JP2014146758A - 処理プロセスのサイクル化方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査方法や組み立て方法において、処理プロセスのサイクル化を可能として、フローの設計を簡単に行うことが可能な処理プロセスのサイクル化方法を提供する。
【解決手段】複数の処理セグメントを有する処理サイクルを備え、各処理セグメント内には、単数乃至複数種の実行工程を有する処理プロセスのサイクル化方法である。予め設定された実行工程を有する処理セグメントを複数種形成し、この複数種の処理セグメントから選択した複数の処理セグメントを有する処理サイクルを決定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、処理プロセスのサイクル化方法に関するものである。

例えば、半導体装置が形成される半導体ウエハ等に対しては、傷、異物、パターンの形成不良などを検査が行われる。このような外観検査装置では、特許文献１に記載されるように、多数の工程が実行されるものである。この場合、各工程を行うために、例えば、図１１に示すようなフローチャートを予め設計し、フローチャートに沿って順次各種の工程が行われる。

この図１１に示すフローチャートの場合、スタートすれば、ステップＳ１で所定の条件内か否かを判断し、範囲内（ＹＥＳ）ならば、ステップＳ２へ移行して、このステップＳ２での動作（工程）を行って、ステップＳ４へ移行する。また、ステップＳ１で範囲外（ＮＯ）ならば、ステップＳ３へ移行して、ステップＳ３での動作（工程）を行って、ステップＳ４へ移行する。そして、ステップＳ４では、このステップＳ４での判断を行う。この図例の場合、２つの値、たとえば、ＡとＢを比較して、このＡ＞Ｂであれば、ステップＳ５へ移行し、Ａ＝Ｂであれば、ステップＳ６へ移行し、Ａ＜Ｂであれば、ステップＳ７へ移行する。

ステップＳ５へ移行すれば、このステップＳ５での動作（工程）を行って、作業が終了する。ステップＳ６へ移行すれば、ステップＳ６での動作（工程）を行って、ステップＳ８へ移行する。ステップＳ７へ移行すれば、ステップＳ７での動作（工程）を行って、ステップＳ８へ移行する。ステップＳ８では、このステップＳ８での判断を行って、このステップＳ８での判断に対してＹＥＳならば、作業を終了し、このステップＳ８での判断に対してＮＯならば、ステップＳ９へ移行する。ステップＳ９では、ステップＳ９での動作（工程）を行って、作業を終了する。

また、時計・顕微鏡・カメラ・計量器・工作機械など精機機械等を組み立てる場合や調整する場合においても、各工程を行うためのフローを予め設計し、フローに沿って順次各種の工程が行われる。

特開２０１２−２０４７０３号公報

しかしながら、フロー（フローチャート）としては、検査方法や組み立て方法によっては、一つの大きなものとなる。このため、フローの構成が複雑になって設計が面倒であった。

そこで、検査方法や組み立て方法において、処理プロセスのサイクル化を可能として、フローの設計を簡単に行うことが可能な処理プロセスのサイクル化方法を提供する。

本発明の処理プロセスのサイクル化方法は、複数の処理セグメントを有する処理サイクルを備え、各処理セグメント内には、単数乃至複数種の実行工程を有する処理プロセスのサイクル化方法であって、予め設定された実行工程を有する処理セグメントを複数種形成し、この複数種の処理セグメントから選択した複数の処理セグメントを有する処理サイクルを決定するものである。

本発明の処理プロセスのサイクル化方法によれば、処理プロセスを簡単に構成できる。そして、処理セグメント内で入力時条件を決めれば、条件を満たす実行工程を実行し、この実行工程結果により、次の処理セグメントの実行条件を設定することができる処理プロセスを構成できる。

複数種の処理サイクルを備え、一の処理サイクルが終了した後、または一の処理サイクルの途中に他の処理サイクルの各処理セグメント内の実行工程が行われ、この他の処理サイクル終了した後に、再度、前記一の処理サイクルの各処理セグメント内の実行工程が行われるものであってもよい。

また、処理サイクルには、単数又は複数の処理セグメントからなる複数のドメインを設け、ドメイン毎に処理を繰り返すものであってもよい。

実行工程が、製品組立工程であったり、製品検査工程であったりする。製品組立工程としては、リードフレーム等に半導体チップ（ダイ）等をマウントするボンディング工程等があり、製品検査工程とは、電子部品の傷や欠け、電子部品に記載されている文字の有無等の検査である電子部品検査方法等である。

本発明によれば、処理プロセスを簡単に構成でき、製品組立工程や製品検査工程の設計が容易となり、設計者の負担を大幅に低減できる。しかも、構成された処理プロセスは、精度のよいものとなり、安定した製品組立工程や製品検査工程を行うことができる。

特に、ドメインを設けられるものでは、一つのサイクルで複数の繰り返しパターンを表現できる。このため、例えば、検査工程の中で、検査の初期設定（データ入力等）のドメインと、検査実施のドメインと分割し、管理・実行でき、この処理プロセスの作業性の向上及び作業時間の短縮を図ることができる。

本発明の処理プロセスのサイクル化方法で作成された処理プロセスのフローチャード図である。 前記処理プロセスのサイクル化方法の各実行工程の組み合わせ図である。 前記処理プロセスのサイクル化方法の各サイクルを示す簡略図である。 前記図３の実行工程を用いた処理プロセスを示す簡略図である。 前記図３の実行工程を用いた他の処理プロセスを示す簡略図である。 本発明の他の処理プロセスのサイクル化方法で作成された処理プロセスのフローチャード図である。 前記処理プロセスのサイクル化方法の各サイクルを示す簡略図である。 前記図７の実行工程を用いた処理プロセスを示す簡略図である。 前記図７の実行工程を用いた他の処理プロセスを示す簡略図である。 前記図７の実行工程を用いた別の処理プロセスを示す簡略図である。 従来のフローチャート図である。

以下本発明の実施の形態を図１〜図１０に基づいて説明する。

図１に示すように、本発明は、複数の処理セグメント１（１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）を有する複数種の処理サイクル２（２Ａ，２Ｂ）を備える。処理セグメント１は、複数種の実行工程ＳＡ１等を有する。すなわち、処理セグメント１Ａは、２つの実行工程のステップＳＡ１、ＳＡ２を有し、処理セグメント１Ｂは、３つの実行工程ＳＢ１、ＳＢ２、ＳＢ３を有し、処理セグメント１Ｃは、３つの実行工程ＳＣ１、ＳＣ２、ＳＣ３を有する。このように、各処理サイクル２内の処理セグメント１は処理フローを備えている。

この図１に示すプロセスは、処理セグメント１Ａ→処理セグメント１Ｂ→処理セグメント１Ｃを順次実行することになる。この場合、入力時条件として、ステップＳＡに、ステップＳＡ１、ＳＡ２のいずれを選択するか入力されている。このため、処理セグメント１ＡのステップＳＡ１、ＳＡ２のいずれかを行うことになる。

処理セグメント１ＡのステップＳＡ１、ＳＡ２のいずれかを行った後は、次のセグメント１Ｂにおいて、入力時条件として、ステップＳＢに、ステップＳＢ１、ＳＢ２、ＳＢ３のいずれを選択するか入力される。このため、処理セグメント１ＢのステップＳＢ１、ＳＢ２、ＳＢ３のいずれかを行うことになる。このセグメント１Ｂにおける入力時条件は、前回の処置セグメント１Ａの実行結果に基づいて決定される。

処理セグメント１ＢのステップＳＢ１、ＳＢ２、ＳＢ３のいずれかを行った後は、次のセグメント１Ｃにおいて、処理セグメント１Ｂと同様、入力時条件として、ステップＳＣに、ステップＳＣ１、ＳＣ２、ＳＢ３のいずれを選択するか入力される。このため、処理セグメント１ＣのステップＳＣ１、ＳＣ２、ＳＣ３のいずれかを行うことになる。このセグメント１Ｃにおける入力時条件は、前回の処置セグメント１Ｂの実行結果に基づいて決定される。

そして、この実施形態では、この処理サイクル２Ａが終了すれば、次の処理サイクル２Ｂへ移行する。この処理サイクル２Ｂのおいても、図示省略しているが、処置サイクル２Ａと同様、複数のセグメント１を有し、各セグメント１のステップＳが順次行われる。また、このサイクル２Ｂが終了すれば、サイクル２Ａに戻る。

次に、図２〜図５を用いて、処理プロセルの構成（形成）方法を説明する。この場合、まず、図２に示すように、処理サイクル２の集合の要素（前記各ステップ（実行工程））を準備する。すなわち、この図２では、Ｐｌａｎ集合（Ｐ１，Ｐ２）、Ｄｏ集合（Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５）、Ｃｈｅｃｋ集合（Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）、及び、Ａｃｔｉｏｎ集合（Ａ１，Ａ２，Ａ３）を準備する。
前記各ステップ（実行工程）には、例えば、設定ステップ、実行ステップ、評価ステップ、追加実行ステップ等がある。設定ステップとは、サイクル内処理を実行する前に必要な値等をセット（入力）するステップであり、実行ステップとはサイクル内処理の実行ステップであり、評価ステップとは実行結果を評価するステップであり、追加実行ステップとは評価結果に基づいた処理の実行ステップである。

次に、図３に示すように、各集合の要素を選択してサイクル２を設定する。すなわち、サイクル２(２Ｃ)では、Ｐｌａｎ集合の中から要素Ｐ１を選択し、Ｄｏ集合の中から要素Ｄ１を選択し、Ｃｈｅｃｋ集合の中から要素Ｃ１を選択し、Ａｃｔｉｏｎ集合の中から要素Ａ１を選択することになる。また、サイクル２(２Ｄ)では、Ｐｌａｎ集合の中から要素Ｐ２を選択し、Ｄｏ集合の中から要素Ｄ２を選択し、Ｃｈｅｃｋ集合の中から要素Ｃ２を選択し、Ａｃｔｉｏｎ集合の中から要素Ａ２を選択することになる。

すなわち、サイクル２Ｃは、要素（実行工程）Ｐ１を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ｄ１を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ｃ１を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ａ１を有する処理セグメント１とを備える。また、サイクル２Ｄは、要素（実行工程）Ｐ２を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ｄ２を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ｃ２を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ａ２を有する処理セグメント１とを備える。

このように、４つの要素集合から、任意の要素を選択して、任意のサイクルを構成することになって、例えば、サイクル２Ｚでは、Ｐｌａｎ集合の中から要素Ｐ２を選択し、Ｄｏ集合の中から要素Ｄ５を選択し、Ｃｈｅｃｋ集合の中から要素Ｃ４を選択し、Ａｃｔｉｏｎ集合の中から要素Ａ３を選択したものである。サイクル２Ｚは、要素（実行工程）Ｐ２を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ｄ５を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ｃ４を有する処理セグメント１と、要素（実行工程）Ａ３を有する処理セグメント１とを備える。

そして、図４に示すように、例えば、サイクル２Ｃとサイクル２Ｄとを指定することができる。この場合、サイクル２Ｃで、要素Ｐ１→Ｄ１→Ｃ１→Ａ１が実行され、要素Ａ１が実行されたならば、サイクル２Ｄへ移行する。サイクル２Ｄでは、Ｐ２→Ｄ２→Ｃ２→Ａ２が実行され、要素Ａ２が実行されたならば、サイクル２Ｃへ移行する。すなわち、この図４に示すプロセスは、図１に示しプロセスと同様、サイクル２Ｃを実行した後、サイクル２Ｄを実行して、サイクル２Ｃに戻る構成である。

次に図５に示すプロセスでは、サイクル２Ｅ、２Ｆを備えるものである。サイクル２Ｅでは、要素Ｐ１が実行されれば、要素Ｄ１→Ｃ１→Ａ１と実行された後、要素Ｄ２が実行される。また、要素Ｄ１が実行されば場合、要素Ｃ２が実行される場合がある。要素Ｃ２が実行されれば、要素Ａ２が実行され、要素Ａ２が実行されれば、要素Ｄ１に戻るか、サイクル２Ｆへ移行するか選択される。

また、要素Ｐ２が実行されれば、要素Ｄ２が実行され、要素Ｄ２が実行されれば、次に、要素Ｃ１が実行されるか、要素Ｃ３が実行されるか選択される。要素Ｃ３が実行されれば、要素Ａ２が実行される。

サイクル２Ｆでは、まず要素Ｐ２が実行され、その後、Ｄ５→Ｃ４→Ａ３が順次実行される。そして、要素Ａ３が実行された後は、サイクル２Ｅの要素Ｄ１が実行されることになる。

次に、図６は他のプロセスを示し、このプロセスは、サイクル２内において、単数又は複数の処理セグメント１からなる複数のドメイン１０を設けたものである。すなわち、ドメイン１０Ａは、一つの処理セグメント１（１Ｄ）を備え、ドメイン１０Ｂは、二つの処理セグメント１（１Ｅ，１Ｆ）を備える。

この図６に示すプロセスは、ドメイン１０Ａ、１０Ｂごとに処理が繰り返される。すなわち、ドメイン１０Ａにおいて、入力時条件として、ステップＳＤに、ステップＳＤ１、ＳＤ２のいずれを選択するか入力されている。このため、処理セグメント１ＤのステップＳＤ１、ＳＤ２のいずれかを行うことになる。そして、このドメイン１０Ａにおける処理が順次繰り返される。

また、ドメイン１０Ｂにおいて、入力時条件として、ステップＳＥに、ステップＳＥ１、ＳＥ２、ＳＥ３のいずれを選択するか入力されている。このため、処理セグメント１ＥのステップＳＥ１、ＳＥ２、ＳＥ３のいずれかを行うことになる。

処理セグメント１ＥのステップＳＥ１、ＳＥ２、ＳＥ３のいずれかを行った後は、次のセグメント１Ｆにおいて、処理セグメント１Ｅと同様、入力時条件として、ステップＳＦに、ステップＳＦ１、ＳＦ２、ＳＦ３のいずれを選択するか入力される。このため、処理セグメント１ＦのステップＳＦ１、ＳＦ２、ＳＦ３のいずれかを行うことになる。そして、このドメイン１０Ｂにおける処理が順次繰り返される。このセグメント１Ｆにおける入力時条件は、前回の処置セグメント１Ｅの実行結果に基づいて決定される。

次に、図７〜図１０を用いて、処理プロセルの構成（形成）方法を説明する。この場合、まず、図７に示すように、処理サイクル２の集合の要素（前記各ステップ（実行工程）Ｓを準備する。すなわち、この図７では、Ｐｌａｎ集合（Ｐ１）、Ｄｏ集合（Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４）、Ｃｈｅｃｋ集合（Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４、Ｃ５）、及び、Ａｃｔｉｏｎ集合（Ａ１，Ａ２，Ａ３）を準備する。

次に、図８〜図１０に示すように、各集合の要素を選択してサイクル２を設定する。すなわち、図８に示すサイクル２を有するプロセスでは、Ｐｌａｎ集合の中から要素Ｐ１を選択し、Ｄｏ集合の中から要素Ｄ１を選択し、Ｃｈｅｃｋ集合の中から要素Ｃ１を選択し、Ａｃｔｉｏｎ集合の中から要素Ａ１を選択することになる。要素Ｐ１を選択したセグメント１をもって、一つのドメイン１０（１０Ｃ）とし、要素Ｄ１を選択したセグメント１と、要素Ｃ１を選択したセグメント１と、要素Ａ１を選択したセグメント１とをもって他のドメイン１０(１０Ｄ)としている。

図９にサイクル２を有するプロセスでは、Ｐｌａｎ集合の中から要素Ｐ１を選択し、Ｄｏ集合の中から要素Ｄ２を選択し、Ｃｈｅｃｋ集合の中から要素Ｃ２を選択し、Ａｃｔｉｏｎ集合の中から要素Ａ２を選択することになる。要素Ｐ１を選択したセグメント１と、要素Ｄ２を選択したセグメント１とをもって、一つのドメイン１０（１０Ｅ）とし、要素Ｃ２を選択したセグメント１と、要素Ａ２を選択したセグメント１とをもって他のドメイン１０(１０Ｆ)としている。

図１０にサイクル２を有するプロセスでは、Ｐｌａｎ集合の中から要素Ｐ１を選択し、Ｄｏ集合の中から要素Ｄ５を選択し、Ｃｈｅｃｋ集合の中から要素Ｃ４を選択し、Ａｃｔｉｏｎ集合の中から要素Ａ３を選択することになる。要素Ｐ１を選択したセグメント１と、要素Ｄ５を選択したセグメント１と、要素Ｃ４を選択したセグメント１とをもって、一つのドメイン１０（１０Ｇ）とし、要素Ａ３を選択したセグメント１をもって他のドメイン１０(１０Ｈ)としている。

そして、図８に示すプロセスでは、ドメイン１０Ｃで要素Ｐ１が実行され、これが繰り返され、ドメイン１０Ｄで、要素Ｄ１→Ｃ１→Ａ１が実行され、これが繰り返される。また、図９に示すプロセスでは、ドメイン１０Ｅで要素Ｐ１→Ｄ２が実行され、これが繰り返され、ドメイン１０Ｆで要素Ｃ２→Ａ２が実行され、これが繰り返される。また、図１０に示すプロセスでは、ドメイン１０Ｇで要素Ｐ１→Ｄ５→Ｃ４が実行され、これが繰り返され、ドメイン１０Ｈで要素Ａ３が実行され、これが繰り返される。

ところで、本発明における実行工程が、製品組立工程の一工程であったり、製品検査工程の一工程であったりする。製品組立工程としては、リードフレーム等に半導体チップ（ダイ）等をマウントするボンディング工程等があり、製品検査工程とは、電子部品の傷や欠け、電子部品に記載されている文字の有無等の検査である電子部品検査方法等である。

このように、本発明の処理プロセスのサイクル化方法では、処理セグメント１内で入力時条件を決めれば、条件を満たす実行工程を実行し、この実行工程結果により、次の処理セグメント１の実行条件を設定することができる処理プロセスを構成できる。すなわち、本発明の処理プロセスのサイクル化方法では、処理プロセスを簡単に構成でき、製品組立工程や製品検査工程の設計が容易となり、設計者の負担を大幅に低減できる。しかも、構成された処理プロセスは、精度のよいものとなり、安定した製品組立工程や製品検査工程を行うことができる。

また、ドメイン１０を設けられるものでは、一つのサイクルで複数の繰り返しパターンを表現できる。このため、例えば、検査工程の中で、検査の初期設定（データ入力等）のドメイン１０と、検査実施のドメイン１０と分割し、管理・実行でき、この処理プロセスの作業性の向上及び作業時間の短縮を図ることができる。

以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記の実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、図１等に示すプロセスとして、サイクル２の数として２個に限るものではなく、その増減は任意である。また、各サイクル２のセグメント１の数としても３つや４つに限るものではなく、その増減は任意である。ドメイン１０が設けられるものでは、各ドメイン１０のセグメント数の増減も任意である。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ 処理セグメント
２、２Ａ、２Ｂ 処理サイクル
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ、１０Ｇ、１０Ｈ ドメイン

Claims (6)

1. 複数の処理セグメントを有する処理サイクルを備え、各処理セグメント内には、単数乃至複数種の実行工程を有する処理プロセスのサイクル化方法であって、
   予め設定された実行工程を有する処理セグメントを複数種形成し、この複数種の処理セグメントから選択した複数の処理セグメントを有する処理サイクルを決定することを特徴とする処理プロセスのサイクル化方法。
2. 処理セグメント内で入力時条件を評価し、その条件を満たす実行工程を実行し、この実行工程結果により、次の処理セグメントの実行条件を設定することを特徴とする請求項１に記載の処理プロセスのサイクル化方法。
3. 複数種の処理サイクルを備え、一の処理サイクルが終了した後、または一の処理サイクルの途中に他の処理サイクルの各処理セグメント内の実行工程が行われ、この他の処理サイクル終了した後に、再度、前記一の処理サイクルの各処理セグメント内の実行工程が行われることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の処理プロセスのサイクル化方法。
4. 処理サイクルには、単数又は複数の処理セグメントからなる複数のドメインを設け、ドメイン毎に処理を繰り返すことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の処理プロセスのサイクル化方法。
5. 実行工程が、製品組立工程であることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の処理プロセスのサイクル化方法。
6. 実行工程が、製品検査工程であることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の処理プロセスのサイクル化システム方法。

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