JP2014160784A - エピタキシャルシリコンウェーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体デバイスの製造プロセスに供されるエピタキシャルシリコンウェーハは、デバイス製造プロセスがシリコンウェーハ表層を瞬間的に1250℃以上に加熱するミリ秒アニール処理を含むものとされ、ミリ秒アニール処理の前段階の熱プロセスを経た後において、その熱プロセスによる酸素析出物の析出量が3×1017atoms/cm3(Old−ASTM)以下であり、90°光散乱法によって測定される酸素析出物の密度と体積の積が3.0×1011以下である。
【選択図】なし
Description
Claims (2)
- 半導体デバイスの製造プロセスに供されるエピタキシャルシリコンウェーハであって、
前記半導体デバイス製造プロセスがシリコンウェーハ表層を瞬間的に1250℃以上に加熱するミリ秒アニール処理を含み、
当該エピタキシャルシリコンウェーハは、前記半導体デバイス製造プロセス中で前記ミリ秒アニール処理の前段階の熱プロセスを経た後において、前記熱プロセスによる酸素析出物の析出量が3×1017atoms/cm3(Old−ASTM)以下であり、90°光散乱法によって測定される酸素析出物の密度と体積の積が3.0×1011以下であることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハ。 - 前記ミリ秒アニール処理としてFLA(Flash Lamp Annealing)が施されることを特徴とする請求項1に記載のエピタキシャルシリコンウェーハ。
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