JP2014137469A - 曲面ミラーの調整装置 - Google Patents

Abstract

【課題】反射面の角度及び位置をそれぞれ独自に調整可能として、より高精度の調整を可能とする曲面ミラーの調整装置を提供する。
【解決手段】ミラー保持部材１１に対し曲面ミラー１を、光軸と直交する第１軸線を回動軸として回動させて、第１方向の角度調整を行う第１角度調整機構Ａ１と、光軸と直交して、かつ第１軸線と直交する第２軸線を回動軸として回動させて、第２方向の角度調整を行う第２角度調整機構と、第１軸線と平行方向へ水平移動させて、位置調整を行う第１位置調整機構と、を備える。そして、第１角度調整機構Ａ１、第２角度調整機構及び第１位置調整機構は互いに独立していて、そのうち一つの調整機構を変更した際に、他の二つの調整機構の調整に対して影響を与えない。
【選択図】図８

Description

本発明は、曲面ミラーの調整装置に関する。

以前より、画像調整素子からの画像光を屈折光学素子から構成される結像光学系へ入射し、結像光学系から出射した光線を曲面ミラーの反射面で反射することにより被投射面へ画像光を拡大投射する投射光学系は公知であった。このような構成の広角投射光学系では曲面ミラーの反射面の位置及び角度が被投射面に投影される投影画像の品質に大きく影響する。そのため、曲面ミラーの角度及び位置の調整機構が強く要望されていた。
例えば、曲面ミラーの反射面外の外周面や背面を曲面ミラーの保持部材により調整可能に三点支持をするフローティング機構などがある（特許文献１参照）。このフローティング機構では曲面ミラーを支持する三点の各点を独立して調整することにより、反射面の傾きを微調整可能になっている。

また、別の機構として、曲面ミラーを第１保持部材で保持し、第１保持部材を第２保持部材で保持を行い、第１保持部材に対して曲面ミラーを光軸と直交する第１軸を回動軸にして回動させ、第２保持部材に対して第１保持部材を光軸及び第１軸と直交する第２軸を回動軸にして回動させることにより、曲面ミラーの角度を微調整する機構がある（特許文献２参照）。この機構の構成では、各回動軸による角度調整を独自に調整可能であり、曲面ミラーの角度調整をフローティング機構と比べて容易に行うことが可能となる。

特開２００２−２２８９０５号公報 特開２０１１−５９４５９号公報

しかし、特許文献１のフローティング機構の場合、三点のうち一点を調整すると、結果的に残りの二点により調整した曲面ミラーの姿勢に影響を与えてしまうため、精密な調整を行うには各点を何度も調製し直すことが必要である。また、フローティング支持では反射面の角度の調整のみしかできず、反射面の平行移動ができないため、完全に調整し切れない場合があった。

また、特許文献２の構成では、曲面ミラーの角度の調整（チルト調整）はできるが、結像光学系に対する曲面ミラーの位置（シフト調整）の調整が行えないため、角度ではなく位置のずれによる光学性能の劣化を補正することができなかった。

本発明の課題は、曲面ミラーの調整装置において、反射面の角度及び位置をそれぞれ独自に調整可能として、より高精度の調整を可能とすることである。

以上の課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、
曲面ミラーを保持するミラー保持部材を備える曲面ミラーの調整装置であって、
前記ミラー保持部材に対し前記曲面ミラーを、光軸と直交する軸線もしくは光軸と直交する軸線と平行な軸線である第１軸線を回動軸として回動させることで、前記曲面ミラーの第１方向の角度調整を行う第１角度調整機構と、
前記ミラー保持部材に対し前記曲面ミラーを、前記光軸と直交して、かつ前記第１軸線と直交する軸線もしくは前記光軸と直交する軸線と平行な軸線である第２軸線を回動軸として回動させることで、前記曲面ミラーの第２方向の角度調整を行う第２角度調整機構と、
前記ミラー保持部材に対し前記曲面ミラーを、前記第１軸線と平行方向へ水平移動させることで、前記曲面ミラーの位置調整を行う第１位置調整機構と、を備え、
前記第１角度調整機構、第２角度調整機構及び第１位置調整機構は互いに独立していて、そのうち一つの調整機構を変更した際に、他の二つの調整機構の調整に対して影響を与えない構成としたことを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、
請求項１に記載の曲面ミラーの調整装置であって、
前記ミラー保持部材は、前記曲面ミラーの外周側に配置された第１保持部材と、前記第１保持部材を保持する第２保持部材とからなり、
前記曲面ミラーは、その反射面外で前記第１軸線上に第１係合部を有し、
前記第１係合部を、前記第１保持部材に取り付けられた第１被係合部材と係合し、
前記曲面ミラーは、前記第１保持部材に対して前記第１係合部及び第１被係合部材を介し前記第１軸線を回動軸として回動することで、前記第１方向の角度が調整されることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、
請求項２に記載の曲面ミラーの調整装置であって、
前記第１保持部材は、前記第２軸線上で、かつ前記第１軸線方向に離間した位置に二つの第２係合部を有し、
前記第２係合部を、前記第２保持部材に設けられた第２被係合部と係合し、
前記第１保持部材は、前記第２保持部材に対して前記第２係合部及び第２被係合部を介し前記第２軸線または第２軸線と平行な軸を回動軸として回動することで、前記曲面ミラーの前記第２方向の角度が調整されることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、
請求項２または３に記載の曲面ミラーの調整装置であって、
前記第２保持部材を固定する固定部材を備え、
前記第２保持部材は、前記第１軸線と平行な軸線上に第３係合部を有し、
前記第３係合部を、前記固定部材に設けられた第３被係合部と位置調整部材を介して係合し、
前記第２保持部材は、前記固定部材に対して前記第３系郷部及び第３被係合部を介し前記第１軸線方向へ平行移動することで、前記曲面ミラーの位置が調整されることを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、
請求項２から４のいずれか一項に記載の曲面ミラーの調整装置であって、
前記第１角度調整機構により前記曲面ミラーの前記第１方向の角度を調整した際に、その角度調整後の前記曲面ミラーを前記第１保持部材に対して姿勢を維持したまま固定するための第１姿勢保持機構を備えることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、
請求項２から５のいずれか一項に記載の曲面ミラーの調整装置であって、
前記第２角度調整機構により前記曲面ミラーの前記第２方向の角度を調整した際に、その角度調整後の前記第１保持部材を前記第２保持部材に対して姿勢を維持したまま固定するための第２姿勢保持機構を備えることを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、
請求項３から６のいずれか一項に記載の曲面ミラーの調整装置であって、
前記第１位置調整機構により前記曲面ミラーの前記第１軸線と平行方向への位置を調整した際に、その位置調整後の前記第２保持部材を前記固定部材に対して姿勢を維持したまま固定するための第３姿勢保持機構を備えることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、
請求項２から７のいずれか一項に記載の曲面ミラーの調整装置であって、
前記第１係合部は、前記曲面ミラーの外周部で反射面を挟んだ二箇所に設けられ、
前記二箇所の第１係合部のうち一方には、前記第１保持部材と前記第１被係合部材との間に弾性部材が挿入されていることを特徴とする。

請求項９に記載の発明は、
請求項６または７に記載の曲面ミラーの調整装置であって、
前記曲面ミラーの前記第２軸線と平行方向へ平行移動させることで、前記曲面ミラーの位置調整を行う第２位置調整機構を備えることを特徴とする。

本発明によれば、反射面の角度及び位置をそれぞれ独自に調整可能となり、より高精度の調整が容易になる。

本発明を適用した曲面ミラーの調整装置の一実施形態の構成を示すもので、曲面ミラーと第１保持部材（ミラー保持部材）の関係を曲面ミラー側から見た分解斜視図である。 図１と逆に第１保持部材側から見た図である。 図１及び図２の曲面ミラーと第１保持部材を結合して第２保持部材（ミラー保持部材）との関係を示すもので、第１保持部材側から見た斜視図（ａ）と、その反対側から見た図（ｂ）である。 図３の曲面ミラーと第１保持部材及び第２保持部材を結合した状態を示すもので、調整用ねじ側から見た斜視図（ａ）と、その反対側から見た図（ｂ）である。 図４の曲面ミラーと第１保持部材及び第２保持部材と固定部材の関係を示すもので、固定部材側から見た斜視図（ａ）と、その反対側から見た図（ｂ）である。 図５の曲面ミラーと第１保持部材及び第２保持部材と固定部材と冶具部材の関係を示すもので、冶具部材側から見た斜視図（ａ）と、その反対側から見た図（ｂ）である。 図６の曲面ミラーと第１保持部材及び第２保持部材と固定部材と冶具部材の結合状態を示すもので、冶具部材側から見た斜視図（ａ）と、その反対側から見た図（ｂ）である。 曲面ミラーと第１保持部材の関係を示すもので、背面側から見た模式図（ａ）と、その中央縦断面図（ｂ）である。 曲面ミラーと第１保持部材の関係を示すもので、前面側から見た模式図（ａ）と、その中央縦断面図（ｂ）である。 第２保持部材に対する第１保持部材の関係を示す要部縦断側面図である。 固定部材に対する第２保持部材の関係を示す要部縦断側面図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。
（実施形態）
図１及び図２は本発明を適用した曲面ミラーの調整装置の一実施形態の構成として曲面ミラー１とミラー保持部材の第１保持部材１１の関係を示すもので、図３及び図４はさらにミラー保持部材の第２保持部材１２との関係を示し、図５はさらに固定部材２１との関係を示し、図６及び図７はさらに冶具部材３１との関係を示している。

そして、図８及び図９は曲面ミラー１と第１保持部材１１の関係を模式的に示すもので、図１０は第２保持部材１２に対する第１保持部材１１の関係を示し、図１１は固定部材２１に対する第２保持部材１２の関係を示している。

「前提」
始めに、画像調整素子からの画像光を屈折光学素子から構成される結像光学系へ入射し、結像光学系から出射した光線を曲面ミラー１の反射面で反射することにより被投射面へ画像光を拡大投射する投射光学系において、図１に示すように、結像光学系の光線をＺ軸、画像調整素子の画像中心から出射した光線の軌跡の存在する平面内におけるＺ軸と直交する軸をＹ軸、Ｚ軸及びＹ軸とそれぞれ直交する軸をＸ軸と規定し、各軸と平行な方向をそれぞれＺ軸方向、Ｙ軸方向、Ｘ軸方向と規定する。

また、投射光学系を光軸が地面と平行となるように地面に設置した場合において、Ｚ軸方向において、画像調整素子側を前側、被投射面側を後側と規定し、Ｘ軸方向において、前側から後側を見た場合の左右をそれぞれ左側、右側と規定して、Ｙ軸方向において、前側から後側を見た場合の上下をそれぞれ上側、下側と規定し、左右方向はＸ軸方向、上下方向はＹ軸方向、前後方向はＺ軸方向とそれぞれ対応する。

曲面ミラー１は、非円形の曲線を回転軸にＺ軸を用いて回転させた際に形成される非球面のうち、鏡軸であるＺ軸上の面を含まない一部の面を用いた形状を有しており、結像光学系の光軸及び曲面ミラー１の鏡軸は共軸である。

「曲面ミラー」
図１及び図２に示すように、曲面ミラー１の反射面外の外周面のＸ軸と平行な第１軸線上に、左右一箇所ずつ溝状の第１係合部１ａが形成されている。この第１係合部１ａは、曲面ミラー１の前側から後側へ向かって溝が形成され、反射面側は開放されている。

曲面ミラー１の下端部側には、軸心がＹ軸方向に向き、かつＺ軸と直交する突起部１ｂが形成されている。この突起部１ｂは、前後方向に貫通した穴部１ｃを有している。
また、曲面ミラー１の上端部側には、軸心がＹ軸方向に向い、かつＺ軸と直交する突起部１ｄが形成されている。

「第１保持部材」
曲面ミラー１の外周側には、図１及び図２に示すように、第１保持部材１１が配置されている。この第１保持部材１１は、内周側に曲面ミラー１を保持可能に形成されている。
第１保持部材１１には、曲面ミラー１の第１係合部１ａに対応する位置に、左右方向に貫通した貫通孔１１ａが形成されている。この左右の貫通孔１１ａには、軸心が各々Ｘ軸と平行な第１軸線上にある軸状部材の第１被係合部材２がそれぞれ嵌め込まれている。第１係合部１ａは第１被係合部材２と係合することにより、第１保持部材１１に第１軸線を回動軸として回動可能に保持されている。

また、一方の第１被係合部材２と第１保持部材１１との間にはスプリングワッシャ３が挿入されている。このスプリングワッシャ３により曲面ミラー１は一方の第１被係合部材２と共に第１保持部材１１の他方に押し付けられている。
第１保持部材１１には、曲面ミラー１の突起部１ｂに対応する位置に突起部１１ｂが形成されている。この突起部１１ｂには、前後方向に貫通しかつ前側の開口が狭くねじ穴状である座ぐり形状の穴部１１ｃが形成されている。そして、曲面ミラー１の穴部１ｃと第１保持部材１１の穴部１１ｃには、後側から調整用ねじ４が挿入されて、穴部１１ｃのねじ穴部と螺合している。また、穴部１１ｃの内部には、圧縮バネ５が後側から挿入されている。

そして、第１保持部材１１には、曲面ミラー１の突起部１ｄに対応する位置に、位置調整用溝部１１ｄが形成されている。この位置調整用溝部１１ｄは、左右方向の溝幅が突起部１ｄの直径よりも大きく、前後方向の溝の深さが突起部１ｄの直径とほぼ等しくなっている。そして、第１保持部材１１の後側から突起部１ｄを位置調整用溝部１１ｄへ挿入した後、位置調整用溝部１１ｄの後側からビス６で固定される板バネ７により、突起部１ｄを位置調整用溝部１１ｄの底部である前側の壁面へ押し付けている。

第１保持部材１１の上端部には、左右方向に離間した位置に二つの板バネ８の一端がビス９でそれぞれ固定されている。この板バネ８の他端は、第１保持部材１１の前側端部から前側へ突き出しており、第１保持部材１１内部の曲面ミラー１の外周部の上端部を付勢している。

よって、図８及び図９に示すように、曲面ミラー１を第１保持部材１１に対して第１被係合部材２を介して保持した状態で調整ねじ４を調整することにより、曲面ミラー１を第１保持部材１１に対して第１軸線（Ｘ）を回転軸として回動可能とした第１角度調整機構Ａ１を構成している。この第１角度調整機構Ａ１により、曲面ミラー１の反射面の角度調整及び固定が可能となっている。

また、スプリングワッシャ３によりＸ軸方向のガタツキを抑制し、板バネ７により曲面ミラー１の第１被係合部材２からの脱落及びＺ軸方向のガタツキを抑制し、板バネ８によりＹ軸方向のガタツキを抑制した第１姿勢保持機構Ｂ１を構成している。

さらに、第１保持部材１１の左右方向の外周側の両側面には、延設部１１ｅが一つずつ形成されている。この延設部１１ｅには、上下方向に貫通し、左右方向に比べて前後方向に口径が大きくなった長穴状の穴部１１ｆが形成されている。
そして、２つの延設部１１ｅの後端部には、下方向に延設された延設部１１ｇがそれぞれ一つずつ形成されている。この延設部１１ｇには、Ｚ軸方向に貫通した穴部１１ｈが形成されている。

また、第１保持部材１１の上端部には、調整用穴部１１ｉが形成されている。この調整用穴部１１ｉの中心軸は、Ｚ軸と直交するＹ軸方向にあり、中心軸とＺ軸の交点は曲面ミラー１の前側の表面付近で結ばれている。

「第２保持部材」
第１保持部材１１の背面側には、図３に示すように、第２保持部材１２が配置されている。この第２保持部材１２は、内周側に曲面ミラー１を保持した第１保持部材１１を保持可能に形成されている。
第２保持部材１２には、第１保持部材１１の穴部１１ｆに対応する位置に、左右一つずつの固定用ねじ穴部１２ｆが形成されている。この固定用ねじ穴部１２ｆは、第２保持部材１２の端部上に突出した突出部１２ｅのＹ軸方向に向いた軸心に形成されている。
固定用ねじ１３を穴部１１ｆに挿入して固定用ねじ穴部１２ｆに螺合することにより、第２保持部材１２に対して第１保持部材１１の移動を制限している。

なお、固定用ねじ１３で結合する際には、スプリングワッシャ１４と平ワッシャ１５を先に固定用ねじ１３に嵌め込み、第１保持部材１１と第２保持部材１２の間に平ワッシャ１６を挟んでから、固定用ねじ１３を固定用ねじ穴１２ｆに螺合する。

そして、第２保持部材１２には、第１保持部材１１の穴部１１ｈに対応する位置に、左右一つずつの穴部１２ｈが形成されている。この穴部１２ｈは、後側の開口の口径は広くなっているが、前側の開口の口径は小さくなり、ねじ穴状である座ぐり形状になっている。また、穴部１２ｈには、図１０に示すように、後側から圧縮バネ１８が挿入されている。

図４に示すように、後側から調整用ねじ１７を穴部１１ｈ及び圧縮バネ１８、穴部１２ｈに挿入し、穴部１２ｈのねじ穴部に調整用ねじ１７を螺合する。

また、第２保持部材１２の後端部には、穴部１２ｈと左右方向では同軸上に存在し、穴部１２ｈよりも曲面ミラー１の光軸に近づいた位置に、二つの調整用治具固定部１２ｊが形成されている。

よって、図６及び図７に示すように、調整用治具固定部１２ｊに背面から治具部材３１を一対の冶具固定用ねじ３２により固定し、治具部材３１に形成された突起部３１ｉを第１保持部材１１に形成された調整用穴部１１ｉに係合することにより、第１保持部材１１は調整用穴部１１ｉのＹ軸と平行な中心軸を回動軸として回動可能でかつ平行移動が規制される。

このため、図１０に示すように、調整用ねじ１７により第１保持部材１１を第２保持部材１２に対して第２軸線（Ｙ）を回転中心とした角度調整を行う第２角度調整機構Ａ２を構成している。

また、曲面ミラー１の反射面の角度を調整してから固定用ねじ１３を締めることにより、調整後の姿勢を保持することが可能となる第２姿勢保持機構Ｂ２を構成している。

ここで、治具部材３１は第１保持部材１１を第２保持部材１２に対して調整を完了した後に外しても良いし、そのまま補強部材として残しておいてもよい。

さらに、第２保持部材１２には、図３に示すように、前後方向において、突出部１２ｅと同軸上にあり、かつ突出部１２ｅよりも前側に離間した位置に、左右１つずつの穴部１２ｋが形成されている。この穴部１２ｋは、上下方向に貫通し、かつ前後方向に比べて左右方向の口径が大きくなった長穴状になっている。

また、第２保持部材１２の穴部１２ｋの形成されている平面部１２ｍは、その左右方向に光軸から離間した辺縁部に垂直で下方向に延びた平面部１２ｎを有している。この平面部１２ｎには、左右方向において、穴部１２ｋと同軸上にあり、かつ左右方向に貫通した調整用ねじ穴部１２ｐが形成されている。

こうして、反射面の角度及び位置を調整後に固定可能に保持している曲面ミラー１及び第１保持部材１１、第２保持部材１２を組み合わせて反射面保持機構とする。

「固定部材」
以上の反射面保持機構の下面側には、図５に示すように、固定部材２１が配置されている。この固定部材２１は、内周側に反射面保持機構を保持可能に形成されている。反射面保持機構は、固定部材２１の後側端部に配置されている。
固定部材２１は、前側の左右両端部に、屈折光学素子による結像光学系を内包する図示しないレンズ鏡筒に固定するための固定用係合部２１ａを有している。

固定部材２１には、第２保持部材１２の穴部１２ｋに対応する位置に、左右１つずつの固定用ねじ穴部２１ｋが形成されている。この固定用ねじ穴部２１ｋは、固定部材２１の端部上に突出した突出部２１ｂの軸心に形成されている。
固定用ねじ２２を穴部１２ｋに挿入して固定用ねじ穴部２１ｋと螺合することにより、固定部材２１に対して第２保持部材１２の移動を制限している。

なお、固定用ねじ２２で結合する際には、スプリングワッシャ２３と平ワッシャ２４を先に固定用ねじ２２に嵌め込み、第２保持部材１２と固定部材２１の間に平ワッシャ２５を挟んでから固定用ねじ２２を固定用ねじ穴部２１ｋと螺合する。

そして、固定部材２１には、第２保持部材１２の調整用ねじ穴部１２ｐに対応する位置に、穴部は無く壁面である壁部２１ｐが存在している。この調整用ねじ穴部２１ｐに調整用ねじ２６が螺合されると、調整用ねじ２６が調整用ねじ穴部１２ｐを貫通して、その先端部が固定部材２１の壁部２１ｐを押す。

よって、図６に示すように、調整用ねじ２６により第２保持部材１２を固定部材２１に対してＸ軸方向へ平行移動させることにより、反射面の位置の調整を行う第１位置調整機構Ｃ１を構成している。

また、図１１に示すように、反射面の位置が決定してから固定用ねじ２２を締めることにより、調整後の姿勢を保持することが可能となる第３姿勢保持機構Ｂ３を構成している。

以上のように、実施形態において、曲面ミラー１の調整装置は、第１軸線（Ｘ）を回転中心とする第１角度調整機構Ａ１、第２軸線（Ｙ）を回転中心とする第２角度調整機構Ａ２、第１姿勢保持機構Ｂ１、第２姿勢保持機構Ｂ２、第３姿勢保持機構Ｂ３、第１軸線（Ｘ）方向への第１位置調整機構Ｃ１を備えている。

以上、実施形態の曲面ミラー１の調整装置によれば、第１角度調整機構Ａ１、第２角度調整機構Ａ２、第１姿勢保持機構Ｂ１、第２姿勢保持機構Ｂ２、第３姿勢保持機構Ｂ３、及び第１位置調整機構Ｃ１を互いに独立して備えることで、反射面の角度、姿勢及び位置をそれぞれ独自に調整でき、より高精度で容易に調整することができる。

（変形例）
また、第１保持部材１１と第２保持部材１２の間にあるワッシャ１６及び／または第２保持部材１２と固定部材２１との間にある平ワッシャ２５は、そのワッシャの厚さや挟む枚数を変えることにより、反射面の上下方向の位置の調整を行うことが可能な第２位置調整機構としての機能を持たせることも可能である。

その際に、高さ調整機構は、Ｘ軸方向において、同軸上で、かつ左右方向に離間して二箇所あるため、一方に挟むワッシャの数や厚みを他方に対して異ならせることにより、鏡軸を回転軸として反射面を回動させることも可能である。

（他の変形例）
以上の実施形態においては、光軸と直交する軸線を第１軸線、光軸と直交して、かつ第１軸線と直交する軸線を第２軸線としたが、これに限らず、光軸と直交する軸線と平行な軸線を第１軸線、光軸と直交して、かつ第１軸線と直交する軸線と平行な軸線を第２軸線としてもよい。
さらに、その他、具体的な細部構造等について適宜に変更可能であることは勿論である。

１ 曲面ミラー
１ａ 第１係合部
１ｂ 突起部
１ｃ 穴部
１ｄ 突起部
２ 第１被係合部材
３ スプリングワッシャ（弾性部材）
４ 調整用ねじ
５ 圧縮バネ
６ ビス
７ 板バネ
８ 板バネ
９ ビス
１１ 第１保持部材
１１ａ 貫通孔
１１ｂ 突起部
１１ｃ 穴部
１１ｄ 位置調整用溝部
１１ｅ 延設部
１１ｆ 穴部
１１ｇ 延設部
１１ｈ 穴部（第２係合部）
１１ｉ 調整用穴部
１２ 第２保持部材
１２ｅ 突出部
１２ｆ 固定用ねじ穴部
１２ｈ 穴部（第２被係合部）
１２ｊ 調整用治具固定部
１２ｋ 穴部
１２ｍ 平面部
１２ｎ 平面部
１２ｐ 調整用ねじ穴部（第３係合部）
１３ 固定用ねじ
１４ スプリングワッシャ
１５ 平ワッシャ
１６ 平ワッシャ
１７ 調整用ねじ
１８ 圧縮バネ
２１ 固定部材
２１ａ 固定用係合部
２１ｋ 固定用ねじ穴部
２１ｐ 壁部（第３被係合部）
２２ 固定用ねじ
２３ スプリングワッシャ
２４ 平ワッシャ
２５ 平ワッシャ
２６ 調整用ねじ（位置調整部材）
３１ 冶具部材
３１ｉ 突起部
３２ 冶具固定用ねじ
Ａ１ 第１角度調整機構
Ａ２ 第２角度調整機構
Ｂ１ 第１姿勢保持機構
Ｂ２ 第２姿勢保持機構
Ｂ３ 第３姿勢保持機構
Ｃ１ 第１位置調整機構

Claims (9)

1. 曲面ミラーを保持するミラー保持部材を備える曲面ミラーの調整装置であって、
   前記ミラー保持部材に対し前記曲面ミラーを、光軸と直交する軸線もしくは光軸と直交する軸線と平行な軸線である第１軸線を回動軸として回動させることで、前記曲面ミラーの第１方向の角度調整を行う第１角度調整機構と、
   前記ミラー保持部材に対し前記曲面ミラーを、前記光軸と直交して、かつ前記第１軸線と直交する軸線もしくは前記光軸と直交する軸線と平行な軸線である第２軸線を回動軸として回動させることで、前記曲面ミラーの前記第１方向とは異なる第２方向の角度調整を行う第２角度調整機構と、
   前記ミラー保持部材に対し前記曲面ミラーを、前記第１軸線と平行方向へ水平移動させることで、前記曲面ミラーの位置調整を行う第１位置調整機構と、を備え、
   前記第１角度調整機構、第２角度調整機構及び第１位置調整機構は互いに独立していて、そのうち一つの調整機構を変更した際に、他の二つの調整機構の調整に対して影響を与えない構成としたことを特徴とする曲面ミラーの調整装置。
2. 前記ミラー保持部材は、前記曲面ミラーの外周側に配置された第１保持部材と、前記第１保持部材を保持する第２保持部材とからなり、
   前記曲面ミラーは、その反射面外で前記第１軸線上に第１係合部を有し、
   前記第１係合部を、前記第１保持部材に取り付けられた第１被係合部材と係合し、
   前記曲面ミラーは、前記第１保持部材に対して前記第１係合部及び第１被係合部材を介し前記第１軸線を回動軸として回動することで、前記第１方向の角度が調整されることを特徴とする請求項１に記載の曲面ミラーの調整装置。
3. 前記第１保持部材は、前記第２軸線上で、かつ前記第１軸線方向に離間した位置に二つの第２係合部を有し、
   前記第２係合部を、前記第２保持部材に設けられた第２被係合部と係合し、
   前記第１保持部材は、前記第２保持部材に対して前記第２係合部及び第２被係合部を介し前記第２軸線または第２軸線と平行な軸を回動軸として回動することで、前記曲面ミラーの前記第２方向の角度が調整されることを特徴とする請求項２に記載の曲面ミラーの調整装置。
4. 前記第２保持部材を固定する固定部材を備え、
   前記第２保持部材は、前記第１軸線と平行な軸線上に第３係合部を有し、
   前記第３係合部を、前記固定部材に設けられた第３被係合部と位置調整部材を介して係合し、
   前記第２保持部材は、前記固定部材に対して前記第３系郷部及び第３被係合部を介し前記第１軸線方向へ平行移動することで、前記曲面ミラーの位置が調整されることを特徴とする請求項２または３に記載の曲面ミラーの調整装置。
5. 前記第１角度調整機構により前記曲面ミラーの前記第１方向の角度を調整した際に、その角度調整後の前記曲面ミラーを前記第１保持部材に対して姿勢を維持したまま固定するための第１姿勢保持機構を備えることを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載の曲面ミラーの調整装置。
6. 前記第２角度調整機構により前記曲面ミラーの前記第２方向の角度を調整した際に、その角度調整後の前記第１保持部材を前記第２保持部材に対して姿勢を維持したまま固定するための第２姿勢保持機構を備えることを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の曲面ミラーの調整装置。
7. 前記第１位置調整機構により前記曲面ミラーの前記第１軸線と平行方向への位置を調整した際に、その位置調整後の前記第２保持部材を前記固定部材に対して姿勢を維持したまま固定するための第３姿勢保持機構を備えることを特徴とする請求項３から６のいずれか一項に記載の曲面ミラーの調整装置。
8. 前記第１係合部は、前記曲面ミラーの外周部で反射面を挟んだ二箇所に設けられ、
   前記二箇所の第１係合部のうち一方には、前記第１保持部材と前記第１被係合部材との間に弾性部材が挿入されていることを特徴とする請求項２から７のいずれか一項に記載の曲面ミラーの調整装置。
9. 前記曲面ミラーの前記第２軸線と平行方向へ平行移動させることで、前記曲面ミラーの位置調整を行う第２位置調整機構を備えることを特徴とする請求項６または７に記載の曲面ミラーの調整装置。

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