JP2014160888A - 弾性波共振器とこれを用いた弾性波フィルタおよびアンテナ共用器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性波共振器1は、圧電基板2、及び前記圧電基板上において主要弾性波を励振させるIDT電極3と、前記主要弾性波の伝搬方向に沿って前記IDT電極の両側に配置された第1及び第2の反射器電極4a、4bと、前記IDT電極と、前記第1及び第2の反射器電極とを覆うように形成された第1の誘電膜5とを備え、前記第1及び第2の反射器電極の少なくとも一方の反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数を前記主要弾性波の反共振周波数よりも低くした構成である。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態1の弾性波共振器1について図を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態2の弾性波フィルタ10について説明する。
以下、本発明の実施の形態3の弾性波共振器7について図9(a)、(b)を用いて説明する。図9(a)は、本発明の実施の形態3の弾性波共振器7を模式的に示す上面図であり、図9(b)は、図9(a)のBB´断面における断面図である。本発明の実施の形態3の弾性波共振器7において、図1(a)、(b)で示した実施の形態1における弾性波共振器1と同様の構成要素については同一番号を付しており、その説明は省略する。
2 圧電基板
3 IDT電極
4a、4b 反射器電極
5 第1の誘電膜
6 第2の誘電膜
10 弾性波フィルタ
11a、11b、11c、11d 直列腕共振器
12a、12b、12c 並列腕共振器
200 アンテナ共用器
Claims (8)
- 圧電基板上において主要弾性波を励振させるIDT電極と、
前記主要弾性波の伝搬方向に沿って前記IDT電極の両側に配置された第1及び第2の反射器電極と、
前記IDT電極と、前記第1及び第2の反射器電極とを覆うように形成された第1の誘電膜とを備え、
前記第1及び第2の反射器電極の少なくとも一方の反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数を前記主要弾性波の反共振周波数よりも低くしたことを特徴とする弾性波共振器。 - 圧電基板上において主要弾性波を励振させるIDT電極と、
前記主要弾性波の伝搬方向に沿って前記IDT電極の両側に配置された第1及び第2の反射器電極と、
前記IDT電極と、前記第1及び第2の反射器電極とを覆うように形成された第1の誘電膜とを備え、
前記第1の誘電膜の上であって前記第1及び第2の反射器電極の上方のみに第2の誘電膜を設け、
前記第1及び第2の反射器電極の少なくとも一方の反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数を前記主要弾性波の反共振周波数よりも低くしたことを特徴とする弾性波共振器。 - 前記圧電基板は、125°〜131°YカットX伝搬ニオブ酸リチウム系の圧電基板である請求項1または請求項2に記載の弾性波共振器。
- 前記第1及び第2の反射器電極の少なくとも一方の電極ピッチが、
前記IDT電極の電極ピッチの1.04倍以上1.06倍以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の弾性波共振器。 - 前記第1及び第2の誘電膜がともに酸化ケイ素であって、前記第1の誘電膜の膜厚が0.2λ以上0.4λ以下であり、前記第2の誘電膜の膜厚が0.001λ以上0.5λ以下である請求項2に記載の弾性波共振器。
- 圧電基板上において弾性波共振器からなる直列腕共振器と弾性波共振器からなる並列腕共振器とを有するラダー型の弾性波フィルタにおいて、
前記直列腕共振器の少なくとも1つが請求項1または請求項2に記載の弾性波共振器である弾性波フィルタ。 - 圧電基板上において弾性波共振器からなる直列腕共振器と弾性波共振器からなる並列腕共振器とを有するラダー型の弾性波フィルタにおいて、
前記直列腕共振器の中で最も共振周波数の低い直列腕共振器が請求項1または請求項2に記載の弾性波共振器である弾性波フィルタ。 - 請求項6または7記載の弾性波フィルタを送信フィルタとして有するアンテナ共用器。
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