JP4745878B2 - はんだ皮膜及びそれを用いたはんだ付方法 - Google Patents
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図1は、本発明に係るはんだ皮膜の実施の形態1を示す断面図である。本実施の形態1では、図1に示したように、例えば、シリコン(Si)で構成された半導体チップ等の基材1上に、例えば、真空蒸着によって形成されたSnが30質量%で残部がZnと不可避不純物で構成されたZn−Snはんだ皮膜2を形成し、Zn−Snはんだ皮膜2の上にSnのみから構成される(不可避不純物を含む)Sn膜3を形成する。
図2は、本発明に係るはんだ皮膜の実施の形態2を示す断面図である。本実施の形態2では、図2に示したように、例えば、Cuのリードフレームで構成された基材4上に、例えば、真空蒸着によって形成された、Snのみ(不可避不純物を含む)で構成されたSn膜6と、Znのみ(不可避不純物を含む)で構成されたZn膜5とを順次積層し、積層膜における最上部のZn膜5上に最表面のSn膜3を形成することにより表面処理膜を構成する。各膜の厚さは、例えば、Zn膜5を10μm、Sn膜6を5μm、最表面のSn膜3を1μmとする。
図3は、本発明に係るはんだ皮膜の実施の形態2を示す断面図である。本実施の形態3では、図3に示したように、例えば、銅(Cu)のリードフレームで構成された基材7上にめっき等でニッケル(Ni)膜8が施され、例えば、真空蒸着によって形成されたSnが30質量%で残部がZnと不可避不純物で構成されたZn−Sn表面処理膜2を形成し、Zn−Sn表面処理膜2の上に最表面のSn膜3を形成する。
図4は、本発明に係るはんだ皮膜よるはんだ付方法を示す断面図である。図4において、基材7、Ni膜8、Zn−Sn表面処理膜2、Sn膜3は上記実施の形態3で示したものと同一のものであり、被接合面にNi表面処理9aを施したSiチップからなる被接合材9を基材7に接合する例を示しているが、上記実施の形態1及び2の表面処理膜も同様に適用することができる。
6 Sn膜、8 Ni膜、9 被接合材、9a Ni表面処理。
Claims (5)
- 銅のリードフレームで構成された基材の上に形成されたはんだ皮膜であり、上記はんだ皮膜は、錫のみで構成された錫膜と、亜鉛のみで構成された亜鉛膜とが交互に積層され、上記基材と接する層が錫膜であり、上記積層における最上層の膜が錫膜であることを特徴とするはんだ皮膜。
- 上記最上層の膜である錫膜の厚さが100nm以上であることを特徴とする請求項1記載のはんだ皮膜。
- 上記亜鉛膜及び錫膜の厚さは、それぞれ100μm以下であることを特徴とする請求項1または2記載のはんだ皮膜。
- 上記各膜が、めっき、蒸着あるいはスパッタによって形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のはんだ皮膜。
- 上記請求項1ないし4のいずれか1項に記載の上記基材上に形成されたはんだ皮膜上に被接合物を載置し、上記はんだ皮膜を加熱溶融することにより上記被接合物を上記基材に接合することを特徴とするはんだ付方法。
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