JP2010054454A - 半導体試験装置及び半導体試験方法 - Google Patents
半導体試験装置及び半導体試験方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010054454A JP2010054454A JP2008222167A JP2008222167A JP2010054454A JP 2010054454 A JP2010054454 A JP 2010054454A JP 2008222167 A JP2008222167 A JP 2008222167A JP 2008222167 A JP2008222167 A JP 2008222167A JP 2010054454 A JP2010054454 A JP 2010054454A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power
- sequence
- test
- control
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体試験装置に設けられるテスタコントローラ11は、ユーザによって作成される試験プログラムTPに従って半導体デバイス(DUT)の電源制御の手順を示すシーケンステーブル(パワーオンシーケンステーブルTB1パワーオフシーケンステーブルTB2)を作成するテーブル作成部43と、作成されたシーケンステーブルを試験プログラムに従って複数登録可能な登録部44と、登録部44に登録されたシーケンステーブルに従ってDUTに対する電源制御を行う電源制御部45とを備える。
【選択図】図2
Description
この発明によると、半導体デバイスの電源制御の手順を示すテーブル情報が試験プログラムに従って作成され、作成されたテーブル情報のうちの試験プログラムに従ったものが登録部に複数登録され、登録部に登録されたテーブル情報に従って半導体デバイスに対する電源制御が行われる。
また、本発明の半導体試験装置は、前記登録部が、前記半導体デバイスに対する電源投入手順を示す第1テーブル情報(TB1)が登録される第1登録部(44a)と、前記半導体デバイスに対する電源遮断手順を示す第2テーブル情報(TB2)が登録される第2登録部(44b)とを備えることを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記電源制御部が、前記第1登録部に登録された第1テーブル情報に基づいて前記半導体デバイスに対する電源投入に係る制御を行い、前記第2登録部に登録された第2テーブル情報に基づいて前記半導体デバイスに対する電源遮断に係る制御を行うことを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記テーブル作成部が、前記試験プログラムに従った複数の前記テーブル情報を一括して作成することを特徴としている。
本発明の半導体試験方法は、ユーザによって作成される試験プログラム(TP)に従って半導体デバイス(30)の試験を行う半導体試験方法であって、前記試験プログラムに従って前記半導体デバイスの電源制御の手順を示すテーブル情報(TB1、TB2)を複数作成するテーブル作成ステップ(S11)と、前記テーブル作成ステップで作成された前記テーブル情報を、前記試験プログラムに従って複数登録する登録ステップ(S13)と、前記登録ステップで登録されたテーブル情報に従って、前記半導体デバイスに対する電源制御を行う制御ステップ(S14、S15)とを含むことを特徴としている。
ここで、本発明の半導体試験方法は、前記登録ステップが、前記半導体デバイスに対する電源投入手順を示す第1テーブル情報(TB1)と、前記半導体デバイスに対する電源遮断手順を示す第2テーブル情報(TB2)とを登録するステップであり、前記制御ステップは、登録された前記第1テーブル情報に基づいて前記半導体デバイスに対する電源投入に係る制御と、登録された前記第2テーブル情報に基づいて前記半導体デバイスに対する電源遮断に係る制御とを行うステップであることを特徴としている。
このため、半導体デバイスの試験中にテーブル情報の作成を行う必要がないことから、試験効率の低下を防止することができるという効果がある。
また、テーブル情報の作成と登録とは別々に行うことができるため、例えば試験プログラムの所定の部分にテーブル情報を作成する命令をまとめて記述することができ、或いは、従来のように同じテーブル作成命令を試験プログラムの複数箇所に記述する必要がないため、試験プログラムの作成及び管理を容易にすることができるという効果がある。
30 DUT
43 テーブル作成部
44 登録部
44a パワーオンシーケンステーブル登録バッファ
44b パワーオフシーケンステーブル登録バッファ
45 電源制御部
TB1 パワーオンシーケンステーブル
TB2 パワーオフシーケンステーブル
TP 試験プログラム
Claims (6)
- ユーザによって作成される試験プログラムに従って半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
前記試験プログラムに従って前記半導体デバイスの電源制御の手順を示すテーブル情報を作成するテーブル作成部と、
前記テーブル作成部によって作成される前記テーブル情報を、前記試験プログラムに従って複数登録可能な登録部と、
前記登録部に登録されたテーブル情報に従って、前記半導体デバイスに対する電源制御を行う電源制御部と
を備えることを特徴とする半導体試験装置。 - 前記登録部は、前記半導体デバイスに対する電源投入手順を示す第1テーブル情報が登録される第1登録部と、
前記半導体デバイスに対する電源遮断手順を示す第2テーブル情報が登録される第2登録部と
を備えることを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - 前記電源制御部は、前記第1登録部に登録された第1テーブル情報に基づいて前記半導体デバイスに対する電源投入に係る制御を行い、
前記第2登録部に登録された第2テーブル情報に基づいて前記半導体デバイスに対する電源遮断に係る制御を行う
ことを特徴とする請求項2記載の半導体試験装置。 - 前記テーブル作成部は、前記試験プログラムに従った複数の前記テーブル情報を一括して作成することを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の半導体試験装置。
- ユーザによって作成される試験プログラムに従って半導体デバイスの試験を行う半導体試験方法であって、
前記試験プログラムに従って前記半導体デバイスの電源制御の手順を示すテーブル情報を複数作成するテーブル作成ステップと、
前記テーブル作成ステップで作成された前記テーブル情報を、前記試験プログラムに従って複数登録する登録ステップと、
前記登録ステップで登録されたテーブル情報に従って、前記半導体デバイスに対する電源制御を行う制御ステップと
を含むことを特徴とする半導体試験方法。 - 前記登録ステップは、前記半導体デバイスに対する電源投入手順を示す第1テーブル情報と、前記半導体デバイスに対する電源遮断手順を示す第2テーブル情報とを登録するステップであり、
前記制御ステップは、登録された前記第1テーブル情報に基づいて前記半導体デバイスに対する電源投入に係る制御と、登録された前記第2テーブル情報に基づいて前記半導体デバイスに対する電源遮断に係る制御とを行うステップである
ことを特徴とする請求項5記載の半導体試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008222167A JP2010054454A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 半導体試験装置及び半導体試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008222167A JP2010054454A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 半導体試験装置及び半導体試験方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010054454A true JP2010054454A (ja) | 2010-03-11 |
Family
ID=42070527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008222167A Pending JP2010054454A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 半導体試験装置及び半導体試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010054454A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014146758A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-14 | Canon Machinery Inc | 処理プロセスのサイクル化方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157071A (ja) * | 1986-12-20 | 1988-06-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Lsiメモリテスタの実時間電圧制御回路 |
JPH0869389A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体テスト装置 |
JPH08201473A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体検査装置 |
JP2000163278A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Toshiba Microelectronics Corp | 半導体試験装置用テストプログラム生成システム及びテストプログラム生成方法 |
JP2005308637A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Toshiba Microelectronics Corp | テストプログラム自動生成装置、テストプログラム自動生成方法及びテストプログラム自動生成プログラム |
-
2008
- 2008-08-29 JP JP2008222167A patent/JP2010054454A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157071A (ja) * | 1986-12-20 | 1988-06-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Lsiメモリテスタの実時間電圧制御回路 |
JPH0869389A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体テスト装置 |
JPH08201473A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体検査装置 |
JP2000163278A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Toshiba Microelectronics Corp | 半導体試験装置用テストプログラム生成システム及びテストプログラム生成方法 |
JP2005308637A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Toshiba Microelectronics Corp | テストプログラム自動生成装置、テストプログラム自動生成方法及びテストプログラム自動生成プログラム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014146758A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-14 | Canon Machinery Inc | 処理プロセスのサイクル化方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6557220B2 (ja) | プログラム可能なインタフェースベースの検証及びデバッグ | |
CN105209925A (zh) | 在用于编译自动化半导体器件测试的测试计划的开发环境内实施编辑并更新功能性 | |
US20130290796A1 (en) | Test pattern generation apparatus, test program generation apparatus, generation method, program, and test apparatus | |
JP5314693B2 (ja) | 試験モジュールおよび試験方法 | |
JPWO2019077738A1 (ja) | データ検証装置、データ検証方法及びデータ検証プログラム | |
JP2010271783A (ja) | 半導体集積回路設計支援システム及び半導体集積回路 | |
JP2010054454A (ja) | 半導体試験装置及び半導体試験方法 | |
US8726114B1 (en) | Testing of SRAMS | |
JP2005241654A (ja) | バーンインテスト方法 | |
JP2005233962A (ja) | ダイナミック波形リソース管理を行なう装置及び方法 | |
TW201301023A (zh) | 主機板測試系統及方法 | |
JP2011013915A (ja) | 測定装置の制御方法 | |
US20130117610A1 (en) | Emulator verification system, emulator verification method | |
JP2008101921A (ja) | 半導体テスト装置 | |
JP2008305500A (ja) | 不揮発性メモリの試験方法及び装置及びプログラム | |
JP4463173B2 (ja) | 試験装置、試験方法、プログラム、及び記録媒体 | |
US20040207408A1 (en) | Preconditional quiescent current testing of a semiconductor device | |
JP2009229331A (ja) | 半導体試験装置及びその制御プログラム | |
CN113470731A (zh) | Apst功能的测试方法、装置、可读存储介质及电子设备 | |
US7395477B2 (en) | Switch control apparatus, semiconductor device test apparatus and sequence pattern generating program | |
JP5277893B2 (ja) | デバッグ支援装置およびデバッグ支援方法 | |
US11520954B2 (en) | Simulation management method, simulation system, and program | |
JP2009075704A (ja) | テスト方法およびテスト装置並びにプログラム | |
KR20020061173A (ko) | 기능 평가 기능을 구비한 반도체 장치 | |
JP2004014037A (ja) | 半導体メモリ及び半導体装置並びに半導体メモリの試験方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110311 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121004 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20121031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130521 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131029 |