JP2014132598A - チャンバ内電子検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2次粒子検出器302は、真空チャンバ107内に配置されたシンチレータ304および光電子増倍管などのトランスデューサ312を含む。従来の技術のEverhart−Thomley検出器とは異なり、光電子増倍管は、真空チャンバ内に配置され、これにより、光学結合を排除することによって検出が向上し、検出器の配置について柔軟性が提供される。
【選択図】図3
Description
・光結合段階の低減によるシンチレータとPMTとの間の光路における信号損失の低減、および光ガイドの短縮または排除
・真空封止ウィンドウを経てPMTに至る頑丈な光ガイドの必要性がなくなることによる取付けの柔軟性。真空壁インタフェースは、電気接続についてのみである。したがって、システムは、たとえば、異なるアクセサリを異なる用途について利用可能とすることができるようにアクセサリを再配置する目的で、荷電粒子ビーム機器を再構成するために容易に移動させることができる。
図12および13は、米国特許第7009187号に記載されたイオン−電子変換器を記載した。図12に示される実施形態では、粒子検出器1202が、従来のシンチレータ検出器1206の前で「ベネチアン・ブラインド」・イオン−電子変換器1204を使用する。好ましい実施形態は、ベネチアン・ブラインドの代わりに円筒変換器を使用する。イオン−電子変換器1204は、半球入力グリッド1212とシンチレータ検出器1206との間に配置された、好ましくは互いに平行の複数の変換器プレート1210を含む。陽イオン収集モードでは、入力グリッドは、FIBによってサンプルにおいて生成された低エネルギーの陽イオンを引き付けるために、好ましくはFIBターゲットに対して約−250Vに負にバイアスされる。
104 集束イオン・ビーム・カラム
105 サンプル
107 真空チャンバ
132 撮像回路
300 デュアル・ビーム・システム
302 チャンバ内ET(ICE)検出器
304 シンチレータ
312 光電子増倍管
402 検出器
404 イオン−電子変換器
406 シンチレータ
410 検出器
Claims (14)
- 荷電粒子源と、
前記荷電粒子源によって放出された荷電粒子から荷電粒子ビームを形成する集束カラムと、
前記荷電粒子ビームが向けられているサンプルを保持するサンプル・ステージを含むサンプル真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に配置された2次粒子検出器であって、前記サンプルの面の上方に位置するシンチレータであって2次電子が当たるときに光を放出するシンチレータ、および前記シンチレータによって放出された前記光を検出して前記光を電流に変換する光電子増倍管を含む、2次粒子検出器と、
を備える荷電粒子ビーム・システムであって、前記シンチレータおよび前記光電子増倍管が、前記サンプル真空チャンバ内にすべてが完全に配置され、
前記2次粒子検出器が、前記シンチレータおよび前記光電子増倍管の間に配置された光ガイドを含まない、荷電粒子ビーム・システム。 - 第2荷電粒子源、および前記第2荷電粒子源によって放出された荷電粒子から荷電粒子ビームを形成する第2集束カラムをさらに備える、請求項1に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記2次粒子検出器の位置が、2次粒子の収集を向上させるように前記真空チャンバ内において調節可能である、請求項1または2に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記シンチレータから前記光電子増倍管に光を伝達するために光ガイドをさらに備える、請求項1〜3のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記光ガイドが、25mm未満の長さである、請求項4に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記2次粒子検出器が、120mm未満の長さである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記2次粒子検出器が、60mm未満の長さである、請求項6に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記シンチレータの前に配置されたイオン−電子変換器をさらに備える、請求項1〜7のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記イオン−電子変換器が、2次イオンを電子に変換するための円筒表面を含む、請求項8に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- サンプル真空チャンバにおいて1次荷電粒子ビームをサンプル表面に向けることと、
前記真空チャンバ内において前記1次荷電粒子ビームが当たる際に前記表面から放出された荷電粒子を、荷電粒子が衝突する際に光子を放出する材料であって、前記サンプルの面の上方に位置する材料に向けて、電界を有する導電グリッドによって引き付けることと、
前記光子を検出し、光電子増倍管を使用して前記光子を電流に変換し、前記電流は、前記荷電粒子ビームが衝突する際に前記サンプル表面から検出された荷電粒子数に比例することと、
前記真空チャンバから前記電流を伝導することと、
前記真空チャンバ内において前記光子が電流に変換されることと、
を含み、前記材料によって放出される前記光子が、検出され前記光電子増倍管を使用して電流に変換される前に、光ガイドを介して伝達されない、2次電子を検出する方法。 - 前記サンプル真空チャンバにおいて1次荷電粒子ビームをサンプル表面に向けることが、イオン・ビームまたは電子ビームを向けることを含む、請求項10に記載の方法。
- 光管を経て前記光電子増倍管に光子を伝達することをさらに備える、請求項10または11に記載の方法。
- 前記真空チャンバにおいて前記光子を検出して、電流に変換することが、長さが15cm未満であるデバイス内において前記光子を検出して、電流に変換することを含む、請求項10〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 走査型電子顕微鏡の真空室内に配置する2次粒子検出器であって、
2次電子が当たるとき、光を放出するシンチレータと、
前記シンチレータによって放出された前記光を検出し、前記光を電流に変換する光電子増倍管と、
を備え、前記シンチレータおよび前記光電子増倍管の間に配置された光ガイドを含まない、2次粒子検出器。
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