KR100594368B1 - 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 장치 및 그 방법 - Google Patents

편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법에 있어서, 상기 시료의 후단에 위치한 보정기의 위상지연각을 미리 설정된 값으로 조절하는 단계, 광원과 상기 시료의 사이에 위치한 편광자를 회전시키면서 광도를 측정하는 단계, 상기 광도가 최대일 때의 상기 편광자의 방위각을 산출하는 단계, 상기 편광자를 고정시킨 상태에서 상기 보정기를 상기 위상지연판의 방위각 근방에서 소정의 회전각도씩 회전시키는 단계, 상기 보정기의 각 방위각에서 상기 보정기의 후단에 위치한 검광자를 회전시키면서 광도를 측정하는 단계, 상기 광도가 최대일 때의 상기 검광자의 방위각을 산출하는 단계 및 상기 산출된 편광자의 방위각 및 검광자의 방위각으로부터 상기 편광판과 위상지연판의 광축 정렬 오차를 산출하는 단계를 포함한다.
편광, 위상, 지연, 위상지연판, 보정, LCD, 오차, 광축.

Description

편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 장치 및 그 방법{An Apparatus For Measuring Optic Axis Off-Alignment Of Polarizing Plate And Phase Retardation Plate And Method Thereof}
도 1은 종래 편광판의 투과축과 보상판의 느린축의 정렬 오차를 측정하는 광축 정렬 오차 측정장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 편광판의 투과축과 보상판의 느린축의 정렬 오차를 측정하는 광축 정렬 오차 측정장치의 개략도이다.
도 3은 광축 정렬 오차를 측정하는 방법을 도시하는 그래프이다.
도 4는 시료 위상지연판의 위상지연각을 측정하는 방법을 도시하는 그래프이다.
<주요 도면 부호에 관한 설명>
10 : 광원, 20 : 편광자,
30 : 시료, 31 : 편광판,
33 : 위상지연판, 40 : 보정기,
50 : 검광자, 60 : 광검출기,
70 : 증폭기, 80 : A/D 변환기,
90 : 제어부, 95 : 구동부.
일반적으로 액정은 보통의 액체와는 달리 어느 특정 방향에 대해 규칙성을 갖기 때문에 결정체가 단결정을 가질 때 나타나는 이방성을 갖는다. 또한, 액정 자체는 발광하지 못하므로 외부로부터 빛이 조사되고 전계변화에 의해 액정의 결정 방향이 바뀜으로 해서 조사된 빛을 제어하여 표시를 행한다.
이러한 LCD의 단점중의 하나는 시야각에 따라 대비비(contrast ratio)의 변화와 그레이 스케일(gray scale) 반전현상에 의하여 시인성이 떨어진다는 것이다. 상하 시야각이 좁아지는 이유는 90도 꼬아진 TN-cell이 갖는 구조 때문에 필연적으로 발생하는데 백라이트에서 나오는 빛이 패널의 아래쪽 편광필름에서 선형 편광되어 광학적 이방성을 갖는 액정을 통과하는 경우, 액정셀을 수직으로 통과할 때와 비스듬히 통과할 때 그 리터데이션(retardation) 값이 서로 달라 위상차가 발생하여 시야각에 따른 투과광의 특성이 다르게 된다. 따라서 리터데이션은 액정의 그것과 같지만 음의 리터데이션값을 갖는 위상지연판을 사용하여 이를 보상하면 시야각을 향상시킬 수 있다.
그러나, 실제 편광판에 위상지연판을 부착하는 접합 공정에서 편광판의 투과축과 위상지연판의 느린축이 일치하지 않아 LCD 영상화질이 저하되는 문제점이 많이 발생하고 있다.
현재, 이러한 광축 틀어짐을 측정하는 방법이 국내특허 10-0351267호(복합층 의 리터데이션 측정방법 및 장치)에 제시되어 있으나, 현재 생산 공정상 요구하는 정밀도인 0.1도 이내의 정밀도를 제공하지 못하고 있는 실정이다.
도 1은 상기 특허공보에 개시된 종래 편광판의 투과축과 위상지연판의 느린축의 비틀림 각을 측정하는 광축 정렬 오차 측정장치의 개략도이다. 도 1에서 부재번호 300은 시료로서 편광판(310)과 위상지연판(320)의 광축을 나란하게 접합시킨 접합판이다.
도 1을 참조하여 상기 장치의 동작을 설명한다. 우선, 검광자(400)를 고정시킨 상태에서 편광자(200)를 회전시키면서 투과된 빛의 세기를 분석하여 편광판(310)의 방위각을 알아낸다. 그 다음, 편광자(200)를 고정시킨 상태에서 검광자(400)를 회전시키면서 투과된 빛의 세기를 분성하여 위상지연판(320)의 방위각을 알아낸다.
그러나, 이러한 종래 광축 정렬 오차 측정장치는 위상지연판(320)의 방위각 변화에 따른 측정 광량 변화 민감도가 떨어져 광축 정렬오차의 측정 정밀도가 나쁘며 따라서, 요구되는 0.1도 이내의 정밀도를 확보할 수 없는 문제점이 있다.
즉, 편광자(200) 및 편광판(310)을 통과한 빛이 위상지연판(320)에서 약 45°의 위상지연이 발생되어, 실제 측정된 정렬 오차값은 실제 정렬오차보다 작은 값이 되므로 미리 설정된 보상값을 곱해주어야 한다.
따라서, 측정치가 매우 미세한 각으로 측정되기 때문에 측정치가 조금이라도 불일치하는 경우 보상값을 곱한 정렬 오차 측정치는 실제 정렬 오차와 상당히 차이가 발생하게 되고, 실험 결과 실제 측정에서 0.1°이내의 정렬 오차는 측정 불가능 한 것으로 나타났다.
따라서, 이러한 종래 광축 정렬 오차 측정장치의 문제점을 극복하고 보다 정밀한 수준의 광축 정렬 오차를 측정할 수 있는 장치 및 방법에 대한 요구가 높아지고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 산업 현장에서 요구하는 정밀도의 광축 정렬 오차를 측정할 수 있는 측정장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 광축 정렬 오차를 정밀하게 측정함으로써 광축 정렬 오차를 감소시키고 나아가 궁극적으로는 LCD의 화질을 일정하게 유지 및 관리할 수 있도록 하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법에 있어서, 상기 시료의 후단에 위치한 보정기의 위상지연각을 미리 설정된 값으로 조절하는 단계, 광원과 상기 시료의 사이에 위치한 편광자를 회전시키면서 광도를 측정하는 단계, 상기 광도가 최대일 때의 상기 편광자의 방위각을 산출하는 단계, 상기 편광자를 고정시킨 상태에서 상기 보정기를 상기 위상지연판의 방위각 근방에서 소정의 회전각도씩 회전시키는 단계, 상기 보정기의 각 방위각에서 상기 보정기의 후단에 위치한 검광자를 회전시키면서 광도를 측정하는 단계, 상기 광도가 최대일 때의 상기 검광자의 방위각을 산출하는 단계 및 상기 산출된 편광자의 방위각 및 검광자의 방위각으로부터 상기 편광판과 위상지연판의 광축 정렬 오차를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법이 제공된다.
본 발명의 다른 일측면에 따르면, 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 장치에 있어서, 광원과 상기 시료의 사이에 배치된 편광자, 상기 시료의 후단에 배치되고, 미리 설정된 위상지연각을 갖도록 보정된 보정기, 상기 보정기의 후단에 배치된 검광자, 상기 편광자, 시료, 보정기 및 검광자를 통과한 빛을 검출하는 광검출기, 상기 편광자, 보정기 및 검광자를 회전시키는 구동기 및 상기 구동기를 제어하기 위한 회전 제어신호를 생성하고, 상기 광검출기로부터 수신한 빛의 세기(광도)를 측정하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는 상기 편광자를 회전시키면서 광도를 측정하여 광도가 최대일 때의 상기 편광자의 방위각을 산출하고, 상기 편광자를 고정시킨 상태에서 상기 보정기를 상기 위상지연판의 방위각 근방에서의 소정 회전각도마다 상기 검광자를 회전시키면서 광도를 측정하여 상기 광도가 최대일때의 상기 검광자의 방위각을 산출하고, 상기 산출된 편광자의 방위각 및 검광자의 방위각으로부터 상기 편광판과 위상지연판의 광축 정렬 오차를 산출하는 것을 특징으로 하는 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 장치가 제공된다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 편광판의 투과축과 보상판의 느린축의 정렬 오차를 측정하는 광축 정렬 오차 측정장치의 개략도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 광축 정렬 오차 측정장치는 광원(10), 편광자(20), 시료(30), 보정기(40), 검광자(50), 광검출기(60), 증폭기(70), A/D 변환기(80), 제어부(90) 및 구동부(95)를 포함하여 구성된다. 광원(10), 편광자(20), 시료(30), 검광자(40) 및 광검출기(60)의 구성은 도 1에서 설명한 바와 같으므로 그 설명을 생략한다.
본 발명의 핵심은 보정기(40)를 추가한 구성에 있다. 보정기(40)는 일종의 위상 지연판으로서, 시료(30)의 위상 지연판(33)의 위상 지연각을 보정하기 위한 것이다. 이하의 설명에서 보정기(40)의 위상 지연각은 δ로, 위상 지연판(33)의 위상 지연각은 δs로, 두 위상 지연각의 합을 Δ로 표시할 것이다.
증폭기(70)는 광검출기(60)에서 검출된 미약한 전기 신호를 증폭하고, A/D 변환기(80)는 증폭된 검출 신호를 디지털 신호로 변환하여 제어부(90)로 전송한다.
구동부(95)는 회전 제어신호를 제어부(90)로부터 수신하여 편광자(20), 보정기(40), 검광자(50)를 소정 각도 회전시킨다.
도 2에서, 광검출기(60)에서 검출되는 빛의 세기는 존스벡터와 존스행렬을 사용하여 나타내면 다음과 같다.
Figure 112004035963486-pat00001
여기서, P, Ps, Cs, C, A는 각각 편광자(20), 편광판(31), 위상 지연판(33), 보정기(40), 검광자(50)의 방위각을 나타낸다.
그리고,
Figure 112004035963486-pat00002
는 편광자(20)를 통과한 빛의 전기장 벡터이고, R은 좌표축 회전 행렬, 그리고 T는 위상 지연판(33)의 존스행렬로서, 그 구체적인 표현은 다음과 같이 주어진다.
Figure 112004035963486-pat00003
,
Figure 112004035963486-pat00004
여기서, θ는 좌표축의 회전각도이고, Ts 및 T는 각각 위상지연판(33)과 보정기(40)의 느린축 대 빠른축의 전기장 투과비를 나타내고, ε은 편광판(31)의 누수(leakage)를 나타낸다.
이하에서는 상기 수식을 이용하여 광축 정렬 오차 측정방법을 설명한다.
1. 편광판 방위각(Ps)의 결정
LCD에 사용되는 편광판(31)의 누수는 대략 ε=0.001 정도이므로 이로 인한 측정 오차는 무시할 수 있다. 이러한 편광판(31)의 누수를 무시하면 빛의 세기는 전기장의 세기의 제곱에 비례하므로 빛의 세기는 P = Ps일 때 최대가 된다. 즉, 편 광자(20)의 방위각이 편광판(31)의 방위각과 일치할 경우 광도의 감쇄가 발생하지 않으므로 광도가 최대가 된다. 따라서, 검광자(50)를 고정시킨 상태에서 편광자(20)를 회전시켜 가며 광도를 측정하여 광도가 최대가 되는 편광자(20)의 방위각이 바로 편광판(31)의 방위각이 된다.
2. 위상지연판의 방위각(Cs)의 결정
시료(30)에 사용되는 위상지연판(33)은 약 40°~ 50°정도의 위상지연각을 갖는다. 따라서, 보정기(40)의 방위각(C)을 위상지연판(33)의 방위각(Cs)의 부근에서 조금씩 바꾸어가며 보정기(40)의 각 방위각에서 검광자(50)를 회전시키면서 광검출기(60)에서 검출되는 광도를 측정한다. 만일 보정기(40)의 방위각이 위상지연판(33)의 방위각과 정확하게 일치하는 경우 광검출기(60)에서 검출되는 광도는 상기 식으로부터 다음과 같이 유도된다. 하기 수학식 4에서 광도 I는 시스템을 투과한 빛의 세기의 측정값을 측정 광도를 시스템을 투과한 빛의 최대값으로 나눈 값(측정 광도/최대 광도)으로서, 단위가 없고 최대값이 1인 규격화된 광도(Normalized Intensity)이다.
Figure 112006030286234-pat00013
여기서, t = T·Ts, Δ = δ + δs, A′= A - C, C′= C - P로 정의된다. 상기 식에서 T와 Ts 를 1로 근사하고, Δ = δ + δs가 180°가 되도록 δ를 조절하면, 상기 수학식 4는
Figure 112006030286234-pat00014
와 같이 변환되고, 따라서 시스템을 투과한 빛의 세기는 C′= A′일 때 최대가 된다. 즉, Δ = 180°에서 빛의 세기가 최대가 될 때의 검광자(50)의 방위각을 Amax라고 하면
Figure 112004035963486-pat00007
일 때 빛의 세기가 최대가 된다. 정렬 오차, 즉, 축틀어짐 각도 C - P는 측정된 Amax와 P로부터 구할 수 있다. 즉, 축틀어짐 각도는 Amax와 P의 차의 반이므로 측정된 값이 구할려는 각도의 2배이다. 따라서, 측정값을 2로 나눈값이 구하고자 하는 값이므로 실제값의 오차가 측정 오차의 반이 되므로 보다 정확한 측정이 이루어지게 된다. 종래기술에서 설명한 방식에 의할 경우에는 측정값이 구할려는 값의 0.3배 정도의 값이 나오므로 실제값이 오차가 측정 오차의 약 3.3배가 되므로 0.1도 이내의 정밀한 측정이 불가능하다.
즉, 본 발명의 핵심은 측정값과 실제값의 비율을 스케일링시켜 측정값이 실제값의 2배가 되도록 함으로써 오차를 최소화하여 정밀한 측정이 이루어지도록 하는 것이다.
3. 위상지연판의 위상지연각(δs)의 결정
상기에서 위상지연판(33)의 방위각을 결정하기 위해서 미리 측정해 놓은 시료(30)들의 위상지연판(33)의 위상지연각의 평균값을 위상지연각(δs)으로 사용하였으나, 측정하는 시료(30)의 국지적인 위상지연각이 평균값으로부터 차이가 날 수 있다. 이러한 차이는 위상지연판(33)의 방위각 측정 정밀도에 영향을 미칠 수 있으므로 측정 위치별로 정확한 위상지연각을 측정할 필요가 있게 된다. 측정 위치별 정확한 위상지연각은 다음과 같이 측정한다.
Amax - P의 C - P의 변화형태는 Δ의 값에 따라 달라진다. 상기와 같이 Δ = 180°일 때는 기울기가 2인 직선이지만 Δ = 0°일 때는 기울기가 0이 된다. 또한, Δ = 90°이면, 빛의 세기는
Figure 112006030286234-pat00015
와 같이 쓸 수 있고, 따라서, 주어진 C′의 값에서 시스템을 투과한 빛의 세기는 A′= 0 즉, A = C에서 최대가 된다. 즉, Δ = 90°에서 빛의 세기가 최대가 될 때의 검광자(50)의 방위각 Amax 는
Amax - P = C - P
일 때 빛의 세기가 최대임을 알 수 있다. 따라서, (Amax - P)/(C - P)의 값은 Δ = 90°와 Δ = 180°에서 각각 1과 2로 주어지고, 이 두 측정값을 연결한 직선이 x축과 만나는 점의 좌표가 -δs값이 되므로 이를 이용하여 위상지연판(33)의 위상지연각을 측정할 수 있다.
도 3은 광축 정렬 오차를 측정하는 방법을 도시하는 그래프이다.
도3은 편광판(31)의 방위각 Ps = 30°이고, 위상지연판(33)의 방위각이 편광판(31)가 1°틀어져 있는 시료(30)의 광축 정렬 오차를 측정하는 방법을 도시하고 있다.
도 3에서 점선은 수학식 6의 기울기가 2인 직선을 나타내고, 실선은 측정치를 나타낸다.
도 3에서 위상지연판(33)의 위상지연각의 평균값이 <δs> = 45°라고 할 때 측정하고자 하는 위상지연판(33)의 위상지연각 δs = 45°로 근사하고, Δ = 180°의 조건을 만족시키기 위해 δ = 135°로 조절한다.
우선, 상술한 바와 같이, 편광자(20)를 회전시키면서 광도를 측정하여 최대 광도에서의 편광자(20)의 방위각을 알아낸다.
그 다음, 보정기(40)의 방위각(C)을 바꾸어 가며 보정기(40)의 각 방위각(C)에서 검광자(50)를 회전시키면서 광도를 측정하고, 푸리에 변환 분석 기법을 적용하여 최대 광도에서의 검광자(50)의 방위각 Amax를 알아낸 다음, Amax - P 대 C - P의 그래프를 그리면 도 3의 실선이 된다.
점선과 실선의 교점의 x축 좌표(그림에서 C - P = 1)가 시료(30)의 광축 정렬 오차를 나타내고, 따라서 위상지연판(33)의 방위각 Cs = 31°임을 알 수 있다.
도 4는 위상지연판(33)의 위상지연각을 측정하는 방법을 도시하는 그래프이다.
우선, 도 3의 방법으로 편광판(31)과 위상지연판(33)의 방위각을 결정한 다음 편광판(31)과 위상지연판(33)의 방위각을 결정된 방위각(P = Ps, C = Cs)으로 고정시킨다.
그 다음, 보정기(40)의 각 위상지연각(δ)에 대해 검광자(50)를 회전시키면서 광도가 최대일 때의 검광자(50)의 방위각 Amax를 측정한다.
측정된 P, C 및 Amax로부터 (Amax - P)/(C - P)의 관계를 그래프로 그리면 도 4의 각 점들과 같이 나타난다. 상기 수학식 6 및 8에서 (Amax - P)/(C - P)의 값은 Δ = 90°와 Δ = 180°에서 각각 1과 2로 주어지므로, Δ = δ + δs의 관계에 의해, δ = 45°와 135°일 때 (Amax - P)/(C - P)의 값이 각각 1과 2가 된다.
δ = 45°와 135°일 때의 두 점을 연결하는 직선은 δ가 90°증가(감소)할 때마다 (Amax - P)/(C - P)의 값이 두 배(1/2배)가 되므로 이 직선이 x축과 만나는 좌표값이 -δs가 된다.
이러한 방법으로 구한 δs 와 <δs>의 차이가 위상지연판(33)의 위상지연각 편차가 되며, 이 편차가 허용오차를 벗어나는 경우에는 도 4의 방법으로 구한 δs값을 이용하여 위 방법들을 반복하여 보다 정확한 시료(30)의 광축 정렬 오차를 구할 수 있다.
본 실시예에서는 LCD에 사용되는 편광판과 위상지연판에 대해 예시하고 설명하였으나 본 발명은 이에 국한되지 않고 빛의 편광 및 위상지연을 이용하는 모든 장치에 적용가능함은 물론이다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 산업 현장에서 요구하는 정밀도의 광축 정렬 오차를 측정할 수 있는 측정장치 및 그 방법을 제공할 수 있다.
또한, 광축 정렬 오차를 정밀하게 측정함으로써 광축 정렬 오차를 감소시키고 나아가 궁극적으로는 LCD의 화질을 일정하게 유지 및 관리할 수 있는 효과가 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

Claims (5)

  1. 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법에 있어서,
    상기 시료의 후단에 위치한 보정기의 위상지연각을 미리 설정된 값으로 조절하는 단계;
    광원과 상기 시료의 사이에 위치한 편광자를 회전시키면서 광도를 측정하는 단계;
    상기 광도가 최대일 때의 상기 편광자의 방위각을 산출하는 단계;
    상기 편광자를 고정시킨 상태에서 상기 보정기를 상기 위상지연판의 방위각 근방에서 소정의 회전각도씩 회전시키는 단계;
    상기 보정기의 각 방위각에서 상기 보정기의 후단에 위치한 검광자를 회전시키면서 광도를 측정하는 단계;
    상기 광도가 최대일 때의 상기 검광자의 방위각을 산출하는 단계; 및
    상기 산출된 편광자의 방위각 및 검광자의 방위각으로부터 상기 편광판과 위상지연판의 광축 정렬 오차를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 미리 설정된 보정기의 위상 지연각은
    Δ = δ + δs = 180°(δ = 보정기의 위상지연각, δs = 위상지연판의 위상 지연각)의 관계를 만족하는 값인 것을 특징으로 하는 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    δ + δs = 180°인 경우 Amax - P = 2(C - P) (여기서 Amax = 상기 광도가 최대일때의 상기 검광자의 방위각, P = 편광자의 방위각, C = 보정기의 방위각)의 관계가 성립하는 것을 특징으로 하는 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 보정기의 위상지연각를 변화시키면서 상기 검광자를 회전시켜 최대 광도에서의 상기 검광자의 방위각을 측정하는 단계;
    상기 측정된 검광자의 방위각으로부터 (Amax - P)/(C - P) (여기서 Amax = 상기 광도가 최대일때의 상기 검광자의 방위각, P = 편광자의 방위각, C = 보정기의 방위각)의 값을 산출하는 단계;
    상기 (Amax - P)/(C - P)의 값이 1 과 2인 두 점의 좌표를 산출하는 단계; 및
    상기 산출된 두점을 잇는 직선이 수평축과 만나는 점을 상기 위상지연판의 위상지연각으로 산출하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 방법.
  5. 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 장치에 있어서,
    광원과 상기 시료의 사이에 배치된 편광자;
    상기 시료의 후단에 배치되고, 미리 설정된 위상지연각을 갖도록 보정된 보정기;
    상기 보정기의 후단에 배치된 검광자;
    상기 편광자, 시료, 보정기 및 검광자를 통과한 빛을 검출하는 광검출기;
    상기 편광자, 보정기 및 검광자를 회전시키는 구동기; 및
    상기 구동기를 제어하기 위한 회전 제어신호를 생성하고, 상기 광검출기로부터 수신한 빛의 세기(광도)를 측정하는 제어기를 포함하되,
    상기 제어기는
    상기 편광자를 회전시키면서 광도를 측정하여 광도가 최대일 때의 상기 편광자의 방위각을 산출하고,
    상기 편광자를 고정시킨 상태에서 상기 보정기를 상기 위상지연판의 방위각 근방에서의 소정 회전각도마다 상기 검광자를 회전시키면서 광도를 측정하여 상기 광도가 최대일때의 상기 검광자의 방위각을 산출하고,
    상기 산출된 편광자의 방위각 및 검광자의 방위각으로부터 상기 편광판과 위상지연판의 광축 정렬 오차를 산출하는 것을 특징으로 하는 편광판과 위상지연판이 접합된 시료의 광축 정렬 오차 측정 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100749903B1 (ko) * 2006-09-21 2007-08-21 김경수 편광기
JP4926003B2 (ja) * 2007-11-12 2012-05-09 王子計測機器株式会社 偏光解析方法
KR100945387B1 (ko) * 2007-11-14 2010-03-04 서강대학교산학협력단 시료의 비선형계수의 균질성 검사 장치
TW201602528A (zh) * 2014-07-07 2016-01-16 群燿科技股份有限公司 光度測量裝置
CN107024274B (zh) * 2016-01-29 2018-10-16 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种适用于光配向设备的检偏方法
JP2018200401A (ja) * 2017-05-26 2018-12-20 国立大学法人京都大学 光学機能素子、偏光解析装置及び、光学機能素子の製造方法
KR102232282B1 (ko) * 2019-05-21 2021-03-25 우순 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 편광 정렬 검사 장치 및 그 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04366751A (ja) * 1991-06-13 1992-12-18 Kanzaki Paper Mfg Co Ltd レターデーション測定装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04366751A (ja) * 1991-06-13 1992-12-18 Kanzaki Paper Mfg Co Ltd レターデーション測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102589703A (zh) * 2012-02-02 2012-07-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种线偏振光偏振矢量方位的测量方法及其装置

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