JP2014140852A - 接合材料 - Google Patents
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Abstract
【課題】収縮による位置ずれを抑制可能な接合材料を提供する。
【解決手段】Cu,Ni,Au,Ag,Co,Cr,Pd,Pt,Rhのうち1つを主成分とする金属からなる収縮抑制層2と、収縮抑制層2を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Znを主成分とする金属からなるZn層4とAlを主成分とする金属からなるAl層5とを有する溶融層3と、収縮抑制層2および溶融層3を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Cu,Au,Agのうち1つを主成分とする金属からなる酸化抑制層6と、を備えているものである。
【選択図】図1
【解決手段】Cu,Ni,Au,Ag,Co,Cr,Pd,Pt,Rhのうち1つを主成分とする金属からなる収縮抑制層2と、収縮抑制層2を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Znを主成分とする金属からなるZn層4とAlを主成分とする金属からなるAl層5とを有する溶融層3と、収縮抑制層2および溶融層3を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Cu,Au,Agのうち1つを主成分とする金属からなる酸化抑制層6と、を備えているものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、Pbフリーの接合材料に関するものである。
近年、新興国で家電製品や自動車が急速に普及している。それに伴い、電力の制御に不可欠なパワー半導体の需要が増大している。
パワー半導体パッケージ内部のリードフレームと半導体素子とを接合する接合材料としては、パワー半導体パッケージと基板とをリフロー工程で接合する際に溶融しないものを用いる必要があるため、260℃以上の耐熱性を有し、Pbを85%以上含有する高Pbはんだが一般に用いられている。
しかし、Pbは人体有害性を有すること、環境に負荷を与えることから、電気・電子機器中の有害物の使用を禁止するRoHS(Restriction of the use of certain Hazardous Substances in electrical and electronic equipment)指令の施行等でPbの使用が規制されつつある。
現在、高PbはんだはRoHS指令による規制から除外されているものの、将来的に規制対象となる可能性が高いことから、高Pbはんだを代替する接合材料の開発が望まれている。
高Pbはんだを代替する接合材料として、耐熱性が高く低コストなZn−Al系はんだが知られている。しかし、このZn−Al系はんだは表面が酸化しやすく濡れを得ることが難しいという問題がある。
そこで、特許文献1では、Zn−Al系はんだの濡れ性を向上させるために、Zn、Al、Znの順に積層された構造の接合材料が提案されている。特許文献1の接合材料によれば、表面のZn系層によりAlの酸化を抑制し濡れ性を確保することができ、また、はんだとして用いる際にはZnとAlの反応によって融点が382℃であるZn−6mass%Al共晶となるため、高耐熱性を実現できる。
また、特許文献2では、ZnとAlを層状とした構造の最表面に酸化を抑制させる金属を被覆した構造の接合材料が提案されている。特許文献2の接合材料によれば、Zn,Alの酸化を抑制でき、また特許文献1で必須であった前処理が不要となり、接合信頼性、耐熱性に優れた接合が可能になる。
しかしながら、特許文献2の接合材料では、接合時に接合材料を加熱したとき、最表層に酸化を抑制する金属が被覆された状態でZnとAlの界面から融液となることから、融液が最表層に現れて濡れる前に表面張力により接合材料が収縮し、この収縮により接合材料が位置ずれを起こしてしまうという問題があった。
本発明は上記事情に鑑み為されたものであり、収縮による位置ずれを抑制可能な接合材料を提供することを目的とする。
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、Cu,Ni,Au,Ag,Co,Cr,Pd,Pt,Rhのうち1つを主成分とする金属からなる収縮抑制層と、前記収縮抑制層を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Znを主成分とする金属からなるZn層とAlを主成分とする金属からなるAl層とを有する溶融層と、前記収縮抑制層および前記溶融層を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Cu,Au,Agのうち1つを主成分とする金属からなる酸化抑制層と、を備えた接合材料である。
前記Al層の厚さが前記Zn層の厚さの1/3以下であるとよい。
前記溶融層は、前記収縮抑制層側に前記Zn層、前記酸化抑制層側に前記Al層を配置してなるとよい。
前記収縮抑制層の厚さが、全体の厚さの1/200以上1/10以下であるとよい。
前記酸化抑制層の厚さが、前記溶融層の厚さの1/500以上1/50以下であるとよい。
前記収縮抑制層の主成分とする金属の組成が、90mass%以上であるとよい。
前記Al層のAlの組成が、90mass%以上であるとよい。
前記Zn層のZnの組成が、90mass%以上であるとよい。
前記酸化抑制層の主成分とする金属の組成が、90mass%以上であるとよい。
本発明によれば、収縮による位置ずれを抑制可能な接合材料を提供できる。
以下、本発明の実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
図1は、本実施の形態に係る接合材料の断面図である。
図1に示すように、接合材料1は、収縮抑制層2と、収縮抑制層2を厚さ方向から挟み込むように設けられる溶融層3と、収縮抑制層2および溶融層3を厚さ方向から挟み込むように設けられる酸化抑制層6と、を備えている。
つまり、接合材料1は、酸化抑制層6、溶融層3、収縮抑制層2、溶融層3、酸化抑制層6を順次積層したクラッド構造となっており、最外層の酸化抑制層6の内部で溶融層3が収縮抑制層2を挟持している構造となっている。
収縮抑制層2は、Cu,Ni,Au,Ag,Co,Cr,Pd,Pt,Rhのうち1つを主成分とする金属からなる。収縮抑制層2は、溶融層3より融点が高く、かつ、Znと金属間化合物を形成する金属からなり、溶融時に消失せず収縮を抑制する役割を果たすものである。
収縮抑制層2の主成分とする金属(Cu,Ni,Au,Ag,Co,Cr,Pd,Pt,Rhのうち1つ)の組成は、90mass%以上であるとよい。不純物は融点の上昇を招くためである。
溶融層3は、Znを主成分とする金属からなるZn層4とAlを主成分とする金属からなるAl層5とを有している。溶融層3は、収縮抑制層2側にZn層4、酸化抑制層6側にAl層5を配置してなる。Zn層4は収縮抑制層2に面しており、Al層5は酸化抑制層6に面している。
溶融層3におけるAl層5の厚さは、Zn層4の厚さの1/3以下とされる。換言すれば、溶融層3では、Al層厚/Zn層厚の比率が1/3以下とされる。これは、Al層5の厚さがZn層4の厚さの1/3を超えると、融点の上昇を招いてしまうためである。なお、ここでいうZn層4の厚さ、Al層5の厚さは、接合材料1全体での合計の厚さであり、収縮抑制層2の表面側と裏面側の各層の厚さの合計値である。
接合材料1を加熱するとZn層4とAl層5の界面から溶融が生じるので、本実施の形態では、より薄いAl層5を外側(酸化抑制層6側)に配置することで、溶融位置をより表層に近くし、接合対象に濡れやすくしている。
Al層5のAlの組成は90mass%以上であるとよく、Zn層4のZnの組成は90mass%以上であるとよい。不純物は融点の上昇を招くためである。
酸化抑制層6は、Cu,Au,Agのうち1つを主成分とする金属からなる。酸化抑制層6の主成分とする金属としてCu,Au,Agを用いるのは、これらの金属が水素等による還元が行いやすい特性を有しているためである。
酸化抑制層6の主成分とする金属(Cu,Au,Agのうち1つ)の組成は、90mass%以上であるとよい。不純物は融点の上昇を招くためである。
収縮抑制層2の厚さは、接合材料1全体の厚さ(全体厚という)の1/200以上1/10以下であるとよい。これは、収縮抑制層2の厚さが全体厚の1/10を超えると、接合材として機能する酸化抑制層6と溶融層3が相対的に薄くなり十分な接合が得られず、1/200を下回ると接合材料1の収縮を十分に抑制できなくなるためである。
また、酸化抑制層6の厚さは、溶融層3の厚さの1/500以上1/50以下であるとよい。これは、酸化抑制層6の厚さが溶融層3の厚さの1/50を超えると融点の上昇を招いてしまい、1/500を下回ると保管中や実装時の昇温により消失し、酸化抑制機能を失ってしまうためである。なお、ここでいう酸化抑制層6の厚さ、溶融層3の厚さは、接合材料1全体での合計の厚さであり、収縮抑制層2の表面側と裏面側の各層の厚さの合計値である。
なお、接合材料1が、不純物元素としてMnを含む場合、融点低下は僅かしかないにもかかわらず、接合後の接合材料1である接合層の硬さが硬くなり、接合対象となる半導体素子等の割れが発生する要因となる。よって、収縮抑制層2、溶融層3、酸化抑制層6には、不純物元素としてMnを含まないことが望ましい。
ただし、接合材料1に、Ga,Ge,Mg,Sn,Cuなどの元素を10mass%以下含有する場合は、融点を下げる効果が得られる。この場合、実装に用いても半導体素子等が割れにくくなるため、これらの元素は収縮抑制層2、溶融層3、酸化抑制層6に混入してもよい。
次に、接合材料1の溶融時の挙動について説明する。
図2に示すように、リードフレーム21上で接合材料1を加熱し、382℃以上になると、Zn層4とAl層5の界面で共晶反応が起き、Zn−Al融液22が発生する。このとき、酸化抑制層6と収縮抑制層2でZn−Al融液22が挟持されることとなり、Zn−Al融液22が表面張力により収縮せずに形状が保たれる。
その後、図3に示すように、表層の酸化抑制層6がZn−Al融液22に溶け込むことで、酸化が抑制されたZn−Al融液22が接合対象のリードフレーム21に接触し、良好な濡れが得られる。このとき、収縮抑制層2は消失しないので、表面張力によるZn−Al融液22の収縮が抑制され、位置ずれが抑制される。
なお、収縮抑制層2が無い従来構造のものでは、溶融したZn−Al融液22に表面張力がかかるので、図4に示すように、局所的に濡れた位置から収縮が生じ位置ずれが発生してしまう。
次に、接合材料1の製造方法について説明する。
図5(a)に示すように、まず、Zn層4となるZn条材31を、収縮抑制層2に用いる金属からなるめっき浴32に通すことで、Zn条材31の表面が収縮抑制層2に用いる金属で覆われた第1の中間材料33を形成する。
その後、図5(b)に示すように、形成した第1の中間材料33を2つ重ね合わせて圧延ロール39間に送り込みクラッド圧延により貼り合わせることで、第2の中間材料34を形成する。
第2の中間材料34の表面は、収縮抑制層2に用いる金属で覆われているため、これを除去する必要がある。第2の中間材料34の表面の金属を除去する方法は、特に限定するものではないが、材料の清浄化を同時に行うことができるブラッシングを採用することが望ましい。これにより、収縮抑制層2となる金属をZn層4となるZn条材31で挟持した第3の中間材料35が得られる。
他方で、図5(c)に示すように、酸化抑制層6となる金属条材36とAl層5となるAl条材37をクラッド圧延によって貼り合わせることで、第4の中間材料38を形成する。
その後、図5(d)に示すように、Al条材37が第3の中間材料35側となるように、第3の中間材料35を第4の中間材料38で挟み込み、クラッド圧延により貼り合わせると、酸化抑制層6、溶融層3、収縮抑制層2、溶融層3、酸化抑制層6を順次積層した図1の接合材料1が得られる。
なお、ここで説明した接合材料1の製造方法はあくまで一例であり、図1の構造の接合材料1が製造できるのであれば、どのような製造方法を用いてもよく、例えば、クラッド圧延、スパッタリング、めっき、プレス加工等を用いることもできる。また、クラッド圧延の回数は各工程1回に限定するものではなく、圧延ロール39を通過させる回数を複数回として所望の加工度を得るようにしてもよい。
以上説明したように、本実施の形態に係る接合材料1では、Cu,Ni,Au,Ag,Co,Cr,Pd,Pt,Rhのうち1つを主成分とする金属からなる収縮抑制層2と、収縮抑制層2を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Znを主成分とする金属からなるZn層4とAlを主成分とする金属からなるAl層5とを有する溶融層3と、収縮抑制層2および溶融層3を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Cu,Au,Agのうち1つを主成分とする金属からなる酸化抑制層6と、を備えている。
収縮抑制層2を備えることで、加熱時に溶融層3が溶融した融液(あるいは溶融層3に酸化抑制層6が溶け込んだ融液)を表面張力で収縮させることなく収縮抑制層2で保持することが可能となり、収縮による位置ずれを抑制することが可能になる。
本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加え得ることは勿論である。
例えば、上記実施の形態では、接合時に収縮抑制層2を残存させる場合を説明したが、良好な接続が得られた後(例えばリードフレーム上に接合材料1を介して半導体素子を配置し十分な濡れが得られた後)は、接合材料1を加熱する時間を長くしたり温度を上げたりすることで、収縮抑制層2を消失させてもよい。
表1に示す材質、厚さで各層を形成し、実施例1〜21、比較例1〜6の接合材料を作製した。なお、表1におけるZn層4の厚さ(Zn層厚)、Al層5の厚さ(Al層厚)、および酸化抑制層6の厚さは、接合材料全体での合計の厚さであり、収縮抑制層2の表面側と裏面側の各層の厚さの合計値である。
実施例1〜21では、Zn条材31をめっき浴32に通すことで第1の中間材料33を得て、面積の減少の割合を示す加工度が80%になるようにクラッド圧延を施して第2の中間材料34を形成し、ブラッシングにより表面の金属(収縮抑制層2に用いる金属)を除去して第3の中間材料35を形成した。また、酸化抑制層6となる金属条材36とAl条材37を加工度80%になるようにクラッド圧延を施して第4の中間材料38を得た。その後、第3の中間材料35を第4の中間材料38で挟み込んで、全体厚が100μmとなるようにクラッド圧延を施して図1の接合材料1を得た。
比較例2〜5では、各層の厚さを異ならせて実施例1〜21と同様に接合材料を作製した。比較例1では、収縮抑制層2を省略した他は実施例1〜21と同様に接合材料を作製した。
作製した実施例1〜21、比較例1〜6の接合材料について、収縮性、濡れ性、および接合性の評価を行った。
これらの評価を行う際には、リードフレーム(Cu/Ni/Au基板)21の中心部へ5mm角の箔状の接合材料を配置し、溶融させたときの挙動を調べた。リードフレーム21の温度は400℃、雰囲気はN2+4%H2とし、酸素濃度は100ppmとした。
収縮性の評価では、溶融時に溶融前の面積の80%以上を保った場合を○、80%未満になった場合を×とした。
濡れ性の評価では、リードフレーム21上に接合材料が濡れ広がった場合を○、濡れ広がらなかった場合を×とした。
接合性の評価では、接合材料を溶融させた状態で、リードフレーム21の中央部に半導体チップ(Si/Ni)を載置して1分間保持し、室温まで冷却した後、超音波探傷装置により接合層のボイド率を確認した。ボイド率が10%未満の場合を○、10%以上の場合を×とした。評価結果を表2にまとめて示す。
表2に示すように、収縮抑制層2の厚さを全体厚の1/200〜1/10とし、Al層厚/Zn層厚の比率を1/3以下とし、酸化抑制層6の厚さを溶融層3の厚さの1/500以上1/50以下とした実施例1〜21の接合材料1では、収縮性、濡れ性、接合性の評価が全て良好であった。
これに対して、比較例1〜6の接合材料では、収縮性、濡れ性、接合性の評価において、いずれかの項目で×となった。
比較例1の接合材料では、濡れ性は良好であったものの、収縮抑制層2が無いために収縮が発生し、位置ずれが発生した。この状態でリードフレーム21の中央部に半導体チップを置いたため、半導体チップへの濡れに偏りが生じ接合性の評価も×となった。なお、比較例1において、収縮した接合材料の中心に半導体チップを配置した場合には良好な接合性が得られた。
比較例2の接合材料では、収縮抑制層2の厚さが全体厚の1/500と薄いため、収縮の抑制機能が不足し接合材料が収縮し、位置ずれも発生した。よって、比較例1と同様の理由で接合性の評価も×となった。
比較例3の接合材料では、収縮抑制層2の厚さが全体厚の1/3と厚いため、接合材として機能する酸化抑制層6と溶融層3が相対的に薄くなり、接合時に溶融する層の厚さが薄くなった。このため、凝固の際にクラックが入り、接合性評価は×となった。
比較例4の接合材料では、Al層厚/Zn層厚の比率が1/2と大きいため、溶融層3におけるAlの組成が大きくなって融点が向上し、溶融が生じなかった。そのため、濡れ性と接合性の評価が×となった。
比較例5は、酸化抑制層6の厚さが溶融層3の厚さの1/20と厚いために、Zn−Al融液22より高融点である酸化抑制層6の金属の組成の割合が大きくなり、融点が上昇して溶融しなかった。そのため、濡れ性と接合性の評価が×となった。
比較例6は、酸化抑制層6の厚さが溶融層3の厚さの1/900と薄いために、昇温中に酸化抑制層6が拡散により消失し、酸化が進行した。そのため、濡れ性と接合性の評価が×となった。
以上より、収縮抑制層2の厚さを全体厚の1/200〜1/10とし、Al層厚/Zn層厚の比率を1/3以下とし、酸化抑制層6の厚さを溶融層3の厚さの1/500以上1/50以下とすることで、収縮性、濡れ性、接合性に優れた接合材料1が得られることが分かる。
1 接合材料
2 収縮抑制層
3 溶融層
4 Zn層
5 Al層
6 酸化抑制層
2 収縮抑制層
3 溶融層
4 Zn層
5 Al層
6 酸化抑制層
Claims (9)
- Cu,Ni,Au,Ag,Co,Cr,Pd,Pt,Rhのうち1つを主成分とする金属からなる収縮抑制層と、
前記収縮抑制層を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Znを主成分とする金属からなるZn層とAlを主成分とする金属からなるAl層とを有する溶融層と、
前記収縮抑制層および前記溶融層を厚さ方向から挟み込むように設けられ、Cu,Au,Agのうち1つを主成分とする金属からなる酸化抑制層と、
を備えたことを特徴とする接合材料。 - 前記Al層の厚さが前記Zn層の厚さの1/3以下である
請求項1記載の接合材料。 - 前記溶融層は、前記収縮抑制層側に前記Zn層、前記酸化抑制層側に前記Al層を配置してなる
請求項1または2記載の接合材料。 - 前記収縮抑制層の厚さが、全体の厚さの1/200以上1/10以下である
請求項1〜3いずれかに記載の接合材料。 - 前記酸化抑制層の厚さが、前記溶融層の厚さの1/500以上1/50以下である
請求項1〜4いずれかに記載の接合材料。 - 前記収縮抑制層の主成分とする金属の組成が、90mass%以上である
請求項1〜5いずれかに記載の接合材料。 - 前記Al層のAlの組成が、90mass%以上である
請求項1〜6いずれかに記載の接合材料。 - 前記Zn層のZnの組成が、90mass%以上である
請求項1〜7いずれかに記載の接合材料。 - 前記酸化抑制層の主成分とする金属の組成が、90mass%以上である
請求項1〜8いずれかに記載の接合材料。
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