JP6711569B2 - 気体用電磁弁 - Google Patents
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Description
前記第2収容部は、前記バネ部材の端部を収容可能な大きさに形成されていてもよい。
前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられてもよく、この場合、前記複数の第1収容部と前記複数の第2収容部とが同心円状に並んでいてもよい。
前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられるとともに等間隔に並んでいてもよい。
前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられてもよく、この場合、前記第1収容部と前記第2収容部とが交互に並んでいてもよい。
前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられてもよく、この場合、前記複数の第1収容部は、前記弁体の中心軸に対して対称に配置され、前記複数の第2収容部は、前記弁体の中心軸に対して対称に配置されていてもよい。
前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられてもよく、この場合、前記複数の第1収容部は、前記コイルの中心軸又はその延長線に対して対称に配置され、前記複数の第2収容部は、前記コイルの中心軸又はその延長線に対して対称に配置されていてもよい。
前記当接領域に開口するように、前記コイルの収容溝が配置されてもよく、この場合、前記収容溝内は封止剤によって封止されていてもよい。
本発明者等は、コイルから発生した磁界によって磁化される磁性弁体を用いて、小さな気体用電磁弁を開発した。磁性弁体は、単一の板材からなるので、磁性弁体は、アーマチュア及び弁体が合体された組立体よりも小さく、且つ、軽量である。このため、本発明者等によって開発された気体用電磁弁は、性能試験において、高い応答性を発揮することができた。しかしながら、本発明者等は、性能試験開始から所定期間の経過後に、顕著な応答遅れが生ずることを確認した。本発明者等は、応答遅れの原因を様々な観点から探求した。
第1実施形態に関連して説明された磁性弁体が、閉位置から開位置へ変位すると、磁性弁体は、下ブロックに衝突する。磁性弁体と下ブロックとの間の衝突は、磁性弁体及び下ブロックの表面の微視的な変形を生じさせる。微視的な表面変形は、磁性弁体と下ブロックとの間の鏡面接合を引き起こす原因となる。本発明者等は、微視的な表面変形を生じさせにくくする技術を案出した。第2実施形態において、微視的な表面変形を抑制するための技術が説明される。
第1実施形態に関連して説明された粗面化処理は、下ブロックの上面に突部を形成することを意味してもよい。第3実施形態において、突部が形成された上面を有する下ブロックが説明される。
第3実施形態に関連して説明された粗面化処理は、下ブロックの上面に施与される。代替的に、又は、追加的に、粗面化処理は、磁性弁体の下面に施与されてもよい。第4実施形態において、粗面化処理が施与された下面を有する磁性弁体が説明される。
コイルを保持する下ブロックの大部分は、磁路を形成するために磁性材料から形成される。しかしながら、電磁弁を設計する設計者は、磁路の形成パターンを調整する為、或いは、他の様々な目的の為に、非磁性層を下ブロックに組み込んでもよい。第5実施形態において、非磁性層が組み込まれた下ブロックが説明される。
200・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・本体
210・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・チャンバ
224・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・下面
230,230B,230D・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・下ブロック
234・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・突起部
235・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・スロット
236・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・孔部
237,237D・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・中心領域
251・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・流入口
252・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・上流路
253・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・流出口
254・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・下流路
300,300A,300C・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・磁性弁体
313・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・弁面
320,320C・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・下面
321C・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・収容孔
322・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・突起部
323・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・スロット
400・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・コイル
500・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・バネ部材
600・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・非磁性層
Claims (13)
- 気体の流出量を制御するための気体用電磁弁であって、
前記気体が流入する流入口、前記気体が流出する流出口及び前記流入口と前記流出口とを繋ぎ、前記流入口から流入した前記気体を前記流出口へ案内する流動経路が形成された本体と、
前記本体内に配置された弁体と、を備え、
前記本体は、磁界を発生させるコイルを保持する保持部と、弁座と、を含み、
前記弁体は、前記保持部に対向する対向面を含むアーマチャ面と、前記アーマチャ面と一体的に、且つ、前記アーマチャ面とは反対側の面を含む弁部と、を含み、前記弁部が前記弁座に着座して前記流動経路を閉じる閉位置と、前記弁部が前記弁座から離座して前記流動経路を開く開位置と、の間で前記磁界に応じて変位し、
前記対向面は、前記弁体が前記開位置にあるとき前記保持部に当接することによって、前記閉位置から前記開位置までの前記アーマチャ面の変位量を定め、
前記磁界の消失下で、前記対向面を前記保持部から離間させる一方で、前記弁部を前記弁座に着座させ、前記流動経路を閉じるバネ部材を更に備え、
前記対向面及び前記保持部が互いに当接する当接領域において、前記対向面及び前記保持部の表面のうち少なくとも一方の面は、前記バネ部材の端部を収容する凹状の第1収容部とバネ部材の端部が収容されない凹状の第2収容部とが形成されることによって粗面化されている
気体用電磁弁。 - 前記保持部に当接する弁体の対向面は、弁体内部よりも高い硬度を有する
請求項1に記載の気体用電磁弁。 - アーマチャ面上における、コイルから発生される磁束が他の場所よりも少ない場所に、前記第1収容部及び前記第2収容部のうち少なくとも1つが形成されている
請求項1又は2に記載の気体用電磁弁。 - 前記アーマチャ面及び前記保持部の前記表面のうち少なくとも一方に形成された非磁性層を更に備える
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の気体用電磁弁。 - 前記バネ部材は複数設けられ、
前記当接領域には、前記第1収容部と前記第2収容部とを含む複数の開口部が、前記弁体の変位方向に延びる前記弁体の中心軸周りに等間隔に形成される
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の気体用電磁弁。 - 前記保持部の前記表面は、前記コイルによって囲まれた第1領域を含み、
前記アーマチャ面は、前記弁体が前記開位置に変位したとき、前記第1領域に当接する第2領域を含み、
前記当接領域は、前記第1領域及び前記第2領域を取り囲む
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の気体用電磁弁。 - 前記第2収容部は、前記バネ部材の端部を収容可能な大きさに形成されている
請求項1に記載の気体用電磁弁。 - 前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられ、
前記複数の第1収容部と前記複数の第2収容部とが同心円状に並んでいる
請求項1に記載の気体用電磁弁。 - 前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられるとともに等間隔に並んでいる
請求項1に記載の気体用電磁弁。 - 前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられ、
前記第1収容部と前記第2収容部とが交互に並んでいる
請求項1に記載の気体用電磁弁。 - 前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられ、
前記複数の第1収容部は、前記弁体の中心軸に対して対称に配置され、
前記複数の第2収容部は、前記弁体の中心軸に対して対称に配置されている
請求項1に記載の気体用電磁弁。 - 前記第1収容部及び前記第2収容部は、それぞれ複数設けられ、
前記複数の第1収容部は、前記コイルの中心軸又はその延長線に対して対称に配置され、
前記複数の第2収容部は、前記コイルの中心軸又はその延長線に対して対称に配置されている
請求項1に記載の気体用電磁弁。 - 前記当接領域に開口するように、前記コイルの収容溝が配置され、前記収容溝内は封止剤によって封止されている
請求項1に記載の気体用電磁弁。
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