JP2014154606A - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外線照射装置2は筐体21と紫外線照射手段22と支持板23と制御手段とを備えている。筐体21は上方が開口している。紫外線照射手段22は筐体21内にウエーハの大きさに対応して複数の紫外線発光ダイオード24が配列されて形成されている。制御手段はウエーハ裏面に貼着した保護テープの粘着層の硬化したい領域に対応した位置の紫外線発光ダイオード24aを点灯させる。
【選択図】図3
Description
本発明の実施形態に係る紫外線照射装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る紫外線照射装置を設置した環状凸部除去装置の構成例の概略を示す斜視図である。図2は、実施形態に係る紫外線照射装置の構成例の概略を示す分解斜視図である。図3は、実施形態に係る紫外線照射装置の構成例の概略を示す平面図である。図4は、実施形態に係る紫外線照射装置の構成例の概略を示す断面図である。図5は、実施形態に係る紫外線照射装置の他の構成例の概略を示す分解斜視図である。図6は、実施形態に係る紫外線照射装置の他の構成例の概略を示す平面図である。
本発明の実施形態の変形例に係る紫外線照射装置を図面に基づいて説明する。図7は、実施形態の変形例に係る紫外線照射装置の構成例の概略を示す平面図である。なお、図7において、前述した実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
21 筐体
22 紫外線照射手段
23 支持板
24,24a,24b,24c 紫外線発光ダイオード
30 制御手段
A 粘着層
T 保護テープ
U 紫外線
W ウエーハ
Claims (2)
- ウエーハの裏面に貼着した紫外線を照射することによって硬化する粘着層を有する保護テープに紫外線を照射する紫外線照射装置において、
上方が開口した筐体と、該筐体内に配設された紫外線照射手段と、該筐体の該開口を覆い上面にウエーハを該保護テープ側を下にして支持する紫外線を透過する支持板と、紫外線照射手段を制御する制御手段と、を備え、
該紫外線照射手段は、複数個の紫外線発光ダイオードが該筐体内に少なくともウエーハの大きさに対応して複数個配列して形成されており、
該制御手段は、ウエーハ裏面に貼着した該保護テープの該粘着層の硬化したい領域に対応した位置の紫外線発光ダイオードを点灯させることを特徴とする紫外線照射装置。 - 該紫外線照射手段は、紫外光領域の異なる波長の紫外線を照射する複数種類の紫外線発光ダイオードが複数個交互に配列して形成されており、
該制御手段は、該保護テープの粘着層の種類に応じて適した波長の紫外線発光ダイオードが点灯させること、を特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。
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