φ1、φ2はいずれも基準方向からの値)とし、3つの変数φ1、φ2及び基準波長での位相差R20を所定の範囲にわたって、所定の刻みで変化させながら波長λiごとの楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisとを求める偏光特性算出部(111)と、
偏光特性算出部(111)による計算結果の中から実測で得られた波長λiごとの楕円率(α/β)iと楕円方位角Ψiに最も近くなる楕円率(α/β)isと楕円方位角Ψisを導く変数φ1とφ2を求めるマッチング部(112)と、
マッチング部(112)で得られた変数φ1の2倍をφp、変数φ2をφrとして、|φp−φr|を被測定物である楕円偏光板の貼合角とする貼合角算出部(113)と、
を備えている貼合角測定装置。
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