JP2010145332A - 光学特性計測装置、光学特性計測方法、および光学特性計測装置の校正方法 - Google Patents
光学特性計測装置、光学特性計測方法、および光学特性計測装置の校正方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光源12と、第1及び第2の偏光変調器20、40と、測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部50と、測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき試料30のミュラー行列の要素を算出する演算処理部70とを含み、第1の偏光変調器20は、第1の偏光子21、第1及び第2の液晶素子22、24を含み、第2の偏光変調器40は、第2の偏光子46、第3及び第4の液晶素子42、44を含み、光源12から出射された光を、第1の偏光子21、第1及び第2の液晶素子22、24を介して試料30に入射させ、試料30によって変調された光を、第3及び第4の液晶素子42、44及び第2の偏光子46を介して受光部52に入射させるように構成される。
【選択図】図1
Description
所定の波長の光を出射する光源と、
第1及び第2の偏光変調器と、
前記第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象で前記光を変調させることによって得られる測定光を受光する受光部と、を含む光学系と、
前記測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように構成される。
光学系に含まれる第1及び第2の偏光変調器及び前記測定対象によって変調された測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と、
前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記測定光は、光源から出射された所定の波長の光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して受光部に入射させることで得られる光であり、
前記演算処理部では、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う
ことを特徴とする。
前記第1及び第2の偏光子の主軸方位と、前記第2及び第3の液晶素子の主軸方位とがそれぞれ0°であり、前記第1及び第4の液晶素子の主軸方位がそれぞれ45°である。
前記演算処理部が、
前記第1及び第2の液晶素子の複屈折位相差δ1、δ2をδ、前記第3及び第4の液晶素子の複屈折位相差δ3、δ4を5δとして位相変調したときの前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う。
光学系に含まれる第1及び第2の偏光変調器及び前記測定対象によって変調された測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得手順と、
前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理手順とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記測定光は、光源から出射された所定の波長の光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して受光部に入射させることで得られる光であり、
前記演算処理手順では、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行うことを特徴とする。
所定の波長の光を出射する光源と、第1及び第2の偏光変調器と、前記第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象で前記光を変調させることによって得られる測定光を受光する受光部と、を含む光学系と、
前記測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように構成された光学特性計測装置の校正方法であって、
所定の波長の光を前記第1の偏光変調器に入射させ、前記第1の偏光変調器からの出射光のストークスパラメータをストークスポラリメータを用いて算出し、算出したストークスパラメータに基づき前記第1の偏光変調器の校正を行う手順と、
所定の波長の光を前記第2の偏光変調器に入射させ、前記第2の偏光変調器からの出射光のストークスパラメータをストークスポラリメータを用いて算出し、算出したストークスパラメータに基づき前記第2の偏光変調器の校正を行う手順と、
校正された前記第1及び第2の偏光変調器を含む前記計測装置において、前記測定対象を設置しない状態で光学特性を表す行列の行列要素を算出する手順と、
前記測定対象を設置しない状態での前記測定光の光強度をフーリエ解析した際の当該フーリエ係数と前記第3及び第4の液晶素子の主軸方位の設置誤差との関係式を、主軸方位の設置誤差を考慮した前記第3及び第4の液晶素子のミュラー行列に基づき算出する手順と、
前記フーリエ係数と前記設置誤差との関係式と、前記測定対象を設置した状態での測定光の光強度をフーリエ解析した際の当該フーリエ係数と前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素との関係式とに基づき、前記設置誤差と前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素との関係式を求める手順と、
前記設置誤差と前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素との関係式と、算出した前記光学特性を表す行列の行列要素とに基づき、前記設置誤差を算出する手順と、
算出した前記設置誤差と、算出した前記第2の偏光変調器からの出射光のストークスパラメータとに基づき前記第2の偏光変調器の校正を行う手順とを含む。
図1は、本実施形態の計測装置(光学特性計測装置)の構成を説明するためのブロック図である。計測装置1は、測定対象である試料30のミュラー行列(光学特性を表す行列)を計測する装置である。計測装置1は、光学系10と、光強度情報取得部50と、制御装置60とを含む。光強度情報取得部50では、光学系10に含まれる光学素子及び試料30によって変調された測定光の光強度情報を取得する。制御装置60は演算処理部70を含み、演算処理部70では、光学系10に含まれる光学素子及び試料30を透過した光の光強度に基づき試料30のミュラー行列の要素を算出する演算処理を行う。以下、計測装置1の装置構成について説明する。
光学系10は、光源12と受光部52を含む。また光学系10は、光源12と受光部52とを結ぶ光路L上に設けられた、第1の偏光子21と第1、第2の液晶素子22、24とを含む第1の偏光変調器20、第3、第4の液晶素子42、44と第2の偏光子46(検光子)とを含む第2の偏光変調器40を含む。これらの光学素子は、光源12から出射された光を、第1の偏光子21、第1の液晶素子22、第2の液晶素子24を介して試料30に入射させ、試料30を透過した光を、第3の液晶素子42、第4の液晶素子44、第2の偏光子46を介して受光部52に入射させるように配列されている。以下、それぞれについて説明する。
光強度情報取得部50は、測定光の光強度を取得する。すなわち、光強度情報取得部50は、光学系10に含まれる光学素子(第1の偏光子21、第1、第2の液晶素子22、24、第3、第4の液晶素子42、44、検光子46)及び、試料100によって変調された光(測定光)の光強度情報を取得する。すなわち、光強度情報取得部50は、受光部52で受光された光(測定光)の光強度情報を取得する。なお、受光部52は、光強度情報取得部50の一部を構成していてもよい。
制御装置60は、演算処置部70、制御信号生成部80、記憶部90とを含む。
次に、本実施形態の光学特性計測装置が採用する、測定対象のミュラー行列計測原理を説明する。
次に、本実施形態の光学特性計測装置の校正方法について説明する。
ミュラー行列計測の誤差原因として、第1及び第2の偏光変調器20、40を構成する各液晶素子の主軸方位の設置誤差εnと各液晶素子の複屈折位相差の変調誤差Δnがある。
図3(B)は、第2の偏光変調器40の校正について説明するための図である。
上述したミュラー行列計測手法により、図5に示すように、計測装置1において試料30(測定対象)を設置しない状態でミュラー行列Mの各要素mijを算出する。なお、ここでは図3によるストークスポラリメータを用いて校正された第1及び第2の偏光変調器20、40を用いる。また、主軸方位の設置誤差を考慮しない各光学素子のミュラー行列P、R1、R2、R3、R4、Aを用いて算出する。試料30を設置しない状態で本計測装置により算出したミュラー行列Mは、理論的には単位行列となるはずであるが、実際には第3及び第4の液晶素子42、44の主軸方位の設置誤差ε3、ε4により誤差を含んだ値となる。
以下、本実施形態の計測装置の計測結果を示す。
Claims (6)
- 測定対象の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
所定の波長の光を出射する光源と、
第1及び第2の偏光変調器と、
前記第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象で前記光を変調させることによって得られる測定光を受光する受光部と、を含む光学系と、
前記測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように構成された光学特性計測装置。 - 測定対象の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
光学系に含まれる第1及び第2の偏光変調器及び前記測定対象によって変調された測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と、
前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記測定光は、光源から出射された所定の波長の光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して受光部に入射させることで得られる光であり、
前記演算処理部では、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う
ことを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項1又は2において、
前記第1及び第2の偏光子の主軸方位と、前記第2及び第3の液晶素子の主軸方位とがそれぞれ0°であり、前記第1及び第4の液晶素子の主軸方位がそれぞれ45°である光学特性計測装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記演算処理部が、
前記第1及び第2の液晶素子の複屈折位相差δ1、δ2をδ、前記第3及び第4の液晶素子の複屈折位相差δ3、δ4を5δとして位相変調したときの前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う光学特性計測装置。 - 測定対象の光学特性を計測する光学特性計測方法であって、
光学系に含まれる第1及び第2の偏光変調器及び前記測定対象によって変調された測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得手順と、
前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理手順とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記測定光は、光源から出射された所定の波長の光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して受光部に入射させることで得られる光であり、
前記演算処理手順では、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う
ことを特徴とする光学特性計測方法。 - 所定の波長の光を出射する光源と、第1及び第2の偏光変調器と、前記第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象で前記光を変調させることによって得られる測定光を受光する受光部と、を含む光学系と、
前記測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように構成された光学特性計測装置の校正方法であって、
所定の波長の光を前記第1の偏光変調器に入射させ、前記第1の偏光変調器からの出射光のストークスパラメータをストークスポラリメータを用いて算出し、算出したストークスパラメータに基づき前記第1の偏光変調器の校正を行う手順と、
所定の波長の光を前記第2の偏光変調器に入射させ、前記第2の偏光変調器からの出射光のストークスパラメータをストークスポラリメータを用いて算出し、算出したストークスパラメータに基づき前記第2の偏光変調器の校正を行う手順と、
校正された前記第1及び第2の偏光変調器を含む前記計測装置において、前記測定対象を設置しない状態で光学特性を表す行列の行列要素を算出する手順と、
前記測定対象を設置しない状態での前記測定光の光強度をフーリエ解析した際の当該フーリエ係数と前記第3及び第4の液晶素子の主軸方位の設置誤差との関係式を、主軸方位の設置誤差を考慮した前記第3及び第4の液晶素子のミュラー行列に基づき算出する手順と、
前記フーリエ係数と前記設置誤差との関係式と、前記測定対象を設置した状態での測定光の光強度をフーリエ解析した際の当該フーリエ係数と前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素との関係式とに基づき、前記設置誤差と前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素との関係式を求める手順と、
前記設置誤差と前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素との関係式と、算出した前記光学特性を表す行列の行列要素とに基づき、前記設置誤差を算出する手順と、
算出した前記設置誤差と、算出した前記第2の偏光変調器からの出射光のストークスパラメータとに基づき前記第2の偏光変調器の校正を行う手順と
を含む光学特性計測装置の校正方法。
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