JP4926003B2 - 偏光解析方法 - Google Patents
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(A)偏光子を測定光路から外した状態で検光子を回転させる回転検光子法によって楕円偏光板の偏光板の透過軸方位φpを調べるステップ、
(B)検光子の透過軸方位をφpに合わせて固定するステップ、
(C)その後、波長板を偏光子の位置と楕円偏光板の間の測定光路上に配置し、波長板の遅相軸がφp+45°の方位になるように固定した状態で、偏光子を測定光路上に配置して回転させる回転偏光子法により楕円偏光板と波長板の全体の透過光強度を検出してそのときの楕円率と楕円方位角を求めるステップ、
(D)偏光板に位相差板2枚が貼合された状態での透過光の偏光状態として楕円率と楕円方位角を求める計算手法を用い、楕円偏光板の位相差板を第1位相差板とみなしてそのレターデーションを変数R1、遅相軸方位を変数φ1とし、波長板を第2位相差板とみなしてそのレターデーションを既知の定数R2、遅相軸方位を既知の定数φ2(ただし、φ1、φ2はいずれもφpを基準にして表した値で、φ2=45°)として、R1及びφ1の値を変化させて計算を実行し、各R1及びφ1に対応した偏光板と位相差板2枚の全体に対する透過光の楕円率と楕円方位角を計算によって算出するステップ、及び
(E)計算により求めた楕円率と楕円方位角がステップ(C)で求めた実測の楕円率と楕円方位角に最も近くなるときのR1とφ1とを求めて、そのφ1を楕円偏光板の貼合ズレ角とするステップ。
2 バンドパスフィルタ
3 偏光子
4 波長板
5 楕円偏光板
6 検光子
7 光検出器
8 演算処理部
Claims (2)
- 光源からの単一波長の測定光が光検出器に至る測定光路上に偏光子と検光子が配置され、偏光子が測定光路に対して着脱可能になっている偏光解析装置を用い、
偏光板の透過軸と位相差板の遅相軸とが平行又は直交状態で貼合された楕円偏光板を測定対象試料として偏光子と検光子の間の測定光路上に配置し、
(A)偏光子を測定光路から外した状態で検光子を回転させる回転検光子法によって楕円偏光板の偏光板の透過軸方位φpを調べるステップ、
(B)検光子の透過軸方位を前記方位φpに合わせて固定するステップ、
(C)その後、波長板を偏光子の位置と楕円偏光板の間の測定光路上に配置し、波長板の遅相軸がφp+45°の方位になるように固定した状態で、偏光子を測定光路上に配置して回転させる回転偏光子法により楕円偏光板と波長板の全体の透過光強度を検出してそのときの楕円率と楕円方位角を求めるステップ、
(D)偏光板に位相差板2枚が貼合された状態での透過光の偏光状態として楕円率と楕円方位角を求める計算手法を用い、楕円偏光板の位相差板を第1位相差板とみなしてそのレターデーションを変数R1、遅相軸方位を変数φ1とし、波長板を第2位相差板とみなしてそのレターデーションを既知の定数R2、遅相軸方位を既知の定数φ2(ただし、φ1、φ2はいずれも前記方位φpを基準にして表した値で、φ2=45°)として、R1及びφ1の値を変化させて計算を実行し、各R1及びφ1に対応した偏光板と位相差板2枚の全体に対する透過光の楕円率と楕円方位角を計算によって算出するステップ、及び
(E)計算により求めた楕円率と楕円方位角がステップ(C)で求めた実測の楕円率と楕円方位角に最も近くなるときのR1とφ1とを求めて、そのφ1を楕円偏光板の貼合ズレ角とするステップ、
を備えて楕円偏光板における偏光板と位相差板との間の貼合ズレ角を測定する偏光解析方法。 - ステップ(D)において楕円偏光板の位相差板のレターデーションR1も既知の定数とし、φ1だけを変数として、φ1の値だけを変化させて計算を実行して各φ1での楕円率と楕円方位角を算出する請求項1に記載の偏光解析方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007292787A JP4926003B2 (ja) | 2007-11-12 | 2007-11-12 | 偏光解析方法 |
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JP (1) | JP4926003B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5446644B2 (ja) * | 2009-09-15 | 2014-03-19 | 王子ホールディングス株式会社 | 楕円偏光板の貼合角測定装置 |
JP5991230B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2016-09-14 | 王子ホールディングス株式会社 | 位相差測定方法及び装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06229910A (ja) * | 1992-12-29 | 1994-08-19 | New Oji Paper Co Ltd | レターデーション測定方法 |
JP2924938B2 (ja) * | 1993-05-08 | 1999-07-26 | 王子製紙株式会社 | 複合フィルムのレターデーション測定方法 |
JP3539006B2 (ja) * | 1994-09-30 | 2004-06-14 | 王子製紙株式会社 | 複合層のレターデーション測定方法及び装置 |
KR100594368B1 (ko) * | 2004-08-12 | 2006-06-30 | (주)엘립소테크놀러지 | 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 장치 및 그 방법 |
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Publication number | Publication date |
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JP2009122152A (ja) | 2009-06-04 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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