KR102188285B1 - 오리피스 내장 밸브 및 압력식 유량 제어 장치 - Google Patents

오리피스 내장 밸브 및 압력식 유량 제어 장치 Download PDF

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Abstract

오리피스 내장 밸브(10)는 수용 오목부(2A), 제1가스유로(21) 및 제2가스유로(22)를 갖는 기부(2)와, 환상의 밸브시트(12b) 및 관통구멍(12a)을 갖는 밸브시트체(12)와, 밸브시트체를 유지하는 이너 디스크(13)와, 밸브시트에 접촉 가능한 밸브체(11a)와, 오리피스(18)를 포함하는 오리피스체(14)를 구비하고, 수용 오목부는 확경부(2W)와 협경부(2N)를 갖는 계단형상의 오목부이며, 밸브시트체(12)는 이너 디스크(13)에 의해 압박됨으로써 오리피스체 위에 유지 고정되고, 제1가스유로(21)는 협경부의 벽면과 오리피스체 사이를 지나 밸스실(10a)에 연통되고, 제2가스유로(22)는 오리피스체의 광통구멍 및 밸브시트체의 관통구멍을 경유해서 밸스실(10a)에 연통된다.

Description

오리피스 내장 밸브 및 압력식 유량 제어 장치
본 발명은, 오리피스 내장 밸브에 관한 것으로, 특히 압력식 유량 제어 장치 등에 있어서 사용되는 오리피스 내장 밸브에 관한 것이다.
반도체 제조 장치나 화학 플랜트에 있어서, 원료 가스나 에칭 가스 등의 유체를 제어하기 위한 여러가지 타입의 유량계나 유량 제어 장치가 이용되고 있다. 이 중에서 압력식 유량 제어 장치는, 예를 들면 피에조 소자 구동형 컨트롤 밸브와 스로틀부(오리피스 플레이트나 임계 노즐)를 조합한 비교적 간단한 기구에 의해 각종 유체의 유량을 고정밀도로 제어할 수 있으므로 넓게 이용되고 있다.
압력식 유량 제어 장치에는 임계 팽창 조건 P1/P2≥약 2(P1:스로틀부 상류측의 가스 압력, P2:스로틀부 하류측의 가스 압력)를 만족할 때, 유량은 하류측 가스 압력 P2에 의하지 않고 상류측 가스 압력 P1에 의해 결정된다고 하는 원리를 이용해서 유량 제어를 행하고 있는 것이 있다. 이 종류의 압력식 유량 제어 장치에서는 압력 센서와 컨트롤 밸브를 이용하여 상류 압력 P1을 제어하는 것만으로, 스로틀부 하류측으로 흐르는 가스의 유량을 고정밀도로 제어할 수 있다.
특허문헌 1에는, 상기 압력식 유량 제어 장치에 있어서, 조임부로서의 오리피스를 내장하는 개폐 밸브(오리피스 내장 밸브)를 갖는 압력식 유량 제어 장치가 개시되어 있다. 이 압력식 유량 제어 장치에 있어서, 컨트롤 밸브에 의해 오리피스 상류측의 압력이 제어됨과 아울러, 오리피스 내장 밸브에 의해 가스의 유출의 유무가 제어되므로, 상승 및 하강 특성 높게 유량 제어된 가스를 공급할 수 있다.
최근에서는, ALD(원자층 퇴적) 프로세스 또는 ALE(원자층 에칭) 프로세스에 있어서, 프로세스 챔버에 단기간만 가스를 공급하는 것이 요구되고 있고, 상기 특징을 구비한 오리피스 내장 밸브가 설치된 압력식 유량 제어 장치의 활용이 요구되고 있다.
오리피스 내장 밸브의 구체적인 구조에 대해서는 여러가지 형태가 고려되지만, 종래, 예를 들면 특허문헌 2의 도 4에 기재된 금속 다이어프램 밸브가 이용되고 있었다. 특허문헌 2의 도 4에 있어서는, 레이저 용접에 의해 홀더에 고정된 오리피스 플레이트가 밸브시트체에 형성된 오목부에 수용되어서 밸브시트체와 홀더 사이에 협지되어 고정되어 있다. 밸브시트체는 유체를 유통시키기 위한 통공을 갖는 이너 디스크에 의해 압박 고정되어 있다.
단, 상기와 같이, 용접에 의해 홀더 등에 고정된 오리피스 플레이트를 이용할 경우(특히, 얇은 오리피스 플레이트를 이용할 경우)에는, 용접 열의 영향에 의해 크랙의 발생이나 내식성의 저하가 발생할 우려가 있다.
일본 특허 제3522535호 일본 특허 제4137267호 일본 특허 공개 2016-24708호 공보 일본 특허 제4690827호
최근, 반도체 제조 장치 등의 분야에 있어서는 가스 공급계의 소형화가 요구되고 있고, 오리피스 내장 밸브에 대해서도 소형화의 요구가 있었다.
예를 들면, 특허문헌 2에는, 밸브시트체의 이면에 형성된 오목부에 있어서 홀더 및 오리피스 플레이트를 수용하는 구성이 기재되어 있지만, 밸브시트체의 사이즈가 커지고, 그 상부에 배치되는 밸브기구의 높이가 높아지기 쉽다고 하는 문제가 있었다. 또한, 특허문헌 2에는, 밸브시트체 자체에 오리피스를 설치하는 구성도 기재되어 있지만, 이 경우에는, 소형화는 이룰 수 있지만, 오리피스의 형상 정밀도를 높게 하는 것이 곤란했다.
본 발명은 상기 요구나 문제점을 감안하여 이루어진 오리피스 내장 밸브 및 그것을 구비한 압력식 유량 제어 장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시형태에 의한 오리피스 내장 밸브는 내부에 오리피스를 구비한 오리피스 내장 밸브로서, 상면 개구의 수용 오목부와, 상기 수용 오목부의 벽면에 개구하는 제1가스유로와, 상기 수용 오목부의 저면에 개구하는 제2가스유로를 갖는 기부와, 환상의 밸브시트 및 상기 밸브시트의 내측에 형성된 관통 구멍을 갖는 밸브시트체와, 상기 밸브시트체를 유지 고정하는 이너 디스크와, 상기 밸브시트에 접촉 이간 가능한 밸브체와, 상기 오리피스를 포함하는 관통 구멍을 갖는 오리피스체를 구비하고, 상기 수용 오목부는 확경부와 상기 확경부의 저면에 개구하는 협경부를 갖는 계단형상의 오목부이며, 상기 확경부에 있어서 상기 밸브시트체, 상기 이너 디스크, 및, 상기 밸브체에 의해 밸브실이 형성되고, 상기 협경부에는 상기 오리피스체가 삽입되고, 상기 밸브시트체는 상기 오리피스체에 적재되고, 상기 이너 디스크에 의해 압박됨으로써 상기 오리피스체의 위에 유지 고정되어 있고, 상기 제1가스유로는 상기 협경부의 벽면과 상기 오리피스체 사이의 공간을 경유해서 상기 밸브실에 연통되고, 상기 제2가스유로는 상기 오리피스체의 관통 구멍 및 상기 밸브시트체의 관통 구멍을 경유해서 상기 밸브실에 연통된다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 기부는 상기 수용 오목부의 벽면에 개구하는 제3가스유로를 더 갖는다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 오리피스체의 측면에 상기 오리피스체의 관통 구멍과 연통하는 통로가 형성되어 있다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 오리피스체는 관통 구멍을 갖는 제1금속부재와, 관통 구멍을 갖는 제2금속부재와, 상기 오리피스가 설치되고 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재에 의해 협지되는 오리피스 플레이트를 포함하고, 상기 제1금속부재는 상기 제2금속부재와 대향하는 측에 오목부 또는 볼록부를 갖고, 상기 제2금속부재는 상기 제1금속부재의 오목부 또는 볼록부와 끼워맞춰지는 형상의 볼록부 또는 오목부를 갖고, 상기 제1금속부재의 오목부 또는 볼록부와 상기 제2금속부재의 볼록부 또는 오목부 사이에 상기 오리피스 플레이트가 기밀하게 협지되어 있다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 제1금속부재의 상기 제2금속부재와의 대향면, 및, 상기 제2금속부재의 상기 제1금속부재와의 대향면 중 적어도 한쪽에 환상의 돌기부가 형성되어 있다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 오리피스 내장 밸브는 상기 오리피스체와 상기 협경부의 저부 사이를 시일하는 환상의 시일부재를 더 구비한다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 오리피스체의 상단면에는 단차 상면과, 상기 단차 상면보다 낮게 형성된 단차 하면이 형성되어 있고, 상기 이너 디스크와 상기 오리피스체의 상단면은 접촉하지 않는다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 오리피스체의 상단면과 상기 확경부 저면이 대략 같은 높이이다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 이너 디스크가 상기 확경부의 저면에 적재되어 있다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 밸브체가 금속 다이어프램이며, 상기 금속 다이어프램은 상기 이너 디스크와 상기 이너 디스크를 상방에서 압박하는 압박부재에 의해 협지 고정되어 있다.
본 발명의 실시형태에 의한 압력식 유량 제어 장치는 컨트롤 밸브와, 압력 센서와, 연산 제어부와, 상기 어느 하나의 오리피스 내장 밸브를 구비한다.
(발명의 효과)
본 발명의 실시형태에 따르면, 사이즈를 크게 하지 않고, 시일성, 오리피스 유지성이 양호한 오리피스 내장 밸브 및 그것을 구비한 압력식 유량 제어 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시형태 1에 의한 오리피스 내장 밸브를 구비한 압력식 유량 제어 장치의 일례를 나타내는 모식적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시형태 1에 의한 오리피스 내장 밸브의 부분 확대도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태 1에 의한 밸브본체를 부착하고 있지 않은 상태의 오리피스 내장 밸브를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 2에 나타낸 오리피스 내장 밸브의 이너 디스크, 밸브시트체, 오리피스체를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시형태 1에 의한 오리피스 내장 밸브에 있어서, 오리피스체를 구성하는 부재에 환상의 돌기부를 형성하는 구성의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태 2에 의한 오리피스 내장 밸브의 부분 확대도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태 2의 변형예에 의한 오리피스 내장 밸브의 부분 확대도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태 3에 의한 오리피스 내장 밸브의 부분 확대도이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태를 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시형태에 한정되는 것은 아니다.
(실시형태 1)
도 1은, 본 발명의 실시형태 1에 의한 오리피스 내장 밸브(10)를 구비한 압력식 유량 제어 장치(1)의 전체구성을 나타내는 모식도이다. 도 1에 나타내듯이, 압력식 유량 제어 장치(1)의 기부(2)에는 가스의 유로(20)가 형성되어 있고, 압력식 유량 제어 장치(1)는 유로(20)에 설치된 컨트롤 밸브(3), 컨트롤 밸브(3)의 하류측에 설치된 압력 센서(4), 압력 센서(4)의 하류측에 설치된 오리피스 내장 밸브(10), 연산 제어부(5)를 구비하고 있다. 압력식 유량 제어 장치(1)의 상류측은, 예를 들면 가스 공급원(도시생략)에 접속되어 있고, 하류측은 예를 들면 반도체 제조 장치의 프로세스 챔버(도시생략) 것에 접속되어 있다.
연산 제어부(5)는 압력 센서(4)에 의해 검출된 압력에 의거하여 컨트롤 밸브(3)를 피드백 제어할 수 있게 구성되어 있고, 오리피스 내장 밸브(10)의 상류측의 가스 압력을 소망의 압력으로 제어할 수 있다. 오리피스 내장 밸브(10)의 밸브를 해방한 상태에 있어서, 오리피스 내장 밸브(10)에 설치된 오리피스를 통해 제어된 유량의 가스가 프로세스 챔버에 공급된다.
다른 형태에 있어서, 압력식 유량 제어 장치(1)는 오리피스 상류측의 가스의 온도를 측정하기 위한 온도 센서나, 오리피스 내장 밸브(10)의 하류측의 압력을 측정하는 하류측 압력 센서 등을 구비하고 있어도 좋다. 이 경우, 연산 제어부(5)는 온도 센서의 출력, 오리피스 상류측 및 하류측에 설치된 각 압력 센서의 출력에 의거하여 컨트롤 밸브(3)를 피드백 제어할 수 있다. 연산 제어부(5)는, 예를 들면, 회로 기판 상에 설치된 프로세서나 메모리 등을 이용하여 구성되어 있어도 좋고, 입력 신호에 의거하여 소정의 연산을 실행하는 컴퓨터 프로그램을 포함하고, 하드웨어와 소프트웨어의 조합에 의해 실현될 수 있다. 연산 제어부(5)는 오리피스 내장 밸브(10)의 밸브의 개폐를 제어하도록 구성되어 있어도 좋다.
도 2는, 본 실시형태의 오리피스 내장 밸브(10)의 요부 단면도이다. 도 2에 나타내듯이, 오리피스 내장 밸브(10)는 기부(2)에 형성된 상면 개구의 수용 오목부(2A)에 설치되어 있다. 기부(2)에는 상기 수용 오목부(2A)와 함께, 컨트롤 밸브(3)(도 1 참조)에 연통하는 가스 유입로(21)와, 프로세스 챔버에 연통하는 가스 유출로(22)가 형성되어 있다. 가스 유입로(21)는 수용 오목부(2A)의 벽면에 개구되어 있고, 가스 유출로(22)는 수용 오목부(2A)의 저면에 개구되어 있다.
또한, 도 2에는, 유체는 가스 유입로(21)로부터 유입되고, 가스 유출로(22)로부터 유출되는 형태가 나타내어져 있지만, 가스 유출로(22)로부터 유입되고, 가스 유입로(21)로부터 유출되도록 압력식 유량 제어 장치(1)가 구성되어 있어도 좋다. 본 명세서에 있어서, 가스 유입로 및 가스 유출로 중 어느 한쪽을 제1가스유로로 칭하고, 다른 쪽을 제2가스유로로 칭하는 일이 있다. 본 실시형태에서는 제1가스유로로서 가스 유입로(21)가 형성되고, 제2가스유로로서 가스 유출로(22)가 형성되어 있지만, 상기한 바와 같이, 오리피스 내장 밸브에 있어서의 가스의 흐름이 반대인 경우에는, 제1가스유로로서 가스 유출로가 형성되고, 제2가스유로로서 가스 유입로가 형성된다. 또한, 실시형태 2로서 후술하듯이, 다른 유로가 더 형성되어 있는 경우에는, 제1가스유로 및 제2가스유로의 쌍방이 가스 유입로이어도 좋고, 또는 제1가스유로 및 제2가스유로의 쌍방이 가스 유출로이어도 좋다.
수용 오목부(2A)에는 밸브본체(11)가 삽입되어 있다. 밸브본체(11)는, 예를 들면, 밸브체(11a) (예를 들면 금속 다이어프램)와, 이것을 구동하는 밸브 구동부(예를 들면 공압 액츄에이터)를 구비한 공지의 밸브본체이어도 좋다.
밸브본체(11)의 하방에는 밸브체(11a)와 접촉 및 이간 가능하게 배치된 수지제의 밸브시트체(12) 및 밸브시트체(12)를 유지하는 이너 디스크(13)와, 밸브시트체(12)의 하방에 배치된 오리피스체(14)가 수용되어 있다. 본 실시형태에 있어서, 오리피스체(14)는 금속제의 부재이며, 수지제(예를 들면, PCTFE제)의 밸브시트체(12)와는 별체로서 설치된 것이다.
본 실시형태에 있어서, 수용 오목부(2A)는 계단형상의 오목부 형상을 이루고 있고, 상방의 확경부(2W)와, 확경부(2W)의 저면에 형성된 하방의 협경부(2N)를 갖고 있다. 밸브시트체(12) 및 이너 디스크(13)는 확경부(2W)에 수용되고, 오리피스체(14)는 협경부(2N)에 삽입되어 있다. 오리피스체(14)의 상면(후술하는 제1금속부재(15)의 상면)과, 확경부(2W)의 저면은 대략 같은 높이로 설정되어 있다. 이 구성에 있어서, 이너 디스크(13)는 확경부(2W)의 저면 상에 적재되어 있고, 이너 디스크(13), 밸브체(11a) 및 밸브시트체(12)에 의해 둘러싸여지도록 해서 밸브실(10a)이 확경부(2W)에 형성되어 있다.
이너 디스크(13)는 밸브시트체(12)를 유지함과 아울러, 상방에서 압박하는 압박부재(9)에 의해 확경부(2W)의 저면에 압박되어 있다. 이너 디스크(13)와, 압박부재(9) 사이에는 금속 다이어프램인 밸브체(11a)의 주연부가 협지 고정되어 있다.
도 3은, 밸브본체(11)가 부착되어 있지 않은 상태에 있어서의 수용 오목부(2A)의 평면도이다. 도 3에 나타내듯이, 이너 디스크(13)는 중앙에 밸브시트체(12)를 유지하기 위한 개구부(13a)를 갖고, 또한, 개구부(13a)의 주위에 복수의 가스 유입 구멍(13b)을 갖고 있다. 한편, 밸브시트체(12)의 중앙부에는 가스유로를 형성하는 관통 구멍(12a)이 형성되어 있고, 이 관통 구멍(12a)의 둘레를 둘러싸도록 해서 환상의 밸브시트(12b)(밸브체(11a)와의 접촉부)가 설치되고 있다.
다시 도 2를 참조해서, 오리피스체(14)는 유지부재로서 설치된 제1금속부재(15) 및 제2금속부재(16)와, 제1금속부재(15)와 제2금속부재(16)가 협지하는 금속제의 오리피스 플레이트(17)를 갖고 있다. 오리피스 플레이트(17)의 중앙부에는 오리피스(18)가 형성되어 있다. 오리피스 플레이트(17)의 두께는 예를 들면 10㎛∼500㎛이며, 오리피스(18)의 구경은 예를 들면 10㎛∼500㎛이다.
또한, 도 2 및 도 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 제1금속부재(15)의 중심축을 따라, 밸브시트체(12)의 관통 구멍(12a)과 연통하는 관통 구멍(15a)이 형성되어 있다. 마찬가지로, 제2금속부재(16)의 중심축을 따라 기부(2)에 형성된 가스 유출로(22)에 연통하는 관통 구멍(16a)이 형성되어 있다. 오리피스 플레이트(17)에 있어서, 오리피스(18)는 제1 및 제2금속부재(15,16)의 관통 구멍(15a,16a)을 연통하도록 형성되어 있다. 본 명세서에 있어서, 제1 및 제2금속부재(15,16)의 관통 구멍(15a,16a) 및 오리피스(18)를 포함하는 경로를 오리피스체(14)의 관통 구멍으로서 설명하는 일이 있다.
이 구성에 있어서, 오리피스 내장 밸브(10)가 개방 상태일 때, 가스 유입로(21)로부터 이너 디스크(13)의 가스 유입 구멍(13b)을 통과해서 밸브실(10a)에 유입된 가스가 밸브체(11a)와 밸브시트(12b)의 간극을 통과해서 밸브시트체(12)의 관통 구멍(12a)으로 흐른다. 또한, 밸브시트체(12)의 관통 구멍(12a)을 통과한 가스는 오리피스체(14)에 있어서 제1금속부재(15)의 관통 구멍(15a), 오리피스(18), 제2금속부재(16)의 관통 구멍(16a)의 순으로 통과해서(즉, 오리피스체(14)의 관통 구멍을 통과해서) 가스 유출로(22)로 흐른다.
본 실시형태의 오리피스 내장 밸브(10)에 있어서, 오리피스체(14)를 구성하는 제1금속부재(15)와 제2금속부재(16)는 서로 적합한 형상을 갖는 오목부(15b)와 볼록부(16b)를 각각 갖고 있다. 그리고, 오목부(15b)와 볼록부(16b) 사이에 오리피스 플레이트(17)를 끼운 상태로 끼워맞춘 후에 외측에서 압력을 가함으로써, 또는 압입에 의해 서로 코킹 고정되어 있다. 코킹 고정을 강고하게 유지하기 위해서, 오목부(15b)의 내주면 및 볼록부(16b)의 외주면 중 적어도 한쪽에, 돌기나 끼워맞춤 홈 등을 형성하는 것이 적합하다. 또한, 다른 형태에 있어서, 제1금속부재(15)가 볼록부를 갖고, 제2금속부재(16)가 끼워맞춰지는 오목부를 갖고 있어도 좋은 것은 말할 필요도 없다.
제1금속부재(15), 제2금속부재(16) 및 오리피스 플레이트(17)는 같은 금속재료(예를 들면 스텐레스(SUS316L-P(W멜트)) 등)로 형성되어 있어도 좋고, 다른 금속재료로 형성되어 있어도 좋다.
오목부(15b) 및 볼록부(16b)의 대향면에 있어서, 도 5에 나타내듯이, 환상의 돌기부(15x,16x)가 형성되고, 돌기부(15x,16x)에 의해 시일이 행해져도 좋다. 돌기부(15x,16x)는 오리피스체(14)를 일체로 고정할 때에 압궤되며, 시일성을 향상시키는 것이어도 좋다. 돌기부(15x,16x)는 도 5에 나타낸 바와 같이, 오리피스 플레이트의 관통 구멍(오리피스)을 둘러싸서 오리피스 플레이트(17)을 협지하도록 형성되어도 좋고, 오리피스 플레이트(17)의 주위를 둘러싸도록 오리피스 플레이트(17)의 외측에 형성되어도 좋다. 또한, 상기 돌기부는 오목부(15b) 및 볼록부(16b) 중 어느 한쪽에만 형성되어 있어도 좋다.
본 실시형태에서는, 오리피스 플레이트(17)를 포함하는 오리피스체(14)를 금속부재끼리의 코킹 고정에 의해 일체화시키고 있으므로(즉, 일체로 고정하고 있으므로), 오리피스 플레이트(17)를 용접한 경우에 발생하는 오리피스에의 용접 열의 영향, 예를 들면, 크랙의 발생이나 내식성의 저하라는 문제가 발생하지 않는다. 그리고, 극히 얇은 오리피스 플레이트이어도 기밀성을 유지하면서 적절하게 유로 상에 배치시킬 수 있다.
또한, 밸브시트체(12), 이너 디스크(13), 오리피스체(14)가 기부(2)에 형성된 수용 오목부(2A)에 수용된 형태이므로, 그 상방에 배치되는 밸브본체(11)의 높이를 높게 하지 않고 오리피스 내장 밸브(10)를 구성할 수 있어 공간절약화를 실현할 수 있다.
또한, 오리피스 플레이트(17)를 유지부재(오리피스 베이스)에 코킹 고정하는 구성에 대해서는, 예를 들면, 일본 특허 공개 2016-24708호 공보(특허문헌 3)나 일본 특허 제4690827호(특허문헌 4)에 기재되어 있다. 본 발명의 실시형태에 있어서도, 종래의 코킹 고정 방식을 이용해서 제1금속부재(15)와 제2금속부재(16) 사이에 오리피스 플레이트(17)이 고정된 오리피스체(14)를 제작할 수 있다.
또한, 도 4에 있어서 확대해서 나타내듯이, 본 실시형태의 오리피스 내장 밸브(10)에 있어서, 오리피스체(14)를 구성하는 제1금속부재(15)의 끝면에는 단차 상면(15c)과, 이것보다 낮게 형성된 단차 하면(15d)이 형성되어 있다. 단차 상면(15c)은 제1금속부재(15)의 끝면에 있어서의 관통 구멍(15a) 부근의 내측부에 있어서 형성되어 있고, 단차 하면(15d)은 단차 상면(15c)의 외측의 주연부에 있어서 형성되어 있다.
그리고, 밸브시트체(12)는 제1금속부재(15)의 끝면 상에 적재되어 있고, 보다 구체적으로는, 밸브시트체(12)의 이면에 단차 상면(15c)이 접촉하고, 단차 하면(15d)이 접촉하지 않도록 적재되어 있다. 여기에서, 제1금속부재(15)의 외경은 전형적으로는 밸브시트체(12)의 이면의 외경보다 크게 설계되어 있고, 밸브시트체(12)는 제1금속부재(15)의 외측 측면(15s)을 덮지 않고 끝면(특히 단차 상면(15c)) 상에 배치되어 있다.
본 실시형태에 있어서, 밸브시트체(12)는 끝면에 밸브시트(12b)가 설치된 마개부(12c)와, 마개부(12c)보다 확경의 플랜지부(12d)를 갖고 있고, 이너 디스크(13)에 형성된 적합 형상의 개구부에 적합하고 기밀하게 삽입되어 있다. 이 구성에 있어서, 밸브시트체(12)의 플랜지부(12d)는 이너 디스크(13)와, 제1금속부재(15)의 단차 상면(15c)에 의해 협지되어 있다. 또한, 이너 디스크(13)는 대략 단차 상면(15c)의 외측을 덮도록 배치되어 있고, 이너 디스크(13)의 하면은 도 4에 나타내는 상태에서는, 약간의 간격을 두고 단차 하면(15d)과 면하고 있다. 이 구성에 있어서, 이너 디스크(13)의 하면과 제1금속부재(15)의 상측 끝면은 접촉하지 않도록 배치된다.
상기 형태에 있어서, 수용 오목부(2A)에 오리피스체(14)를 수용한 후, 그 위에 이너 디스크(13)에 유지된 밸브시트체(12)를 배치할 때, 밸브시트체(12)의 이면이 제1금속부재(15)의 단차 상면(15c)에 접한다. 또한, 밸브본체(11)의 나사삽입 등에 의해 압박부재(9)를 통해 이너 디스크(13)를 상방에서 압박함으로써, 밸브시트체(12)의 플랜지부(12d)가 제1금속부재(15)의 단차 상면(15c)을 향해서 압박되고, 단차 상면(15c)과 밸브시트체(12)의 이면의 밀착성이 향상된다. 이것에 의해, 밸브체(11)의 입구측과 출구측의 시일성을 높게 유지할 수 있다. 상기 고정 형태에 있어서, 밸브시트체(12)가 배치된 시점에서는 이너 디스크(13)의 하면과 제1금속부재(15)의 단차 하면(15d)은 접촉하고 있지 않지만, 이너 디스크(13)가 압박됨으로써, 이너 디스크(13)의 주연부의 변형이 발생하여, 이너 디스크(13)의 하면과 제1금속부재(15)의 단차 하면(15d)이 접촉할 수 있다. 이것에 의해 밸브시트체(12)가 적절하게 변형되어, 시일성이 향상된다. 이너 디스크(13)는 예를 들면 금속제의 부재이어도 좋고, 압박부재(9)는 예를 들면 수지제의 부재이어도 좋다. 단, 이것에 한정되지 않고, 모두 금속제의 부재이어도 좋다. 또한, 본 구성에 있어서는, 밸브시트체(12)를 비교적 작은 부재로서 형성할 수 있으므로, 높이 방향의 사이즈를 줄일 수 있다는 이점이 얻어진다.
다음에, 수용 오목부(2A)에 있어서의 가스의 유로나 시일구조에 대해서 보다 상세하게 설명한다. 도 2에 나타내듯이, 기부(2)에 설치된 가스 유입로(제1가스유로)(21)보다 상방에 있어서, 수용 오목부(2A)의 협경부(2N)(오리피스체(14)의 수용 부분)의 벽면과, 오리피스체(14)(제1금속부재(15))의 외측 측면의 적어도 일부 사이에는 간극(g)이 형성되어 있다. 한편, 가스 유입로(21)보다 하방에 있어서, 협경부(2N)의 벽면과 오리피스체(14)(제2금속부재(16))의 외측 측면의 적어도 일부가 간극 없이 배치되어 있다. 도시하는 형태에 있어서, 가스 유입로(21)의 개구부(21a)는 제1금속부재(15)의 측면 및 제2금속부재(16)의 측면에 면하고 있지만, 제1금속부재(15)의 측면에만 면하고 있어도 좋고, 제2금속부재(16)의 측면에만 면하고 있어도 좋다.
본 실시형태에서는, 제1금속부재(15)와 제2금속부재(16)의 지름이 동일함과 아울러, 가스 유입로(21)의 상방에서 협경부(2N)가 약간 확경되어 있는 것에 의해 상기 간극(g)이 형성되어 있다. 단, 이것에 한정되지 않고, 협경부(2N)의 지름을 일정하게 형성함과 아울러, 제1금속부재(15)의 지름을 제2금속부재(15)의 지름보다 작게 설계함으로써, 협경부(2N)의 벽면과 오리피스체(14) 사이에 간극(g)을 형성해도 좋다.
또한, 협경부(2N)의 저면측에 있어서 가스 유입로(21)와 가스 유출로(22)의 연통을 방지하기 위해서, 제2금속부재(16)의 가스 유출로(22)측의 끝면에 환상의 시일부재(19)가 설치되어 있다. 시일부재(19)는, 예를 들면, 수지제나 고무제의 환상부재(O-링 등)이어도 좋다.
상기 구성에 있어서, 가스 유입로(21)로부터 유입된 가스는 제1금속부재(15) 및 제2금속부재(16)의 외측 측면과 접한 유로(협경부(2N)의 벽면과 제1금속부재(15) 사이의 간극(g))를 통과해서 이너 디스크(13)의 복수의 가스 유입 구멍(13b)으로 흐르고, 밸브실(10a)로 유입된다. 제1금속부재(15)와 제2금속부재(16)는 적합하게는 도 5에 나타낸 환상의 돌기부(15x,16x)를 이용해서 기밀하게 고정되고, 외측 측면과 관통 구멍(15b,16b)의 시일성이 높게 유지되어 있으므로, 밸브실(10a)의 상류측과 하류측에서 리크가 발생하는 것은 방지되어 있다.
또한, 협경부(2N)의 하방에 있어서 제2금속부재(16)를 밀접해서 간극 없이 수용함과 아울러, 협경부(2N)의 저면에 있어서 시일부재(19)를 설치하고 있으므로, 수용 오목부(2A)의 저면부에 있어서의 리크도 방지된다. 이렇게 오리피스 내장 밸브(10)에서는 코킹 고정에 의해 제작한 오리피스체(14)를 이용한 경우에 있어서도 충분한 리크 대책이 실시되어 있어 유량 제어를 적절하게 행할 수 있다.
(실시형태 2)
이하, 도 6 및 도 7을 참조하면서, 실시형태 2의 오리피스 내장 밸브를 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 실시형태 1과 동일한 부재에는 같은 참조 부호를 붙임과 아울러 상세한 설명을 생략하는 일이 있다.
도 6은, 실시형태 2의 오리피스 내장 밸브(10B)를 나타낸다. 실시형태 2의 오리피스 내장 밸브(10B)는 3방밸브로서 이용되는 것이며, 수용 오목부(2A)(특히 협경부(2N))에 연통하는, 제1가스유로(31), 제2가스유로(32), 및, 제3가스유로(33)의 3개의 가스유로가 기부(3)에 형성되어 있다.
오리피스 내장 밸브(10B)에 있어서, 제1가스유로(31)는 제1가스의 유입로로서 이용되며, 제2가스유로(32)는 제2가스의 유입로로서 이용된다. 또한, 제3가스유로(33)는 프로세스 챔버 등에 접속되어 있고, 가스 유출로로서 이용된다. 이 형태에 있어서, 제1가스를 제1가스유로(31)로부터 제3가스유로(33)로 흘려보낼 수 있고, 제2가스를 제2가스유로(32)로부터 제3가스유로(33)로 흘려보낼 수 있다.
본 실시형태에 있어서도, 실시형태 1과 마찬가지로, 기부(3)에 형성된 수용 오목부(2A)는 계단형상의 오목부 형상을 하고 있어, 상방의 확경부(2W)와, 확경부(2W)의 저면에 개구하는 하방의 협경부(2N)를 갖고 있다. 밸브시트체(12) 및 이너 디스크(13)는 확경부(2W)에 수용되고, 오리피스체(14)은 협경부(2N)에 삽입되어 있다. 밸브시트체(12) 및 이너 디스크(13)의 상방에는 밸브체(11a)를 구비하는 밸브본체(11)가 배치되고, 밸브체(11a)와 이너 디스크(13) 및 밸브시트체(12) 사이에 밸브실(10a)이 형성되어 있다. 또한, 오리피스체(14)의 상면과, 확경부(2W)의 저면은 대략 같은 높이로 설정되어 있다. 또한, 오리피스 내장 밸브(10B)에 있어서의 오리피스체(14), 밸브시트체(12), 이너 디스크(13)의 구성은 실시형태 1의 오리피스 내장 밸브(10)와 동일하므로, 여기에서는 상세한 설명은 생략한다.
제1가스유로(31) 및 제3가스유로(33)는 수용 오목부(2A)의 벽면에 개구되어 있고, 한편, 제2가스유로(22)는 수용 오목부(2A)의 저면에 개구되어 있다. 보다 구체적으로는, 제1가스유로(31)의 개구부(31a) 및 제3가스유로(33)의 개구부(33a)는 수용 오목부(2A)의 협경부(2N)(오리피스체(14)의 수용부)의 벽면과 오리피스체(14)의 외측 측면 사이의 간극(g)에 연통하도록 협경부(2N)의 벽면에 형성되어 있고, 제2가스유로(32)의 개구부(32a)는 수용 오목부(2A)의 협경부(2N)의 저면에 형성되어 있다.
이상으로 설명한 구성에 있어서, 제1가스유로(31)와 제3가스유로(33)는 간극(g)을 통해 항상 연통되어 있다. 이 때문에, 밸브본체(11)의 개폐 상태에 따르지 않고, 오리피스체(14)의 주위를 순환해서 제1가스유로(31)로부터 제3가스유로(33)로 제1가스를 흘려보낼 수 있다. 또한, 제1가스의 유량은 제1가스유로(31)의 상류측에 설치된 임의의 형태의 유량 제어 장치에 의해 제어할 수 있고, 이 유량 제어 장치를 이용해서 제1가스의 공급을 정지할 수 있다.
한편, 제2가스유로(32)는 밸브본체(11)가 개방상태일 때만 제3가스유로(33)완 연통하고, 도 6에 나타내는 폐쇄상태일 때에는 제3가스유로(33)와 연통하지 않는다. 이 때문에, 밸브본체(11)의 개폐에 의해 제2가스의 공급을 제어할 수 있다. 밸브본체(11)가 개방상태일 때, 제2가스는 제2가스유로(32)로부터 오리피스체(14)의 관통 구멍 및 밸브시트체(12)의 관통 구멍을 통과해서 밸브실(10a)에 유입되고, 밸브실(10a)로부터 이너 디스크(13)에 형성된 복수의 가스 유입 구멍(13b)을 통과해서 상기 간극(g)으로 흘러들어오고, 그리고 제3가스유로(33)로 흐른다.
제2가스의 유량은 제2가스유로(32)의 상류측에 설치된 유량 제어 장치를 이용해서 제어할 수 있지만, 제2가스는 오리피스(18)를 통해 공급된다. 이 때문에, 제2가스유로(32)의 상류측의 유량 제어 장치를 컨트롤 밸브와, 압력 센서와, 연산 제어부를 구비한 압력식 유량 제어 장치로 하고, 오리피스(18)의 상류측의 압력에 의거하여 컨트롤 밸브를 제어함으로써, 오리피스(18)를 통해 공급되는 제2가스의 유량을 적절하게 제어할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 도 6에 나타낸 오리피스 내장 밸브(10B)에 의르면, 밸브본체(11)를 제어함으로써 상승, 하강 특성 좋게 제2가스를 제1가스에 도입할 수 있고, 혼합된 가스를 적절하게 제3유로(33)로 흘려보낼 수 있다.
또한, 오리피스 내장 밸브(10B)에 있어서는 제1유로(31)와 제3유로(33)를 연 통시키기 위해서 갭(g)이 비교적 크게 설계되어 있다. 또한, 오리피스체(14)는 실시형태 1의 오리피스 내장 밸브(10)와 마찬가지로, 제1 및 제2금속부재(15,16)와, 오리피스 플레이트(17)에 의해 구성되어 있지만, 제2금속부재(16)는 협경부(2N) 중에서도 보다 좁은 하방부분에 시일성 높게 삽입되어 있다. 이 때문에, 본 실시형태에서는 협경부(2N)가 상부에서 지름이 크고 하부에서 지름이 작아지도록 비교적 큰 단차를 갖고 설계되어 있다. 단, 본 실시형태에 있어서도, 제1금속부재(15)의 지름을 제2금속부재(16)의 지름보다 작게 하는 것 등에 의해, 협경부(2N)의 지름을 균일하게 하면서, 갭(g)을 크게 확보함과 아울러, 시일성을 높게 유지하는 것이 가능하다.
도 7은, 실시형태 2의 변형예의 오리피스 내장 밸브(10C)를 나타낸다. 변형예의 오리피스 내장 밸브(10C)도 도 6에 나타낸 오리피스 내장 밸브(10B)와 마찬가지로, 3방밸브로서 이용되는 것이며, 수용 오목부(2A)에 연통하는 제1가스유로(31), 제2가스유로(32), 및, 제3가스유로(33)를 구비하고 있다.
단, 오리피스 내장 밸브(10C)에서는 오리피스체(14')가 단일의 금속부재(15')와 오리피스 플레이트(17)에 의해 구성되어 있다. 또한, 오리피스 플레이트(17)는 금속부재(15')의 하방에 형성된 돌출부(15b')와, 기부(3)의 수용 오목부(2A)의 저면 사이에 협지되어 있다.
본 변형예에서는, 협경부(2N)의 저면에 있어서, 오리피스체(14')의 돌출부(15b')와 오리피스 플레이트(17)를 수용할 수 있는 바닥오목부(2b)가 형성되어 있다. 바닥오목부(2b)의 지름은 돌출부(15b')의 외경에 적합하도록 설계되어 있다. 오리피스체(14')의 돌출부(15b')는 기밀하게 끼워맞춰지도록 해서 바닥오목부(2b)에 압입되어 있고, 돌출부(15b')와 바닥오목부(2b) 사이에서 시일면이 형성되어 있다.
이것에 의해, 오리피스 내장 밸브(10C)에서는 도 2 및 도 6에 나타낸 오리피스 내장 밸브(10,10B)가 구비하는 시일부재(19)를 이용하지 않고, 부품점수를 삭감하면서 제2유로(32)와 제1, 제3유로(31,33)의 시일성을 확보할 수 있다.
단, 본 변형예에 있어서도 시일부재(19)를 설치해서 보다 확실하게 시일하도록 해도 좋다. 또한, 실시형태 1의 오리피스 내장 밸브(10)에 있어서, 본 변형예와 마찬가지로, 협경부의 저면에 형성한 바닥오목부에 오리피스 플레이트를 적재하고, 그 위로부터 돌출부를 갖는 단일의 금속부재를 끼워 넣도록 해서 오리피스 플레이트의 고정을 행해도 좋다. 또한, 상기에는 오리피스체(14')의 돌출부(15b')를 기부(3)에 형성한 바닥오목부(2b)에 끼워 넣는 형태를 설명했지만, 오리피스체(14')의 바닥에 형성한 오목부에 기부(3)에 형성한 바닥볼록부를 끼워 넣도록 해도 좋다.
(실시형태 3)
도 8은 실시형태 3의 오리피스 내장 밸브(10D)를 나타낸다. 오리피스 내장 밸브(10D)가 실시형태 1의 오리피스 내장 밸브(10)와 다른 점은, 오리피스체(14)에 있어서, 반경방향을 따라 연장되는 소경의 횡구멍(통로)(14a)이 형성되어 있는 것이다. 그 밖의 구성은, 실시형태 1의 오리피스 내장 밸브(10)와 같으므로, 여기에서는 상세한 설명은 생략한다.
도 8에 나타내듯이, 횡구멍(14a)은 가스 유입로(12)와 오리피스(18)의 상류측이 연통하도록, 제1금속부재(15)의 외주측면으로부터 중앙의 관통 구멍까지 관통하도록 형성되어 있어도 좋고, 가스 유입로(21)와 오리피스(18)의 하류측이 연통하도록, 제2금속부재(16)의 외주측면으로부터 중앙부의 관통 구멍까지 관통하도록 형성되어 있어도 좋다. 또는, 가스 유입로(12)와, 오리피스(18)의 상류측 및 하류측의 양쪽이 연통하도록, 상기 2개의 위치의 쌍방에 있어서 횡구멍(14a)이 형성되어 있어도 좋다. 또한, 도시하는 형태에서는 횡구멍(14a)은 가스 유입로(12)측에 형성되어 있지만, 오리피스체(14)의 외주측면의 임의의 개소에 형성되어 있어도 좋고, 오리피스(18)의 상류측과 연통하는 복수의 횡구멍(14a)이나, 오리피스(18)의 하류측과 연통하는 복수의 횡구멍(14a)이 형성되어 있어도 좋다.
상기 횡구멍(14a)을 형성함으로써, 밸브체(11a)가 폐쇄되어 있을 때에도, 가스 유입로(12)로부터 가스 유출로(22)로의 소유량의 리크가 발생하여 리크 밸브로서 이용할 수 있다. 이 구성에 있어서, 밸브체(11a)가 폐쇄되어 있을 때에는, 횡구멍(14a)을 통해 소유량의 가스가 흐르고, 밸브체(11a)가 개방되어 있을 때에는, 밸브실(10a)을 지나는 본래의 유로를 통해 보다 대유량의 가스를 흘려보낼 수 있다.
또한, 오리피스 상류측에 통하는 횡구멍(14a)을 형성할 때에는, 횡구멍(14a)의 지름을 오리피스(18)의 지름보다 작게 해 둘 필요가 있다. 이렇게 하면, 밸브체(11a)가 폐쇄되어 있을 때에는, 오리피스 지름보다 작은 횡구멍(14a)의 지름에 의해 결정되는 소유량의 가스가 흐르고, 밸브체(11a)가 개방되어 있을 때에는, 오리피스 지름에 의해 결정되는 유량의 가스가 흐른다. 한편, 오리피스 하류측에 통하는 횡구멍(14a)을 형성할 때에는, 그 지름은 임의이어도 좋고, 밸브체(11a)가 폐쇄되어 있을 때에는, 횡구멍(14a)을 지나는 가스만이 흐르고, 밸브체(11a)가 개방되어 있을 때에는, 오리피스(18)와 횡구멍(14a) 양쪽을 통해 가스가 흐른다.
이상과 같이, 리크 밸브로서 이용하고, 밸브의 개폐에 의해 유량을 변화시킴으로써, 예를 들면, 유량 가변형의 압력식 유량 제어 장치로서 기능시킬 수 있다. 유량 가변형의 압력식 유량 제어 장치로서는 2개 이상의 분유로의 각각에 오리피스 플레이트를 배치하고, 밸브의 스위칭에 의해 유로를 선택함으로써, 제어 유량을 변화시키는 것이 알려져 있지만, 상기 본 실시형태의 오리피스 내장 밸브(10D)에 있어서도, 마찬가지로 밸브의 스위칭에 의해 제어 유량을 변화시킬 수 있다.
(산업상의 이용 가능성)
본 발명의 실시형태에 의한 오리피스 내장 밸브는, 특히, 압력식 유량 제어 장치에 있어서 적합하게 이용된다.
1: 압력식 유량 제어 장치
2: 기부
2A: 수용 오목부
2N: 협경부
2W: 확경부
3: 컨트롤 밸브
4: 압력 센서
5: 연산 제어부
9: 압박부재
10: 오리피스 내장 밸브
10a: 밸브실
11: 밸브본체
11a: 밸브체
12: 밸브시트체
12a: 관통 구멍
12b: 밸브시트
13: 이너 디스크
14: 오리피스체
15: 제1금속부재
15a: 관통 구멍
15b: 오목부
15x: 돌기부
16: 제2금속부재
16a: 관통 구멍
16b: 볼록부
16x: 돌기부
17: 오리피스 플레이트
18: 오리피스
19: 시일부재
20: 유로
21: 가스 유입로(제1가스유로)
22: 가스 유출로(제2가스유로)
31: 제1가스유로
32: 제2가스유로
33: 제3가스유로

Claims (11)

  1. 내부에 오리피스를 구비한 오리피스 내장 밸브로서,
    상면 개구의 수용 오목부와, 상기 수용 오목부의 벽면에 개구하는 제1가스유로와, 상기 수용 오목부의 저면에 개구하는 제2가스유로를 갖는 기부와,
    환상의 밸브시트 및 상기 밸브시트의 내측에 형성된 관통 구멍을 갖는 밸브시트체와,
    상기 밸브시트체를 유지 고정하는 이너 디스크와,
    상기 밸브시트에 접촉 이간 가능한 밸브체와,
    상기 오리피스를 포함하는 관통 구멍을 갖는 오리피스체를 구비하고,
    상기 수용 오목부는 확경부와 상기 확경부의 저면에 개구하는 협경부를 갖는 계단형상의 오목부이며, 상기 확경부에 있어서 상기 밸브시트체, 상기 이너 디스크, 및, 상기 밸브체에 의해 밸브실이 형성되고, 상기 협경부에는 상기 오리피스체가 삽입되고,
    상기 밸브시트체는 상기 오리피스체에 적재되고, 상기 이너 디스크에 의해 압박됨으로써 상기 오리피스체 위에 유지 고정되어 있고,
    상기 제1가스유로는 상기 협경부의 벽면과 상기 오리피스체의 외측 측면 사이의 공간을 경유해서 상기 밸브실에 연통되고, 상기 제2가스유로는 상기 오리피스체의 관통 구멍 및 상기 밸브시트체의 관통 구멍을 경유해서 상기 밸브실에 연통되는 오리피스 내장 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기부는 상기 수용 오목부의 벽면에 개구하는 제3가스유로를 더 갖는 오리피스 내장 밸브.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 오리피스체의 측면에 상기 오리피스체의 관통 구멍과 연통되는 통로가 형성되어 있는 오리피스 내장 밸브.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 오리피스체는 관통 구멍을 갖는 제1금속부재와, 관통 구멍을 갖는 제2금속부재와, 상기 오리피스가 설치되고 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재에 의해 협지되는 오리피스 플레이트를 포함하고,
    상기 제1금속부재는 상기 제2금속부재와 대향하는 측에 오목부 또는 볼록부를 갖고, 상기 제2금속부재는 상기 제1금속부재의 오목부 또는 볼록부와 끼워맞춰지는 형상의 볼록부 또는 오목부를 갖고, 상기 제1금속부재의 오목부 또는 볼록부와 상기 제2금속부재의 볼록부 또는 오목부 사이에 상기 오리피스 플레이트가 기밀하게 협지되어 있는 오리피스 내장 밸브.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1금속부재의 상기 제2금속부재와의 대향면, 및, 상기 제2금속부재의 상기 제1금속부재와의 대향면 중 적어도 한쪽에 환상의 돌기부가 형성되어 있는 오리피스 내장 밸브.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 오리피스체와 상기 협경부의 저부 사이를 시일하는 환상의 시일부재를 더 구비하는 오리피스 내장 밸브.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 오리피스체의 상단면에는 단차 상면과, 상기 단차 상면보다 낮게 형성된 단차 하면이 형성되어 있고, 상기 이너 디스크와 상기 오리피스체의 상단면은 접촉하지 않는 오리피스 내장 밸브.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 오리피스체의 상단면과 상기 확경부 저면이 같은 높이인 오리피스 내장 밸브.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이너 디스크가 상기 확경부의 저면에 적재되어 있는 오리피스 내장 밸브.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 밸브체가 금속 다이어프램이며, 상기 금속 다이어프램은 상기 이너 디스크와 상기 이너 디스크를 상방에서 압박하는 압박부재에 의해 협지 고정되어 있는 오리피스 내장 밸브.
  11. 유로에 설치된 컨트롤 밸브와, 상기 컨트롤 밸브의 하류측에 설치된 압력 센서와, 상기 압력 센서의 하류측에 설치된 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 오리피스 내장 밸브와, 상기 압력 센서에 의해 검출된 압력에 의거하여 상기 컨트롤 밸브를 피드백 제어할 수 있게 구성되고 상기 오리피스 내장 밸브의 상류측의 가스 압력을 소정의 압력으로 제어하는 연산 제어부를 구비하는 압력식 유량 제어 장치.
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