JP2014145743A - 半導体スイッチ回路、超音波画像診断装置及び半導体テスタ - Google Patents
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Abstract
【課題】
従来技術のソース端子を接続した2つのnチャネル型MOSFETからなるスイッチ回路では、nチャネル型MOSFETのドレイン−ソース電圧特性により、使用する信号電圧の範囲によってオン抵抗が変動する可能性がある。
【解決手段】
主スイッチ回路において、ソース端子を接続した2つのnチャネル型MOSFETと同じくソース端子を接続した2つのpチャネル型MOSFETとを並列に設けることで、スイッチ駆動電圧が“H”のときにnチャネル型MOSFETがオンし、“L”のときにpチャネル型MOSFETがオンすることでnチャネル型MOSFETスイッチとpチャネル型MOSFETスイッチを併用する。使用する信号の電圧範囲によらず安定したオン抵抗特性を持ち高速にスイッチング動作を行う半導体スイッチ回路を実現する。
【選択図】図1
従来技術のソース端子を接続した2つのnチャネル型MOSFETからなるスイッチ回路では、nチャネル型MOSFETのドレイン−ソース電圧特性により、使用する信号電圧の範囲によってオン抵抗が変動する可能性がある。
【解決手段】
主スイッチ回路において、ソース端子を接続した2つのnチャネル型MOSFETと同じくソース端子を接続した2つのpチャネル型MOSFETとを並列に設けることで、スイッチ駆動電圧が“H”のときにnチャネル型MOSFETがオンし、“L”のときにpチャネル型MOSFETがオンすることでnチャネル型MOSFETスイッチとpチャネル型MOSFETスイッチを併用する。使用する信号の電圧範囲によらず安定したオン抵抗特性を持ち高速にスイッチング動作を行う半導体スイッチ回路を実現する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体スイッチ回路に関し、例えば、アナログ信号のスイッチ回路並びにそれを用いた超音波画像診断装置及び半導体テスタに適用可能な技術に関する。
医療用超音波画像診断装置や半導体用超音波検査装置(以下、半導体テスタという。)に用いるスイッチ回路は、数MHzの高速スイッチング動作と数ボルトから数百ボルトの高電圧まで使用可能でかつ多チャンネルで用いるために小面積であることが求められており、メカニカルスイッチを用いた回路ではスイッチオン抵抗は0(ゼロ)に近いものの機械式スイッチのため高速動作ができず回路の面積も大きいことから、主にnチャネル型MOSFETを用いた半導体スイッチが用いられている(特許文献1)。
特許文献1に記載されるソース端子を接続した2つのnチャネル型MOSFETからなるスイッチ回路では、nチャネル型MOSFETのドレイン−ソース電圧特性により、使用する信号電圧の範囲によってオン抵抗が変動する可能性がある。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される課題を解決するための手段のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
すなわち、半導体スイッチ回路は、主スイッチ回路の素子として、ソース端子同士を接続した第1及び第2のnチャネル型MOSFETと、ソース端子同士を接続した第3及び第4のpチャネル型MOSFETとを並列に接続している。ソース端子同士を接続した第1及び第2のnチャネル型MOSFETからなるスイッチ回路に並列にnチャネル型MOSFETと正反対の電圧特性を持つソース端子同士を接続した第3及び第4のpチャネル型MOSFETからなるスイッチ回路を接続することで、nチャネル型MOSFETとpチャネル型MOSFET双方のオン抵抗特性を補い使用する信号電圧範囲で安定したオン抵抗特性を維持する。
上記半導体スイッチ回路によれば、安定したオン抵抗特性を図ることができる。
以下、実施例について、図面を用いて説明する。ただし、以下の説明において、同一構成要素には同一符号を付し繰り返しの説明は省略する。
<構成>
図1は実施例1の半導体集積回路の回路図である。図2は実施例1の半導体スイッチ回路のオン抵抗特性の説明図である。半導体集積回路SICは半導体スイッチSSWと制御部11とを有する。半導体スイッチ回路SSWは主スイッチ回路1と主スイッチ駆動回路2とオフアイソレーション回路3とを有する。主スイッチ回路1はnチャネル型MOSFETで構成される双方向スイッチ(第1のスイッチ回路)1aとpチャネル型MOSFETで構成される双方向スイッチ(第2のスイッチ回路)1bとを有する。主スイッチ駆動回路2は双方向スイッチ回路1aを駆動する双方向スイッチ駆動回路(第1の駆動回路)2aと双方向スイッチ回路1bを駆動する双方向スイッチ駆動回路(第2の駆動回路)2bとを有する。オフアイソレーション回路3はnチャネル型MOSFET33aとpチャネル型MOSFET33bとを有する。
図1は実施例1の半導体集積回路の回路図である。図2は実施例1の半導体スイッチ回路のオン抵抗特性の説明図である。半導体集積回路SICは半導体スイッチSSWと制御部11とを有する。半導体スイッチ回路SSWは主スイッチ回路1と主スイッチ駆動回路2とオフアイソレーション回路3とを有する。主スイッチ回路1はnチャネル型MOSFETで構成される双方向スイッチ(第1のスイッチ回路)1aとpチャネル型MOSFETで構成される双方向スイッチ(第2のスイッチ回路)1bとを有する。主スイッチ駆動回路2は双方向スイッチ回路1aを駆動する双方向スイッチ駆動回路(第1の駆動回路)2aと双方向スイッチ回路1bを駆動する双方向スイッチ駆動回路(第2の駆動回路)2bとを有する。オフアイソレーション回路3はnチャネル型MOSFET33aとpチャネル型MOSFET33bとを有する。
双方向スイッチ1aにおける2つのnチャネル型MOSFET11a、11bの互いに主端子であるソース端子S1aを、オフアイソレーション回路3のnチャネル型MOSFET33aのドレイン端子D33aに接続し、別の主端子であるドレイン端子Db,Daを信号入出力端子(第1及び第2の信号入出力端子)7,8にそれぞれ接続している。信号入出力端子7に印加される信号がVinであり、信号入出力端子8に印加される信号がVoutである。また、nチャネル型MOSFET11a、11bのゲート端子はお互いに接続されている。
双方向スイッチ1bにおける2つのpチャネル型MOSFET11c、11dの互いに主端子であるソース端子S1bを、オフアイソレーション回路3のpチャネル型MOSFET33bのドレイン端子D33bに接続し、別の主端子であるドレイン端子Dd,Dcを信号入出力端子7,8にそれぞれ接続している。また、pチャネル型MOSFET11c、11dのゲート端子はお互いに接続されている。
双方向スイッチ駆動回路2aにおけるnチャネル型MOSFET22aとpチャネル型MOSFET22bの互いに主端子であるソース端子S2aを、双方向スイッチ1aのnチャネル型MOSFET11a、11bのゲート端子G1aと、双方向スイッチ駆動回路2bのゲート端子G2bと、オフアイソレーション回路3のpチャネル型MOSFET33bのゲート端子G33bとに接続している。またnチャネル型MOSFET22aとpチャネル型MOSFET22bそれぞれのドレイン端子D22a、D22bに負極高圧電源端子6と正極高圧電源端子5とがそれぞれ接続している。正極高圧電源端子5には+HVが印加され、負極高圧電源端子6には−HVが印加される。ここで、Hは、例えば、30〜200である。nチャネル型MOSFET22aとpチャネル型MOSFET22bのゲート端子G2aは制御部11に接続されている。
双方向スイッチ駆動回路2bにおけるnチャネル型MOSFET22cとpチャネル型MOSFET22dの互いに主端子であるソース端子S2bを、双方向スイッチ1bのpチャネル型MOSFET11c、11dのゲート端子G1bと、オフアイソレーション回路3のnチャネル型MOSFET33aのゲート端子G33aとに接続している。またnチャネル型MOSFET22cとpチャネル型MOSFET22dそれぞれのドレイン端子D22c,D22dに負極高圧電源端子6と正極高圧電源端子5とがそれぞれ接続している。双方向スイッチ駆動回路2a、2bは制御部11からゲート端子G2aに入力される信号により制御される。制御部11は制御信号入力端子4に入力される信号により制御される。
半導体集積回路SICは1つの半導体基板上に形成され、半導体パッケージに封止される。なお、図1に示すように、nチャネル型MOSFET11a、11b、pチャネル型MOSFET11c、11d、nチャネル型MOSFET22a、22c、pチャネル型MOSFET22b、22d、nチャネル型MOSFET33、及びpチャネル型MOSFET33bのそれぞれのソース端子とドレイン端子との間には、寄生ダイオードが形成されている。
<動作>
双方向スイッチ回路1a、1bをオンにするには、まず制御部11で生成され、ゲート端子G2aに入力される信号を “L”(−HV)とする。このとき、双方向スイッチ駆動回路2aのpチャネル型MOSFET22bのゲート電圧が“L”となり、pチャネル型MOSFET22bがオンする。正極高圧電源端子5からpチャネル型MOSFET22bを介して、双方向スイッチ駆動回路2bのnチャネル型MOSFET22cと双方向スイッチ回路1aのnチャネル型MOSFET11a、11bのゲート電圧が“H”(+HV)となり、nチャネル型MOSFET11a、11b、22cがオンする。負極高圧電源端子6から双方向スイッチ駆動回路2bのnチャネル型MOSFET22cを介して双方向スイッチ回路1bのpチャネル型MOSFET11c、11dのゲート電圧が“L”となり、pチャネル型MOSFET11c、11dをオンすることで、主スイッチ回路1がオン状態となる。
双方向スイッチ回路1a、1bをオンにするには、まず制御部11で生成され、ゲート端子G2aに入力される信号を “L”(−HV)とする。このとき、双方向スイッチ駆動回路2aのpチャネル型MOSFET22bのゲート電圧が“L”となり、pチャネル型MOSFET22bがオンする。正極高圧電源端子5からpチャネル型MOSFET22bを介して、双方向スイッチ駆動回路2bのnチャネル型MOSFET22cと双方向スイッチ回路1aのnチャネル型MOSFET11a、11bのゲート電圧が“H”(+HV)となり、nチャネル型MOSFET11a、11b、22cがオンする。負極高圧電源端子6から双方向スイッチ駆動回路2bのnチャネル型MOSFET22cを介して双方向スイッチ回路1bのpチャネル型MOSFET11c、11dのゲート電圧が“L”となり、pチャネル型MOSFET11c、11dをオンすることで、主スイッチ回路1がオン状態となる。
双方向スイッチ回路1a、1bをオフにするには、まずゲート端子G2aに入力される信号を“H”とする。このとき、双方向スイッチ駆動回路2aのnチャネル型MOSFET22aのゲート電圧が“H”となり、nチャネル型MOSFET22aがオンする。負極高圧電源端子6からnチャネル型MOSFET22aを介して、双方向スイッチ駆動回路2bのpチャネル型MOSFET22dと双方向スイッチ回路1aのnチャネル型MOSFET11a、11bのゲート電圧が“L”となり、pチャネル型MOSFET22dがオン、nチャネル型MOSFET11a、11bがオフする。正極高圧電源端子5からpチャネル型MOSFET22dを介して双方向スイッチ回路1bのpチャネル型MOSFET11c、11dのゲート電圧が“H”となり、pチャネル型MOSFET11c、11dをオフすることで、主スイッチ回路1がオフ状態となる。
主スイッチ回路1がオフ状態のとき、正極高圧電源端子5からpチャネル型MOSFET22dを介して、オフアイソレーション用nチャネル型MOSFET33aのゲート電圧が“H”となり、nチャネル型MOSFET33aがオンすることで双方向スイッチ回路1aのnチャネル型MOSFET11a、11bソース電位は負極高圧電源端子6と同電位になる。負極高圧電源端子6からnチャネル型MOSFET22aを介して、オフアイソレーション用pチャネル型MOSFET33bのゲート電圧が“L”となり、pチャネル型MOSFET33bがオンすることで双方向スイッチ回路1bのpチャネル型MOSFET11c、11dのソース電位は正極高圧電源端子5と同電位となる。
主スイッチ回路1がオフ状態のときに、オフアイソレーション用nチャネル型MOSFET33aとpチャネル型MOSFET33bがオンすることで双方向スイッチ回路1aのnチャネル型MOSFET11a、11bのソース電位を負極高圧電源端子6の電位に、双方向スイッチ回路1bのpチャネル型MOSFET11c、11dのソース電位を正極高圧電源端子5の電位とすることで、双方向スイッチ回路1a、1bの信号遮断性能の向上を図ることができる。
このように、半導体スイッチ回路SSWでは、制御部11で生成され双方向スイッチ駆動回路2のゲート端子G2aに入力される入力信号によって、2つのnチャネルMOSFETからなる双方向スイッチ回路1aと2つのpチャネルMOSFETからなる双方向スイッチ回路1bを同時にオン・オフする。これにより、図2に実線で示す「nch型MOSFET双方向スイッチ」(双方向スイッチ回路1a)と、破線で示す「pch型MOSFET双方向スイッチ」(双方向スイッチ回路1b)のオン抵抗特性を補い、点線で示す「nch型+pch型MOSFET並列双方向スイッチ」(主スイッチ回路1)のように−HVから+HVまでの入力信号の電圧範囲において正負に対称性のある安定したオン抵抗特性を得ることができる。
半導体スイッチSSWにはオフアイソレーション回路3を必ずしも具備する必要はない。しかし、オフアイソレーション回路3において、2つのnチャネルMOSFETからなる双方向スイッチ回路1aと2つのpチャネルMOSFETからなる双方向スイッチ回路1bのソース端子にそれぞれオフアイソレーション用nチャネル型MOSFET33aとpチャネル型MOSFET33bとを接続することで、主スイッチ回路1がオフ状態のときに外部から主スイッチ回路1の信号入出力端子7,8に入力される信号の信号遮断性能を向上することができる。
図3は実施例2の超音波画像診断装置のブロック構成図である。本実施例の超音波画像診断装置SWIDは実施例1に示す半導体スイッチ回路を用いて構成されている。図3で、実線は超音波送受信信号の流れを示し、破線は制御信号の流れを示す。図3に示すように、超音波画像診断装置SWIDは、被験体の計測対象の部位に対して超音波を送受信する探触子13と、探触子13へ送信フォーカス処理をして超音波を送信する送信回路系14と、探触子13から出力される受信波の受信フォーカス処理をする整相手段を含む受信回路系15とを有する。また、超音波画像診断装置SWIDは、受信回路系15から出力される受信信号を用いて超音波断面像などを表示する超音波表示回路系16と、超音波表示回路系16から出力される超音波画像情報を表示する、例えばモニタなどの画像表示器17とを有する。
超音波画像診断装置SWIDは、探触子13と、送信回路系14又は受信回路系15との間で伝達される超音波信号の切り替え装置に、複数の半導体スイッチ回路SSWと制御部11を図3に示すスイッチ回路12の構成要素として備えている。
図4は実施例2の超音波画像診断装置のスイッチ回路及び探触子の詳細を示す構成図である。スイッチ回路12はn個のスイッチ回路#1〜#nを有している。探触子13はn個の振動子#1〜#nを有している。また、n個のスイッチを有するスイッチ回路#1は振動子#1と送受信チャネル#1〜#nと接続されている。n個のスイッチを有するスイッチ回路#nは振動子#1と送受信チャネル#1〜#nと接続されている。したがって、スイッチ回路12はn×nのスイッチを有している。例えば、スイッチ回路#iはn個の半導体スイッチ回路と制御部を有し、一つの半導体集積回路で構成される。ここで、i=1〜nであり、nは例えば16である。したがって、スイッチ回路12はn個の半導体集積回路で構成される。また、半導体スイッチ回路SSWの信号入出力端子7は送信回路系14及び受信回路系15に接続され、信号入出力端子8は探触子13に接続され、制御信号入力端子4は制御回路18に接続される。このスイッチ回路12は図3及び図4に示すように送信回路系14及び受信回路系15と、探触子13との間に設けられ、探触子13内の超音波を送受信する複数の振動子に対して、複数の超音波送受信チャンネルの中から1つの送受信チャンネルを選択、或いは全ての送受信チャンネルを遮断する。
図5は実施例2の超音波画像診断装置の動作タイミングを示す図である。超音波画像診断装置SWIDの駆動シーケンスはスイッチ回路の設定期間、超音波信号の送信期間、超音波信号の受信期間からなる。この駆動シーケンスを考慮し、図5に示す駆動シーケンスでスイッチ回路のオン/オフを行う。設定期間では、スイッチ回路12を構成する半導体スイッチ回路SSWのゲート端子G2aに入力する信号を“H”、送信期間および受信期間では信号を“L”とする。これにより双方向スイッチ回路1a、1b(主スイッチ回路1)は、図5に示すようにオン(ON)/オフ(OFF)を行う。主スイッチ回路1がオンしているときは、信号入力端子7の信号(Vin)と信号入力端子8の信号(Vout)はほぼ同じ信号(振幅)となる。受信期間では、送信期間中に送信回路系14から出力された超音波が探触子13を介して被検体に出力され、被検体からの反射波が探触子13を介して受信するので、振幅が送信期間中よりも小さくなっている。
超音波画像診断装置SWIDは、半導体スイッチ回路SSWを探触子13と送信回路系14、受信回路系15の間で伝達される超音波信号の切り替え装置に用いたことにより、送信回路系14から送信される超音波信号の電圧振幅によらず安定したスイッチオン抵抗特性を実現できるため、送信回路系14より送信される超音波信号の電圧振幅を上げることができる。このため、より大振幅で対称性のよい超音波信号を探触子13に送信することができる。このように、本実施例の超音波画像診断装置によれば、より大振幅で対象性の良い超音波信号を用いることができ、超音波画像診断装置の画質の改善を図ることができる。
また、2つのnチャネルMOSFETからなる双方向スイッチ回路1aと2つのpチャネルMOSFETからなる双方向スイッチ回路1bのソース端子にそれぞれオフアイソレーション用nチャネル型MOSFET33aとpチャネル型MOSFET33bを接続することで、主スイッチ回路1がオフ状態のときに探触子13から主スイッチ回路1に入力される反射信号の信号遮断性能を向上することができる。
図6は実施例3の半導体テスタのブロック構成図である。本実施例の半導体テスタSTは実施例1に示す半導体スイッチ回路を用いて構成されている。図6において、実線は高電圧信号の流れを示し、破線は制御信号の流れを示す。図6に示すように、半導体テスタSTは、被験体の半導体19に接触するプローブ20と、プローブに送信する試験信号を生成する試験信号発生装置23と、被験体の半導体から出力される試験信号を測定する測定回路系24とを有する。ここで、プローブ20は実施例2の探触子13と同様に振動子で構成されている。
半導体テスタSTは、プローブ20と試験信号発生装置23、測定回路系24の間で伝達される試験信号の切り替え装置に、複数の半導体スイッチ回路SSW及び制御部11をスイッチ回路21の構成要素として用いている。スイッチ回路21は、試験信号発生装置23及び測定回路系24と、プローブ20の間に設けられ、プローブ20内の複数の測定端子に対して、試験信号の印加又は遮断を選択する。また、スイッチ回路21は制御回路22によりオン・オフを制御する。なお、スイッチ回路21は、図4に示す実施例2のスイッチ回路12と同様な構成になっている。
半導体テスタSTは、半導体スイッチ回路SSWをプローブ20内の測定端子と試験信号発生装置23、測定回路系24の間で伝達される試験信号の切り替え装置に用いているので、試験信号の振幅をスイッチ回路の電源電圧まで上げた場合でも試験信号の減衰を低く保つことができ、大振幅の信号電圧を用いることで半導体から出力される試験信号も強くなるため、半導体試験効率の改善を図ることができる。
また、2つのnチャネルMOSFETからなる双方向スイッチ回路1aと2つのpチャネルMOSFETからなる双方向スイッチ回路1bのソース端子にそれぞれオフアイソレーション用nチャネル型MOSFET33aとpチャネル型MOSFET33bを接続することで、主スイッチ回路1がオフ状態のときにプローブ20から主スイッチ回路1に入力される信号の信号遮断性能を向上することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々変更可能であることはいうまでもない。
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々変更可能であることはいうまでもない。
1…主スイッチ回路、1a、1b…双方向スイッチ、2…主スイッチ駆動回路、2a、2b…双方向スイッチ駆動回路、3…オフアイソレーション回路、11a、11b、22a、22c、33a…nチャネル型MOSFET、11c、11d、22b、22d、33b…pチャネル型MOSFET、4…制御信号入力端子、5…正極高圧電源入力端子、6…負極高圧電源入力端子、7、8…信号入出力端子、11…制御部、12…スイッチ回路、13…探触子、14…送信回路系、15…受信回路系、16…超音波表示回路系、17…画像表示器、18…制御回路、19…半導体(被験体)、20…プローブ、21…スイッチ回路、22…制御回路、23…試験信号発生装置、24…測定回路系、SIC…半導体集積回路、SSW…半導体スイッチ回路、ST…半導体テスタ、SWID…超音波画像診断装置
Claims (10)
- 第1及び第2のnチャネル型MOSFETのソース端子を互いに接続し、前記第1及び第2のnチャネル型MOSFETのドレイン端子をそれぞれ第1及び第2の信号入出力端子に接続する第1のスイッチ回路と、第3及び第4のpチャネル型MOSFETのソース端子を互いに接続し、前記第3及び第4のpチャネル型MOSFETのドレイン端子をそれぞれ前記第1及び第2の信号入出力端子に接続する第2のスイッチ回路とを有する主スイッチ回路と、
前記主スイッチ回路のオン・オフを制御する駆動回路と
を備えた半導体スイッチ回路。 - 請求項1の半導体スイッチ回路において、
前記第1及び第2のnチャネル型MOSFETのゲート端子は互い接続されて前記駆動回路に接続され、
前記第3及び第4のpチャネル型MOSFETのゲート端子は互い接続されて前記駆動回路に接続される。 - 請求項2の半導体スイッチ回路は、さらに、
オフアイソレーション用nチャネル型MOSFETのドレイン端子を前記第1のスイッチ回路のソース端子に接続し、前記オフアイソレーション用nチャネル型MOSFETのソース端子を負極高圧電源端子に接続し、オフアイソレーション用pチャネル型MOSFETのドレイン端子を前記第2のスイッチ回路のソース端子に接続し、前記オフアイソレーション用pチャネル型MOSFETのソース端子を正極高圧電源端子に接続する回路を備えている。 - 請求項3の半導体スイッチ回路において、
前記オフアイソレーション用nチャネル型MOSFETのゲート端子は前記駆動回路に接続され、前記オフアイソレーション用pチャネル型MOSFETのゲート端子は前記駆動回路に接続される。 - 請求項4の半導体スイッチ回路において、
前記駆動回路は第1の駆動回路と第2の駆動回路とを有し、
前記第1の駆動回路は、前記第2の駆動回路と前記2第1及び第2のnチャネル型MOSFETのゲート端子と前記オフアイソレーション用pチャネル型MOSFETのゲート端子とに接続され、
前記第2の駆動回路は、前記第1の駆動回路と前記第3及び第4のpチャネル型MOSFETのゲート端子と前記オフアイソレーション用nチャネル型MOSFETのゲート端子とに接続される。 - 請求項5の半導体スイッチ回路において、
前記駆動回路は正極高圧電源端子と負極高圧電源端子とに接続される。 - 被検体に超音波を照射する探触子と、
前記探触子に超音波信号を送信する送信回路系と、
前記探触子の出力信号を受信する受信回路系と、
前記受信回路系の出力信号を入力して画像表示情報を出力する表示回路系と、
前記表示回路情報を入力して画像表示する画像表示器と、
前記探触子に前記送信回路系と前記受信回路系との接続を切り替えるスイッチ回路とを備え、
前記スイッチ回路は、
第1及び第2のnチャネル型MOSFETのソース端子を互いに接続し、前記第1及び第2のnチャネル型MOSFETのドレイン端子をそれぞれ第1及び第2の信号入出力端子に接続し、第3及び第4のpチャネル型MOSFETのソース端子を互いに接続し、前記第3及び第4のpチャネル型MOSFETのドレイン端子をそれぞれ第1及び第2の信号入出力端子に接続した主スイッチ回路と、
前記主スイッチ回路のオン・オフを制御する駆動回路と
を備える超音波画像診断装置。 - 請求項7の超音波画像診断装置は、さらに、
オフアイソレーション用nチャネル型MOSFETのドレイン端子を前記第1及び第2のnチャネル型MOSFETのソース端子に接続し、前記オフアイソレーション用nチャネル型MOSFETのソース端子を負極高圧電源端子に接続し、オフアイソレーション用pチャネル型MOSFETのドレイン端子を前記第3及び第4のpチャネル型MOSFETのソース端子に接続し、オフアイソレーション用pチャネル型MOSFETのソース端子を正極高圧電源端子に接続する回路を備えている。 - 被検体に試験信号を加えるプローブと、
前記プローブに試験信号を送信する試験信号発生装置と、
前記プローブの出力信号を測定する測定回路系と、
前記プローブに試験信号発生装置と測定回路系との接続を切り替えるスイッチ回路と、
前記スイッチ回路の制御回路と
を備え、
前記スイッチ回路は、
第1及び第2のnチャネル型MOSFETのソース端子を互いに接続し、前記第1及び第2のnチャネル型MOSFETのドレイン端子をそれぞれ第1及び第2の信号入出力端子とし、第3及び第4のpチャネル型MOSFETのソース端子を互いに接続し、前記第3及び第4のpチャネル型MOSFETのドレイン端子をそれぞれ前記第1及び第2の信号入出力端子とした主スイッチ回路と、
前記主スイッチのオン・オフを制御する駆動回路と
を有する半導体テスタ。 - 請求項9の半導体テスタは、さらに
オフアイソレーション用nチャネルMOSFETのドレイン端子を前記2第1及び第2のnチャネル型MOSFETのソース端子に接続し、前記オフアイソレーション用nチャネルMOSFETのソース端子を負極高圧電源端子に接続し、オフアイソレーション用pチャネル型MOSFETのドレイン端子を前記第3及び第4のpチャネル型MOSFETのソース端子に接続し、オフアイソレーション用pチャネル型MOSFETのソース端子を正極高圧電源端子に接続する回路を備えている。
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- 2013-01-30 JP JP2013015913A patent/JP2014145743A/ja active Pending
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