JP2014119566A - 偏光光照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態の偏光光照射装置1は線状の光源11と複数の第1の偏光素子19と可動部13と第2の偏光素子14と受光手段15と制御装置20を備える。光源11は紫外線UAを照射する。第1の偏光素子19は光源11の長手方向に沿った異なる位置に複数配置されている。可動部13は複数の第1の偏光素子19のそれぞれの取付角度を変更する。第2の偏光素子14は第1の偏光素子19を通過した紫外線UBが照射される。受光手段15は偏光素子19,14を通過した紫外線を受光する。制御装置20は受光した紫外線の強さに基づいて、複数の第1の偏光素子19のそれぞれを通過する紫外線UBの振動方向が基準方向RDに対して±0.1°以内となるように可動部13を制御する。
【選択図】図1
Description
次に、本発明の実施形態に係る偏光光照射装置1を図面に基いて説明する。図1は、実施形態に係る偏光光照射装置の全体の構成を示す図、図2は、実施形態に係る偏光光照射装置の全体の構成を示すブロック図、図3は、実施形態に係る偏光光照射装置の制御装置の処理の一例を示すフローチャート、図4は、実施形態に係る偏光光照射装置の制御装置の処理の他の例を示すフローチャート、図5は、実施形態に係る偏光光照射装置の可動部の構成を模式的に示す平面図である。
次に、本発明の実施形態の変形例1〜変形例3に係る偏光光照射装置1を図面に基いて説明する。図6は、実施形態の変形例1に係る偏光光照射装置の可動部の構成を模式的に示す平面図、図7は、実施形態の変形例2に係る偏光光照射装置の可動部の構成を模式的に示す平面図、図8は、実施形態の変形例3に係る偏光光照射装置の可動部の構成を模式的に示す平面図である。なお、図6から図8において、前述した実施形態と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
次に、本発明の実施形態の変形例4に係る偏光光照射装置1を図面に基いて説明する。図9は、実施形態の変形例4に係る偏光光照射装置の制御装置の処理の一例を示すフローチャートである。
11 光源
13 可動部
14 第2の偏光素子
15 受光手段
16 移動手段
18 保持部材
19 第1の偏光素子
20 制御装置
21 部材用可動モータ(部材用可動部)
22 素子用可動モータ(素子用可動部)
24 受光側可動部
P 軸心
RD 基準方向
UA,UB 紫外線
Claims (5)
- 紫外線を照射する線状の光源と、
前記光源の長手方向に沿った異なる位置に配置され、かつ、前記光源から前記紫外線が照射される複数の第1の偏光素子と、
前記複数の第1の偏光素子の取付角度を変更可能な可動部と、
前記第1の偏光素子と対向する位置に配置され、前記第1の偏光素子を通過した前記紫外線が照射される第2の偏光素子と、
前記第1の偏光素子と前記第2の偏光素子を通過した前記紫外線を受光する受光手段と、
前記受光手段が受光した前記紫外線の強さに基づいて、前記複数の第1の偏光素子を通過した前記紫外線の振動方向が、振動方向の基準となる基準方向に対して±0.1°以内となるように、前記可動部を制御する制御装置と、を備える、
偏光光照射装置。 - 前記可動部は、前記光源から前記第1の偏光素子に向う軸心回りの取付角度を変更可能な素子用可動部を備える、
請求項1記載の偏光光照射装置。 - 前記制御装置は、
前記受光手段が受光した前記紫外線の強さに基づいて、前記紫外線の前記基準方向と、前記第1の偏光素子を通過した前記紫外線の振動方向とのなす角度を算出し、前記角度が±0.1°以内となるように前記可動部を制御する、
請求項2記載の偏光光照射装置。 - 更に、前記第2の偏光素子を前記軸心回りに回転させる受光側可動部を備え、
前記制御装置は、
前記第2の偏光素子を前記軸心回りに回転させながら前記受光手段が受光した前記紫外線の強さが最も強くなる前記第2の偏光素子の方向と、前記基準方向との間の角度を、前記基準方向と前記第1の偏光素子を通過した前記紫外線の振動方向とのなす角度して算出する、
請求項3記載の偏光光照射装置。 - 更に、前記第2の偏光素子と前記受光手段とを、前記光源の長手方向に沿って移動する移動手段を備える、
請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の偏光光照射装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015022068A (ja) * | 2013-07-17 | 2015-02-02 | ウシオ電機株式会社 | 光配向用偏光光照射装置及び光配向用偏光光照射方法 |
JP2016064378A (ja) * | 2014-09-25 | 2016-04-28 | 東芝ライテック株式会社 | 光照射装置及び光照射方法 |
JP2016142734A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 岩崎電気株式会社 | 光照射装置 |
JP2016212376A (ja) * | 2015-05-06 | 2016-12-15 | ウィア・コーポレーション | 光配向装置 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006098087A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Hitachi Displays Ltd | 光学異方軸測定装置および液晶パネルの製造方法 |
JP2006126464A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Ushio Inc | 偏光素子ユニット及び偏光光照射装置 |
JP2006234913A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶表示装置用光学素子の製造装置 |
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Family Cites Families (4)
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---|---|---|---|---|
US6243199B1 (en) * | 1999-09-07 | 2001-06-05 | Moxtek | Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region |
US6532111B2 (en) * | 2001-03-05 | 2003-03-11 | Eastman Kodak Company | Wire grid polarizer |
US6874899B2 (en) * | 2002-07-12 | 2005-04-05 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method for irradiating a substrate |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006098087A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Hitachi Displays Ltd | 光学異方軸測定装置および液晶パネルの製造方法 |
JP2006126464A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Ushio Inc | 偏光素子ユニット及び偏光光照射装置 |
JP2006234913A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶表示装置用光学素子の製造装置 |
JP2014010388A (ja) * | 2012-07-02 | 2014-01-20 | Harison Toshiba Lighting Corp | 偏光光照射装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015022068A (ja) * | 2013-07-17 | 2015-02-02 | ウシオ電機株式会社 | 光配向用偏光光照射装置及び光配向用偏光光照射方法 |
JP2016064378A (ja) * | 2014-09-25 | 2016-04-28 | 東芝ライテック株式会社 | 光照射装置及び光照射方法 |
JP2016142734A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 岩崎電気株式会社 | 光照射装置 |
JP2016212376A (ja) * | 2015-05-06 | 2016-12-15 | ウィア・コーポレーション | 光配向装置 |
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