CN103906367A - 布线形成装置、维护方法以及布线形成方法 - Google Patents

布线形成装置、维护方法以及布线形成方法 Download PDF

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Abstract

提供一种能够稳定地形成布线图案的布线形成装置、维护方法以及布线形成方法。布线形成装置(1)具有雾化装置(2)、喷嘴(3)以及将它们连接的连通管(4)，从喷嘴(3)喷射雾化后的糊剂材料而在基板(W)上进行布线图案的形成。布线形成装置(1)具备：第一气体供给部(61)，其向连通管(4)内供给第一维护气体；吸引部(63)，其对连通管(4)内进行吸引；以及第二气体供给部(65)，其向连通管(4)内供给第二维护气体。连通管(4)内的吸引和第二维护气体的供给同时进行。而且，进行控制使得在布线形成的空闲时间分别进行第一维护气体的供给以及第二维护气体的供给和吸引，能够与布线图案的形成同时地实施布线形成装置(1)的维护。

Description

布线形成装置、维护方法以及布线形成方法
技术领域
本发明涉及一种布线形成装置、维护方法以及布线形成方法。更详细地说，涉及一种可形成精细图案且能够用于对形成在液晶显示器等平板显示器的基板上的布线等进行修复的布线形成装置、该布线形成装置的维护方法以及布线形成方法。
背景技术
近年来，随着液晶显示器、等离子显示器以及有机EL显示器等平板显示器的大型化和高清晰化，推进了形成在半导体基板等基板上的布线、电极等的图案的精细化。而且，随着图案的精细化，在布线等、等离子显示器的障肋等中产生的缺陷成为问题。作为这样的缺陷，例如在是布线的情况下，存在图案的一部分发生缺失、断线的开路缺陷等。因此，寻求能够抑制这种缺陷的产生来提高制造成品率的电极、布线等的形成技术的提高。同时寻求能够在产生了缺陷的情况下对其进行修复的修复技术。
作为对开路缺陷等进行修复的修复技术，已知有如下一种方法(例如，参照专利文献1。)：对基板上的布线发生断线的缺陷部分涂布附着于涂布针前端的导电性糊剂，在使涂布位置在电极的长度方向上移动的同时多次涂布来进行修复。
另外，已知有在基板上进行布线图案的形成等的喷雾方式的开路修复装置等布线形成装置(例如，参照专利文献2。)。
专利文献1：日本特开2000-299059号公报
专利文献2：日本特开2007-152219号公报
发明内容
发明要解决的问题
但是，在如专利文献1所记载的修复方法中，由于使涂布针多次往复于布线的缺陷部分与糊剂槽之间来一边对涂布针补充导电性糊剂一边进行涂布，因此导致缺陷部分越长则修复所花费的时间越长。另外，由于导电性糊剂被涂布成将圆形的涂布部配置成一列所形成的形状，因此形成从布线的宽度溢出的部分等难以将修复部分控制成期望的形状。
因此，在基板上进行布线图案的形成等的喷雾方式的开路修复装置等布线形成装置受到了关注。
喷雾方式的布线形成装置例如构成为具有将布线形成用的糊剂材料雾化成雾状的雾化装置、向基板上的缺陷部分喷射由雾化装置雾化后的糊剂材料的喷嘴以及将雾化装置与喷嘴连接的连通管，使用雾化后的糊剂材料来进行布线图案的形成以修复基板上的缺陷部分。
在这样的喷雾方式的布线形成装置中，能够一边补充糊剂材料一边进行喷射，因此与涂布针多次往复于基板上的缺陷部分与糊剂槽之间的专利文献1等所记载的修复方法相比，能够迅速地修复缺陷部分。
然而，在以往的喷雾方式的布线形成装置中，存在如下情况：在将雾化装置与喷嘴连接的连通管内附着有糊剂材料的雾，蓄积在连通管内的雾变为结露而流向喷嘴。其结果，在以往的喷雾方式的布线形成装置中，存在喷嘴的喷射变得不稳定、连通管内的结露流动而堵塞涂布喷嘴的情形等。
当喷嘴的喷射变得不稳定时，无法稳定地形成布线图案。并且，当喷嘴堵塞时，无法形成布线图案。因此，在以往的喷雾方式的布线形成装置中，需要频繁地更换连通管以抑制如上所述的结露和其流向喷嘴的情形。其结果，存在布线形成装置的工作时间变短而使生产性下降的情形。
因此，寻求如下一种布线形成技术：能够控制将雾化装置与喷嘴之间连接的连通管内的结露，并抑制结露流向喷嘴，从而稳定地形成布线图案。
本发明是鉴于这样的问题而完成的。
即，本发明的目的在于提供一种能够稳定地形成布线图案的布线形成装置。
另外，本发明的目的在于提供一种对布线形成装置进行维护以能够稳定地形成布线图案的维护方法。
另外，本发明的目的在于提供一种能够稳定地形成布线图案的布线形成方法。
将从下面的记载中清楚本发明的其它目的和优点。
用于解决问题的方案
本发明的第一方式涉及一种布线形成装置，具有：雾化装置，其使糊剂材料雾化；喷嘴，其喷射由该雾化装置雾化后的糊剂材料；以及连通管，其将该雾化装置与该喷嘴连接，其中，通过涂布雾化后的糊剂材料来进行布线形成，该布线形成装置的特征在于，具有：
第一气体供给部，其设置于连通管的与雾化装置的连接部侧，向该连通管内供给第一维护气体；
吸引部，其设置于连通管的与雾化装置的连接部侧和连通管的与喷嘴的连接部侧中的某一方，对该连通管内进行吸引；以及
第二气体供给部，其设置于连通管的与雾化装置的连接部侧和连通管的与喷嘴的连接部侧中的、未设置吸引部的连接部侧，向该连通管内供给第二维护气体。
在本发明的第一方式中，优选的是，吸引部设置于连通管的与雾化装置的连接部侧，第二气体供给部设置于该连通管的与喷嘴的连接部侧。
在本发明的第一方式中，优选的是，第一维护气体是惰性气体。
在本发明的第一方式中，优选的是，第二维护气体是空气。
在本发明的第一方式中，优选的是，具有控制部，该控制部分别对第一气体供给部的第一维护气体的供给、吸引部的吸引以及第二气体供给部的第二维护气体的供给进行控制，该控制部以如下方式进行控制：使该吸引与第二维护气体的供给同时进行，使第一维护气体的供给、第二维护气体的供给以及吸引分别在布线形成的空闲时间进行。
在本发明的第一方式中，优选的是，控制部进行控制使得在进行了吸引以及第二维护气体的供给之后在布线形成之前进行第一维护气体的供给。
在本发明的第一方式中，优选的是，控制部进行控制使得在进行了吸引以及第二维护气体的供给之后在进行第一维护气体的供给之前进行用于使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的涂布。
在本发明的第一方式中，优选的是，控制部进行控制使得在进行了第一维护气体的供给之后在布线形成之前进行用于使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的涂布。
本发明的第二方式涉及一种布线形成装置维护方法，该布线形成装置具有：雾化装置，其使糊剂材料雾化；喷嘴，其喷射由该雾化装置雾化后的糊剂材料；以及连通管，其将该雾化装置与该喷嘴连接，其中，通过涂布雾化后的糊剂材料来进行布线形成，该维护方法的特征在于，
在布线形成的空闲时间具有以下工序：
第一气体供给工序，从连通管的与雾化装置的连接部侧向连通管内供给第一维护气体；以及
第二气体供给工序，从连通管的与雾化装置的连接部侧和连通管的与喷嘴的连接部侧中的某一方对连通管内进行吸引，并且从另一方向连通管内供给第二维护气体。
在本发明的第二方式中，优选的是，第二气体供给工序的吸引从连通管的与雾化装置的连接部侧进行，第二维护气体的供给从连通管的与喷嘴的连接部侧进行。
在本发明的第二方式中，优选的是，第一维护气体是惰性气体。
在本发明的第二方式中，优选的是，第二维护气体是空气。
在本发明的第二方式中，优选的是，在第二气体供给工序之后在布线形成之前设置有第一气体供给工序。
在本发明的第二方式中，优选的是，在第二气体供给工序之后在第一气体供给工序之前设置有使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序。
在本发明的第二方式中，优选的是，在第一气体供给工序之后在布线形成之前设置有使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序。
在本发明的第二方式中，优选的是，第一气体供给工序的频率是第二气体供给工序的频率的2倍到10倍。
在本发明的第二方式中，优选的是，第二气体供给工序的第二维护气体的流量是第一气体供给工序的第一维护气体的流量的100倍到1000倍。
本发明的第三方式涉及一种布线形成方法，其特征在于，具有以下工序：
布线形成工序，使用使糊剂材料雾化的雾化装置、喷射由该雾化装置雾化后的糊剂材料的喷嘴以及将该雾化装置与该喷嘴连接的连通管，从喷嘴喷射由雾化装置雾化后的糊剂材料来进行涂布，从而进行布线形成；
第一气体供给工序，从连通管的与雾化装置的连接部侧向连通管内供给第一维护气体；以及
第二气体供给工序，从连通管的与雾化装置的连接部侧和连通管的与喷嘴的连接部侧中的某一方对连通管内进行吸引，并且从另一方向连通管内供给第二维护气体。
在本发明的第三方式中，优选的是，第二气体供给工序从连通管的与雾化装置的连接部侧进行吸引，从连通管的与喷嘴的连接部侧进行第二维护气体的供给。
在本发明的第三方式中，优选的是，在第一气体供给工序和第二气体供给工序之后设置有使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序。
发明的效果
根据本发明的第一方式，提供一种能够稳定地形成布线图案的布线形成装置。
另外，根据本发明的第二方式，提供一种对布线形成装置进行维护以能够稳定地形成布线图案的维护方法。
另外，根据本发明的第三方式，提供一种能够稳定地形成布线图案的布线形成方法。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的布线形成装置的图。
图2是表示作为本发明的比较例的布线形成装置的图。
图3是表示本发明的第二实施方式的布线形成方法的第一例的流程图。
图4是表示本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例的流程图。
图5是将本发明的第二实施方式的布线形成方法的主要步骤中的自动阀的开关状态汇总得到的表。
图6是表示本发明的第三实施方式的布线形成装置的图。
附图标记说明
1、100、1000：布线形成装置；2：雾化装置；3：喷嘴；4、24、41、104：连通管；11：雾化部；12：恒温用液体；13：恒温槽；14：混合物；15：材料容纳容器；16：超声波产生装置；17：盖体；18：流体导入口；19：流体导出口；20：内部管；21：溶剂补给装置；22：溶剂补给部；23：温度控制部；25：溶剂；26：载气源；32：雾沫流变换装置；33：喷嘴部；34：鞘气供给管；42：放出开口；51、52、53、54、55、56、57：自动阀；61：第一气体供给部；62：第一气体供给管；63：吸引部；64：吸引管；65：第二气体供给部；66：第二气体供给管；67：第一维护气体源；68：吸引装置；69：第二维护气体源；70：鞘气源。
具体实施方式
本发明的布线形成装置是利用喷雾方式能够在基板上形成精细图案的布线形成装置。
本发明的布线形成装置能够在半导体芯片、液晶显示器等平板显示器的基板上供给糊剂材料来形成布线图案。而且，能够优选用于对布线图案的一部分缺失的断线部分等开路缺陷部分进行修复。本发明的布线形成装置能够优选地作为喷雾方式的开路修复装置使用。
本发明所使用的喷雾方式是使糊剂材料附着于基板上的方法，是使糊剂材料为雾沫(mist)状态(雾化状态)，与使用喷墨方式等的喷嘴的方式同样地通过喷嘴的喷射来吹喷该雾状的糊剂材料，从而形成期望的精细形状的涂膜的方法。然后，通过利用例如激光等将所形成的基板上的涂膜进行加热烧制，能够形成所期望的形状的布线图案。
在喷雾方式中，通过将从喷嘴的喷射设为例如呈螺旋状地喷雾那样的收缩的喷射，能够形成精细的线状的布线图案。本发明的布线形成装置为了使糊剂材料为雾沫状态(雾化状态)，而使用后述结构的雾化装置。另外，本发明的布线形成装置使用如使喷射的雾沫上的糊剂材料收敛而适合于形成精细的图案那样的喷嘴。作为该喷嘴，例如能够使用日本特表2008-522814号公报所记载的那样的构成为形成由内侧的包含雾化后的糊剂材料的载气气流和从外侧将该载气气流包含在里面的鞘气气流构成的环状扩散喷射流的喷嘴。
而且，本发明的布线形成装置还具有以往要求的对于稳定地形成布线图案有效的结构。
下面，针对本发明的实施方式的布线形成装置进行说明，说明对该装置进行维护以能够利用该装置稳定地在基板上形成布线图案的本发明的实施方式的维护方法，并针对本发明的实施方式的布线形成方法进行说明。
实施方式1.
图1是表示本发明的第一实施方式的布线形成装置的图。
如图1所示，本发明的第一实施方式的布线形成装置1构成为具有雾化装置2、喷嘴3以及将雾化装置2与喷嘴3连接的连通管4。而且，利用由雾化装置2雾化后的糊剂材料，使其从喷嘴3喷射出，例如在基板W上形成糊剂材料的涂膜，从而能够形成布线图案。
图2是表示作为本发明的比较例的布线形成装置的图。
图2所示的作为比较例的布线形成装置1000是利用现有技术的装置，与本发明的第一实施方式的布线形成装置1同样地构成为具有雾化装置2、喷嘴3以及将雾化装置2与喷嘴3连接的连通管4。而且，布线形成装置1000利用由雾化装置2雾化后的糊剂材料，从喷嘴3喷射出来进行涂布，并在基板W上形成糊剂材料的涂膜，从而能够形成布线图案。此外，在图2所示的作为比较例的布线形成装置1000中，针对与本发明的第一实施方式的布线形成装置1相同的结构要素附加相同的附图标记。而且，关于其详细内容，设为与下面进行的布线形成装置1的对应的结构要素相同，省略重复的说明。
而且，在将本发明的第一实施方式的布线形成装置1与作为比较例的布线形成装置1000进行比较的情况下，可知在布线形成装置1中，与连通管4连接的吸引部63、第一气体供给部61、第二气体供给部65以及自动阀53、54等是特征性的结构部分。本发明的第一实施方式的布线形成装置1通过具有图1所示的结构，能够在形成布线图案的同时容易地执行维护，由此能够稳定地形成布线图案。
下面，关于本发明的第一实施方式的布线形成装置1，更详细地说明各结构要素。
首先，作为本发明的第一实施方式的布线形成装置1所使用的糊剂材料，除了金属纳米糊剂以外，还能够使用使透明导电材料的微粒子分散于溶剂中得到的糊剂材料。在此，金属纳米糊剂是指由金属纳米粒子和用于保持该金属纳米粒子的纳米状态的溶剂构成的糊剂状的混合物，金属纳米粒子被抑制发生凝聚而呈现纳米状态(分散状态)被保持的状态。此时，作为溶剂，能够列举石油系混合溶剂和脂系溶剂等。作为金属纳米糊剂，能够列举银纳米糊剂、金纳米糊剂以及铜纳米糊剂等。
接着，本发明的第一实施方式的布线形成装置1的雾化装置2是用于使上述的糊剂材料雾化而形成雾沫状态(雾化状态)并供给到与喷嘴3连接的连通管4从而供给到喷嘴3的装置。如图1所示，雾化装置2构成为具有雾化部11和溶剂补给装置21。
如图1所示，雾化装置2的溶剂补给装置21具有溶剂补给部22和温度控制部23。而且，是用于在溶剂补给部22中将使溶剂25雾化(气化)后的气体和由惰性气体构成的载气混合后向雾化部11补给的装置。从通过连通管24连接的载气源26供给载气。作为用作载气的惰性气体，例如能够列举氮气、氩气以及氦气等。
溶剂补给装置21的溶剂补给部22通过自动阀51与连通管24连接，该连通管24与载气源26相连。另外，另一方面，溶剂补给部22通过连通管41与雾化部11相连。溶剂补给装置21的溶剂补给部22将从载气源26供给的载气和使溶剂25雾化(气化)后的气体混合后向雾化部11供给(补给溶剂25)。
溶剂补给装置21的温度控制部23是用于对溶剂补给部22进行温度控制的装置。温度控制部23将溶剂补给部22保持固定温度使溶剂补给量保持固定量。温度控制部23构成为具备围绕溶剂补给部22的加热器等加热单元和温度传感器(均未图示)。由此，由温度传感器检测温度并由加热单元对温度进行调整来将其保持固定，由此载气浓度始终是固定的，即使外部温度发生变化也不会受其影响，向雾化部11供给的溶剂补给量固定，从而能够延长雾化部11的寿命。另外，通过使溶剂补给部22的温度可变，能够改变溶剂补给量，从而能够应对雾沫流的混合比的变化。
此外，在连通管41中能够设置防止使其内部冷却的液化防止用加热器(未图示)。液化防止用加热器防止处于雾化状态的输送途中的混合气体中的溶剂25液化。
接着，雾化装置2的雾化部11是用于使糊剂材料雾化后取入到来自溶剂补给部21的混合气体中来形成雾沫流的装置。如图1所示，雾化部11通过连通管4与喷嘴3相连接，将雾化后的糊剂材料的雾沫流通过连通管4供给到喷嘴3。此外，能够在连通管4中设置防止使其内部冷却的液化防止用加热器(未图示)。液化防止用加热器防止处于雾化状态的输送途中的雾沫流中的后述溶剂液化。
雾化部11具有容纳纯水等规定温度的恒温水、即恒温用液体12的恒温槽13。将容纳有上述糊剂材料(例如金纳米糊剂)和溶解除了糊剂材料的金属纳米粒子以外的可溶性成分并使金属纳米粒子分散的溶剂、例如二甲苯等溶剂(以下有时称为稀释剂。)的混合物14的材料容纳容器15浸泡在恒温槽13的恒温用液体12中。
在雾化部11中，利用超声波使糊剂材料雾化，但是在糊剂材料是金属纳米糊剂的情况下，仅有金属纳米糊剂的话难以进行雾化，因此使用与上述稀释剂的混合物14。因此，优选的是，在稀释剂中选择添加雾化特性好的溶液。
在雾化部11中，材料容纳容器15在恒温槽13内例如被倾斜设置。另外，在恒温槽13的内部且在材料容纳容器15的最低位置附近设置有超声波产生装置16。超声波产生装置16通过其超声波振动，经由恒温用液体12、材料容纳容器15来向混合物14供给用于雾化的能量，从而使混合物14雾化，进而使糊剂材料雾化。
即，在本发明的第一实施方式的布线形成装置1中，雾沫产生的过程是由超声波产生装置16通过恒温用液体12向由糊剂材料和稀释剂构成的混合物14照射超声波，利用该超声波的能量促进雾沫化。在此，恒温用液体12作为超声波振动的传递媒介和加热媒介而发挥功能。
材料容纳容器15的上部开口被盖体17塞住。盖体17具有流体导入口18和流体导出口19。流体导出口19中的材料容纳容器15的内部侧与内部管20相连，另外，材料容纳容器15的外部侧通过自动阀53与连接于喷嘴3的连通管4相连。流体导入口18中的材料容纳容器15的外部侧与连接于溶剂补给部22的连通管41相连，材料容纳容器15的内部侧与放出开口42相连。
由此，从溶剂补给装置21的溶剂补给部22供给的载气和溶剂25的混合气体(mixture gas)从流体导入口18被导入到材料容纳容器15内部后，被导入到内部管20的内部，依次通过内部管20、流体导出口19、自动阀53以及连通管4供给到喷嘴3侧。此时，由于超声波振动能量而发生雾化的混合物14的气体也被取入到该流动中，从内部管20的最下端的开口导入到内部管20的内部，依次通过内部管20、流体导出口19、自动阀53以及连通管4被供给到喷嘴3侧。
接着，本发明的第一实施方式的布线形成装置1的喷嘴3如图1所示那样由雾沫流变换装置32和喷嘴部33构成。喷嘴3在雾沫流变换装置32的上游侧通过自动阀54与连通管4连接，从而与雾化装置2连接。
喷嘴3的雾沫流变换装置32在从喷嘴部33喷射由雾化装置2雾化后的糊剂材料的雾沫流时，针对内侧为糊剂材料的雾沫流供给从外侧将其包含在里面的鞘气，从而形成鞘气气流。
如图1所示，从通过自动阀52与鞘气源70连接的鞘气供给管34向喷嘴3的雾沫流变换装置32供给该鞘气。然后，雾沫流变换装置32将由雾化装置2雾化后的糊剂材料的雾沫流变换成其流径为规定值并且雾沫流呈螺旋状旋转。
喷嘴3的喷嘴部33设置于雾沫流变换装置32的前端，从其前端喷射如上所述的变换后的雾沫流。喷嘴3将由雾化装置2雾化后的糊剂材料吹喷到基板W上进行涂布。
此外，关于雾沫流变换装置32和喷嘴部33，能够使用已有的装置。
接着，在本发明的第一实施方式的布线形成装置1中，针对将雾化装置2与喷嘴3连接的连通管4进行说明。
在利用喷雾方式的第一实施方式的布线形成装置1中，将雾化装置2与喷嘴3连接的连通管4如上述那样是担心附着有糊剂材料的雾并且所蓄积的雾变为结露而流向喷嘴3的结构部件。
如图1所示，布线形成装置1的连通管4在与雾化装置2的连接部侧具有用于向连通管4内供给第一维护气体的第一气体供给部61。另外，连通管4在与雾化装置2的连接部侧具有用于对连通管4内进行吸引的吸引部63，在连通管4的与喷嘴3的连接部侧具有用于向连通管4内供给第二维护气体的第二气体供给部65。
优选的是，第一气体供给部61、吸引部63以及第二气体供给部65分别设置于连通管4的末端附近。
即，本发明的第一实施方式的布线形成装置1具有设置于连通管4的与雾化装置2的连接部侧并且向连通管4内供给第一维护气体的第一气体供给部61。而且，布线形成装置1具有设置于连通管4的与雾化装置2的连接部侧并且对连通管4内进行吸引的吸引部63。并且，布线形成装置1具有设置于连通管4的未设置吸引部63的与喷嘴3的连接部侧并且向连通管4内供给第二维护气体的第二气体供给部65。
连通管4的第一气体供给部61具有与第一维护气体源67连接以向连通管4内供给第一维护气体的第一气体供给管62和自动阀57。而且，第一气体供给部61构成为通过自动阀57连接于连通管4的与雾化装置2的连接部侧的末端附近。此时，作为第一维护气体，优选使用不担心与糊剂材料之间发生反应的惰性气体。作为能够用作第一维护气体的惰性气体，能够列举氮气、氩气以及氦气等。
在本发明的第一实施方式的布线形成装置1中，第一气体供给部61向连通管4内供给例如作为惰性气体的第一维护气体，由此使附着于连通管4内的包含糊剂材料的雾的挥发成分挥发，能够减少附着物的量。
另外，设置连通管4的吸引部63以对连通管4内进行吸引，例如使糊剂材料的雾附着所形成的结露在连通管4中移动而从连通管4内吸出。吸引部63为了对连通管4内进行吸引，例如具有与由吸引泵等构成的吸引装置68连接的吸引管64以及能够控制吸引装置68的吸引效果的自动阀56。而且，吸引部63构成为通过自动阀56连接于连通管4的与雾化装置2的连接部侧的末端附近。
连通管4的第二气体供给部65具有与第二维护气体源69连接以向连通管4内供给第二维护气体的第二气体供给管66以及自动阀55。而且，第二气体供给部65构成为通过自动阀55连接于连通管4的与喷嘴3的连接部侧的末端附近。在本发明的第一实施方式的布线形成装置1中，第二气体供给部65被设置成能够使吸引部63对连通管4内的结露的吸出高效地进行。即，在连通管4中，由第二气体供给部65从喷嘴3侧供给第二维护气体，另一方面，由吸引部63在雾化装置2侧进行吸引。其结果，布线形成装置1利用第二维护气体从喷嘴3侧向雾化装置2侧的流动来使结露移动，高效地排出连通管4内的结露。
此时，作为第二维护气体，除了与上述的第一维护气体相同的惰性气体以外，还能够使用空气。而且，优选使用入手容易、准备简便并能够低成本地使用的空气，更优选使用能够抑制水分附着于连通管4内的干燥空气(dryair)。
此外，本发明的第一实施方式的布线形成装置1能够具有用于使涂布在基板W上的糊剂材料烧结的烧制处理装置(未图示)。烧制处理装置优选使用CW(Continuous Wave：连续波)激光器构成。烧制处理装置不使用脉冲激光器而使用CW激光器，来可靠地照射糊剂材料进行烧制，能够在基板W上形成布线图案。
具备以上结构的本发明的第一实施方式的布线形成装置1针对担心糊剂材料的雾附着并变为结露而流向喷嘴3的连通管4，能够通过供给第一维护气体来进行维护。而且，除此之外，布线形成装置1能够进行第二维护气体的供给和吸引，通过不同的方法来进行连通管4的维护。即，本发明的第一实施方式的布线形成装置1能够使用第一气体供给部61、吸引部63以及第二气体供给部65进行维护，从而能够稳定地形成布线图案。
此时，本发明的第一实施方式的布线形成装置1使用作为控制部的控制装置(未图示)，能够自动地进行通过涂布糊剂材料所进行的布线图案的形成以及装置的维护。控制装置上连接有上述的各自动阀51～57。
即，作为布线形成装置1的控制部的控制装置上连接有将溶剂补给装置21的溶剂补给部22与载气源26之间相连的自动阀51。另外，控制装置上连接有将雾化部11的材料容纳容器15与连通管4之间相连的自动阀53。另外，控制装置上连接有将喷嘴3与连通管4之间相连的自动阀54。另外，控制装置上连接有将鞘气源70与喷嘴3的鞘气供给管34之间相连的自动阀52。另外，控制装置上连接有将第一气体供给管62与连通管4的末端附近之间相连的自动阀57。另外，控制装置上连接有将吸引管64与连通管4的末端附近之间相连的自动阀56。另外，控制装置上连接有将第二气体供给部65与连通管4的末端附近之间相连的自动阀55。
其结果，本发明的第一实施方式的布线形成装置1能够通过控制装置的控制来分别独立地自动调整自动阀51～57的阀门开度。而且，布线形成装置1能够通过控制装置的控制，将载气、第一维护气体、第二维护气体以及鞘气等的流量设定为期望的值。
而且，布线形成装置1通过控制装置的控制，使用由雾化装置2雾化后的糊剂材料从喷嘴3喷射来进行涂布，在基板W上形成糊剂材料的涂膜来形成布线图案。另一方面，布线形成装置1能够在该布线图案形成与下一个布线图案形成之间、即在布线形成的空闲时间进行装置的维护。
更具体地说，本发明的第一实施方式的布线形成装置1通过控制装置控制自动阀51～57的阀门开度，能够分别控制第一气体供给部61的第一维护气体的供给、吸引部63的吸引以及第二气体供给部65的第二维护气体的供给。其结果，布线形成装置1能够在布线形成的空闲时间，作为维护而进行第一气体供给部61的第一维护气体的供给。然后，布线形成装置1使附着于连通管4内的包含糊剂材料的雾的挥发成分挥发，能够减少付着物的量。
另外，布线形成装置1能够在布线形成的空闲时间，作为维护而将吸引部63的吸引与第二气体供给部65的第二维护气体的供给同时进行。而且，布线形成装置1利用第二维护气体的流动使连通管4内的结露移动，能够从连通管4高效地排出结露。
而且，布线形成装置1在进行了作为维护而进行的第一气体供给部61的第一维护气体的供给之后，为了使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化，而能够进行与布线形成不同的稳定化涂布。即，能够在供给第一维护气体之后，使用由雾化装置2雾化后的糊剂材料进行稳定化涂布，使通过从喷嘴3喷射来进行的涂布稳定化，之后进行实际的布线形成。
另外，布线形成装置1在进行了作为维护而进行的第二气体供给部65的第二维护气体的供给和吸引部63的吸引之后，为了使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化，而能够进行与布线形成不同的稳定化涂布。即，在吸引和第二维护气体的供给之后，使用由雾化装置2雾化后的糊剂材料进行稳定化涂布，并使通过从喷嘴3喷射来进行的涂布稳定化。接着，例如能够通过第一气体供给部61的第一维护气体的供给等其它的方法来进行维护。
并且，本发明的第一实施方式的布线形成装置1能够通过控制装置的控制来任意地设定在布线形成的空闲时间进行的上述的维护的方法和频率。即，布线形成装置1能够通过控制装置的控制选择在布线形成的空闲时间进行通过第一气体供给部61的第一维护气体的供给进行的维护以及通过吸引部63的吸引和第二气体供给部65的第二维护气体的供给进行的维护中的哪一个，其结果，能够设定这些维护各自的频率。
即，本发明的第一实施方式的布线形成装置1能够将在布线形成的空闲时间进行的通过第一气体供给部61的第一维护气体的供给进行的维护以及通过吸引部63的吸引和第二气体供给部65的第二维护气体的供给进行的维护任意地组合实施。其结果，本实施方式的布线形成装置1在布线形成中能够稳定地形成布线图案。
接着，针对使用本发明的第一实施方式的布线形成装置1进行的本发明的实施方式的布线形成方法进行说明。
本发明的实施方式的布线形成方法使用上述的本发明的第一实施方式的布线形成装置1来进行布线形成。而且，本发明的实施方式的布线形成方法能够包含通过使用布线形成装置1来在布线图案形成与下一个布线图案形成之间、即布线形成的空闲时间对布线形成装置1进行维护的维护方法。
即，本发明的实施方式的布线形成方法构成为包含对所使用的布线形成装置1进行维护的维护方法。具体地说，本实施方式的布线形成方法在反复进行的布线形成的空闲时间，作为维护而进行布线形成装置1的第一气体供给部61的第一维护气体的供给。即，本发明的实施方式的布线形成方法设置有向连通管4内供给第一维护气体的第一气体供给工序作为维护。下面，将通过该第一气体供给工序实现的布线形成装置1的维护称为第一维护。而且，在本实施方式的布线形成方法中，通过该第一维护，使附着于布线形成装置1的连通管4内的包含糊剂材料的雾的挥发成分挥发，减少付着物的量，从而能够稳定地形成布线图案。
另外，本实施方式的布线形成方法在反复进行的布线形成的空闲时间，作为不同的维护，而将布线形成装置1的吸引部63的吸引与第二气体供给部65的第二维护气体的供给同时进行。即，本发明的实施方式的布线形成方法设置有在对连通管4内吸引的同时向连通管4内供给第二维护气体的第二气体供给工序作为维护。下面，将通过连通管4内的吸引和第二气体供给工序实现的布线形成装置1的维护称为第二维护。而且，在本实施方式的布线形成方法中，利用该第二维护中的第二维护气体的流动来使布线形成装置1的连通管4内的结露移动，能够从连通管4高效地排出结露。
而且，本实施方式的布线形成方法能够将在布线形成的空闲时间进行的上述的第一维护和第二维护两种维护以各自的规定频率组合来构成，进行布线形成和布线形成装置1的维护。
例如，在反复进行布线形成并实施了多天的情况下，能够以24小时1次左右的频率进行第一维护。而且，能够以其五分之一左右的频率、例如120小时1次左右的频率进行第二维护。
即，对本发明的第一实施方式的布线形成装置1进行维护的维护方法能够将上述的第一维护和第二维护两种维护以各自的规定频率组合来在布线形成方法中反复进行的布线形成的空闲时间实施。
更具体地说，能够在本实施方式的布线形成方法中进行的布线形成的空闲时间将通过第一气体供给部61的第一维护气体的供给进行的维护以及通过吸引部63的吸引和第二气体供给部65的第二维护气体的供给进行的维护以任意的频率组合实施。
其结果，本发明的实施方式的布线形成方法能够使用本发明的第一实施方式的布线形成装置1进行布线形成，并且在该布线形成的空闲时间实施本发明的实施方式的维护方法，进行布线形成装置1的维护，来稳定地形成布线图案。此时，本发明的实施方式的维护方法将上述的第一维护和第二维护两种维护以各自的规定频率组合构成。
另外，本发明的实施方式的布线形成方法在上述第一维护之后在进行布线形成之前，如上述那样设置用于使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序，从而能够进行稳定化涂布。同样地，能够在上述第二维护之后在例如进行第一维护之前，如上述那样设置用于使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序，从而进行稳定化涂布。
本发明的实施方式的布线形成方法能够在第一维护和第二维护之后设置稳定化工序，通过进行用于使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化涂布，来在布线形成中稳定地形成布线图案。
下面，适当地参照图1来说明本发明的实施方式的布线形成方法。此外，本发明的实施方式的布线形成方法的说明是利用流程图对作为其主要部分的本实施方式的维护方法和继其之后的布线形成进行说明。
图3是表示本发明的第二实施方式的布线形成方法的第一例的流程图。
在图3所示的本发明的第二实施方式的布线形成方法的第一例中，在反复进行的布线形成的空闲时间进行上述第一维护。即，在第二实施方式的布线形成方法的第一例中，在布线形成之后，作为维护而进行布线形成装置1的第一气体供给部61的第一维护气体的供给。而且，在本实施方式的布线形成方法的第一例中，能够使附着于布线形成装置1的连通管4内的包含糊剂材料的雾的挥发成分挥发，减少付着物的量，来稳定地形成布线图案。
如图3所示，首先在图1的雾化装置2中停止超声波(步骤1)。具体地说，停止雾化装置2的雾化部11的超声波产生装置16。此外，超声波停止前的布线形成装置1处于能够进行布线形成的状态。即，由布线形成装置1的控制装置进行控制，从而自动阀51、52、53、54处于接通状态即开启状态，自动阀55、56、57处于断开状态即关闭状态。
接着，为了由第一气体供给部61进行第一维护气体的供给，而进行自动阀操作(步骤2)。关于该自动阀动作，为了向连通管4内供给第一维护气体，而通过控制装置的控制将自动阀51、53、55、56设为断开状态而形成关闭状态，并且将自动阀52、54、57设为接通状态而形成开启状态。其结果，载气的供给被停止，雾化后的糊剂材料的雾沫流的供给也被停止。另一方面，能够从第一气体供给部61向连通管4供给第一维护气体。
接着，向连通管4供给第一维护气体(步骤3)。第一维护气体优选使用氮气、氩气以及氦气等惰性气体，特别是优选使用入手容易的氮气。
从第一气体供给部61供给第一维护气体的流量优选设为每分钟1ml～100ml，为了在短时间内高效地进行充分的维护，而更优选为每分钟5ml～20ml。而且，第一维护气体的供给时间优选设为2分钟至60分钟，为了在短时间内高效地进行充分的维护，而优选为10分钟～30分钟。
从第一气体供给部61供给的第一维护气体从喷嘴3的喷嘴部33排出。
通过像这样由第一气体供给部61供给第一维护气体，能够使附着于连通管4内的包含糊剂材料的雾的挥发成分挥发，减少付着物的量。
接着，将第一维护气体的供给停止，在布线形成之前，设置用于使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序，进行用于稳定地形成布线的准备。即，通过控制装置的控制来对自动阀进行操作(步骤4)，将自动阀51、52、53、54设为接通状态而形成开启状态，并且将自动阀55、56、57设为断开状态而形成关闭状态。该状态如上述那样是与布线形成的状态相同的状态，能够进行载气的供给，能够进行雾化后的糊剂材料的雾沫流的供给。另一方面，停止从第一气体供给部61向连通管4供给第一维护气体。
接着，在雾化装置2中产生超声波(步骤5)。具体地说，启动雾化装置2的雾化部11的超声波产生装置16，开始产生超声波。其结果，开始糊剂材料的雾化，向连通管4和喷嘴3供给雾化后的糊剂材料的雾沫流。
然后，为了使雾化后的糊剂材料从喷嘴3的喷射稳定化来使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化，而将涂布状态维持规定的时间，来进行涂布(稳定化涂布)(步骤6)。用于稳定化的涂布的时间优选设为5分钟至60分钟，为了在短时间内高效地实现充分的稳定化，而优选设为10分钟～30分钟。
接着，确认通过从喷嘴3喷射来进行的雾化后的糊剂材料的涂布的状态(步骤7)，判断是否能够进行布线形成(步骤8)。在判断为无法进行布线形成的情况下，返回步骤6，再次进行用于稳定化的涂布。
另一方面，在步骤8中判断为能够进行布线形成的情况下，进入步骤9，进行布线的形成。此时，自动阀51～57的状态如上述那样通过控制装置进行控制，将自动阀51、52、53、54设为接通状态而形成开启状态，将自动阀55、56、57设为断开状态而形成关闭状态。
这样，在本实施方式的布线形成方法的第一例中，通过在步骤3中向连通管4内供给第一维护气体，能够使附着于布线形成装置1的连通管4内的包含糊剂材料的雾的挥发成分挥发来减少付着物的量，之后稳定地形成布线图案。
如以上那样，在图3所示的本发明的第二实施方式的布线形成方法的第一例中，在反复进行的布线形成的空闲时间，实施本发明的实施方式的维护方法的第一维护。在本实施方式的布线形成方法的第一例中，步骤1～步骤8相当于本发明的实施方式的维护方法的第一维护。而且，本实施方式的布线形成方法的第一例进行布线形成装置1的维护，从而能够稳定地形成布线图案。
接着，针对作为本发明的第二实施方式的布线形成方法的另一例的第二例进行说明。
本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例在反复进行的布线形成的空闲时间进行上述第二维护。在第二维护中，能够利用第二维护气体的流动来使布线形成装置1的连通管4内的结露移动，从而从连通管4高效地排出结露。
另外，优选在第二维护之后在布线形成之前进行上述第一维护。即，优选向连通管4内供给第一维护气体。通过像这样在第二维护之后进行第一维护，在本发明的第二实施方式的布线形成方法中，在将吸引部63的吸引与第二气体供给部65的第二维护气体的供给同时进行之后，能够进行雾化后的糊剂材料的稳定的涂布，并能够稳定地进行布线形成。
图4是表示本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例的流程图。
在图4所示的本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例中，在反复进行的布线形成的空闲时间进行上述第二维护。即，在第二实施方式的布线形成方法的第二例中，在布线形成之后，作为维护而进行布线形成装置1的吸引部63的吸引和第二气体供给部65的第二维护气体的供给。在本实施方式的布线形成方法中，利用该第二维护中的第二维护气体的流动来使布线形成装置1的连通管4内的结露移动，能够从连通管4高效地排出结露。
接着，本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例是在第二维护之后在布线形成之前结合第一维护进行实施。其结果，本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例能够稳定地形成布线图案。
在本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例中，如图4所示，首先在图1的雾化装置2中停止超声波(步骤1)。具体地说，停止雾化装置2的雾化部11的超声波产生装置16。此外，超声波停止前的布线形成装置1处于能够进行布线形成的状态。即，由布线形成装置1的控制装置进行控制，从而自动阀51、52、53、54处于接通状态即开启状态，自动阀55、56、57处于断开状态即关闭状态。
接着，为了进行吸引部63的吸引和第二气体供给部65的第二维护气体的供给而进行自动阀操作(步骤2)。关于该自动阀动作，为了在对连通管4内进行吸引的同时供给第二维护气体，而通过控制装置的控制来将自动阀51、52、53、54、57设为断开状态而形成关闭状态，将自动阀55、56设为接通状态而形成开启状态。其结果，载气的供给被停止，雾化后的糊剂材料的雾沫流的供给也被停止。而且，停止向喷嘴3的雾沫流变换装置32供给鞘气。另一方面，能够进行吸引部63对连通管4内的吸引和从第二气体供给部65的第二维护气体的供给。
接着，进行连通管4内的吸引和第二维护气体的供给(步骤3)。步骤3的连通管4内的吸引和第二维护气体的供给优选进行10秒钟至5分钟，为了实现结露的高效排出，而更优选进行30秒钟至2分钟。
第二维护气体除了使用氮气、氩气以及氦气等惰性气体以外，还能够使用空气。而且，优选使用入手容易、准备简便并能够低成本地使用的空气，更优选使用能够抑制水分附着于连通管4内的干燥空气(dry air)。第二维护气体的流量优选设为每分钟1升(l)～10升(l)，为了实现结露的高效排出，而优选设为每分钟2升(l)～6升(l)。
这样，在本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例中，通过进行吸引和第二维护气体的供给，能够在连通管4内形成第二维护气体的流动，利用第二维护气体的流动来使布线形成装置1的连通管4内的结露移动，从而能够从连通管4高效地排出结露。
接着，在本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例中，为了能够稳定地进行布线形成而进行第一维护。然而，优选在其之前设置用于使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序，进行与上述的第二实施方式的布线形成方法的第一例同样的用于使涂布状态稳定化的涂布(稳定化涂布)。
即，通过控制装置的控制来对自动阀进行操作(步骤4)，将自动阀51、52、53、54设为接通状态而形成开启状态，将自动阀55、56、57设为断开状态而形成关闭状态。该状态如上述那样是与布线形成的状态相同的状态，能够进行载气的供给，能够进行雾化后的糊剂材料的雾沫流的供给。另一方面，吸引部63的吸引以及第二维护气体从第二气体供给部65向连通管4的供给被停止。
接着，在雾化装置2中产生超声波(步骤5)。具体地说，启动雾化装置2的雾化部11的超声波产生装置16，开始产生超声波。其结果，开始糊剂材料的雾化，向连通管4和喷嘴3供给雾化后的糊剂材料的雾沫流，并从喷嘴3的喷嘴部33喷射。
接着，通过控制装置的控制，来对自动阀51、52进行操作，从而调整载气的流量和鞘气的流量(步骤6)。此时，载气的流量和鞘气的流量优选设为比布线形成时的各流量大的流量以迅速地实现涂布状态的稳定化。例如，更优选的是，与布线形成时相比，分别设定大10%～40%的流量。
然后，为了使雾化后的糊剂材料从喷嘴3的喷射稳定化来使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化，而将涂布状态维持规定的时间来进行涂布(步骤7)。用于稳定化的涂布的时间优选设为5分钟至60分钟，为了在短时间内高效地实现充分的稳定化，而优选设为10分钟～30分钟。
接着，在本实施方式的布线形成方法的第二例中，准备进行第一维护。
即，在图1的雾化装置2中，停止超声波(步骤8)。具体地说，停止雾化装置2的雾化部11的超声波产生装置16。此时，布线形成装置1处于能够进行布线形成的状态。即，由布线形成装置1的控制装置进行控制，从而自动阀51、52、53、54处于接通状态即开启状态，自动阀55、56、57处于断开状态即关闭状态。
接着，为了进行第一气体供给部61对第一维护气体的供给，而进行自动阀操作(步骤9)。关于该自动阀动作，为了向连通管4内供给第一维护气体，而通过控制装置的控制，将自动阀51、53、55、56设为断开状态而形成关闭状态，将自动阀52、54、57设为接通状态而变为开启状态。其结果，载气的供给被停止，雾化后的糊剂材料的雾沫流的供给也被停止。另一方面，能够从第一气体供给部61向连通管4供给第一维护气体。
接着，向连通管4供给第一维护气体(步骤10)。第一维护气体优选使用氮气、氩气以及氦气等惰性气体，特别是优选使用入手容易的氮气。
从第一气体供给部61供给第一维护气体的流量优选设为每分钟1ml～100ml，为了在短时间内高效地进行充分的维护，而更优选为每分钟5ml～20ml。而且，第一维护气体的供给时间优选设为2分钟至60分钟，为了在短时间内高效地进行充分的维护，而优选设为10分钟～30分钟。
从第一气体供给部61供给的第一维护气体从喷嘴3的喷嘴部33排出。
通过进行这样的第一气体供给部61对第一维护气体的供给，能够使附着于连通管4内的包含糊剂材料的雾的挥发成分挥发，来减少付着物的量。
接着，将第一维护气体的供给停止，在布线形成之前设置用于使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序，进行用于实现稳定的布线形成的准备。即，通过控制装置的控制来进行自动阀操作(步骤11)，将自动阀51、52、53、54设为接通状态而形成开启状态，将自动阀55、56、57设为断开状态而形成关闭状态。该状态如上述那样是与布线形成时相同的状态，能够进行载气的供给，能够进行雾化后的糊剂材料的雾沫流的供给。另一方面，停止从第一气体供给部61向连通管4供给第一维护气体。
接着，通过控制装置的控制来对自动阀51、52进行操作，调整载气的流量和鞘气的流量(步骤12)。此时，载气的流量和鞘气的流量被设定为与布线形成时的各流量相等的流量。
接着，在雾化装置2中产生超声波(步骤13)。具体地说，启动雾化装置2的雾化部11的超声波产生装置16，开始产生超声波。其结果，开始糊剂材料的雾化，向连通管4和喷嘴3供给雾化后的糊剂材料的雾沫流。
然后，为了使雾化后的糊剂材料从喷嘴3的喷射稳定化来使雾化后的糊剂材料的涂布稳定化，而将涂布状态维持规定的时间，来进行涂布(步骤14)。用于稳定化的涂布的时间优选设为5分钟至60分钟。在这种情况下，为了在短时间内高效地实现充分的稳定化，而更优选比步骤7、上述的图3的本实施方式的布线形成方法的第一例的步骤6长的时间，例如优选设为20分钟～40分钟。
接着，确认通过从喷嘴3喷射来进行的雾化后的糊剂材料的涂布的状态(步骤15)，判断是否能够进行布线形成(步骤16)。在判断为无法进行布线形成的情况下，返回步骤10，再次进行第一维护气体的供给和用于稳定化的涂布。
另一方面，在步骤16中判断为能够进行布线形成的情况下，进入步骤17，进行布线形成。此时，自动阀51～57的状态如上述那样通过控制装置进行控制，来将自动阀51、52、53、54设为接通状态而形成开启状态，将自动阀55、56、57设为断开状态而形成关闭状态。
这样，在本实施方式的布线形成方法的第二例中，通过在步骤3中进行连通管4内的吸引和第二维护气体的供给，由此能够利用第二维护气体的流动来使布线形成装置1的连通管4内的结露移动，从连通管4高效地排出结露。并且，之后，通过在步骤10中向连通管4内供给第一维护气体，能够使附着于布线形成装置1的连通管4内的包含糊剂材料的雾的挥发成分挥发，来减少付着物的量，之后，能够稳定地形成布线图案。
如以上那样，在图4所示的本发明的第二实施方式的布线形成方法的第二例中，在反复进行的布线形成的空闲时间，实施本发明的实施方式的维护方法的第二维护，接着实施第一维护。在本实施方式的布线形成方法的第二例中，步骤1～步骤7相当于本发明的实施方式的维护方法的第二维护。而且，步骤8～步骤16相当于本发明的实施方式的维护方法的第一维护，将它们组合来构成。其结果，第二实施方式的布线形成方法的第二例进行布线形成装置1的维护，从而能够稳定地形成布线图案。
此外，在本发明的第二实施方式的布线形成方法中，在执行布线形成处理的步骤、第一维护气体供给的步骤、吸引和第二维护气体供给的步骤以及稳定化涂布的步骤各步骤时，将所设定的自动阀51～57的开关状态汇总成图5。
图5是将本发明的第二实施方式的布线形成方法的主要步骤中的自动阀的开关状态汇总得到的表。
在图5中，自动阀51～57的栏所记载的开的表述表示设定为各自动阀51～57被开启的状态，关的表述表示设定为各自动阀51～57被关闭的状态。
实施方式3.
在作为本发明的实施方式的布线形成装置中，将雾化装置与喷嘴连接的连通管的结构并不限于图1所示的第一实施方式的布线形成装置1的连通管4的结构。只要是能够进行连通管内的吸引和第二维护气体的供给来利用第二维护气体的流动使布线形成装置的连通管内的结露移动从而从连通管高效地排出结露，就能够设为其它的结构。
例如还能够在与雾化装置的连接部侧具有用于向连通管内供给第一维护气体的第一气体供给部，并且在与喷嘴的连接部侧具有用于对连通管内进行吸引的吸引部，在与雾化装置的连接部侧具有用于向连通管内供给第二维护气体的第二气体供给部。
图6是表示本发明的第三实施方式的布线形成装置的图。
此外，在图6所示的本发明的第三实施方式的布线形成装置100中，对于与本发明的第一实施方式的布线形成装置1相同的结构要素附加相同的附图标记并省略重复的说明。
如图6所示，本发明的第三实施方式的布线形成装置100构成为具有雾化装置2、喷嘴3以及将雾化装置2与喷嘴3连接的连通管104。而且，布线形成装置100能够与本发明的第一实施方式的布线形成装置1同样地使用由雾化装置2雾化后的糊剂材料并从喷嘴3喷射，例如在基板W上形成糊剂材料的涂膜，从而形成布线图案。
而且，本发明的第三实施方式的布线形成装置100在与雾化装置2的连接部侧具有用于向连通管104内供给第一维护气体的第一气体供给部61，并且在与喷嘴3的连接部侧具有用于对连通管104内进行吸引的吸引部63，在与雾化装置2的连接部侧具有用于向连通管104内供给第二维护气体的第二气体供给部65。
在本实施方式的布线形成装置100中，连通管104的第一气体供给部61与图1所示的第一实施方式的布线形成装置1同样地具有与第一维护气体源67连接以向连通管104内供给第一维护气体的第一气体供给管62和自动阀57。
在本实施方式的布线形成装置100中，连通管104的第二气体供给部65与图1所示的第一实施方式的布线形成装置1同样地具有与第二维护气体源69连接以向连通管104内供给第二维护气体的第二气体供给管66和自动阀55。
在本实施方式的布线形成装置100中，连通管104的吸引部63与图1所示的第一实施方式的布线形成装置1同样地具有将与例如由吸引泵等构成的吸引装置68连接以对连通管104内进行吸引的吸引管64和能够控制吸引装置68的吸引效果的自动阀56。
具有以上结构的本发明的第三实施方式的布线形成装置100能够针对担心糊剂材料的雾附着并变为结露而流向喷嘴3的连通管104供给第一维护气体来进行维护。
而且，布线形成装置100还能够进行第二维护气体的供给和吸引，通过不同的方法来进行连通管104的维护。即，本发明的第三实施方式的布线形成装置100能够与图1所示的第一实施方式的布线形成装置1同样地使用第一气体供给部61、吸引部63以及第二气体供给部65进行维护，从而能够稳定地形成布线图案。
而且，本发明的第三实施方式的布线形成装置100能够与图1所示的第一实施方式的布线形成装置1同样地应用于上述的本发明的第二实施方式的布线形成方法。
此外，本发明不限定于上述各实施方式，能够在不脱离本发明的宗旨的范围内进行各种变形并实施。
例如，不仅能够将本发明应用于使用了利用金属纳米糊剂的糊剂材料的布线形成装置以及布线形成方法，还能够将本发明应用于整个喷雾系统。
另外，在布线形成装置中，雾化装置的雾化部和溶剂补给装置的结构能够应用各种结构，并能够使用现有的所有装置。

Claims (20)

1.一种布线形成装置，具有：雾化装置，其使糊剂材料雾化；喷嘴，其喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料；以及连通管，其将上述雾化装置与上述喷嘴连接，该布线形成装置通过涂布雾化后的上述糊剂材料来进行布线形成，该布线形成装置的特征在于，具有：
第一气体供给部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧，向上述连通管内供给第一维护气体；
吸引部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的某一方，对上述连通管内进行吸引；以及
第二气体供给部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的、未设置上述吸引部的连接部侧，向上述连通管内供给第二维护气体。
2.根据权利要求1所述的布线形成装置，其特征在于，
上述吸引部设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧，上述第二气体供给部设置于上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧。
3.根据权利要求1或2所述的布线形成装置，其特征在于，
上述第一维护气体是惰性气体。
4.根据权利要求1或2所述的布线形成装置，其特征在于，
上述第二维护气体是空气。
5.根据权利要求1或2所述的布线形成装置，其特征在于，
还具有控制部，该控制部分别对上述第一气体供给部的上述第一维护气体的供给、上述吸引部的吸引以及上述第二气体供给部的上述第二维护气体的供给进行控制，上述控制部以如下方式进行控制：使上述吸引与上述第二维护气体的供给同时进行，使上述第一维护气体的供给、上述第二维护气体的供给以及上述吸引分别在上述布线形成的空闲时间进行。
6.根据权利要求5所述的布线形成装置，其特征在于，
上述控制部进行控制使得在进行了上述吸引以及上述第二维护气体的供给之后在上述布线形成之前进行上述第一维护气体的供给。
7.根据权利要求6所述的布线形成装置，其特征在于，
上述控制部进行控制使得在进行了上述吸引以及上述第二维护气体的供给之后在进行上述第一维护气体的供给之前进行用于使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的涂布。
8.根据权利要求5所述的布线形成装置，其特征在于，
上述控制部进行控制使得在进行了上述第一维护气体的供给之后在上述布线形成之前进行用于使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的涂布。
9.一种布线形成装置的维护方法，该布线形成装置具有：雾化装置，其使糊剂材料雾化；喷嘴，其喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料；以及连通管，其将上述雾化装置与上述喷嘴连接，该布线形成装置构成为通过涂布雾化后的上述糊剂材料来进行布线形成，该布线形成装置的维护方法的特征在于，
在上述布线形成的空闲时间具有以下工序：
第一气体供给工序，从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧向上述连通管内供给第一维护气体；以及
第二气体供给工序，从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的某一方对上述连通管内进行吸引，并且从另一方向上述连通管内供给第二维护气体。
10.根据权利要求9所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，
上述第二气体供给工序的上述吸引是从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧进行，上述第二维护气体的供给是从上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧进行。
11.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，
上述第一维护气体是惰性气体。
12.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，
上述第二维护气体是空气。
13.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，
在上述第二气体供给工序之后在上述布线形成之前设置有上述第一气体供给工序。
14.根据权利要求13所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，
在上述第二气体供给工序之后在上述第一气体供给工序之前设置有使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序。
15.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，
在上述第一气体供给工序之后在上述布线形成之前设置有使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序。
16.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，
上述第一气体供给工序的频率是上述第二气体供给工序的频率的2倍到10倍。
17.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，
上述第二气体供给工序中的上述第二维护气体的流量是上述第一气体供给工序中的上述第一维护气体的流量的100倍到1000倍。
18.一种布线形成方法，其特征在于，具有以下工序：
布线形成工序，使用使糊剂材料雾化的雾化装置、喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料的喷嘴以及将上述雾化装置与上述喷嘴连接的连通管，从上述喷嘴喷射由上述雾化装置雾化后的糊剂材料来进行涂布，从而进行布线形成；
第一气体供给工序，从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧向上述连通管内供给第一维护气体；以及
第二气体供给工序，从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的某一方对上述连通管内进行吸引，并且从另一方向上述连通管内供给第二维护气体。
19.根据权利要求18所述的布线形成方法，其特征在于，
上述第二气体供给工序从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧进行上述吸引，从上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧进行上述第二维护气体的供给。
20.根据权利要求18或19所述的布线形成方法，其特征在于，
在上述第一气体供给工序和上述第二气体供给工序之后设置有使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序。
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