JP2014154797A - 半導体光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 InPからなる基板の上に、基板に格子整合するGaInAsPまたはAlGaInAsPからなる高屈折率層を含むn型クラッド層が配置されている。n型クラッド層の上にInPからなる中間層が配置されている。中間層の上に、メサストライプ構造が配置されている。メサストライプ構造は、多重量子井戸構造を有する活性層、及び活性層の上に配置されたp型クラッド層を含む。メサストライプ構造の両側に電流阻止領域が配置されている。一対の電極が、活性層にキャリアを注入する。n型クラッド層の実効屈折率が、p型クラッド層の実効屈折率より高い。
【選択図】 図1
Description
InPからなる基板と、
前記基板の上に配置され、InPからなる前記基板に格子整合するGaInAsPまたはAlGaInAsPからなる高屈折率層を含むn型クラッド層と、
前記n型クラッド層の上に配置されたInPからなる中間層と、
前記中間層の上に配置され、多重量子井戸構造を有する活性層、及び前記活性層の上に配置されたp型クラッド層を含むメサストライプ構造と、
前記メサストライプ構造の両側に配置された電流阻止領域と、
前記活性層にキャリアを注入する一対の電極と
を有し、
前記n型クラッド層の実効屈折率が、前記p型クラッド層の実効屈折率より高い半導体光装置が提供される。
InPからなる基板上に、前記基板に格子整合するGaInAsPまたはAlGaInAsPからなる高屈折率層を含むn型クラッド層を形成する工程と、
前記n型クラッド層の上にInPからなる中間層を形成する工程と、
前記中間層の上に、活性層を形成する工程と、
前記活性層の上にp型クラッド層を形成する工程と、
前記活性層及び前記p型クラッド層の一部分を、前記中間層が露出するまでエッチングして、前記活性層及び前記p型クラッド層を含むメサストライプ構造を残す工程と、
前記メサストライプ構造の両側の前記基板の上に電流阻止領域を形成する工程と、
前記活性層にキャリアを注入する一対の電極を形成する工程と
を有し、
前記n型クラッド層の実効屈折率が、前記p型クラッド層の実効屈折率より高い半導体光装置の製造方法が提供される。
図1Aに、実施例1による半導体光素子20の例として半導体レーザの平面図を示す。長方形の平面形状を有する基板21の上に、一方向に長いメサストライプ構造30が形成されている。基板21及びメサストライプ構造30は、メサストライプ構造30の長手方向と交差する一対の端面を有する。一方の端面に高反射膜31が形成され、他方の端面に反射防止膜32が形成されている。メサストライプ構造30内で誘導放出により発生したレーザビームが、反射防止膜32から外部に放射される。なお、反射防止膜32を無反射コーティングにすることにより、半導体光素子を、分布帰還型(DFB)レーザとして動作させることも可能である。他の例として、両端を無反射コーティングにすることにより、半導体光素子を、半導体光増幅器(SOA)として動作させることも可能である。
順番に成長させる。これらの膜の成長には、例えば有機金属化学気相成長(MOCVD)法等を適用することができる。p型クラッド層26の上にマスクパターン46を形成する。マスクパターン46は、メサストライプ構造30(図1A)に整合する平面形状を有する。
GaInAsP層とInP層とを含む多層構造としてもよい。
図4に、実施例1の変形例による半導体光素子の断面図を示す。この変形例では、電流阻止領域40に、単層の半絶縁性InP系材料層が用いられる。半絶縁性InP系材料として、例えばFeドープInPが挙げられる。
図5Aに、実施例2による半導体光素子の断面図を示す。以下、実施例1との相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。実施例1では、n型InPからなる中間層36(図1B)が、n型クラッド層22の全面を覆っていた。実施例2では、n型InPからなる中間層36が、メサストライプ構造30の下部のみに配置されており、メサストライプ構造30の両側には、中間層36が広がっていない。
れる。このように、n型クラッド層22が露出した後、電流阻止領域40を成長させるまでの間、n型クラッド層22の表面が大気に暴露されないプロセスを採用すればよい。
図6に、実施例2の変形例による半導体光素子の断面図を示す。実施例2では、電流阻止領域40が、p型InP層41とn型InP層42との2層で構成されていた。実施例2の変形例では、電流阻止領域40が、この2層の他にAlGaInAs層43を含む。図6は、n型AlGaInAs層43を、p型InP層41とn型InP層42との間に配置した例を示している。AlGaInAs層43は、電流阻止領域40内の他の位置に挿入してもよい。例えば、p型InP層41とn型クラッド層22との間に挿入してもよい。この構成の場合には、AlGaInAsの導電型をp型とする。また、n型InP層42の上にn型AlGaInAs層43を配置してもよい。
図7に、実施例3による半導体装置の例として、励起用光源の断面図を示す。実施例3による半導体装置は、例えばエルビウムドープ光ファイバ増幅器の励起用光源として使用される。セラミックス製のパッケージ60の底面に、温度調整モジュール61が搭載されている。温度調整モジュール61には、例えばペルチェ素子が用いられる。温度調整モジュール61の上にベース62が固定されている。
する。一般的には、半導体光素子64が温度調整モジュール61によって冷却される。なお、温度調整モジュール61を省略し、ヒートシンク63からの自然放熱により半導体光素子64を冷却してもよい。ヒートシンク63は、放熱フィンが設けられた外形を有するものに限定されない。例えば、熱伝導率の高い金属板をヒートシンク63として用いることも可能である。半導体光素子64から出射したレーザビームが、レンズ66でコリメートされる。コリメートされたレーザビームが、アイソレータ67を経由してレンズ68に入射する。レンズ68は、入射したレーザビームを、光ファイバ69の入射端面に集光する。サーミスタ65は、ヒートシンク63を介して、半導体光素子64の動作中の温度を計測する。半導体光素子64の高反射膜から漏れたレーザビームが、フォトディテクタ70で検出される。
21 基板
22 n型クラッド層
23 n側分離閉じ込めヘテロ構造層(n側SCH層)
24 活性層
24B バリア層
24W 井戸層
25 p側分離閉じ込めヘテロ構造層(p側SCH層)
26 p型クラッド層
27 2層目のp型クラッド層
28 p側電極
29 n側電極
30 メサストライプ構造
31 高反射膜
32 反射防止膜
33 p型コンタクト層
35 コア層
36 中間層
40 電流阻止領域
41 p型InP層
42 n型InP層
43 AlGaInAs層
45 光フィールド
46 マスクパターン
60 パッケージ
61 温度調整モジュール
62 ベース
63 ヒートシンク
64 半導体光素子
65 サーミスタ
66 レンズ
67 アイソレータ
68 レンズ
69 光ファイバ
70 フォトディテクタ
Claims (12)
- InPからなる基板と、
前記基板の上に配置され、InPからなる前記基板に格子整合するGaInAsPまたはAlGaInAsPからなる高屈折率層を含むn型クラッド層と、
前記n型クラッド層の上に配置されたInPからなる中間層と、
前記中間層の上に配置され、多重量子井戸構造を有する活性層、及び前記活性層の上に配置されたp型クラッド層を含むメサストライプ構造と、
前記メサストライプ構造の両側に配置された電流阻止領域と、
前記活性層にキャリアを注入する一対の電極と
を有し、
前記n型クラッド層の実効屈折率が、前記p型クラッド層の実効屈折率より高い半導体光装置。 - 前記中間層は、前記メサストライプ構造の両側の前記n型クラッド層を覆う請求項1に記載の半導体光装置。
- 前記活性層は、GaInAsP系材料層及びAlGaInAs系材料層の少なくとも一方を含む多重量子井戸構造を有する請求項1または2に記載の半導体光装置。
- 前記電流阻止領域は、少なくともn型InP系材料層とp型InP系材料層とを含み、前記n型InP系材料層が前記p型InP系材料層の上に配置されている請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体光装置。
- 前記電流阻止領域は、半絶縁性のInP層を含む請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体光装置。
- さらに、
前記活性層と前記中間層との間に配置されたn側分離閉じ込めヘテロ層と、
前記活性層と前記p型クラッド層との間に配置されたp側分離閉じ込めヘテロ層と
を有し、
前記n側分離閉じ込めヘテロ層及び前記p側分離閉じ込めヘテロ層の各々は、GaInAsPまたはAlGaInAsを含み、前記活性層に向かってバンドギャップエネルギーが連続的に、または階段状に小さくなっている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体光装置。 - 前記電流阻止領域は、さらに、GaInAsP、AlGaInAs、またはAlInAsからなる層を含む請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体光装置。
- 前記メサストライプ構造の前記活性層の幅が3μm以上である請求項1乃至7のいずれか1項に記載の半導体光装置。
- さらに、ヒートシンクを有し、
前記一対の電極の一方は前記基板の背面に形成され、他方は前記メサストライプ構造の上に形成されており、
前記一対の電極のうち、前記活性層から見て前記n型クラッド層とは反対側の電極が、前記ヒートシンクに熱的に結合している請求項1乃至8のいずれか1項に記載の半導体光装置。 - 前記基板及び前記メサストライプ構造は、前記メサストライプ構造の長手方向と交差す
る一対の端面を含み、
さらに、
入射端面を有する光ファイバと、
前記一対の端面の一方から出射したレーザビームを、前記光ファイバの前記入射端面に結合させるレンズと
を有する請求項1乃至9のいずれか1項に記載の半導体光装置。 - InPからなる基板上に、前記基板に格子整合するGaInAsPまたはAlGaInAsPからなる高屈折率層を含むn型クラッド層を形成する工程と、
前記n型クラッド層の上にInPからなる中間層を形成する工程と、
前記中間層の上に、活性層を形成する工程と、
前記活性層の上にp型クラッド層を形成する工程と、
前記活性層及び前記p型クラッド層の一部分を、前記中間層が露出するまでエッチングして、前記活性層及び前記p型クラッド層を含むメサストライプ構造を残す工程と、
前記メサストライプ構造の両側の前記基板の上に電流阻止領域を形成する工程と、
前記活性層にキャリアを注入する一対の電極を形成する工程と
を有し、
前記n型クラッド層の実効屈折率が、前記p型クラッド層の実効屈折率より高い半導体光装置の製造方法。 - 前記中間層が露出するまでエッチングした後、前記電流阻止領域を形成する前に、さらに、前記メサストライプ構造の両側に露出している前記中間層をエッチングして、前記n型クラッド層を露出させる工程を有し、
前記n型クラッド層が露出した後、前記電流阻止領域を形成するまでの間、露出している前記n型クラッド層の表面を大気に暴露させない請求項11に記載の半導体光装置の製造方法。
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2013
- 2013-02-13 JP JP2013025148A patent/JP2014154797A/ja active Pending
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