KR102212681B1 - 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치 - Google Patents

카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치 Download PDF

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Abstract

일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 광축을 중심으로 정렬되고 볼록한 반사면이 마련된 부경과, 상기 광축을 따라 관통 구멍이 형성되고 상기 부경을 마주하고 오목한 반사면이 마련된 주경을 지지하는 마운팅 장치이며, 상기 주경을 지지하기 위한 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임에 장착되는 슬라이더 프레임; 상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖는 위치 조절 프레임; 상기 위치 조절 프레임의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖는 각도 조절 프레임; 및 상기 각도 조절 프레임의 내측벽으로부터 상기 부경을 향해 연장되고, 상기 부경을 지지하는 부경 지지 로드를 포함하고, 상기 각도 조절 프레임이 상기 위치 조절 프레임에 대해 상대적으로 기울어진 각도가 조절될 수 있다.

Description

카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치{MOUNTING DEVICE FOR COMPLEX MOTION OF OBJECTIVE LENS WITH CASSEGRAIN STRUCTURE}
아래의 설명은 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치에 관한 것이다.
대물렌즈 개발에 필요한 광학 성능의 저하를 최소화하기 위한 현미경의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치가 요구되는 실정이다. 카세그레인 구조의 대물렌즈는 피검체의 표면 검사를 위한 자외선 현미경에 구비될 수 있으며, 자외선 현미경에 구성된 자외선 광원으로부터 출력되며 주경의 관통공을 통과하여 입사되는 입사광을 부경을 통해 반사하고, 부경으로부터 반사되는 입사광을 주경으로 반사한다.
카세그레인 구조의 대물렌즈의 경우, 주경의 위치에 대해 부경의 위치를 정밀하게 조절하는 기술이 요구되는 실정이다. 주경에 대해 부경이 원하는 위치 및 각도로 정밀하게 설정되어 있지 않다면, 사용자가 원하는 초점 거리 및 현미경 성능을 확보할 수 없다. 카세그레인 구조의 대물렌즈에서 주경을 고정시킨 상태로, 부경의 위치를 x축, y축 및 z축으로 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라, 주경에 대한 부경의 기울임 각도를 조절, 즉 부경을 피치(pitch) 및 요(yaw) 회전시키는 기술이 요구되는 실정이다.
일 실시 예의 목적은 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 광축을 중심으로 정렬되고 볼록한 반사면이 마련된 부경과, 상기 광축을 따라 관통 구멍이 형성되고 상기 부경을 마주하고 오목한 반사면이 마련된 주경을 지지하는 마운팅 장치이며, 상기 주경을 지지하기 위한 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임에 장착되는 슬라이더 프레임; 상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖는 위치 조절 프레임; 상기 위치 조절 프레임의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖는 각도 조절 프레임; 및 상기 각도 조절 프레임의 내측벽으로부터 상기 부경을 향해 연장되고, 상기 부경을 지지하는 부경 지지 로드를 포함하고, 상기 각도 조절 프레임이 상기 위치 조절 프레임에 대해 상대적으로 기울어진 각도가 조절될 수 있다.
상기 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 상기 각도 조절 프레임에 장착되고, 상기 각도 조절 프레임을 관통하고, 일단이 상기 위치 조절 프레임에 접촉한 상태를 유지하는 틸팅 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 각도 조절 프레임에 대한 상기 틸팅 부재의 상대적인 위치에 따라, 상기 각도 조절 프레임이 상기 위치 조절 프레임에 대해 상대적으로 기울어진 각도가 결정될 수 있다.
상기 틸팅 부재는 복수 개로 마련되고, 복수 개의 틸팅 부재는 상기 각도 조절 프레임의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치될 수 있다.
상기 복수 개의 틸팅 부재는, 상기 부경을 중심으로 하여 서로 90도로 이격된 상태로 마련되는 제 1 틸팅 부재 및 제 2 틸팅 부재를 포함할 수 있다.
상기 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 상기 각도 조절 프레임 및 위치 조절 프레임 사이에 배치되는 볼 조인트를 더 포함할 수 있다.
상기 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 일단이 상기 각도 조절 프레임에 고정되고, 타단이 상기 위치 조절 프레임에 고정되는 탄성 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 위치 조절 프레임은 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축에 수직한 방향으로 위치 조절이 가능하다.
상기 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 상기 슬라이더 프레임에 장착되고, 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축에 수직한 방향으로 위치 조절 가능한 푸쉬 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 푸쉬 부재는 복수 개로 마련되고, 복수 개의 푸쉬 부재는 상기 슬라이더 프레임의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치될 수 있다.
상기 푸쉬 부재는, 상기 부경을 중심으로 하여 서로 90도로 이격된 상태로 복수 개가 마련될 수 있다.
상기 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖고, 상기 위치 조절 프레임의 일면을 지지하는 지지 프레임을 더 포함하고, 상기 슬라이더 프레임은 상기 위치 조절 프레임의 타면을 지지할 수 있다.
상기 위치 조절 프레임은 상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되는 바디 파트; 및 상기 바디 파트로부터 상기 지지 프레임의 내측으로 돌출되는 돌출 파트를 포함할 수 있다.
상기 슬라이더 프레임은 상기 베이스 프레임에 대해 상기 광축 방향으로 슬라이딩 가능하다.
상기 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 상기 슬라이더 프레임 및 베이스 프레임을 고정하기 위한 고정 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 베이스 프레임은 상기 고정 부재를 수용하기 위한 복수 개의 수용 홈을 구비할 수 있다.
상기 위치 조절 프레임은 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축 방향에 대해 수직한 방향으로 위치 조절 가능하고, 상기 슬라이더 프레임은 상기 베이스 프레임에 대해 슬라이딩 가능하고, 상기 각도 조절 프레임, 위치 조절 프레임 및 슬라이더 프레임은 독립적으로 이동 가능하다.
일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 광축을 중심으로 정렬되고 볼록한 반사면이 마련된 부경과, 상기 광축을 따라 관통 구멍이 형성되고 상기 부경을 마주하고 오목한 반사면이 마련된 주경을 지지하는 마운팅 장치이며, 상기 주경을 지지하기 위한 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임에 장착되는 슬라이더 프레임; 상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖는 위치 조절 프레임; 상기 위치 조절 프레임의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖는 각도 조절 프레임; 및 상기 각도 조절 프레임의 내측벽으로부터 상기 부경을 향해 연장되고, 상기 각도 조절 프레임의 내측벽으로부터 상기 부경을 향해 연장되고, 상기 부경을 지지하는 부경 지지 로드를 포함하고, 상기 위치 조절 프레임이 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축 방향에 대해 수직한 방향으로 위치가 조절될 수 있다.
상기 각도 조절 프레임이 상기 위치 조절 프레임에 대해 상대적으로 기울어진 각도가 조절 가능하고, 상기 슬라이더 프레임은 상기 베이스 프레임에 대해 슬라이딩 가능하고, 상기 각도 조절 프레임, 위치 조절 프레임 및 슬라이더 프레임은 독립적으로 이동 가능하다.
상기 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 상기 슬라이더 프레임에 장착되고, 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축에 수직한 방향으로 위치 조절 가능한 푸쉬 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 부경의 움직임을 다양한 자유도로 구현할 수 있다.
일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치는, 광축을 z축으로 하여 1차로 부경의 틸트(tilt)가 가능하며, 틸트는 피치 축 및 요 축으로 구현될 수 있다. 마운팅 장치는 2차로 부경의 위치를 x축 및 y축 방향으로 평행 이동시킬 수 있다. 마운팅 장치는 3차로 부경의 위치를 z축 방향으로 평행 이동시킬 수 있으며, 그 동안 롤링(rolling) 회전이 구조적으로 방지되도록 보조할 수 있다. 1차 내지 3차의 조정 및 구속 구조가 하나의 시스템에 적용되어 독립적인 움직임으로 구현될 수 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈를 도시하는 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치의 정면도이다.
도 3은 도 2의 절개선 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절개한 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치의 단면도이다.
도 4는 도 2의 절개선 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절개한 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치의 단면도이다.
도 5는 도 2의 A부분에 대한 단면도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈를 도시하는 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치의 정면도이다.
도 3은 도 2의 절개선 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절개한 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치의 단면도이고, 도 4는 도 2의 절개선 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절개한 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치의 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 카세그레인 구조의 대물렌즈는 주경(M1), 부경(M2), 콜리메이션부(C) 및 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치로 지칭될 수 있다. 이하 설명의 편의를 위해, 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치를 마운팅 장치로 지칭할 수 있음을 미리 밝혀 둔다. 카세그레인 구조의 대물렌즈는 피검체의 표면 검사를 위해 사용될 수 있다.
주경(M1) 및 부경(M2)은 광축을 중심으로 정렬될 수 있다. 주경(M1)은 중앙부에 형성되는 관통공을 마련할 수 있다. 부경(M2)은 자외선 광원(미도시)으로부터 출력되어 주경(M1)의 관통공을 통과하여 입사되는 입사광을 향해 볼록한 반사면을 구비할 수 있다. 주경(M1)은 부경(M2)으로부터 반사되는 입사광을 향해 오목한 반사면을 구비하고, 부경(M2)으로부터 반사되는 입사광을 마운팅 장치 밖으로 다시 반사할 수 있다. 콜리메이션부(C)는 자외선 광원 및 부경(M2)의 광 경로 사이에 마련되고, 자외선 광원에서 출력되는 출력광의 직경을 변경시켜 입사광을 부경(M2)으로 안내할 수 있다. 콜리메이션부(C)는 복수 개의 렌즈를 포함할 수 있고, 콜리메이션부 지지 파트(19) 내측에 장착될 수 있다. 콜리메이션부 지지 파트(19)는 후술하는 베이스 프레임(11)의 일단에 장착될 수 있다.
이하, 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치에 대해 구체적으로 설명하기로 한다. 마운팅 장치는 주경(M1)에 대한 부경(M2)의 위치 및 자세를 조절할 수 있다. 마운팅 장치는 카세그레인 구조의 대물렌즈가 원하는 관측 성능을 가질 수 있도록 보조할 수 있다.
마운팅 장치는, 베이스 프레임(11), 슬라이더 프레임(12), 고정 부재(13), 위치 조절 프레임(14), 푸쉬 부재(15), 각도 조절 프레임(16), 틸팅 부재(171, 172, 173), 볼 조인트(175), 탄성 부재(179), 부경 지지 로드(R), 제 1 지지 프레임(181) 및 제 2 지지 프레임(182)을 포함할 수 있다.
마운팅 장치는 주경(M1)에 대한 부경(M2)의 위치를 광축 방향(z축 방향) 뿐만 아니라, 광축 방향(z축)에 수직한 방향(x축 또는 y축)으로 이동시킬 수 있다. 또한, 마운팅 장치는 주경(M1)에 대해 부경(M2)이 기울어진 각도를 2축(x축 또는 y축) 기준으로 조절할 수 있다. 예를 들어, 마운팅 장치는 부경(M2)을 x축 기준으로 조절함으로써 부경(M2)을 피치(pitch) 회전시킬 수 있고, y축 기준으로 조절함으로써 부경(M2)을 요(yaw) 회전시킬 수 있다. 마운팅 장치는, 부경(M2)의 x축, y축 및 z축 방향의 이동과, x축 및 y축 중심의 회전을 독립적으로 구현할 수 있다.
베이스 프레임(11)은 주경(M1)을 지지할 수 있다. 베이스 프레임(11)은 주경(M1)의 외측벽과, 부경(M2)을 마주하는 면의 반대쪽 면을 지지할 수 있다. 베이스 프레임(11)의 일부는 주경(M1)의 관통공에 삽입되어, 광원으로부터 부경(M2)으로 안내되는 광 경로의 폭을 조절할 수 있다. 베이스 프레임(11)의 일부는 후방으로 돌출되어, 콜리메이션부 지지 파트(19)를 지지할 수 있다. 베이스 프레임(11)의 다른 일부는 전방으로 돌출되어, 슬라이더 프레임(12)에 오버랩될 수 있다. 여기서, 설명의 편의를 위해 전방이란 +z 방향, 후방이란 -z 방향을 의미하는 것임을 밝혀 둔다. 베이스 프레임(11)은 테두리 파트(11a) 및 복수 개의 수용 홈(11b)을 구비할 수 있다. 테두리 파트(11a)는 슬라이더 프레임(12)이 과도하게 후방으로 이동하지 않도록 보조하고, 복수 개의 수용 홈(11b) 고정 부재(13)의 일부를 수용하여, 베이스 프레임(11) 및 슬라이더 프레임(12)이 서로 고정될 수 있도록 보조할 수 있다.
슬라이더 프레임(12)은 베이스 프레임(11)에 장착될 수 있다. 슬라이더 프레임(12)은 베이스 프레임(11)에 대해 슬라이딩 가능하다. 사용자는 베이스 프레임(11)에 대한 슬라이더 프레임(12)의 위치를 조절한 뒤, 고정 부재(13)를 이용하여 베이스 프레임(11) 및 슬라이더 프레임(12)을 고정할 수 있다. 슬라이더 프레임(12)에 의해 주경(M1)에 대한 부경(M2)의 상대적인 z축 방향의 위치는 조절될 수 있다. 예를 들어, 슬라이더 프레임(12)은 고정 부재(13)를 수용하기 위한 홀을 구비할 수 있다.
고정 부재(13)는 베이스 프레임(11) 및 슬라이더 프레임(12)을 고정할 수 있다. 고정 부재(13)는 예를 들어, 슬라이더 프레임(12)에 나사 결합하고, 일단이 베이스 프레임(11)의 수용 홈(11b)에 수용되는 나사 형상을 가질 수 있다.
위치 조절 프레임(14)은 슬라이더 프레임(12)의 내측에 장착되고, 고리 형상을 가질 수 있다. 위치 조절 프레임(14)은 슬라이더 프레임(12)에 대해 광축에 수직한 방향으로 위치 조절이 가능하다. 위치 조절 프레임(14)은 슬라이더 프레임(12)에 대해 x축 및/또는 y축 방향으로 이동할 수 있다. 위치 조절 프레임(14)을 통해, 주경(M1)에 대한 부경(M2)의 x축 및 y축 위치를 조절할 수 있다. 위치 조절 프레임(14)의 전면은 슬라이더 프레임(12)에 의해 지지되고, 후면은 제 1 지지 프레임(181)에 의해 지지될 수 있다. 위치 조절 프레임(14)은 슬라이더 프레임(12) 및 제 1 지지 프레임(181)에 의해 z축 방향으로의 이동이 제한될 수 있다.
푸쉬 부재(15)는 슬라이더 프레임(12)에 장착되고, 슬라이더 프레임(12)에 대해 광축(z축)에 수직한 방향으로 위치 조절이 가능하다. 푸쉬 부재(15)는 그 길이 방향이 광축(z축)에 수직하도록 슬라이더 프레임(12)에 장착될 수 있다. 푸쉬 부재(15)는 슬라이더 프레임(12)을 관통하고 일단이 위치 조절 프레임(14)에 접촉할 수 있다. 푸쉬 부재(15)는 슬라이더 프레임(12)을 관통하여 위치 조절 프레임(14)을 푸쉬할 수 있다. 푸쉬 부재(15)는 복수 개로 마련되고, 복수 개의 푸쉬 부재(15)는 슬라이더 프레임(12)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 푸쉬 부재(15)는 부경(M2)을 중심으로 90도 간격으로 4개가 마련될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 푸쉬 부재(15)는, 부경(M2)을 중심으로 서로 90도로 이격된 상태로 마련되는, 제 1 내지 제 4 푸쉬 부재를 포함할 수 있다.
예를 들어, 푸쉬 부재(15) 중 +y 방향에 마련된 푸쉬 부재(15)가 -y 방향으로 이동하고, -y 방향에 마련된 푸쉬 부재(15)가 -y 방향으로 이동할 경우, 슬라이더 프레임(12)은 -y 방향으로 이동할 수 있다. 마찬가지로, 푸쉬 부재(15) 중 +x 방향에 마련된 푸쉬 부재(15)가 +x 방향으로 이동하고, -x 방향에 마련된 푸쉬 부재(15)가 +x방향으로 이동할 경우, 슬라이더 프레임(12)은 +x 방향으로 이동할 수 있다.
각도 조절 프레임(16)은 위치 조절 프레임(14)의 내측에 장착되고, 고리 형상을 가질 수 있다. 각도 조절 프레임(16)은 위치 조절 프레임(14)에 대해 상대적으로 기울어진 각도가 조절될 수 있다. 각도 조절 프레임(16)은 예를 들어 x축 및/또는 y축 중심으로 회동할 수 있다. 다시 말하면, 각도 조절 프레임(16)은 피치 및/또는 요 회전할 수 있다.
틸팅 부재(171, 172, 173)는 각도 조절 프레임(16)에 장착되고, 각도 조절 프레임(16)을 관통하고, 일단이 위치 조절 프레임(14)에 접촉한 상태를 유지할 수 있다. 틸팅 부재(171, 172, 173)는 복수 개로 마련되고, 복수 개의 틸팅 부재는 각도 조절 프레임(14)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치될 수 있다. 도면에는 틸팅 부재가 3개인 것으로 도시되어 있으나 이에 제한되지 않음을 밝혀 둔다. 예를 들어, 틸팅 부재는 90도 간격을 이루는 2개로 마련될 수도 있고, 90도 간격을 이루는 4개로 마련될 수도 있다.
틸팅 부재(171, 172, 173)는 각각 각도 조절 프레임(16)에 대한 상대적인 위치가 조절될 수 있다. 틸팅 부재(171, 172, 173) 각각이 각도 조절 프레임(16)에 대한 상대적인 위치에 따라, 각도 조절 프레임(16)이 위치 조절 프레임(14)에 대해 상대적으로 기울어진 각도가 결정될 수 있다. 예를 들어, 제 1 틸팅 부재(171)가 제 3 틸팅 부재(173) 보다 상대적으로 후방으로, 다시 말하면 -z 방향으로 이동된 상태일 경우, 각도 조절 프레임(16)은 위치 조절 프레임(14)에 대해 +x 방향을 기준으로 시계 방향으로 일정 각도 회전될 수 있다. 다시 말하면, 주경(M1)에 대한 부경(M2)의 상대적인 각도가 조절될 수 있다.
틸팅 부재(171, 172, 173)는, 부경(M2)을 중심으로 90도를 이루는 제 1 틸팅 부재(171) 및 제 2 틸팅 부재(172)와, 부경(M2)을 중심으로 90도를 이루는 제 2 틸팅 부재(172) 및 제 3 틸팅 부재(173)를 포함할 수 있다. 제 1 틸팅 부재(171) 및 제 3 틸팅 부재(173)는 부경(M2)을 중심으로 서로 반대편에 마련될 수 있다.
볼 조인트(175)는 복수 개의 틸팅 부재 중 어느 하나의 틸팅 부재의 반대편에 마련될 수 있다. 예를 들어, 각도 조절 프레임(16)의 기울어진 정도는, 서로 마주하는 2개의 틸팅 부재에 의해 결정될 수도 있으나, 볼 조인트(175)를 활용하여 하나의 틸팅 부재만으로 기울어진 정도를 조절하고 다른 한쪽은 지지만을 수행할 수도 있다. 볼 조인트(175)는 각도 조절 프레임(16) 및 위치 조절 프레임(14) 사이에 배치될 수 있다.
탄성 부재(179)는 일단이 각도 조절 프레임(16)에 고정되고 타단이 위치 조절 프레임(14)에 고정될 수 있다. 탄성 부재(179)는 예를 들어 스프링 또는 탄성 밴드일 수 있으며, 각도 조절 프레임(16) 및 위치 조절 프레임(14)이 서로 근접한 상태를 유지할 수 있도록, 각도 조절 프레임(16) 및 위치 조절 프레임(14)에 탄성력을 인가할 수 있다. 탄성 부재(179)는 복수 개가 마련될 수 있다.
부경 지지 로드(R)는 각도 조절 프레임(16)의 내측벽으로부터 부경(M2)을 향해 연장되고, 부경(M2)을 지지할 수 있다. 부경 지지 로드(R)는 예를 들어 120도 간격을 이루며 3개로 구비될 수 있다.
제 1 지지 프레임(181)은 슬라이더 프레임(12)의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖고, 위치 조절 프레임(14)의 후면을 지지할 수 있다.
제 2 지지 프레임(182)은 베이스 프레임(11)의 내측에 장착되고, 주경(M1)의 일면을 지지할 수 있다.
각도 조절 프레임(16)의 기울어짐과, 위치 조절 프레임(14)의 이동과, 슬라이더 프레임(12)의 이동은 각각 독립적으로 구현될 수 있다. 다시 말하면, 각도 조절 프레임(16)이 기울어짐은 위치 조절 프레임(14) 및/또는 슬라이더 프레임(12)의 이동에 영향을 끼치지 않을 수 있다.
위치 조절 프레임(14)은 슬라이더 프레임(12)의 내측에 장착되는 바디 파트(141)와, 바디 파트(141)로부터 제 1 지지 프레임(181)의 내측으로 돌출되는 돌출 파트(142)를 포함할 수 있다. 바디 파트(141) 및 돌출 파트(142) 사이에는 단차가 마련될 수 있다. 위치 조절 프레임(14)의 돌출 파트(142)는 제 1 지지 프레임(181)에 걸림으로써, x축 및/또는 y축으로 이동하는 거리가 조절될 수 있다.
도 5는 도 2의 A부분에 대한 단면도이다.
도 5를 참조하면, 각도 조절 프레임(16)은 탄성 부재(179)의 일단을 지지하기 위한 제 1 탄성 부재 지지 로드(169)를 구비하고, 위치 조절 프레임(14)은 탄성 부재(179)의 타단을 지지하기 위한 제 2 탄성 부재 지지 로드(149)를 구비할 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

Claims (20)

  1. 광축을 중심으로 정렬되고 볼록한 반사면이 마련된 부경과, 상기 광축을 따라 관통 구멍이 형성되고 상기 부경을 마주하고 오목한 반사면이 마련된 주경을 지지하는 마운팅 장치에 있어서,
    상기 주경을 지지하기 위한 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임에 장착되는 슬라이더 프레임;
    상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되는 위치 조절 프레임;
    상기 위치 조절 프레임의 내측에 장착되는 각도 조절 프레임;
    상기 각도 조절 프레임의 내측벽으로부터 상기 부경을 향해 연장되고, 상기 부경을 지지하는 부경 지지 로드; 및
    상기 각도 조절 프레임에 장착되고, 상기 각도 조절 프레임을 관통하고, 일단이 상기 위치 조절 프레임에 접촉한 상태를 유지하는 틸팅 부재를 포함하고,
    상기 틸팅 부재는 복수 개로 마련되고,
    복수 개의 틸팅 부재는 상기 각도 조절 프레임의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치되고,
    상기 복수 개의 틸팅 부재 각각은 상기 각도 조절 프레임에 대한 상대적인 위치가 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 틸팅 부재는, 상기 부경을 중심으로 하여 서로 90도로 이격된 상태로 마련되는 제 1 틸팅 부재 및 제 2 틸팅 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 각도 조절 프레임 및 위치 조절 프레임 사이에 배치되는 볼 조인트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    일단이 상기 각도 조절 프레임에 고정되고, 타단이 상기 위치 조절 프레임에 고정되는 탄성 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치 조절 프레임은 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축에 수직한 방향으로 위치 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 슬라이더 프레임에 장착되고, 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축에 수직한 방향으로 위치 조절 가능한 푸쉬 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 푸쉬 부재는 복수 개로 마련되고,
    복수 개의 푸쉬 부재는 상기 슬라이더 프레임의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 푸쉬 부재는, 상기 부경을 중심으로 하여 서로 90도로 이격된 상태로 복수 개가 마련되는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되고, 고리 형상을 갖고, 상기 위치 조절 프레임의 일면을 지지하는 지지 프레임을 더 포함하고,
    상기 슬라이더 프레임은 상기 위치 조절 프레임의 타면을 지지하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 위치 조절 프레임은
    상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되는 바디 파트; 및
    상기 바디 파트로부터 상기 지지 프레임의 내측으로 돌출되는 돌출 파트를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬라이더 프레임은 상기 베이스 프레임에 대해 상기 광축 방향으로 슬라이딩 가능한 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 슬라이더 프레임 및 베이스 프레임을 고정하기 위한 고정 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 베이스 프레임은 상기 고정 부재를 수용하기 위한 복수 개의 수용 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치 조절 프레임은 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축 방향에 대해 수직한 방향으로 위치 조절 가능하고,
    상기 슬라이더 프레임은 상기 베이스 프레임에 대해 슬라이딩 가능하고,
    상기 각도 조절 프레임, 위치 조절 프레임 및 슬라이더 프레임은 독립적으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  15. 광축을 중심으로 정렬되고 볼록한 반사면이 마련된 부경과, 상기 광축을 따라 관통 구멍이 형성되고 상기 부경을 마주하고 오목한 반사면이 마련된 주경을 지지하는 마운팅 장치에 있어서,
    상기 주경을 지지하는 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임에 장착되는 슬라이더 프레임;
    상기 슬라이더 프레임의 내측에 장착되는 위치 조절 프레임;
    상기 위치 조절 프레임의 내측에 장착되는 각도 조절 프레임; 및
    상기 각도 조절 프레임의 내측벽으로부터 상기 부경을 향해 연장되고, 상기 부경을 지지하는 부경 지지 로드를 포함하고,
    상기 위치 조절 프레임이 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축 방향에 대해 수직한 방향으로 위치가 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 각도 조절 프레임이 상기 위치 조절 프레임에 대해 상대적으로 기울어진 각도가 조절 가능하고,
    상기 슬라이더 프레임은 상기 베이스 프레임에 대해 슬라이딩 가능하고,
    상기 각도 조절 프레임, 위치 조절 프레임 및 슬라이더 프레임은 독립적으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 슬라이더 프레임에 장착되고, 상기 슬라이더 프레임에 대해 상기 광축에 수직한 방향으로 위치 조절 가능한 푸쉬 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세그레인 구조의 대물렌즈의 복합 모션을 구현하기 위한 마운팅 장치.
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