JP2014137118A - 高頻度開閉バルブ - Google Patents

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Abstract

【課題】弁部材の応答性を低下させることなく流量特性を向上させた高頻度開閉バルブを提供する。
【解決手段】入力流路26が連通する弁室4と、該弁室4内に開口する出力オリフィス24と、該出力オリフィス24の回りの出力弁座に接離するよう前記弁室4内に配設されたプレート状の弁部材5と、該弁部材5を開閉操作する電磁操作部1と有し、該電磁操作部1による電磁吸引力の作用と前記弁室4内の流体圧力の作用とで前記弁部材5を前記出力弁座に接離させて前記複数の出力オリフィス24を開閉する高頻度開閉バルブにおいて、該バルブが、長孔状をした複数の前記出力オリフィス24を有する。
【選択図】図4

Description

本発明は、開閉ストロークの小さい弁部材を弁座に接離させて出力オリフィスを高頻度で開閉する高頻度開閉バルブに関するものである。
この種の高頻度開閉バルブとして、特許文献1や特許文献2等に開示されたものが公知である。この高頻度開閉バルブは、例えば物品の選別等に使用されるもので、プレート状の弁部材を弁座に接離させて出力オリフィスを開閉し、この出力オリフィスから圧力流体を移動する物品中の選別すべき物品に向けて高速で出力するものであるが、前記弁部材の開閉ストロークが小さい(例えば0.1mm程度)ため、該弁部材の応答性と出力流体の流量特性との兼ね合いが難しい。応答性を高めるために弁部材の開閉ストロークを小さくすると、出力オリフィスの開放量が小さくなって流量特性が悪くなり、流量特性を高めるために弁部材の開閉ストロークを大きくすると、応答性が悪くなるからである。また、前記出力オリフィス自体の開口面積を大きくしても、出力流体の流量は前記弁部材による出力オリフィスの開放量、即ち該弁部材と弁座との間に形成される隙間(弁開口部)の面積によって決まるため、流量特性の改善には殆どつながらない。
一方で、この種の高頻度開閉バルブは、大流量の出力流体を必要とする条件下で使用することも多く、そのため、従来の高頻度開閉バルブより大流量の出力流体が得られる新たな高頻度開閉バルブの出現が望まれている。
特開2004−332876号公報 特開2006−329335号公報
本発明の技術的課題は、従来の高頻度開閉バルブに比べ、弁部材の応答性を低下させることなく流量特性を向上させた高頻度開閉バルブを提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明によれば、ボビンに巻かれた励磁コイルと、該ボビンの中心孔内に取り付けられた固定鉄心とを有する電磁操作部;弁室を介して前記電磁操作部に連結され、該弁室内に開口する長孔状をした複数の出力オリフィスと、各出力オリフィスの回りを取り囲む出力弁座と、各々の出力弁座の回りを取り囲むようにして前記弁室に連通する入力流路と、前記出力オリフィスに連通する出力ポートと、前記入力流路に連通する入力ポートとを有する主弁部;前記弁室内に前記出力弁座に接離自在なるように配設され、前記励磁コイルに通電すると前記固定鉄心に吸引されて前記出力弁座から離間し、前記出力オリフィスと入力流路とを連通させる第1位置を占め、通電を解除すると圧力流体の作用で前記出力弁座に押し付けられ、前記出力オリフィスを閉鎖して該出力オリフィスを前記入力流路から遮断する第2位置を占める、プレート状をした弁部材;を有することを特徴とする高頻度開閉バルブが提供される。
本発明において好ましくは、前記出力オリフィスが直線状をなし、複数の該出力オリフィスが相互に平行に配設されていることであり、より好ましくは、前記弁室には長手方向と短手方向があり、前記出力オリフィスは該弁室の長手方向に延在し、複数の前記出力オリフィスが該弁室の短手方向に隣接するように配設されていることである。
この場合、前記入力流路は、前記複数の出力オリフィスの各々の出力弁座の全周を間断なく取り囲み、隣接する出力弁座間に介在する流路部分は直線状をなし、該流路部分の流路幅は該流路部分の全長に渡って均一であることが望ましい。
また、本発明において、前記出力オリフィスは2つであっても良い。
本発明によれば、長孔状をした複数の出力オリフィスを設けたことにより、弁部材の開閉ストロークを大きくすることなく出力流体の流量を増大させることが可能となり、この結果、公知のバルブに比べ、応答性を低下させることなく流量特性を改善することができる。
本発明に係る高頻度開閉バルブの斜視図である。 図1の拡大縦断面図である。 図2の中央縦断側面図である。 図1のバルブを分解して示す斜視図である。 主弁部の弁ボディの一部を構成する第1ボディの斜視図である。 図5の平面図である。 第1ボディの変形例の斜視図である。 図7の平面図である。
図1−図6は本発明に係る高頻度開閉バルブの一実施形態を示すものである。このバルブは、ポペット式2ポート電磁弁としてのバルブ構造を有するもので、スペーサ3を介して相互に連結された電磁操作部1及び主弁部2と、これらの電磁操作部1と主弁部2との間に形成された弁室4と、該弁室4内に収容された弁部材5とを有している。また、該バルブの平面視形状は長手方向と短手方向とを有する細長い矩形形状であり、従って、前記弁室4も同様に長手方向と短手方向とを有する細長い矩形形状をなしている。
前記電磁操作部1は、図2及び図3から明らかなように、バルブの長手方向に細長い略矩形の断面形状を有する非磁性のボビン7と、該ボビン7に巻かれた励磁コイル8と、該ボビン7の中心孔7a内に収容された細長い略矩形の断面形状を有する固定鉄心9と、前記ボビン7の上面及び長手方向の両側面を覆う略コ字形をした磁気フレーム10とを有していて、これらボビン7と励磁コイル8と固定鉄心9と磁気フレーム10とによって電磁弁アセンブリが形成されている。この電磁弁アセンブリの上面と側面全体は、合成樹脂製の封止材11でコーティングされており、該封止材11の平らな上面11aからは前記励磁コイル8に電気的に導通する一対のコイル端子12が突出し、これらのコイル端子12にはリード線13がそれぞれ接続され、これらのコイル端子12とリード線13との接続部を覆うように前記封止材11の上面11aにカバー14が被せられ、該カバー14が螺子15で前記封止材11に取り付けられている。図4中の符号14aは、前記カバー14に形成された螺子挿通孔、11bは前記封止材11に形成された螺子孔である。
前記固定鉄心9の先端面即ち下端面は、前記弁部材5を吸着する磁極面9aであり、該磁極面9aの長手方向の中央部には、該固定鉄心9の一部をU字形に切り欠くことによって流体導入室16が形成されている。この流体導入室16は、前記励磁コイル8への通電によって前記磁極面9aに弁部材5が吸着されている状態から通電を解除した際に、該流体導入室16内に導入されるエア等の圧力流体の作用によって前記磁極面9aからの前記弁部材5の離間を早めるためのものである。
前記主弁部2の弁ボディ20は、ガスケット23を介して相互に接合された上方の第1ボディ21及び下方の第2ボディ22を有している。
前記第1ボディ21は、図2−図6から明らかなように、バルブの長手方向に細長く延びる略矩形の平面視形状を有し、該第1ボディ21には、前記弁室4内に開口する長孔状をした複数(図示の例では2つ)の出力オリフィス24と、各出力オリフィス24の回りを取り囲む出力弁座25と、各々の出力弁座25の全周を間断なく取り囲んだ状態で前記弁室4に連通する入力流路26とを備えている。
前記出力オリフィス24は、前記第1ボディ21の底部から立ち上がった横に細長い中空壁27の内部に形成されていて、直線状をなすと共に、前記第1ボディ21の長手方向(従って弁室4の長手方向)に細長く延在し、前記中空壁27の上端に前記出力弁座25が形成されている。そして、複数の前記中空壁27即ち出力オリフィス24が、前記第1ボディ21の短手方向(従って弁室4の短手方向)に隣り合うような配置で相互に平行に配設され、該中空壁27の各々の回りを前記入力流路26を形成する空間が取り囲んでいる。
前記複数の出力オリフィス24は互いに同一構成で、その開口幅a及び長さbは互いに等しい。また、前記出力弁座25の弁座幅cは、その全周に渡って均一である。
前記入力流路26の、隣接する2つの出力弁座25,25の間に介在する流路部分26aは、直線状をなすと共に、該流路部分26aの全長に渡って均一な流路幅dを有している。また、この流路部分26aの流路幅dは、前記出力オリフィス24の開口幅aより大きい。前記出力弁座25と弁室4の短手方向の室壁との間に位置する流路部分26bも、前記流路部分26aと同様に、直線状をなしていて全長に渡って均一な流路幅eを有し、該流路幅eは出力オリフィス24の開口幅aより大きい。
前記2つの出力オリフィス24は、図2及び図3に示すように、前記中空壁27の内部の通孔を通じて前記第1ボディ21の底面の中央部に開口する1つの第1出力用接続口31に連通し、前記入力流路26は、前記第1ボディ21の底面に前記第1出力用接続口31を間に挟むような配置で開口する2つの第1入力用接続口32a,32bに連通している。
また、前記第1ボディ21は、前記電磁操作部1の下面に前記スペーサ3を介して2つの第1螺子34により固定され、該スペーサ3に形成された細長い矩形の内孔3aによって前記弁室4が形成されている。
前記第1螺子34は、図4から明らかなように、前記第1ボディ21の対角方向の角隅部に形成された2つの螺子挿通孔34bと、前記スペーサ3の対角方向の角隅部に形成された2つの螺子挿通孔34cとにそれぞれ挿通され、先端の雄螺子部34aが前記封止材11の螺子孔(不図子)に螺着されている。
前記封止材11とスペーサ3との間には略矩形枠状のシール部材35が介設され、前記スペーサ3と第1ボディ21との間にも略矩形枠状のシール部材36が介設されており、前記シール部材35は、前記スペーサ3の上面に前記内孔3aを取り囲むように形成された取付溝3b内に嵌合し、前記シール部材36は、前記第1ボディ21の上面に前記入力流路26を取り囲むように形成された取付溝21a内に嵌合している。
図2及び図4中の符号3cは、前記スペーサ3の上面に形成された位置決め用の突起であり、この突起3cを前記封止材11の下面の位置決め孔11c内に嵌合させることにより、前記スペーサ3の位置決めが行われている。
一方、前記第2ボディ22は、図2−図4から明らかなように、平面視形状が前記第1ボディ21と略同形かつ同大をなす台部40と、該台部40の長手方向の両側に形成された2つの取付用腕部41a,41bとを有している。
前記台部40の上面には、前記第1ボディ21の第1出力用接続口31に連通する第2出力用接続口42と、前記第1ボディ21の2つの第1入力用接続口32a,32bに個別に連通する2つの第2入力用接続口43a,43bとが設けられ、該台部40の下面には、前記第2出力用接続口42に連通する出力ポート44と、一方の第2入力用接続口43aに連通する入力ポート45が設けられている。他方の第2入力用接続口43bは、前記台部40の中間の深さまで穿設されていて、該台部40の下面には開口していない。図中の符号50はOリングである。
前記2つの取付用腕部41a,41bは、バルブをマニホールドベース等の流体供給部材に取り付けるためのもので、該2つの腕部41a,41bの間に前記流体供給部材を挟み込んで固定するものである。このため各腕部41a,41bの先端部(下端部)には、前記流体供給部材の係止溝等に係止させるための係止突起46が互いに相対する向きに突出するように形成され、一方の第1腕部41aは第2ボディ22に固定的に連結され、他方の第2腕部41bは、第2ボディ22に弾性連結部47を介して弾性的に開閉自在なるように連結され、該第2腕部41bに開閉操作用の操作部48が形成されている。
前記第2ボディ22は、前記第1ボディ21の下面に前記ガスケット23を介して接合され、2つの第2螺子49で前記電磁操作部1に固定されている。この第2螺子49は、前記第2ボディ22の対角方向の角隅部に形成された2つの螺子挿通孔49bと、前記ガスケット23の対角方向の角隅部に形成された2つの螺子挿通孔49cと、前記第1ボディ21の対角方向の角隅部に形成された2つの螺子挿通孔49dと、前記スペーサ3の対角方向の角隅部に形成された2つの螺子挿通孔49eとにそれぞれ挿通され、該第2螺子49の先端の雄螺子部49aが前記電磁操作部1の封止材11の螺子孔(不図示)に螺着されている。
図4中の符号22aは、前記第2ボディ22の上面に形成された位置決め用の突起で、この突起22aを前記ガスケット23を介して前記第1ボディ21の下面の位置決め孔(不図示)内に嵌合させることにより、これら第1ボディ21と第2ボディ22とが相互に位置決めされた状態で連結されている。
前記弁部材5は、鉄などの磁性材によって前記弁室4の長手方向に細長い略矩形のプレート状に形成されたもので、全体としてほぼ均一な厚みを有し、前記弁室4の内部に、該弁部材5の外周と前記弁室4の室壁の内周との間に圧力流体が流通できる僅かな隙間を保った状態で前記出力弁座25に接離自在なるように配設されている。そして、前記励磁コイル8に通電すると、該弁部材5は、前記固定鉄心9に吸着されて前記出力弁座25から離間し、前記出力オリフィス24と入力流路26とを連通させる第1位置(非図示)を占め、通電を解除すると、該弁部材5は、前記隙間を通じて該弁部材5の上面に回り込んだ圧力流体の作用により前記固定鉄心9から離間して前記出力弁座25に押し付けられ、前記出力オリフィス24を閉鎖して該出力オリフィス24を前記入力流路26から遮断する第2位置(図2、図3に示す位置)を占める。このときの該弁部材5の開閉ストロークは約0.1mmほどである。
前記弁部材5の長手方向の中間部は、両側面に形成した凹状の切り欠き5aによって少し括れており、この切り欠き5aの部分で該弁部材5の外周の隙間の面積が拡大され、圧力流体が弁部材5の上面と前記固定鉄心9の流体導入室16内とに流れ込み易くなっている。
前記弁部材5の表面には、少なくとも前記出力弁座25に接離する下面に、ニッケルやクロムなどをメッキすることによって被覆処理を施しておくことが望ましい。
また、前記弁部材5を前記2つの出力弁座25に平行に当接させてその姿勢を安定化させるため、前記第1ボディ21の内部の前記中空壁27の長手方向の両側の位置には、平面視T字状をした支持部52が形成され、該支持部52の上面で前記弁部材5の長手方向の両端部を下から支持するようにしている。この支持部52は、前記弁室4の短手方向に細長く延びる第1部分52aと、前記弁室4の長手方向に細長く延びる第2部分52bとを有していて、該第2部分52bが前記第1部分52aより出力弁座25側の位置を占めている。前記支持部52の前記第1ボディ21の底部からの高さは、前記出力弁座25の高さと同じである。
次に、前記構成を有する高頻度開閉バルブの動作について説明する。図2及び図3は電磁操作部1の励磁コイル8が非通電の状態にあって、前記弁部材5が2つの出力弁座25に当接して2つの出力オリフィス24を閉鎖する第2位置を占めた状態を示している。
この状態から前記励磁コイル8に通電すると、固定鉄心9に発生する磁気力によって前記弁部材5が該固定鉄心9の磁極面9aに吸着され、前記出力弁座25から離れて2つの出力オリフィス24を開放する第1位置に移動する。このため、入力流路26からの圧力流体は、前記弁部材5と各出力弁座25との間に形成される隙間(弁開口部)を通じて前記2つの出力オリフィス24内に流入し、出力ポート44から図示しない噴射ノズル等を通じて外部(大気)に出力される。
このとき、前記2つの出力オリフィス24の各々の出力弁座25の周囲が前記入力流路26で間断なく取り囲まれると共に、2つの出力弁座25間に介在する流路部分26aの流路幅dが前記出力オリフィス24の開口幅aより大きく形成されているため、前記入力流路26内の圧力流体は、前記流路部分26aで絞られることなく、各々の出力弁座25の全周から前記弁開口部を通じて各出力オリフィス24内に均等且つ円滑に流れ込み、2つの出力オリフィス24内に流れ込んだ圧力流体の流量を合算した流量の圧力流体が前記出力ポート44から出力されることになる。このため、公知のバルブのように1つの出力オリフィスだけを設けた場合に比べ、出力される圧力流体の流量は2倍になる。しかも、前記弁部材5の開放ストロークは大きくする必要がないので、応答性の低下を来すことがない。
また、前記2つの出力オリフィス24,24の開口面積を合算した大きさの開口面積を有する開口幅の広い1つの出力オリフィスを設けた場合に比べても、前記弁開口部の面積は2つの出力オリフィス24,24の弁開口部の面積を合算した場合の方が大きいため、出力流体の流量も、2つの出力オリフィス24,24を設けた場合の方が当然多くなる。
前記励磁コイル8への通電を解除すると、前記弁部材5が該弁部材5の上面に作用する流体圧力によって前記出力弁座25に押し付けられ、出力オリフィス24を閉鎖して該出力オリフィス24と入力流路26との連通を遮断する。このため、前記出力ポート44からの圧力流体の出力は停止する。
前記バルブは、このような弁部材5の開閉動作が高頻度で繰り返されるものである。
なお、図示した例では出力オリフィス24が2つ設けられているが、該出力オリフィス24は3つ以上であっても良く、また、前記複数の出力オリフィス24は、前記弁室4の短手方向に細長く延在させると共に該弁室4の長手方向に隣接するように配設することもできる。
図7及び図8は、主弁部2の弁ボディ20の一部を構成する第1ボディの変形例を示すもので、この変形例の第1ボディ21Aにおいては、2つの出力オリフィス24Aが弧状に湾曲した形に形成されている。即ち、前記2つの出力オリフィス24Aは、前記第1ボディ21の長手方向に細長く延在すると共に、該第1ボディ21の短手方向に互いに隣接するように配設されていて、該出力オリフィス24Aの長手方向の中間部で互いの間隔が最大となるように、前記第1ボディ21の短手方向外側に向けて凸形をなしかつ互いに逆向きをなすように湾曲している。従って、前記2つの出力オリフィス24A,24Aの間に介在する入力流路26の流路部分26aの流路幅dは、その長手方向の両端部で最も狭く、中間部で最も広くなっているが、最も狭い両端部においても前記出力オリフィス24Aの開口幅aより大きく形成されている。
前記第1ボディ21Aにおける前記出力オリフィス24A以外の構成は図5及び図6に示す第1ボディ21と実質的に同じであるから、該第1ボディ21と同じ構成部分に該第1ボディ21と同一の符号を付してその説明は省略する。
なお、前記2つの出力オリフィス24Aは、前記第1ボディ21Aの長手方向に隣接するように配設することもできる。
1 電磁操作部
2 主弁部
4 弁室
5 弁部材
7 ボビン
7a 中心孔
8 励磁コイル
9 固定鉄心
24,24A 出力オリフィス
25 出力弁座
26 入力流路
26a 流路部分
44 出力ポート
45 入力ポート
d 流路幅

Claims (5)

  1. ボビンに巻かれた励磁コイルと、該ボビンの中心孔内に取り付けられた固定鉄心とを有する電磁操作部;
    弁室を介して前記電磁操作部に連結され、該弁室内に開口する長孔状をした複数の出力オリフィスと、各出力オリフィスの回りを取り囲む出力弁座と、各々の出力弁座の回りを取り囲むようにして前記弁室に連通する入力流路と、前記出力オリフィスに連通する出力ポートと、前記入力流路に連通する入力ポートとを有する主弁部;
    前記弁室内に前記出力弁座に接離自在なるように配設され、前記励磁コイルに通電すると前記固定鉄心に吸引されて前記出力弁座から離間し、前記出力オリフィスと入力流路とを連通させる第1位置を占め、通電を解除すると圧力流体の作用で前記出力弁座に押し付けられ、前記出力オリフィスを閉鎖して該出力オリフィスを前記入力流路から遮断する第2位置を占める、プレート状をした弁部材;
    を有することを特徴とする高頻度開閉バルブ。
  2. 前記出力オリフィスは直線状をなし、複数の該出力オリフィスが相互に平行に配設されていることを特徴とする請求項1に記載の高頻度開閉バルブ。
  3. 前記弁室には長手方向と短手方向があり、前記出力オリフィスは該弁室の長手方向に延在し、複数の前記出力オリフィスが該弁室の短手方向に隣接するように配設されていることを特徴とする請求項2に記載の高頻度開閉バルブ。
  4. 前記入力流路は、前記複数の出力オリフィスの各々の出力弁座の全周を間断なく取り囲み、隣接する出力弁座間に介在する流路部分は直線状をなし、該流路部分の流路幅は該流路部分の全長に渡って均一であることを特徴とする請求項2または3に記載の高頻度開閉バルブ。
  5. 前記出力オリフィスは2つであることを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の高頻度開閉バルブ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015115372A1 (de) 2014-09-16 2016-03-17 Smc Corporation Einrastventil

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP1529068S (ja) * 2014-09-25 2015-07-21
JP1526987S (ja) * 2014-12-19 2015-06-22
JP1526988S (ja) * 2014-12-19 2015-06-22
JP1526989S (ja) * 2014-12-19 2015-06-22
JP6953364B2 (ja) * 2018-06-05 2021-10-27 Ckd株式会社 電磁弁マニホールド
SE2250691A1 (en) * 2022-06-09 2023-12-10 Staccato Tech Ab Compact electromechanical valve

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0236675U (ja) * 1988-09-02 1990-03-09
JPH0236678U (ja) * 1988-09-02 1990-03-09
JPH10122409A (ja) * 1996-10-21 1998-05-15 Ckd Corp 電磁弁
JPH11132352A (ja) * 1997-10-29 1999-05-21 Ckd Corp 電磁弁
JPH11304034A (ja) * 1998-04-21 1999-11-05 Ckd Corp 金属弁体の製造方法及びその金属弁体を備えた電磁弁
JP2000046223A (ja) * 1998-07-24 2000-02-18 Ckd Corp 電磁弁
JP2004332876A (ja) * 2003-05-09 2004-11-25 Smc Corp 複数ソレノイドを有する弁装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1383842A (en) * 1918-05-28 1921-07-05 Ohlsson Olof Valve of the annular type
JP2774283B2 (ja) * 1988-07-26 1998-07-09 オリンパス光学工業株式会社 輪郭強調回路
EP0400504B1 (en) * 1989-06-02 1994-08-10 MATRIX S.r.l. A high-speed solenoid valve for a fluid under pressure,e.g. for pneumatic circuits
JPH11141715A (ja) * 1997-11-07 1999-05-28 Smc Corp 電磁弁組立体の給電装置
JP4147917B2 (ja) * 2002-11-28 2008-09-10 トヨタ自動車株式会社 内燃機関の電磁駆動バルブ制御装置および電磁駆動バルブ制御方法
JP2005155712A (ja) * 2003-11-21 2005-06-16 Mitsubishi Electric Corp 電磁弁
JP4482762B2 (ja) * 2005-05-26 2010-06-16 Smc株式会社 ポペット式2ポート電磁弁
DE102007031957A1 (de) 2007-07-10 2009-01-22 Pierburg Gmbh Kombiniertes Rückschlag- und Steuerventil

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0236675U (ja) * 1988-09-02 1990-03-09
JPH0236678U (ja) * 1988-09-02 1990-03-09
JPH10122409A (ja) * 1996-10-21 1998-05-15 Ckd Corp 電磁弁
JPH11132352A (ja) * 1997-10-29 1999-05-21 Ckd Corp 電磁弁
JPH11304034A (ja) * 1998-04-21 1999-11-05 Ckd Corp 金属弁体の製造方法及びその金属弁体を備えた電磁弁
JP2000046223A (ja) * 1998-07-24 2000-02-18 Ckd Corp 電磁弁
JP2004332876A (ja) * 2003-05-09 2004-11-25 Smc Corp 複数ソレノイドを有する弁装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015115372A1 (de) 2014-09-16 2016-03-17 Smc Corporation Einrastventil
KR20160032677A (ko) 2014-09-16 2016-03-24 에스엠시 가부시키가이샤 스냅피트식 밸브
JP2016061329A (ja) * 2014-09-16 2016-04-25 Smc株式会社 スナップ・フィット式バルブ
US9803766B2 (en) 2014-09-16 2017-10-31 Smc Corporation Snap-fit type valve
TWI655386B (zh) * 2014-09-16 2019-04-01 日商Smc股份有限公司 卡扣配合式閥
KR102367683B1 (ko) 2014-09-16 2022-02-25 에스엠시 가부시키가이샤 스냅피트식 밸브
DE102015115372B4 (de) 2014-09-16 2024-05-02 Smc Corporation Einrastventil

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