JP2014127619A - 配線形成装置、メンテナンス方法および配線形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配線形成装置1は、霧化装置2、ノズル3およびそれらを接続する連通管4を有し、霧化されたペースト材料をノズル3から噴射させて基板W上で配線パターンの形成を行う。配線形成装置1は、連通管4内に第1のメンテナンスガスを供給する第1のガス供給部61と、連通管4内を吸引する吸引部63と、連通管4内に第2のメンテナンスガスを供給する第2のガス供給部65とを備える。連通管4内の吸引と第2のメンテナンスガスの供給は併せて行う。そして、第1のメンテナンスガスの供給と、第2のメンテナンスガスの供給および吸引をそれぞれ、配線形成の合間に行わせるように制御し、配線パターンの形成とともに配線形成装置1のメンテナンスを実施できるようにする。
【選択図】図1
Description
また、基板上で配線パターンの形成等を行うミストジェット方式のオープンリペア装置等の配線形成装置が知られている(例えば、特許文献2を参照。)。
連通管の霧化装置との接続部側に設けられ、その連通管内に第1のメンテナンスガスを供給する第1のガス供給部と、
連通管の霧化装置との接続部側およびノズルとの接続部側のいずれか一方に設けられ、その連通管内を吸引する吸引部と、
連通管の霧化装置との接続部側およびノズルとの接続部側のいずれか一方であって、吸引部の設けられていない接続部側に設けられ、その連通管内に第2のメンテナンスガスを供給する第2のガス供給部と
を有することを特徴とする配線形成装置に関する。
配線形成の合間に、
連通管の霧化装置との接続部側から連通管内に第1のメンテナンスガスを供給する第1のガス供給工程、および、
連通管の霧化装置との接続部側およびノズルとの接続部側のいずれか一方から連通管内を吸引するとともに、他方から連通管内に第2のメンテナンスガスを供給する第2のガス供給工程を有することを特徴とするメンテナンス方法に関する。
連通管の霧化装置との接続部側から連通管内に第1のメンテナンスガスを供給する第1のガス供給工程と、
連通管の霧化装置との接続部側およびノズルとの接続部側のいずれか一方から連通管内を吸引するとともに、他方から連通管内に第2のメンテナンスガスを供給する第2のガス供給工程と
を有することを特徴とする配線形成方法に関する。
図1は、本発明の第1実施形態の配線形成装置を示す図である。
以下、本発明の第1実施形態の配線形成装置1について、さらに、各構成要素を詳しく説明する。
尚、ミスト流変換装置32とノズル部33については、既存の装置を用いることができる。
本発明の実施形態である配線形成装置においては、霧化装置とノズルとを接続する連通管の構造が、図1に示した第1実施形態の配線形成装置1の連通管4の構造に限られるわけではない。連通管内の吸引と第2のメンテナンスガスの供給が可能で、第2のメンテナンスガスの流れを利用して、配線形成装置の連通管内の結露を移動させ、連通管から高効率に結露を排出させることができれば他の構造とすることもできる。
2 霧化装置
3 ノズル
4、24、41、104 連通管
11 霧化部
12 恒温用液体
13 恒温槽
14 混合物
15 材料収容容器
16 超音波発生装置
17 蓋体
18 流体導入口
19 流体導出口
20 内部管
21 溶媒補給装置
22 溶媒補給部
23 温度制御部
25 溶媒
26 キャリアガス源
32 ミスト流変換装置
33 ノズル部
34 シースガス供給管
42 放出開口
51、52、53、54、55、56、57 自動弁
61 第1のガス供給部
62 第1のガス供給管
63 吸引部
64 吸引管
65 第2のガス供給部
66 第2のガス供給管
67 第1のメンテナンスガス源
68 吸引装置
69 第2のメンテナンスガス源
70 シースガス源
Claims (20)
- ペースト材料を霧化する霧化装置と、前記霧化装置で霧化された前記ペースト材料を噴射するノズルと、前記霧化装置と前記ノズルとを接続する連通管とを有し、前記霧化されたペースト材料を塗布して配線形成を行う配線形成装置であって、
前記連通管の前記霧化装置との接続部側に設けられ、前記連通管内に第1のメンテナンスガスを供給する第1のガス供給部と、
前記連通管の前記霧化装置との接続部側および前記ノズルとの接続部側のいずれか一方に設けられ、前記連通管内を吸引する吸引部と、
前記連通管の前記霧化装置との接続部側および前記ノズルとの接続部側のいずれか一方であって、前記吸引部の設けられていない接続部側に設けられ、前記連通管内に第2のメンテナンスガスを供給する第2のガス供給部と
を有することを特徴とする配線形成装置。 - 前記吸引部は、前記連通管の前記霧化装置との接続部側に設けられ、前記第2のガス供給部は、前記連通管の前記ノズルとの接続部側に設けられることを特徴とする請求項1に記載の配線形成装置。
- 前記第1のメンテナンスガスは不活性ガスであることを特徴とする請求項1または2に記載の配線形成装置。
- 前記第2のメンテナンスガスは空気であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の配線形成装置。
- 前記第1のガス供給部での前記第1のメンテナンスガスの供給と、前記吸引部の吸引と、前記第2のガス供給部での前記第2のメンテナンスガスの供給とをそれぞれ制御し、前記吸引を前記第2のメンテナンスガスの供給とともに行わせるようにし、前記第1のメンテナンスガスの供給と、前記第2のメンテナンスガスの供給および前記吸引とをそれぞれ、前記配線形成の合間に行わせるように制御する制御部を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の配線形成装置。
- 前記制御部は、前記吸引および前記第2のメンテナンスガスの供給を行った後、前記配線形成の前に、前記第1のメンテナンスガスの供給を行うように制御することを特徴とする請求項5に記載の配線形成装置。
- 前記制御部は、前記吸引および前記第2のメンテナンスガスの供給を行った後、前記第1のメンテナンスガスの供給を行う前に、前記霧化されたペースト材料の塗布を安定化させるための塗布を行うように制御することを特徴とする請求項6に記載の配線形成装置。
- 前記制御部は、前記第1のメンテナンスガスの供給を行った後、前記配線形成の前に、前記霧化されたペースト材料の塗布を安定化させるための塗布を行うように制御することを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の配線形成装置。
- ペースト材料を霧化する霧化装置と、前記霧化装置で霧化された前記ペースト材料を噴射するノズルと、前記霧化装置と前記ノズルとを接続する連通管とを有し、前記霧化されたペースト材料を塗布して配線形成を行うように構成された配線形成装置のメンテナンスをするメンテナンス方法であって、
前記配線形成の合間に、
前記連通管の前記霧化装置との接続部側から前記連通管内に第1のメンテナンスガスを供給する第1のガス供給工程、および、
前記連通管の前記霧化装置との接続部側および前記ノズルとの接続部側のいずれか一方から前記連通管内を吸引するとともに、他方から前記連通管内に第2のメンテナンスガスを供給する第2のガス供給工程を有することを特徴とするメンテナンス方法。 - 前記第2のガス供給工程の前記吸引は、前記連通管の前記霧化装置との接続部側から行われ、前記第2のメンテナンスガスの供給は、前記連通管の前記ノズルとの接続部側から行われることを特徴とする請求項9に記載のメンテナンス方法。
- 前記第1のメンテナンスガスは不活性ガスであることを特徴とする請求項9または10に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2のメンテナンスガスは空気であることを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2のガス供給工程の後には、前記配線形成の前に、前記第1のガス供給工程が設けられることを特徴とする請求項9〜12のいずれか1項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2のガス供給工程の後、前記第1のガス供給工程の前に、前記霧化されたペースト材料の塗布を安定化させる安定化工程を設けたことを特徴とする請求項13に記載のメンテナンス方法。
- 前記第1のガス供給工程の後、前記配線形成の前に、前記霧化されたペースト材料の塗布を安定化させる安定化工程を設けたことを特徴とする請求項9〜14のいずれか1項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第1のガス供給工程は、前記第2のガス供給工程の頻度の2倍から10倍であることを特徴とする請求項9〜15のいずれか1項に記載のメンテナンス方法。
- 前記第2のガス供給工程での前記第2のメンテナンスガスの流量は、前記第1のガス供給工程での前記第1のメンテナンスガスの流量の100倍から1000倍であることを特徴とする請求項9〜16のいずれか1項に記載のメンテナンス方法。
- ペースト材料を霧化する霧化装置と、前記霧化装置で霧化された前記ペースト材料を噴射するノズルと、前記霧化装置と前記ノズルとを接続する連通管とを用い、前記霧化装置で霧化されたペースト材料を前記ノズルから噴射して塗布し、配線形成を行う配線形成工程と、
前記連通管の前記霧化装置との接続部側から前記連通管内に第1のメンテナンスガスを供給する第1のガス供給工程と、
前記連通管の前記霧化装置との接続部側および前記ノズルとの接続部側のいずれか一方から前記連通管内を吸引するとともに、他方から前記連通管内に第2のメンテナンスガスを供給する第2のガス供給工程と
を有することを特徴とする配線形成方法。 - 前記第2のガス供給工程は、前記吸引が、前記連通管の前記霧化装置との接続部側から行われ、前記第2のメンテナンスガスの供給が、前記連通管の前記ノズルとの接続部側から行われることを特徴とする請求項18に記載の配線形成方法。
- 前記第1のガス供給工程および前記第2のガス供給工程の後には、前記霧化されたペースト材料の塗布を安定化させる安定化工程を設けたことを特徴とする請求項18または19に記載の配線形成方法。
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